JP3077107B1 - 光ファイバの多孔質ガラス母材製造用チャンバ - Google Patents
光ファイバの多孔質ガラス母材製造用チャンバInfo
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
【要約】
【課題】多孔質ガラス母材中に不純物が付着することな
く製造でき、熱ひずみによるクラックや割れが生じるこ
とがない孔質ガラス母材の製造用チャンバを提供する。 【解決手段】光ファイバの多孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバは、火炎加水分解により合成されたガラス微粒子
を堆積させて多孔質ガラス母材５を製造するためのチャ
ンバ１の内表面に、ガラス微粒子からなる断熱層１０が
設けられているものである。
く製造でき、熱ひずみによるクラックや割れが生じるこ
とがない孔質ガラス母材の製造用チャンバを提供する。 【解決手段】光ファイバの多孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバは、火炎加水分解により合成されたガラス微粒子
を堆積させて多孔質ガラス母材５を製造するためのチャ
ンバ１の内表面に、ガラス微粒子からなる断熱層１０が
設けられているものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、火炎加水分解によ
り合成されたガラス微粒子を堆積させて光ファイバの多
孔質ガラス母材を製造するのに適したチャンバ、および
チャンバを耐熱性のある状態に改質する方法に関するも
のである。
り合成されたガラス微粒子を堆積させて光ファイバの多
孔質ガラス母材を製造するのに適したチャンバ、および
チャンバを耐熱性のある状態に改質する方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバーは、大径なガラス母材、い
わゆる光ファイバープリフォームを線曳きして製造され
る。この大径なガラス母材は、軸付（ＶＡＤ）法によっ
て形成された多孔質ガラス母材を、熱処理により透明ガ
ラス化したものである。軸付法による多孔質ガラス母材
の製造は、図２に示すように、チャンバ１内でガラス原
料を火炎加水分解して合成されたガラス微粒子をターゲ
ット棒４に堆積させるものである。ターゲット棒４は図
示外の駆動装置により回転するとともに、上昇するよう
になっている。ターゲット棒４の先端に向けてガラス微
粒子合成用バーナー２が配置され、ガラス原料（SiC
l４）の供給源、H2ボンベ、O２ボンベに接続されてい
る。またバーナー２の先端延長上には排気装置8が配備
されている。
わゆる光ファイバープリフォームを線曳きして製造され
る。この大径なガラス母材は、軸付（ＶＡＤ）法によっ
て形成された多孔質ガラス母材を、熱処理により透明ガ
ラス化したものである。軸付法による多孔質ガラス母材
の製造は、図２に示すように、チャンバ１内でガラス原
料を火炎加水分解して合成されたガラス微粒子をターゲ
ット棒４に堆積させるものである。ターゲット棒４は図
示外の駆動装置により回転するとともに、上昇するよう
になっている。ターゲット棒４の先端に向けてガラス微
粒子合成用バーナー２が配置され、ガラス原料（SiC
l４）の供給源、H2ボンベ、O２ボンベに接続されてい
る。またバーナー２の先端延長上には排気装置8が配備
されている。
【０００３】この装置で、バーナー２からは、ガラス原
料のSiCl４を酸水素火炎３とともに噴出すると火炎加水
分解し、ガラス微粒子を合成する。これをターゲット棒
４の先端に付着堆積させてゆくと多孔質ガラス母材５が
得られる。付着堆積しなかった残余のガラス微粒子６
は、排気装置８を通ってチャンバ１から排気される。
料のSiCl４を酸水素火炎３とともに噴出すると火炎加水
分解し、ガラス微粒子を合成する。これをターゲット棒
４の先端に付着堆積させてゆくと多孔質ガラス母材５が
得られる。付着堆積しなかった残余のガラス微粒子６
は、排気装置８を通ってチャンバ１から排気される。
【０００４】チャンバ１はシリカガラスの円筒管で耐熱
