KR20230045750A - 열배출기를 포함하는 팬필터유닛 - Google Patents

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Abstract

일 실시예는, 외부공기의 유해물질을 제거하는 제1필터; 상기 제1필터를 통과한 공기를 가열하는 히터; 가열된 공기를 제1경로를 통해 공정장치로 송풍하는 송풍팬; 및 상기 송풍팬이 정지된 상태에서 상기 제1경로와 다른 제2경로로 상기 히터의 잔열을 배출하는 열배출기를 포함하는 팬필터유닛을 제공한다.

Description

열배출기를 포함하는 팬필터유닛{FAN FILTER UNIT INCLUDING HEAT EXHAUSTER}
본 실시예는 팬필터유닛에 관한 것이다.
반도체 공정장치 내로 오염물질이 차단된 공기를 공급하기 위해 팬필터유닛이 사용될 수 있다.
팬필터유닛은 기본적으로 필터와 송풍팬을 포함하고 있는 장치로서, 필터를 통해 오염물질이 제거된 공기를 송풍팬을 이용하여 공정장치로 전달할 수 있다.
팬필터유닛은 오염물질과 더불어 수분이 차단된 공기를 공급하기 히터를 더 포함할 수 있다.
필터를 통과하면서 오염물질이 제거된 공기는 다시 히터에 의해 가열되면서 수분이 제거될 수 있다. 그리고, 오염물질과 수분이 제거된 공기는 송풍팬에 의해 공정장치로 전달될 수 있다.
한편, 송풍팬이 동작될 때, 외부의 공기가 지속적으로 유입되기 때문에 히터에서 생성된 열이 확산되지만 송풍팬이 동작하지 않으면, 히터에서 생성된 열이 확산되지 않으면서 내부 구성-예를 들어, 필터나 송풍팬-에 열손상을 일으킬 수 있다.
공정장치 내로 공기를 공급하지 않기 위해 송풍팬이 정지될 수 있는데, 이때, 히터를 오프시키더라도 히터의 열용량에 의해 저장된 열-잔열-이 주변 구성에 영향을 미치면서 열손상을 일으킬 수 있다.
이러한 배경에서, 본 실시예의 목적은, 일 측면에서, 히터의 열에 의한 주변 구성의 열손상을 방지할 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 다른 측면에서, 본 실시예의 목적은, 히터의 잔열을 배출할 수 있는 팬필터유닛을 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예는, 외부공기의 유해물질을 제거하는 제1필터; 상기 제1필터를 통과한 공기를 가열하는 히터; 가열된 공기를 제1경로를 통해 공정장치로 송풍하는 송풍팬; 및 상기 송풍팬이 정지된 상태에서 상기 제1경로와 다른 제2경로로 상기 히터의 잔열을 배출하는 열배출기를 포함하는 팬필터유닛을 제공한다.
이러한 팬필터유닛은, 상기 제2경로의 일부를 구성하는 열배출관을 더 포함하고, 상기 열배출기는 상기 열배출관에 배치되며, 상기 열배출관은 상기 히터와 상기 송풍팬 사이에 위치할 수 있다.
상기 송풍팬의 정지시간에서 일정 범위 이내의 시간에 상기 열배출기의 동작이 시작될 수 있다.
이러한 팬필터유닛은, 상기 제1경로의 일 위치에 배치되는 온도계를 더 포함하고, 상기 온도계에서 측정되는 온도값이 기준값을 초과하면 상기 히터가 정지되고, 상기 열배출기의 동작이 시작될 수 있다.
이러한 팬필터유닛은, 온도계 및 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 송풍팬이 정지할 때 혹은 상기 온도계에서 측정되는 온도값이 기준값을 초과할 때, 상기 히터를 정지시키고 상기 열배출기를 동작시킬 수 있다.
