JP3071928B2 - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
- Publication number
- JP3071928B2 JP3071928B2 JP4025312A JP2531292A JP3071928B2 JP 3071928 B2 JP3071928 B2 JP 3071928B2 JP 4025312 A JP4025312 A JP 4025312A JP 2531292 A JP2531292 A JP 2531292A JP 3071928 B2 JP3071928 B2 JP 3071928B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- motor
- blower
- clean room
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体などの製造設備に
おけるクリーンルームの空気清浄構造に係り特に省エネ
化、低騒音化に好適な空気清浄装置に関する。
おけるクリーンルームの空気清浄構造に係り特に省エネ
化、低騒音化に好適な空気清浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の空気清浄装置は、送風機による加
圧空気をフィルタを介してクリーンルーム内に送出する
構成を有しており、空気清浄装置の熱負荷を軽減する一
方策として空気清浄装置はクリーンルームと別設の空間
に設けられていた。特願平２−６９６４３号は、上記従
来技術に対する改善対策として提案された先行発明であ
って、クリーンルームの建屋の天井上部に設置した保全
室に、空気浄化手段を設け、非清浄空気域として換気と
同時にモータ熱を建屋外に排出する構造が示されてい
る。
圧空気をフィルタを介してクリーンルーム内に送出する
構成を有しており、空気清浄装置の熱負荷を軽減する一
方策として空気清浄装置はクリーンルームと別設の空間
に設けられていた。特願平２−６９６４３号は、上記従
来技術に対する改善対策として提案された先行発明であ
って、クリーンルームの建屋の天井上部に設置した保全
室に、空気浄化手段を設け、非清浄空気域として換気と
同時にモータ熱を建屋外に排出する構造が示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記先行発明は、従来
技術の問題点を解決し熱負荷の低減に顕著な効果を奏す
る反面、建屋構造が二重天井であるため、リターンエア
用及びサプライエア用のダクト設置など構造が複雑とな
るので、既存建屋を利用してクリーンルーム化を図る点
について課題が残されていた。本発明は、上記の課題を
解決し、簡易な建屋構造によって効率的に送風機用モー
タの排熱を行なうことにより、空調設備に対する熱負荷
を軽減し、低騒音化と省エネルギー化を図るに好適な空
気清浄装置を提供することを目的としてなされたもので
ある。
技術の問題点を解決し熱負荷の低減に顕著な効果を奏す
る反面、建屋構造が二重天井であるため、リターンエア
用及びサプライエア用のダクト設置など構造が複雑とな
るので、既存建屋を利用してクリーンルーム化を図る点
について課題が残されていた。本発明は、上記の課題を
解決し、簡易な建屋構造によって効率的に送風機用モー
タの排熱を行なうことにより、空調設備に対する熱負荷
を軽減し、低騒音化と省エネルギー化を図るに好適な空
気清浄装置を提供することを目的としてなされたもので
ある。
【０００４】因みに、半導体用などの製造設備における
クリーンルームの冷房負荷内訳の一例は、「超ＬＳＩプ
ロセス環境制御、防災安全対策」（サイエンスフォーラ
ム社発行）によれば、図６に示すように、負荷比率の大
きいものから順に、外気負荷４３％、生産装置負荷２８
％、ファン・ポンプ動力２３％となっており、またこの
なかでフィルタユニットの熱負荷は、ファン・ポンプ動
力の約９０％、全体の約２０％である。これは夏期の場
合であって、冬期または北日本などでは外気負荷が小さ
く、生産装置負荷とファン・ポンプ動力が２大要素とな
り、さらにフィルタユニットの熱負荷の割合はさらに大
であるとされている。
クリーンルームの冷房負荷内訳の一例は、「超ＬＳＩプ
ロセス環境制御、防災安全対策」（サイエンスフォーラ