性であるが、酸水素火炎3はかなりの高熱を発生する。
上記の多孔質ガラス母材５を製造する期間中、複数の表
面温度計でチャンバ１の外表面の温度を計測し、その最
高温度を図７に示してある。最高温度は５２０℃にも達
していた。このような高温になるため、熱ひずみによっ
てクラックや割れが生じることがあった。この問題は、
チャンバ内面に耐熱セラミックの断熱材を施すことで解
決が図られた。しかし断熱材が飛散したり、高温によっ
て分解して、多孔質ガラス母材中に不純物として取り込
まれれるという新たな問題が生じた。
性であるが、酸水素火炎3はかなりの高熱を発生する。
上記の多孔質ガラス母材５を製造する期間中、複数の表
面温度計でチャンバ１の外表面の温度を計測し、その最
高温度を図７に示してある。最高温度は５２０℃にも達
していた。このような高温になるため、熱ひずみによっ
てクラックや割れが生じることがあった。この問題は、
チャンバ内面に耐熱セラミックの断熱材を施すことで解
決が図られた。しかし断熱材が飛散したり、高温によっ
て分解して、多孔質ガラス母材中に不純物として取り込
まれれるという新たな問題が生じた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解消するためになされたもので、多孔質ガラス母
材を製造するのに際し、多孔質ガラス母材中に不純物が
付着することなく製造でき、熱ひずみによってクラック
や割れが生じることがない多孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバを提供するものである。さらには、チャンバの耐
熱性を改質する方法を提供するものである。
題点を解消するためになされたもので、多孔質ガラス母
材を製造するのに際し、多孔質ガラス母材中に不純物が
付着することなく製造でき、熱ひずみによってクラック
や割れが生じることがない多孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバを提供するものである。さらには、チャンバの耐
熱性を改質する方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明を適用する光ファイバの多孔質ガラ
ス母材の製造用チャンバは、火炎加水分解により合成さ
れたガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造
するためのチャンバ内表面に、ガラス微粒子からなる断
熱層が設けられているものである。
めになされた本発明を適用する光ファイバの多孔質ガラ
ス母材の製造用チャンバは、火炎加水分解により合成さ
れたガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造
するためのチャンバ内表面に、ガラス微粒子からなる断
熱層が設けられているものである。
【０００７】本発明の多孔質ガラス母材の製造用チャン
バは、内表面に断熱層が設けられたことにより、耐熱性
が増し、熱ひずみによるクラックや割れが防止される。
バは、内表面に断熱層が設けられたことにより、耐熱性
が増し、熱ひずみによるクラックや割れが防止される。
【０００８】断熱層の厚みは０.１mm〜１０mmで適切に
実施できる。好ましくは０.２mm〜１０mmである。断熱
層の厚みが０.２mm以下では断熱効果が乏しく、１０mm
以上になると層が剥げ落ちてしまう。
実施できる。好ましくは０.２mm〜１０mmである。断熱
層の厚みが０.２mm以下では断熱効果が乏しく、１０mm
以上になると層が剥げ落ちてしまう。
【０００９】前記多孔質ガラス母材のガラス微粒子と、
該断熱層を構成するガラス微粒子とが同質であっても実
施できる。ガラス微粒子どうしが同質であると、同一工
程中で多孔質ガラス母材の製造と断熱層の形成ができ
る。
該断熱層を構成するガラス微粒子とが同質であっても実
施できる。ガラス微粒子どうしが同質であると、同一工
程中で多孔質ガラス母材の製造と断熱層の形成ができ
る。
【００１０】チャンバを形成する材質がシリカガラスで
あり、断熱層を構成するガラス微粒子がシリカガラス微