다른 실시예는, 외부공기의 유해물질을 제거하는 제1필터; 상기 제1필터를 통과한 공기를 가열하는 히터; 가열된 공기를 제1경로를 통해 공정장치로 송풍하는 송풍팬; 및 상기 공정장치의 전원이 오프되면 상기 제1경로와 다른 제2경로로 상기 히터의 잔열을 배출하는 열배출기를 포함하는 팬필터유닛을 제공한다.
상기 열배출기는, 전력망에서 전력을 수급하는 외부전력원과, 에너지저장장치로부터 전력을 수급하는 내부전력원을 포함하고, 상기 외부전력원으로부터의 전력공급이 차단된 것을 인식하면, 상기 내부전력원을 이용하여 상기 히터의 잔열 배출을 위한 동작을 시작할 수 있다.
상기 공정장치의 전원과 상기 외부전력원은 동일한 전력망을 통해 전력을 공급받을 수 있다.
상기 열배출기는, 상기 송풍팬이 정지하면 상기 히터의 잔열 배출을 위한 동작을 시작할 수 있다.
상기 제2경로는 상기 제1필터와 상기 히터를 통과하고 상기 송풍팬을 통과하지 않는 경로일 수 있다.
상기 열배출기는 전력이 공급될 때, 상기 제2경로를 폐쇄하고, 전력이 공급되지 않을 때, 상기 제2경로를 개방할 수 있다.
상기 팬필터유닛은 상기 제2경로의 일부를 구성하는 열배출관을 더 포함하고, 상기 열배출관의 외부측에는 일정 압력 이상의 공기를 공급하는 공기공급부가 배치될 수 있다.
일 예로서, 상기 열배출기는 밸브와 배출팬을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 열배출기는 밸브를 개방시키고 배출팬을 동작시켜 열배출관의 내부측에서 외부측으로 공기의 흐름을 형성시킬 수 있다.
다른 예로서, 상기 열배출기는 배출팬없는 구조로서 밸브를 포함할 수 있다. 이러한 구조에서 열배출관의 외부측에는 일정 압력 이상의 공기를 공급하는 공기공급부가 배치될 수 있다. 그리고, 이러한 배치에 따라 외부측의 기압이 내부측의 기압보다 높을 수 있다. 다른 예에서, 상기 열배출기는 밸브를 개방시켜 열배출관의 외부측에서 내부측으로 공기의 흐름을 형성시킬 수 있다.
밸브는 전력이 공급될 때, 열배출관을 폐쇄시키고, 전력이 공급되지 않을 때, 열배출관을 개방시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 실시예에 의하면, 히터의 열에 의한 주변 구성의 열손상을 방지할 수 있다. 그리고, 본 실시예에 의하면, 송풍팬이 정지할 때, 내부에 축적될 수 있는 히터의 잔열을 외부로 배출시킬 수 있게 된다.
도 1은 일 실시예에 따른 팬필터유닛의 구성도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 제어기의 제1예시 신호흐름도이다.
도 3은 히터가 오프된 상태에서의 주변 온도를 나타내는 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따른 열배출기의 구성 및 배치를 나타내는 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 제어기의 제2예시 신호흐름도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 팬필터유닛의 열배출 방법의 흐름도이다.
도 7은 다른 실시예에 따른 열배출기의 구성도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 팬필터유닛의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 팬필터유닛(100)은 제1필터(110), 히터(120), 송풍팬(130), 제2필터(140) 및 열배출기(150) 등을 포함할 수 있다.
제1필터(110)는 유입되는 공기 중에서 반도체 공정에 유해한 가스-예를 들어, 염기, 산, 유기물질-를 제거할 수 있다. 제1필터(110)는 활성탄필터를 포함할 수 있고, 활성탄필터 이외에 제거하고자 하는 가스를 선택적으로 제거할 수 있는 필터를 더 포함할 수 있다.
제1필터(110)는 분진필터를 이용하여 유입되는 공기 중에서 비교적 입자크기가 큰 입자-예를 들어, 10um 이상의 직경을 가지는 입자-를 제거할 수 있다.
분진필터와 활성탄필터의 배치에 있어서, 분진필터가 외측에 배치되고 활성탄필터가 내측에 배치될 수 있다.