ム社発行）によれば、図６に示すように、負荷比率の大
きいものから順に、外気負荷４３％、生産装置負荷２８
％、ファン・ポンプ動力２３％となっており、またこの
なかでフィルタユニットの熱負荷は、ファン・ポンプ動
力の約９０％、全体の約２０％である。これは夏期の場
合であって、冬期または北日本などでは外気負荷が小さ
く、生産装置負荷とファン・ポンプ動力が２大要素とな
り、さらにフィルタユニットの熱負荷の割合はさらに大
であるとされている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、送風機用モータまたはモータ巻線部を
覆い、周囲の空気流路と隔離する隔壁を設け、前記モー
タ隔壁内部と、加圧空気をクリーンルーム内に送出する
圧力室またはクリーンルーム外空間とを、連結管を用い
て連通させ、さらにモータ隔壁の排気管を介して熱を排
出する放熱路を設けたものであり、排気は背圧が不足す
る場合には排気ファンを使用し直接室外に放出するか、
あるいは熱交換器による熱の再利用を図ってもよく、送
風機モータの熱損失がクリーンルーム内の空調空気に拡
散することのないよう、屋外または熱の再利用施設に導
入される構成を有するものである。
めに、本発明は、送風機用モータまたはモータ巻線部を
覆い、周囲の空気流路と隔離する隔壁を設け、前記モー
タ隔壁内部と、加圧空気をクリーンルーム内に送出する
圧力室またはクリーンルーム外空間とを、連結管を用い
て連通させ、さらにモータ隔壁の排気管を介して熱を排
出する放熱路を設けたものであり、排気は背圧が不足す
る場合には排気ファンを使用し直接室外に放出するか、
あるいは熱交換器による熱の再利用を図ってもよく、送
風機モータの熱損失がクリーンルーム内の空調空気に拡
散することのないよう、屋外または熱の再利用施設に導
入される構成を有するものである。
【０００６】すなわち、本発明の目的は、特許請求の範
囲に記載されているように、送風機と該送風機を駆動す
るモータ及び前記送風機の空気吹出し側と連通する圧力
室からなる送風手段と、前記送風手段により加圧された
空気を清浄化する空気清浄手段を有してクリーンルーム
内上方に配置された空気浄化ユニットを備えた空気清浄
装置において、前記モータの少なくとも発熱部を覆う包
囲手段と、前記クリーンルームに供給された空気をその
下方から前記空気浄化ユニットの吸気口へ還流させるよ
うに形成された空気流路と、前記包囲手段内の空気を前
記空気流路外に排出する排出手段を備えたことを特徴と
する空気清浄装置によって達成される。
囲に記載されているように、送風機と該送風機を駆動す
るモータ及び前記送風機の空気吹出し側と連通する圧力
室からなる送風手段と、前記送風手段により加圧された
空気を清浄化する空気清浄手段を有してクリーンルーム
内上方に配置された空気浄化ユニットを備えた空気清浄
装置において、前記モータの少なくとも発熱部を覆う包
囲手段と、前記クリーンルームに供給された空気をその
下方から前記空気浄化ユニットの吸気口へ還流させるよ
うに形成された空気流路と、前記包囲手段内の空気を前
記空気流路外に排出する排出手段を備えたことを特徴と
する空気清浄装置によって達成される。
【０００７】
【作用】モータの巻線部から発生する熱は、前記包囲手
段によってクリーンルームの空調された空気に拡散しな
いように隔絶され、一方、送風機によって加圧された空
気の一部は、前記包囲手段と前記圧力室を連通する連結
管によって前記包囲手段内に導かれる。また、モータか
らの発熱によって温度上昇した隔壁内の空気はモータ隔
壁から空気流路外へ連通する放熱手段、例えば熱交換器
を含む流路を経て放熱されたのち空気調和されるか、若
しくは、屋外へ通ずるモータ冷却流路を経て排気ダクト
によって屋外へ排出される。
段によってクリーンルームの空調された空気に拡散しな
いように隔絶され、一方、送風機によって加圧された空
気の一部は、前記包囲手段と前記圧力室を連通する連結
管によって前記包囲手段内に導かれる。また、モータか
らの発熱によって温度上昇した隔壁内の空気はモータ隔
壁から空気流路外へ連通する放熱手段、例えば熱交換器
を含む流路を経て放熱されたのち空気調和されるか、若
しくは、屋外へ通ずるモータ冷却流路を経て排気ダクト
によって屋外へ排出される。
【０００８】