粒子であることが好ましい。
あり、断熱層を構成するガラス微粒子がシリカガラス微
粒子であることが好ましい。
【００１１】同じく前記の目的を達成するためになされ
た本発明を適用する光ファイバの多孔質ガラス母材製造
用チャンバの耐熱改質方法は、チャンバ内でガラス原料
ガスから火炎加水分解により合成したガラス微粒子を、
チャンバ内表面に堆積させて断熱層を形成することを特
徴としている。
た本発明を適用する光ファイバの多孔質ガラス母材製造
用チャンバの耐熱改質方法は、チャンバ内でガラス原料
ガスから火炎加水分解により合成したガラス微粒子を、
チャンバ内表面に堆積させて断熱層を形成することを特
徴としている。
【００１２】この耐熱改質方法は、多孔質ガラス母材の
製造設備を利用することにより、容易にチャンバの内表
面に断熱層が設けられて耐熱性が向上し、熱ひずみによ
るチャンバのクラックや割れを防止できる。
製造設備を利用することにより、容易にチャンバの内表
面に断熱層が設けられて耐熱性が向上し、熱ひずみによ
るチャンバのクラックや割れを防止できる。
【００１３】さらに前記の目的を達成するためになされ
た本発明の別な態様の光ファイバの多孔質ガラス母材製
造用チャンバの耐熱改質方法は、多孔質ガラス母材を形
成するためのガラス微粒子を合成中に、チャンバからの
排気を抑制することによりチャンバ内に残留するガラス
微粒子をチャンバ内表面に堆積させて断熱層を形成する
ことを特徴とする。
た本発明の別な態様の光ファイバの多孔質ガラス母材製
造用チャンバの耐熱改質方法は、多孔質ガラス母材を形
成するためのガラス微粒子を合成中に、チャンバからの
排気を抑制することによりチャンバ内に残留するガラス
微粒子をチャンバ内表面に堆積させて断熱層を形成する
ことを特徴とする。
【００１４】この態様の耐熱改質方法によれば、多孔質
ガラス母材の製造途中にチャンバの内表面に断熱層が設
けられて耐熱性が向上する。
ガラス母材の製造途中にチャンバの内表面に断熱層が設
けられて耐熱性が向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を説明する。図１には、光ファイバの多孔質ガラス母
材を軸付法により製造する装置が示してある。装置は、
チャンバ１内に、ガラス微粒子合成用バーナー２、排気
装置８を有し、上部は蓋７で覆われている。バーナー２
はH2ボンベ、O２ボンベおよびSiCl４の供給源（キャリ
アガスAr）に繋がっている。この多孔質ガラス母材の製
造装置を使用してチャンバ１の耐熱性が改良され、本発
明のチャンバが完成する。
態を説明する。図１には、光ファイバの多孔質ガラス母
材を軸付法により製造する装置が示してある。装置は、
チャンバ１内に、ガラス微粒子合成用バーナー２、排気
装置８を有し、上部は蓋７で覆われている。バーナー２
はH2ボンベ、O２ボンベおよびSiCl４の供給源（キャリ
アガスAr）に繋がっている。この多孔質ガラス母材の製
造装置を使用してチャンバ１の耐熱性が改良され、本発
明のチャンバが完成する。
【００１６】図１の装置で、チャンバ１はシリカガラス
で成形されている。チャンバ１の耐熱性改質方法は、多
孔質ガラス母材の製造に先立って行われるものである。
したがって図２に示す多孔質ガラス母材５の出発基材で
あるターゲット棒４は外されている。バーナー２にはH
2 、O２、SiCl４（キャリアガスAr）が供給され、バー
ナー２に点火すると、SiCl４が酸水素火炎３により加水
分解してSiO２ のシリカガラス微粒子が合成される。排
気装置８は停止したままであり、チャンバ１内は排気さ
れていないのでシリカガラス微粒子が充満し、内壁面に
堆積付着してゆく。シリカガラス微粒子の堆積付着厚
み、すなわち断熱層１０の厚みが０.１mm〜１０mmにな
ったところで、バーナー２を停止すれば、チャンバ１は
耐熱性が改良されたものとなる。
で成形されている。チャンバ１の耐熱性改質方法は、多
孔質ガラス母材の製造に先立って行われるものである。
したがって図２に示す多孔質ガラス母材５の出発基材で
あるターゲット棒４は外されている。バーナー２にはH
2 、O２、SiCl４（キャリアガスAr）が供給され、バー