외부공기와의 경계측에 제1필터(110)가 배치되고, 공정장치(30)와의 경계측에 제2필터(140)가 배치될 수 있다.
제2필터(140)는 유입되는 공기 중에서 상대적으로 입자크기가 작은 입자-예를 들어, 0.1um 크기의 초미세입자-를 제거할 수 있다.
제2필터(140)는 울파(ULPA : ultra-low particulate air)필터를 포함하고 있으면서, 초미세입자들을 제거한 공기를 공정장치(30) 내로 전달할 수 있다.
송풍팬(130)은 외부공기, 제1필터(110), 제2필터(140) 및 공정장치(30)로 연결되는 제1경로(10)로 공기흐름을 형성시킬 수 있다.
제1경로(10)에서 외부공기는 제1필터(110)를 통과하고, 송풍팬(130)을 통과하고, 제2필터(140)를 통과한 후 공정장치(30) 내로 전달될 수 있다.
제1경로(10)에는 히터(120)가 더 배치될 수 있다. 히터(120)는 제1경로(10)에서 제1필터(110)와 송풍팬(130) 사이에 배치될 수 있다. 그리고, 제1경로(10)는 외부공기, 제1필터(110), 히터(120), 송풍팬(130), 제2필터(140) 및 공정장치(30)의 순서로 형성될 수 있다.
히터(120)는 제1필터(110)를 통과한 공기를 가열시킬 수 있다. 히터(120)는 발열선, 발열봉 등의 발열원을 가질 수 있고, 이러한 발열원과의 접촉에 의해 혹은 발열원에서의 복사열에 의해 공기가 가열될 수 있다.
히터(120)의 발열원은 전력에 의해 동작될 수 있다. 히터(120)는 히터제어기를 포함하고 있으면서, 히터제어기를 통해 발열원으로 공급되는 전력량을 제어할 수 있다. 히터제어기는 발열원에 대한 전력의 온오프(ON/OFF)를 제어할 수도 있다.
히터(120)의 발열원은 열용량을 가질 수 있다. 그리고, 이러한 열용량에 의해 전력공급이 차단된 후에도 일정 수준 이상의 온도를 가지면서 열을 발산할 수 있다.
각 구성 사이에는 일정한 공간의 공기층을 가지는 버퍼들이 배치될 수 있다.
제1필터(110)와 히터(120) 사이에는 제1버퍼(112)가 배치되고, 히터(120)와 송풍팬(130) 사이에는 제2버퍼(122)가 배치되고, 송풍팬(130)과 제2필터(140) 사이에는 제3버퍼(132)가 배치될 수 있다.
제1버퍼(112)와 제2버퍼(122)는 외부에서 유입되는 공기에게 체류공간을 제공함으로써 히터(120)에서 생성된 열이 골고루 전달되도록 하는 기능을 수행할 수 있다.
제3버퍼(132)는 제1버퍼(112)나 제2버퍼(122)보다 넓은 면적을 가질 수 있다. 제2필터(140)는 제1필터(110)보다 상대적으로 작은 입자크기를 통과시키기 때문에 공기흐름에 저항을 만들 수 있다. 이러한 저항을 감소시키고 풍량을 증가시키기 위해 제2필터(140)가 제1필터(110)보다 넓은 면적을 가질 수 있고, 이에 대응되도록 제3버퍼(132)가 제1버퍼(112)나 제2버퍼(122)보다 넓은 면적을 가질 수 있다.
팬필터유닛(100)은 온도계(121)를 더 포함할 수 있다. 온도계(121)는 제1경로(10)에서 버퍼들 중 하나에 배치될 수 있는데, 예를 들어, 온도계(121)는 제2버퍼(122)의 측벽에 배치될 수 있다.
팬필터유닛(100)은 제어기(160)를 더 포함할 수 있다.
제어기(160)는 히터(120)와 송풍팬(130)의 동작을 제어할 수 있다. 제어기(160)는 히터(120)의 온오프를 제어할 수 있고, 송풍팬(130)의 온오프를 제어할 수 있다.