【実施例】本発明に係る空気清浄装置の一実施例を図面
と共に説明する。図１は本発明の第１実施例のクリーン
ルームの概要を示す断面図、図２は図１に示す実施例に
おける空気浄化ユニット７の拡大断面図、また、図３は
図１に示す実施例の送風機４及びモータ隔壁１０内の断
面を示す拡大平面図（ａ）、同正面図（ｂ）、同側面図
（ｃ）である。図１において、送風機４によって加圧さ
れた空気は、圧力室１４を通過しフィルタ６によって濾
過され清浄空気となり、天井面３から矢印Ａの方向にク
リーンルーム１７内に向けて吹出される。清浄空気は、
さらに進行してクリーンルーム１７の下方に達し床面２
を通過し、矢印Ｂに沿って冷却コイル１５、ヒータ１６
を通過するに間に空気調和され、建屋の上方を経て循環
し空気浄化ユニット７内に再び戻って吸込まれる。請求
項１記載の空気清浄手段とは、例えば実施例のフィルタ
６に相当する。
と共に説明する。図１は本発明の第１実施例のクリーン
ルームの概要を示す断面図、図２は図１に示す実施例に
おける空気浄化ユニット７の拡大断面図、また、図３は
図１に示す実施例の送風機４及びモータ隔壁１０内の断
面を示す拡大平面図（ａ）、同正面図（ｂ）、同側面図
（ｃ）である。図１において、送風機４によって加圧さ
れた空気は、圧力室１４を通過しフィルタ６によって濾
過され清浄空気となり、天井面３から矢印Ａの方向にク
リーンルーム１７内に向けて吹出される。清浄空気は、
さらに進行してクリーンルーム１７の下方に達し床面２
を通過し、矢印Ｂに沿って冷却コイル１５、ヒータ１６
を通過するに間に空気調和され、建屋の上方を経て循環
し空気浄化ユニット７内に再び戻って吸込まれる。請求
項１記載の空気清浄手段とは、例えば実施例のフィルタ
６に相当する。
【０００９】ここで、図２に示す空気浄化ユニット７に
おいて、送風機４によって加圧された空気の一部を、圧
力室１４から連結管１９を経てモータ隔壁１０内へ導入
させることにより、圧力室内１４内と排気ダクト８内の
空気圧の差により、モータ５からの熱を受けて温度上昇
した空気は排気管１１を通って排気ダクト８へ流入す
る。図１に示すように、排気ダクト８は熱交換器２５に
連通しており、温度上昇した空気は熱交換器２５によっ
て熱を奪われ、再び冷却コイル１５、ヒータ１６を介在
する空気調和流路を経由して空気浄化ユニット７まで帰
ってくる。請求項１記載の包囲手段とは、例えば、実施
例におけるモータ隔壁１０に相当し、請求項２記載の排
出手段とは、例えば、実施例における排気管１１、連結
管１９、排気ダクト８、熱交換器２５及び誘導ダクト９
に相当する。
おいて、送風機４によって加圧された空気の一部を、圧
力室１４から連結管１９を経てモータ隔壁１０内へ導入
させることにより、圧力室内１４内と排気ダクト８内の
空気圧の差により、モータ５からの熱を受けて温度上昇
した空気は排気管１１を通って排気ダクト８へ流入す
る。図１に示すように、排気ダクト８は熱交換器２５に
連通しており、温度上昇した空気は熱交換器２５によっ
て熱を奪われ、再び冷却コイル１５、ヒータ１６を介在
する空気調和流路を経由して空気浄化ユニット７まで帰
ってくる。請求項１記載の包囲手段とは、例えば、実施
例におけるモータ隔壁１０に相当し、請求項２記載の排
出手段とは、例えば、実施例における排気管１１、連結
管１９、排気ダクト８、熱交換器２５及び誘導ダクト９
に相当する。
【００１０】クリーンルーム１７内は新鮮空気の供給を
受けて、圧力は常時（＋）側に保持され一部の空気は排
気口１８から排出される。
受けて、圧力は常時（＋）側に保持され一部の空気は排
気口１８から排出される。
【００１１】図３において、モータ隔壁１０は、モータ
５またはモータ巻線部を覆い、かつモータ隔壁１０内部
は空気の流動によって構成される空気流が通過可能な空
間を有する。モータ隔壁１０は、モータ５またはモータ
巻線部のような発熱部を覆うことによって圧力室１４内
空間での熱の拡散を防止している。空気流はモータ５の
発熱部分に沿って流動するに容易な形状とし、要すれば
モータ５の内部に空気流を導入する隙間を設けることが
好ましい。また、モータ５にフィンを設けることは冷却
効果を高めるために有効である。
５またはモータ巻線部を覆い、かつモータ隔壁１０内部
は空気の流動によって構成される空気流が通過可能な空