ナー２に点火すると、SiCl４が酸水素火炎３により加水
分解してSiO２ のシリカガラス微粒子が合成される。排
気装置８は停止したままであり、チャンバ１内は排気さ
れていないのでシリカガラス微粒子が充満し、内壁面に
堆積付着してゆく。シリカガラス微粒子の堆積付着厚
み、すなわち断熱層１０の厚みが０.１mm〜１０mmにな
ったところで、バーナー２を停止すれば、チャンバ１は
耐熱性が改良されたものとなる。
【００１７】このようにして完成した本発明のチャンバ
１内に、図２で示す通常の軸付法で、ターゲット棒４に
バーナー２から生成するガラス微粒子を堆積付着させ多
孔質ガラス母材５を製造する。このとき、排気装置８が
作動しているので、ターゲット棒４乃至多孔質ガラス母
材５に堆積付着しなかった残余のシリカガラス微粒子６
は排気装置８により完全に排気され、チャンバ１の内表
面に堆積付着するシリカガラス微粒子の厚みは不変であ
る。
１内に、図２で示す通常の軸付法で、ターゲット棒４に
バーナー２から生成するガラス微粒子を堆積付着させ多
孔質ガラス母材５を製造する。このとき、排気装置８が
作動しているので、ターゲット棒４乃至多孔質ガラス母
材５に堆積付着しなかった残余のシリカガラス微粒子６
は排気装置８により完全に排気され、チャンバ１の内表
面に堆積付着するシリカガラス微粒子の厚みは不変であ
る。
【００１８】本発明の別な態様のチャンバの耐熱性改質
方法は、多孔質ガラス母材の製造の途中に行われるもの
である。図２に示すように、チャンバ１内にはターゲッ
ト棒４が吊下げられ、バーナー２からは酸水素火炎３の
加水分解により合成されたシリカガラス微粒子がターゲ
ット棒４に堆積付着して行く。排気装置８は、当初、停
止乃至は排気量を抑制して運転しており、チャンバ１内
はシリカガラス微粒子が残留して内壁面に堆積付着し、
断熱層１０を形成してゆく。断熱層１０が所望の厚みに
なったところで、排気装置８を定常状態の運転、すなわ
ちターゲット棒４乃至多孔質ガラス母材５に堆積付着し
なかった残余のシリカガラス微粒子６が完全に排気され
る強さの運転に切り替える。バーナー２からのシリカガ
ラス微粒子の供給は多孔質ガラス母材５が目的の太さ、
長さに成長するまで続ける。これにより、チャンバ１の
断熱層１０は前記した所望の厚みのまま、目的の多孔質
ガラス母材５が製造される。
方法は、多孔質ガラス母材の製造の途中に行われるもの
である。図２に示すように、チャンバ１内にはターゲッ
ト棒４が吊下げられ、バーナー２からは酸水素火炎３の
加水分解により合成されたシリカガラス微粒子がターゲ
ット棒４に堆積付着して行く。排気装置８は、当初、停
止乃至は排気量を抑制して運転しており、チャンバ１内
はシリカガラス微粒子が残留して内壁面に堆積付着し、
断熱層１０を形成してゆく。断熱層１０が所望の厚みに
なったところで、排気装置８を定常状態の運転、すなわ
ちターゲット棒４乃至多孔質ガラス母材５に堆積付着し
なかった残余のシリカガラス微粒子６が完全に排気され
る強さの運転に切り替える。バーナー２からのシリカガ
ラス微粒子の供給は多孔質ガラス母材５が目的の太さ、
長さに成長するまで続ける。これにより、チャンバ１の
断熱層１０は前記した所望の厚みのまま、目的の多孔質
ガラス母材５が製造される。
【００１９】チャンバ１の内表面にガラス微粒子が堆積
付着した断熱層１０の有効性を確認するため、以下の実
験を行った。
付着した断熱層１０の有効性を確認するため、以下の実
験を行った。
【００２０】確認実験１ 図１の装置で、チャンバ１の外表面複数箇所に散点して
表面温度計を設置し、排気装置８を停止したまま、バー
ナー２でシリカガラス微粒子を合成し、チャンバ１の内
壁面に堆積付着させた。シリカガラス微粒子の堆積付着
厚み（断熱層厚み）の変化を監視し、表面温度計が示し
た温度を計測した。複数の表面温度計の計測結果から最
高温度を図３に示してある。断熱層の厚みが０.１mmぐ
らいになったところから最高温度が下がりはじめて断熱
効果が見られ、０.２mm程度で断熱効果が現れて安定し
てゆく。しかし断熱層の厚みが１０mm程度になるとシリ