공정장치(30)로의 공기 공급이 필요없을 때, 제어기(160)는 송풍팬(130)을 정지시킬 수 있다. 그리고, 제어기(160)는 송풍팬(130)의 정지에 대응하여 히터(120)를 오프시킬 수 있다.
제어기(160)는 온도계(121)에서 측정되는 온도값이 기준값을 초과하거나, 송풍팬(130)이 정지하거나 공정장치(30)의 전원이 오프될 때, 히터(120)를 오프시키고, 송풍팬(130)도 정지시킬 수 있다.
이때, 제1경로(10)에서의 공기흐름이 발생하지 않으면서, 히터(120) 주변의 공기가 정체된 상태로 히터(120)의 잔열에 의해 가열될 수 있다.
히터(120)의 잔열에 의해 가열된 공기는 제1필터(110)를 열손상시킬 수 있고, 송풍팬(130)을 열손상시킬 수 있다.
이러한 히터(120)의 잔열을 배출시키기 위해 송풍팬(130)이 정지된 상태에서는 열배출기(150)가 동작할 수 있다.
열배출기(150)는 제1경로(10)와는 다른 제2경로(20)로 공기흐름을 형성하면서 히터(120)의 잔열을 배출할 수 있다. 제2경로(20)는 공정장치(30)와 연통되지 않는 경로이다. 이에 따라, 열배출기(150)는 공정장치(30)에 영향을 주지 않으면서 히터(120)의 잔열을 외부로 배출할 수 있게 된다.
팬필터유닛(100)은 내부와 외부를 연통시키는 열배출관(124)을 더 포함할 수 있다.
열배출관(120)은 제2경로(20)의 일부를 구성할 수 있고, 열배출기(150)는 열배출관(124)에 배치될 수 있다.
열배출관(124)은 히터(120)와 송풍팬(130) 사이에 위치할 수 있는데, 예를 들어, 열배출관(124)은 제2버퍼(122)와 연결될 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 제어기의 제1예시 신호흐름도이다.
도 2를 참조하면, 제어기(160)는 공정장치(30)에 대한 제1입력신호(DI1)를 획득하고, 송풍팬(130)에 대한 제2입력신호(DI2)를 획득하고, 온도계(121)에 대한 제3입력신호(DI3)를 획득할 수 있다. 제어기(160)는 각 장치로부터 각 입력신호를 수신할 수도 있고, 각 장치의 상태를 모니터링하면서 각 입력신호를 생성할 수도 있다. 예를 들어, 제어기(160)는 공정장치(30)나 송풍팬(130)의 상태를 모니터링하고 있으면서, 제1입력신호(DI1) 혹은 제2입력신호(DI2)를 획득할 수도 있고, 온도계(121)로부터 제3입력신호(DI3)를 수신할 수도 있다.
제1입력신호(DI1)는 공정장치(30) 전원의 온오프상태에 대한 값을 포함할 수 있다. 제어기(160)는 제1입력신호(DI1)를 통해 공정장치(30) 전원의 온오프상태를 파악할 수 있다.
제2입력신호(DI2)는 송풍팬(130)의 온오프상태에 대한 값을 포함할 수 있다. 제어기(160)는 제2입력신호(DI2)를 통해 송풍팬(130)의 온오프상태를 파악할 수 있다.
그리고, 제어기(160)는 제3입력신호(DI3)를 통해 제1경로의 온도를 파악할 수 있다.
제어기(160)는 각각의 입력신호를 통해, 공정장치(30)의 전원이 오프된 것을 파악했을 때, 송풍팬(130)의 정지를 확인했을 때, 온도값이 기준값초과인지 확인했을 때, 히터(120)로 제1출력신호(DO1)를 송신하여 히터(120)를 오프시킬 수 있다.
도 3은 히터가 오프된 상태에서의 주변 온도를 나타내는 도면이다.
도 3의 그래프에서 히터는 Toff라고 표시된 시간에서 오프되었다.