間を有する。モータ隔壁１０は、モータ５またはモータ
巻線部のような発熱部を覆うことによって圧力室１４内
空間での熱の拡散を防止している。空気流はモータ５の
発熱部分に沿って流動するに容易な形状とし、要すれば
モータ５の内部に空気流を導入する隙間を設けることが
好ましい。また、モータ５にフィンを設けることは冷却
効果を高めるために有効である。
【００１２】モータ隔壁１０はモータ５のケーシングを
兼ねており、材質は鋼板、アルミニウム合金などの金属
製材料が用いられるが、モータ５の騒音を遮断しクリー
ンルーム１７内の低騒音化を図るために、モータ隔壁１
０の内面に吸音材や弾性部材を貼着したりサンドイッチ
状に積層した制振鋼板と呼ばれる部材を用いれば、一層
大きい騒音防止と振動の低減効果をもたらすことができ
る。
兼ねており、材質は鋼板、アルミニウム合金などの金属
製材料が用いられるが、モータ５の騒音を遮断しクリー
ンルーム１７内の低騒音化を図るために、モータ隔壁１
０の内面に吸音材や弾性部材を貼着したりサンドイッチ
状に積層した制振鋼板と呼ばれる部材を用いれば、一層
大きい騒音防止と振動の低減効果をもたらすことができ
る。
【００１３】排気管１１及び排気ダクト８は、クリーン
ルーム１７内への熱の流出を防止するに好適のように、
断熱材を用いて製作するか、あるいは金属材料の外周表
面に断熱材を巻き付けるなどの断熱手段を施すことが好
ましく、また、排気管１１及び圧力室１４とモータ隔壁
１０内空間を連通するための連結管１９は、モータ５ま
たは送風機４の振動が空気浄化ユニット７自体に伝達す
るのを防止するため、柔軟で防振性の大きい材質を使用
すれば一段と大きな効果が得られる。
ルーム１７内への熱の流出を防止するに好適のように、
断熱材を用いて製作するか、あるいは金属材料の外周表
面に断熱材を巻き付けるなどの断熱手段を施すことが好
ましく、また、排気管１１及び圧力室１４とモータ隔壁
１０内空間を連通するための連結管１９は、モータ５ま
たは送風機４の振動が空気浄化ユニット７自体に伝達す
るのを防止するため、柔軟で防振性の大きい材質を使用
すれば一段と大きな効果が得られる。
【００１４】排気管１１、排気ダクト８が何らかが何ら
かの障害で塞がれた場合、モータ５は過度に発熱する恐
れがあるので、モータ５にはサーマルプロテクタなどの
機器を併設することが望ましい。そのほか、熱による温
度上昇を感知して開放して高温の空気を放散する簡易な
ダンパをモータ隔壁１０に設けるなどの手段も有効であ
る。
かの障害で塞がれた場合、モータ５は過度に発熱する恐
れがあるので、モータ５にはサーマルプロテクタなどの
機器を併設することが望ましい。そのほか、熱による温
度上昇を感知して開放して高温の空気を放散する簡易な
ダンパをモータ隔壁１０に設けるなどの手段も有効であ
る。
【００１５】図４は本発明の第２実施例のクリーンルー
ムの概要を示す断面図である。同図において、送風機４
によって加圧された空気は、圧力室１４を通過しフィル
タ６によって濾過され清浄化されて矢印Ａの方向に天井
面３からクリーンルーム１７内に向けて吹き出される。
清浄空気はクリーンルーム１７の下方に達し床面２を通
過し、矢印Ｂに沿って冷却コイル１５、ヒータ１６を通
過するに間に空気調和され、続いて建屋の上方を経て循
環し空気浄化ユニット７内に再び戻って吸込まれる。ク
リーンルーム１７内は外気取入口２０を介して新鮮空気
の供給を受け、常時（＋）側に保持され一部の空気は排
気口１８から排出される。
ムの概要を示す断面図である。同図において、送風機４
によって加圧された空気は、圧力室１４を通過しフィル
タ６によって濾過され清浄化されて矢印Ａの方向に天井
面３からクリーンルーム１７内に向けて吹き出される。
清浄空気はクリーンルーム１７の下方に達し床面２を通
過し、矢印Ｂに沿って冷却コイル１５、ヒータ１６を通
過するに間に空気調和され、続いて建屋の上方を経て循
環し空気浄化ユニット７内に再び戻って吸込まれる。ク
リーンルーム１７内は外気取入口２０を介して新鮮空気
の供給を受け、常時（＋）側に保持され一部の空気は排
気口１８から排出される。
【００１６】以上が本実施例の空調空気の流れである
が、この流れとは別系統で、モータ５からの排熱空気流
路を次のように形成する。すなわち、モータ排熱用空気
取入口２４から取り入れられた外気は、モータ排熱用給