カガラス微粒子が剥げ落ちてしまい、それ以上の厚みに
することはできなかった。
表面温度計を設置し、排気装置８を停止したまま、バー
ナー２でシリカガラス微粒子を合成し、チャンバ１の内
壁面に堆積付着させた。シリカガラス微粒子の堆積付着
厚み（断熱層厚み）の変化を監視し、表面温度計が示し
た温度を計測した。複数の表面温度計の計測結果から最
高温度を図３に示してある。断熱層の厚みが０.１mmぐ
らいになったところから最高温度が下がりはじめて断熱
効果が見られ、０.２mm程度で断熱効果が現れて安定し
てゆく。しかし断熱層の厚みが１０mm程度になるとシリ
カガラス微粒子が剥げ落ちてしまい、それ以上の厚みに
することはできなかった。
【００２１】確認実験２ 確認実験１と同様な手順でシリカガラス微粒子を合成
し、チャンバ１の内壁面にシリカガラス微粒子を堆積付
着させ断熱層１０の厚みが２mmのところで停止した。２
mmの断熱層１０を持つチャンバ１内にターゲット棒４を
取り付け、チャンバ１内に、通常の軸付法（図２参照）
で多孔質ガラス母材５を製造した。製造期間中、複数の
表面温度計でチャンバ１の外表面の温度を計測した。そ
の最高温度を図４に示してある。最高温度は３５０℃で
安定していた。
し、チャンバ１の内壁面にシリカガラス微粒子を堆積付
着させ断熱層１０の厚みが２mmのところで停止した。２
mmの断熱層１０を持つチャンバ１内にターゲット棒４を
取り付け、チャンバ１内に、通常の軸付法（図２参照）
で多孔質ガラス母材５を製造した。製造期間中、複数の
表面温度計でチャンバ１の外表面の温度を計測した。そ
の最高温度を図４に示してある。最高温度は３５０℃で
安定していた。
【００２２】確認実験３ 図２に示すように、チャンバ１内のターゲット棒４を吊
しておき、バーナー２で定常状態の量でシリカガガラス
微粒子を合成する。当初、排気装置８は停止しておき、
チャンバ１内に滞留するシリカガラス微粒子がチャンバ
内壁に堆積付着し、断熱層１０の厚みが１.５ｍｍにな
ったら、排気装置８を運転し、ひき続き目的の多孔質ガ
ラス母材５を製造した。バーナー２の点火開始から多孔
質ガラス母材５の製造終了まで、複数の表面温度計でチ
ャンバ１の外表面の温度を計測した。その最高温度を図
５に示してある。チャンバ内壁に断熱層が充分に形成さ
れていない段階で最高４００℃になったが、１.５ｍｍ
の断熱層が形成されて以降（排気装置８を運転後）は、
３５０℃で安定していた。
しておき、バーナー２で定常状態の量でシリカガガラス
微粒子を合成する。当初、排気装置８は停止しておき、
チャンバ１内に滞留するシリカガラス微粒子がチャンバ
内壁に堆積付着し、断熱層１０の厚みが１.５ｍｍにな
ったら、排気装置８を運転し、ひき続き目的の多孔質ガ
ラス母材５を製造した。バーナー２の点火開始から多孔
質ガラス母材５の製造終了まで、複数の表面温度計でチ
ャンバ１の外表面の温度を計測した。その最高温度を図
５に示してある。チャンバ内壁に断熱層が充分に形成さ
れていない段階で最高４００℃になったが、１.５ｍｍ
の断熱層が形成されて以降（排気装置８を運転後）は、
３５０℃で安定していた。
【００２３】確認実験４ 当初、バーナー２からのシリカガガラス微粒子の量を定
常状態の２/３にすること以外は、確認実験３と同じに
した。断熱層１０の厚みが１.８ｍｍになったら、排気
装置８を運転し、バーナー２からのシリカガガラス微粒
子の量を定常状態にして、ひき続き目的の多孔質ガラス
母材５を製造した。チャンバ１の外表面の最高温度は図
６に示すとおり、略３５０℃で安定していた。
常状態の２/３にすること以外は、確認実験３と同じに
した。断熱層１０の厚みが１.８ｍｍになったら、排気
装置８を運転し、バーナー２からのシリカガガラス微粒
子の量を定常状態にして、ひき続き目的の多孔質ガラス
母材５を製造した。チャンバ１の外表面の最高温度は図
６に示すとおり、略３５０℃で安定していた。
【００２４】本発明のチャンバを使用した確認実験２、
３、４のチャンバ外表面の最高温度（図４、５、６参
照）は、いずれも従来のチャンバを使用したチャンバ外
表面の最高温度（図７参照）よりも低いことを示してい