Toff 시간 이전에는 히터와 송풍팬이 모두 동작하고 있기 때문에 히터 주변의 온도가 기준값(내열온도)보다 낮게 유지되고 있다.
그런데, Toff 시간 이후에 히터가 오프되었지만 송풍팬도 함께 오프되면서 히터의 잔열에 의해 주변 온도가 올라갔다가 내려가는 것을 알 수 있다.
이때, 주변 온도는 기준값(내열온도)보다 높게 올라갈 수 있는데, 기준값보다 높은 온도상태에서 주변 구성에 누적되는 열피로량(312)에 따라 주변 구성에 열손상이 발생할 수도 있다.
이러한 문제는 송풍팬이 오프될 때, 열배출기를 동작시킴으로써 해소될 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 열배출기의 구성 및 배치를 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 열배출기(150)는 밸브(152)와 배출팬(154)을 포함할 수 있다.
열배출기(150)는 송풍팬의 정지시간에서 일정 범위 이내의 시간에서 밸브(152)를 개방시키고 배출팬(154)을 동작시켜 열배출관(124)의 내부측에서 외부측으로 공기의 흐름을 형성시킬 수 있다.
열배출기(150)는 송풍팬을 정지시킴과 동시에 밸브(152)를 개방시키고 배출팬(154)을 동작시킬 수 있다. 혹은 열배출기(150)는 송풍팬이 정지된 후 일정 시간 이내에서 동작을 시작할 수 있다. 혹은 열배출기(150)는 송풍팬이 정지되기 전 일정 시간 이내에서 먼저 동작을 시작하고, 그 후에 송풍팬이 정지될 수 있다.
도 5는 일 실시예에 따른 제어기의 제2예시 신호흐름도이다.
도 3의 제1예시와 대비하여 도 5의 제2예시에서는 히터(120)에 대한 제4입력신호(DI4)가 더 나타나고 있으며, 열배출기(150)를 제어하는 제2출력신호(DO2)가 더 나타나고 있다.
제어기(160)는 공정장치(30)에 대한 제1입력신호(DI1)를 획득하고, 송풍팬(130)에 대한 제2입력신호(DI2)를 획득하고, 온도계(121)에 대한 제3입력신호(DI3)를 획득하고, 히터(120)에 대한 제4입력신호(DI4)를 획득할 수 있다.
제어기(160)는 각 장치로부터 각 입력신호를 수신할 수도 있고, 각 장치의 상태를 모니터링하면서 각 입력신호를 생성할 수도 있다. 예를 들어, 제어기(160)는 공정장치(30)나 송풍팬(130)이나 히터(120)의 상태를 모니터링하고 있으면서, 제1입력신호(DI1) 혹은 제2입력신호(DI2) 혹은 제4입력신호(DI4)를 획득할 수도 있고, 온도계(121)로부터 제3입력신호(DI3)를 수신할 수도 있다.
제1입력신호(DI1)는 공정장치(30) 전원의 온오프상태에 대한 값을 포함할 수 있다. 제어기(160)는 제1입력신호(DI1)를 통해 공정장치(30) 전원의 온오프상태를 파악할 수 있다.
제2입력신호(DI2)는 송풍팬(130)의 온오프상태에 대한 값을 포함할 수 있다. 제어기(160)는 제2입력신호(DI2)를 통해 송풍팬(130)의 온오프상태를 파악할 수 있다.
제4입력신호(DI4)는 히터(120)의 온오프상태에 대한 값을 포함할 수 있다. 제어기(160)는 제4입력신호(DI4)를 통해 히터(120)의 온오프상태를 파악할 수 있다.
그리고, 제어기(160)는 제3입력신호(DI3)를 통해 제1경로의 온도를 파악할 수 있다.
제어기(160)는 각각의 입력신호를 통해, 공정장치(30)의 전원이 오프된 것을 파악했을 때, 송풍팬(130)의 정지를 확인했을 때, 온도값이 기준값초과인지 확인했을 때, 히터(120)로 제1출력신호(DO1)를 송신하여 히터(120)를 오프시키고, 열배출기(150)로 제2출력신호(DO2)를 송신하여 열배출기(150)를 동작시킬 수 있다.