気ダクト２２を通過し、流入管１１ａを経て各空気浄化
ユニット７のモータ隔壁１０内へ流入する。ここでモー
タ５からの熱により温度上昇した空気は、流出管１１ｂ
を通過し排気ダクト２３を経由したのち排気ファン１２
を介して屋外へ排出される。本実施例では、モータ隔壁
１０内は流入管１１ａ、流出管１１ｂとで構成されるモ
ータ冷却流路を介して屋外空気と連通しているが、クリ
ーンルーム１７とは隔離されている。請求項３記載の
「モータ隔壁内から給気ダクトまたは排気ダクトにそれ
ぞれ連通する流路」とは、例えば、実施例の流入管１１
ａ、流出管１１ｂに相当する。
が、この流れとは別系統で、モータ５からの排熱空気流
路を次のように形成する。すなわち、モータ排熱用空気
取入口２４から取り入れられた外気は、モータ排熱用給
気ダクト２２を通過し、流入管１１ａを経て各空気浄化
ユニット７のモータ隔壁１０内へ流入する。ここでモー
タ５からの熱により温度上昇した空気は、流出管１１ｂ
を通過し排気ダクト２３を経由したのち排気ファン１２
を介して屋外へ排出される。本実施例では、モータ隔壁
１０内は流入管１１ａ、流出管１１ｂとで構成されるモ
ータ冷却流路を介して屋外空気と連通しているが、クリ
ーンルーム１７とは隔離されている。請求項３記載の
「モータ隔壁内から給気ダクトまたは排気ダクトにそれ
ぞれ連通する流路」とは、例えば、実施例の流入管１１
ａ、流出管１１ｂに相当する。
【００１７】ここで、空気浄化ユニット７の条件を Ｑ：処理風量＝６０ｍ3／ｍｉｎ＝１ｍ3／ｓｅｃ ＷM：送風機入力＝５００Ｗ モータ効率ηm＝０．６９ Ｖ1：送風機吹出部風速＝１０．８ｍ／ｓｅｃ Ｖ2：フィルタ流入風速＝０．４ｍ／ｓｅｃ Ｖ3：フィルタ流出風速＝０．４ｍ／ｓｅｃ ＰS1：送風機吹出部静圧＝１６．５ｍｍＡq≒１６．５ｋｇ／ｍ2 ＰS2：フィルタ流入部静圧＝１０．５ｍｍＡq≒１０．５ｋｇ／ｍ2 ＰS3：フィルタ流出部静圧＝０ γ：空気の比重＝１．２ｋｇ／ｍ3（１気圧、２５℃） とするとき、上記実施例の空気浄化ユニット７における
各部の損失は次式によって計算される。
各部の損失は次式によって計算される。
【００１８】（１）モータ損失熱量Ｗmは Ｗm＝ＷM×（１−ηm）＝５００×（１−０．６９）＝１５５（Ｗ） （２）空気浄化ユニット７の機内損失熱量ＷDは ＷD＝｛（ｖ1 2γ／２ｇ＋ＰS1）−（ｖ2 2γ／２ｇ＋ＰS2）｝×Ｑ÷０．１０２ ＝｛（１０．８2×１．２／２×９．８＋１６．５）− （０．４2×１．２／２×９．８＋１０．５）｝×１÷０．１０２ ＝１２９（Ｗ） （３）フィルタ通過損失Ｗfは Ｗf＝（ＰS2−ＰS3）×Ｑ÷０．１０２＝１０．５×１÷０．１０２ ＝１０３（Ｗ） （４）送風機損失ＷFは ＷF＝ＷM−Ｗm−ＷD−Ｗf ＝５００−１５５−１２９−１０３＝１１３（Ｗ） 送風機入力ＷM＝５００Ｗは全て熱エネルギーに変換さ
れ、冷房負荷となるが本発明によれば、送風機入力エネ
ルギーの流れは図５に示す通りであり、 モータ損失／送風機入力＝Ｗm／ＷM＝１５５／５００＝
０．３１＝３１（％） となり送風機入力の３１％が排熱されることになるか
ら、この排熱相当分だけの省エネルギー化が可能となる
ものである。
れ、冷房負荷となるが本発明によれば、送風機入力エネ
ルギーの流れは図５に示す通りであり、 モータ損失／送風機入力＝Ｗm／ＷM＝１５５／５００＝
０．３１＝３１（％） となり送風機入力の３１％が排熱されることになるか
ら、この排熱相当分だけの省エネルギー化が可能となる
ものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明の実施により、簡易な建屋構造に
よって空気浄化ユニット内の送風機用モータから発生す
る熱を容易に、かつ効率的に屋外へ放熱することがで
き、空調装置に対する熱負荷を軽減し省エネルギー化と
低騒音化に効果的な空気清浄装置を低原価で提供するこ
とが可能である。
よって空気浄化ユニット内の送風機用モータから発生す
る熱を容易に、かつ効率的に屋外へ放熱することがで
き、空調装置に対する熱負荷を軽減し省エネルギー化と
低騒音化に効果的な空気清浄装置を低原価で提供するこ
とが可能である。
【図１】本発明の第１実施例を示すクリーンルームの断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の図１の実施例の空気浄化ユニット断面