る。
３、４のチャンバ外表面の最高温度（図４、５、６参
照）は、いずれも従来のチャンバを使用したチャンバ外
表面の最高温度（図７参照）よりも低いことを示してい
る。
【００２５】確認実験２によりシリカガラス微粒子の厚
みが２mmの断熱層を形成してあるシリカガラスチャンバ
を使用し、通常の軸付法でＤ＝２００ｍｍ、Ｌ＝２００
０ｍｍの多孔質ガラス母材を４００本製造したが、チャ
ンバにクラックや割れは全く生じなかった。尚、断熱層
を形成してない、従来のシリカガラスチャンバを使用
し、同一条件で多孔質ガラス母材を製造すると、約１０
０本の製造でチャンバに割れ入り、その都度交換する必
要があった。
みが２mmの断熱層を形成してあるシリカガラスチャンバ
を使用し、通常の軸付法でＤ＝２００ｍｍ、Ｌ＝２００
０ｍｍの多孔質ガラス母材を４００本製造したが、チャ
ンバにクラックや割れは全く生じなかった。尚、断熱層
を形成してない、従来のシリカガラスチャンバを使用
し、同一条件で多孔質ガラス母材を製造すると、約１０
０本の製造でチャンバに割れ入り、その都度交換する必
要があった。
【００２６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明を適
用する光ファイバの多孔質ガラス母材の製造用チャンバ
は、耐熱性が改質され、熱ひずみによってクラックや割
れが生じることがないので繰り返しその使用が可能とな
る。チャンバの交換の手間がなくなるとともに経済的に
も資するところが大きい。多孔質ガラス母材中に不純物
が付着することなく製造でき、熱ひずみによってクラッ
クや割れが生じることがない孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバを提供するものである。さらには、チャンバ内表
面に形成される断熱層は、ガラス微粒子からなり多孔質
ガラス母材と同質であるため、万一、孔質ガラス母材に
付着しても害にならない。
用する光ファイバの多孔質ガラス母材の製造用チャンバ
は、耐熱性が改質され、熱ひずみによってクラックや割
れが生じることがないので繰り返しその使用が可能とな
る。チャンバの交換の手間がなくなるとともに経済的に
も資するところが大きい。多孔質ガラス母材中に不純物
が付着することなく製造でき、熱ひずみによってクラッ
クや割れが生じることがない孔質ガラス母材の製造用チ
ャンバを提供するものである。さらには、チャンバ内表
面に形成される断熱層は、ガラス微粒子からなり多孔質
ガラス母材と同質であるため、万一、孔質ガラス母材に
付着しても害にならない。
【図１】軸付法により多孔質ガラス母材を製造する装置
であって、本発明を適用するチャンバの耐熱改質方法を
実施している状態を示す図である。
であって、本発明を適用するチャンバの耐熱改質方法を
実施している状態を示す図である。
【図２】本発明を適用するチャンバで軸付法により多孔
質ガラス母材を製造する装置を示す図である。
質ガラス母材を製造する装置を示す図である。
【図３】本発明を適用するチャンバの外表面温度と断熱
層の厚みとの関係を示す図である。
層の厚みとの関係を示す図である。
【図４】本発明を適用する一例のチャンバの外表面温度
と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を示す図で
ある。
と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を示す図で
ある。
【図５】本発明を適用する別な例のチャンバの外表面温
度と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を示す図
である。
度と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を示す図
である。
【図６】本発明を適用するさらに別な例のチャンバの外
表面温度と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を
示す図である。
表面温度と多孔質ガラス母材の製造経過時間との関係を
示す図である。