혹은 제어기(160)는 제2입력신호(DI2)를 통해 송풍팬(130)이 정지된 상태이고, 제4입력신호(DI4)를 통해 히터(120)가 정지된 상태인 것을 확인하면, 열배출기(150)로 제2출력신호(DO2)를 송신하여 열배출기(150)를 동작시킬 수 있다.
도 6은 일 실시예에 따른 팬필터유닛의 열배출 방법의 흐름도이다.
도 6을 참조하면, 팬필터유닛은 특정 조건이 만족될 때 혹은 외부의 장치의 요청에 따라 송풍팬을 오프시킬 수 있다(S600).
그리고, 팬필터유닛은 송풍팬의 오프에 따라 히터를 오프시킬 수 있다(S602).
그리고, 팬필터유닛은 송풍팬과 히터의 오프를 확인하고, 배출팬을 온시켜 열배출기를 동작시킬 수 있다(S604).
도 7은 다른 실시예에 따른 열배출기의 구성도이다.
도 7을 참조하면, 열배출기(700)는 밸브(152), 배출팬(154), 서브제어기(710), 외부전력원(720) 및 비상전력원(730) 등을 포함할 수 있다.
서브제어기(710)는 외부의 신호-예를 들어, 도 5에서 제2출력신호(DO2)-에 따라 밸브(152)를 개방하고 배출팬(154)을 동작시킬 수 있다.
혹은 서브제어기(710)는 송풍팬이 정지된 것과 히터가 정지된 것을 확인하고, 밸브(152)를 개방하고 배출팬(154)을 동작시킬 수 있다.
서브제어기(710)는 공정장치 전원의 온오프 상태를 확인하고, 공정장치의 전원이 오프되면, 히터의 잔열을 배출하기 위해 밸브(152)를 개방하고 배출팬(154)을 동작시킬 수 있다.
서브제어기(710)는 공정장치 전원의 온오프 상태를 제어기로부터 전달되는 신호-예를 들어, 도 5에서 제2출력신호(DO2)-를 통해 확인할 수 있다.
서브제어기(710)는 외부전력원(720)의 상태를 확인하여 공정장치 전원의 온오프 상태를 확인할 수도 있다.
외부전력원(720)은 외부의 전력망으로부터 전력을 수급할 수 있다. 그리고, 서브제어기(710)는 외부전력원(720)으로부터의 전력공급이 차단된 것을 인식하면, 내부전력원(730)을 이용하여 히터의 잔열 배출을 위한 동작을 시작할 수 있다.
외부전력원(720)은 공정장치의 전원과 동일한 전력망을 통해 전력을 공급받을 수 있는데, 서브제어기(710)는 외부전력원(720)을 통해 이러한 전력망의 이상을 감지하고 내부전력원(730)을 이용하여 동작할 수 있다.
내부전력원(730)은 내부에 포함하는 에너지저장장치-예를 들어, 배터리-를 통해 전력을 수급할 수 있기 때문에 외부 전력망으로부터의 전력이 차단되어도 밸브(152)와 배출팬(154)으로 전력을 공급할 수 있다.
도 8은 또 다른 실시예에 따른 열배출기를 나타내는 도면이다.
도 8을 참조하면, 열배출기(800)는 밸브(852)를 포함할 수 있다.
밸브(852)는 열배출관(124)을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다. 밸브(852)는 열배출관(124)의 유로를 개방시켜 열배출관(124)에 공기흐름을 형성시킬 수 있고, 열배출관(124)의 유로를 폐쇄시켜 열배출관(124)의 공기흐름을 차단시킬 수 있다.
밸브(852)는 전력이 공급되면 열배출관(124)의 유로를 폐쇄시키고 전력이 공급되지 않으면 열배출관(124)의 유로를 개방시킬 수 있다.