拡大図である。
拡大図である。
【図３】図１の実施例の送風機及びモータ隔壁内の拡大
断面を示す平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）
である。
断面を示す平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）
である。
【図４】本発明の第２実施例を示すクリーンルームの断
面図である。
面図である。
【図５】送風機入力エネルギーの流れを説明する図であ
る。
る。
【図６】クリーンルーム工場の冷房負荷構成の一例を示
す参考図である。
す参考図である。
１…建屋 ２…床面 ３…天井面 ４…送風機 ５…モータ ６…フィルタ ７…空気浄化ユニット ８…排気ダクト ９…誘導ダクト １０…モータ隔壁 １１…排気管 １２…排気ファン １１ａ…流入管 １１ｂ…流出管 １３…室外空間 １４…圧力室 １５…冷却コイル １６…ヒータ １７…クリーンルーム １８…排気口 １９…連結管 ２０…外気取入口 ２１…外気用プレフィルタ ２２…モータ排熱
用給気ダクト ２３…排気ダクト ２４…モータ排熱
用空気取入口 ２５…熱交換器
用給気ダクト ２３…排気ダクト ２４…モータ排熱
用空気取入口 ２５…熱交換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺野 正幸 新潟県北蒲原郡中条町大字富岡46番１号 株式会社日立製作所 中条工場内 (72)発明者 本間 圭一 東京都千代田区神田駿河台四丁目３番地 日立テクノエンジニアリング株式会社 内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 3/16 F24F 7/06
Claims (3)
- 【請求項１】 送風機と該送風機を駆動するモータ及び
前記送風機の空気吹出し側と連通する圧力室からなる送
風手段と、前記送風手段により加圧された空気を清浄化
する空気清浄手段を有してクリーンルーム内上方に配置
された空気浄化ユニットを備えた空気清浄装置におい
て、 前記モータの少なくとも発熱部を覆う包囲手段と、 前記クリーンルームに供給された空気をその下方から前
記空気浄化ユニットの吸気口へ還流させるように形成さ
れた空気流路と、 前記包囲手段内の空気を前記空気流路外に排出する排出
手段を備えたことを特徴とする空気清浄装置。 - 【請求項２】 前記包囲手段内の空気を前記空気流路外
に排出する排出手段は、前記圧力室内の空気圧と前記空
気流路外との差圧を利用する排出流路を備えたことを特
徴とする請求項１記載の空気清浄装置。 - 【請求項３】 前記排出手段は、前記クリーンルーム外
に通ずる給気ダクト及び排気ダクトと、前記包囲手段内
から前記給気ダクトまたは排気ダクトにそれぞれ連通す
る流路とを備えたことを特徴とする請求項１記載の空気
清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4025312A JP3071928B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4025312A JP3071928B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223280A JPH05223280A (ja) | 1993-08-31 |
| JP3071928B2 true JP3071928B2 (ja) | 2000-07-31 |
Family
ID=12162488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4025312A Expired - Fee Related JP3071928B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3071928B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230045750A (ko) * | 2021-09-28 | 2023-04-05 | 주식회사 저스템 | 열배출기를 포함하는 팬필터유닛 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001003167A1 (fr) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Tokyo Electron Limited | Installation, procede et dispositif de fabrication de semi-conducteurs |