【図７】従来のチャンバの外表面温度と多孔質ガラス母
材の製造経過時間との関係を示す図である。
材の製造経過時間との関係を示す図である。
１はチャンバ、２はガラス微粒子合成用バーナー、３は
酸水素火炎、４はターゲット棒、５は多孔質ガラス母
材、６はガラス微粒子、７は蓋、８は排気装置、１０は
断熱層である。
酸水素火炎、４はターゲット棒、５は多孔質ガラス母
材、６はガラス微粒子、７は蓋、８は排気装置、１０は
断熱層である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−18932（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−32500（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 8/04 C03B 37/018
Claims (6)
- 【請求項１】 火炎加水分解により合成されたガラス
微粒子を堆積させて光ファイバの多孔質ガラス母材を製
造するためのチャンバ内表面に、ガラス微粒子からなる
断熱層が設けられていることを特徴とする多孔質ガラス
母材製造用チャンバ。 - 【請求項２】 該断熱層の厚みが０.１mm〜１０mmで
あることを特徴とする請求項１に記載の多孔質ガラス母
材製造用チャンバ。 - 【請求項３】 前記多孔質ガラス母材のガラス微粒子
と、該断熱層を構成するガラス微粒子とが同質であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の多孔質ガラス母材製造
用チャンバ。 - 【請求項４】 該チャンバを形成する材質がシリカガ
ラスであり、該断熱層を構成するガラス微粒子がシリカ
ガラス微粒子であることを特徴とする請求項１〜３のい
ずれかに記載の多孔質ガラス母材製造用チャンバ。 - 【請求項５】 チャンバ内でガラス原料ガスから火炎
加水分解により合成したガラス微粒子を、チャンバ内表
面に堆積させて断熱層を形成することを特徴とする多孔
質ガラス母材製造用チャンバの耐熱改質方法。 - 【請求項６】 多孔質ガラス母材を形成するするため
のガラス微粒子を合成中に、チャンバからの排気を抑制
することによりチャンバ内に残留するガラス微粒子をチ
ャンバ内表面に堆積させて断熱層を形成することを特徴
とする多孔質ガラス母材製造用チャンバの耐熱改質方
法。
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| JP11052660A JP3077107B1 (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 光ファイバの多孔質ガラス母材製造用チャンバ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11052660A JP3077107B1 (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 光ファイバの多孔質ガラス母材製造用チャンバ |
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| JP (1) | JP3077107B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US20040060326A1 (en) * | 2001-06-14 | 2004-04-01 | Tomohiro Ishihara | Device and method for producing stack of fine glass particles |
-
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- 1999-03-01 JP JP11052660A patent/JP3077107B1/ja not_active Expired - Fee Related
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