열배출관(124)의 외부측에는 일정 압력 이상의 공기를 공급하는 공기공급부(미도시)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 외부측에는 고압의 가스(공기)공급통이 연결될 수 있다.
열배출관(124)의 외부측의 기압은 열배출관(124)의 내부측의 기압보다 높을 수 있다.
열배출기(800)는 송풍팬이 정지된 것과 히터가 정지된 것을 확인하고, 밸브(852)를 개방할 수 있다. 이때, 밸브(852)의 개방에 따라 외부측의 공기가 내부측으로 공급되면서 히터가 냉각될 수 있다.
그리고, 송풍팬이 동작할 때, 열배출기(800)는 전력을 공급받아 밸브(852)를 폐쇄할 수 있다.
이러한 실시예에 의하면, 예기치 못한 정전이나 일부 전원 차단 등의 상황에서도 밸브(852)의 개방을 통해 내부측으로 공기흐름을 형성시켜 히터를 냉각시킬 수 있게 된다.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 외부공기의 유해물질을 제거하는 제1필터;
    상기 제1필터를 통과한 공기를 가열하는 히터;
    가열된 공기를 제1경로를 통해 공정장치로 송풍하는 송풍팬; 및
    상기 송풍팬이 정지된 상태에서 상기 제1경로와 다른 제2경로로 상기 히터의 잔열을 배출하는 열배출기
    를 포함하는 팬필터유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2경로의 일부를 구성하는 열배출관을 더 포함하고,
    상기 열배출기는 상기 열배출관에 배치되며,
    상기 열배출관은 상기 히터와 상기 송풍팬 사이에 위치하는 팬필터유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 송풍팬의 정지시간에서 일정 범위 이내의 시간에 상기 열배출기의 동작이 시작되는 팬필터유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1경로의 일 위치에 배치되는 온도계를 더 포함하고,
    상기 온도계에서 측정되는 온도값이 기준값을 초과하면 상기 히터가 정지되고, 상기 열배출기의 동작이 시작되는 팬필터유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    온도계 및 제어기를 더 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 송풍팬이 정지할 때 혹은 상기 온도계에서 측정되는 온도값이 기준값을 초과할 때, 상기 히터를 정지시키고 상기 열배출기를 동작시키는 팬필터유닛.
  6. 외부공기의 유해물질을 제거하는 제1필터;
    상기 제1필터를 통과한 공기를 가열하는 히터;
    가열된 공기를 제1경로를 통해 공정장치로 송풍하는 송풍팬; 및
    상기 공정장치의 전원이 오프되면 상기 제1경로와 다른 제2경로로 상기 히터의 잔열을 배출하는 열배출기
    를 포함하는 팬필터유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 열배출기는,
    전력망에서 전력을 수급하는 외부전력원과, 에너지저장장치로부터 전력을 수급하는 내부전력원을 포함하고,
    상기 외부전력원으로부터의 전력공급이 차단된 것을 인식하면, 상기 내부전력원을 이용하여 상기 히터의 잔열 배출을 위한 동작을 시작하는 팬필터유닛.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 공정장치의 전원과 상기 외부전력원은 동일한 전력망을 통해 전력을 공급받는 팬필터유닛.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 열배출기는,
    상기 송풍팬이 정지하면 상기 히터의 잔열 배출을 위한 동작을 시작하는 팬필터유닛.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제2경로는 상기 제1필터와 상기 히터를 통과하고 상기 송풍팬을 통과하지 않는 경로인 팬필터유닛.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 열배출기는 전력이 공급될 때, 상기 제2경로를 폐쇄하고, 전력이 공급되지 않을 때, 상기 제2경로를 개방하는 팬필터유닛.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2경로의 일부를 구성하는 열배출관을 더 포함하고,
    상기 열배출관의 외부측에는 일정 압력 이상의 공기를 공급하는 공기공급부가 배치되는 팬필터유닛.
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KR20210054661A (ko) * 2019-11-06 2021-05-14 (주)마스 케미컬 필터와 온도 습도 제어 기능이 결합된 팬 필터 유닛

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