| KR100725998B1 (ko) * | 2006-05-18 | 2007-06-08 | 주식회사 에어화인 | 모터의 발열을 활용하는 환기장치 |
| CN114353207B (zh) * | 2022-01-24 | 2023-04-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 空调机组 |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP4025312A patent/JP3071928B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230045750A (ko) * | 2021-09-28 | 2023-04-05 | 주식회사 저스템 | 열배출기를 포함하는 팬필터유닛 |
| KR102646646B1 (ko) * | 2021-09-28 | 2024-03-14 | 주식회사 저스템 | 열배출기를 포함하는 팬필터유닛 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05223280A (ja) | 1993-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012122716A (ja) | 空調装置 | |
| US11874017B2 (en) | Silencer assembly for air handling unit of an HVAC system | |
| JP3071928B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
| CN112438841A (zh) | 一种移动手术车用环境控制系统及移动手术车 | |
| JPS6023731A (ja) | 空気調和ユニツト | |
| JPH09196445A (ja) | ビルの空調設備 | |
| JP2697419B2 (ja) | 空気調和機 | |
| JP2530292B2 (ja) | 超低騒音形空気調和機 | |
| JP2600351Y2 (ja) | 空気調和機 | |
| JPH04302926A (ja) | ペリメーターゾーンの空調方法 | |
| JPH11304179A (ja) | 空気調和機 | |
| CN217002030U (zh) | 一种燃气发电机组进风系统 | |
| JP3276941B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JP2549212B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JP2907361B2 (ja) | 空気調和機および空気調和システム | |
| JP3079190B2 (ja) | 間仕切壁融合型全熱交換器 | |
| JP2001074273A (ja) | 空気調和装置 | |
| KR100211730B1 (ko) | 공기조화기 | |
| JP3013098B2 (ja) | 天井システム用フィルタユニット | |
| JP2983826B2 (ja) | 空気調和機 | |
| JP2551866Y2 (ja) | 空気調和機用消音チャンバ | |
| JP2573385B2 (ja) | 換気設備用給気装置 | |
| KR200254635Y1 (ko) | 정숙성을 갖는 공기 조화기 | |
| CN114233457A (zh) | 一种燃气发电机组进风系统 | |
| JPH02192526A (ja) | 空気調和装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |