JP3060645B2 - チップイングラス型蛍光表示パネル - Google Patents
チップイングラス型蛍光表示パネルInfo
- Publication number
- JP3060645B2 JP3060645B2 JP3248667A JP24866791A JP3060645B2 JP 3060645 B2 JP3060645 B2 JP 3060645B2 JP 3248667 A JP3248667 A JP 3248667A JP 24866791 A JP24866791 A JP 24866791A JP 3060645 B2 JP3060645 B2 JP 3060645B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- groove
- fluorescent display
- type fluorescent
- display panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光表示パネルに関
し、特に駆動用ICを真空外囲器内に内蔵するチップイ
ングラス型蛍光表示パネルに関する。
し、特に駆動用ICを真空外囲器内に内蔵するチップイ
ングラス型蛍光表示パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のチップイングラス型蛍光表示管
は、以下に示すような構造を有している。すなわち、図
4に示したように、Al配線されたガラス基板1の絶縁
層2の上にダイボンド材3を塗布し、その上にチップ4
を載せ、ダイボンド材3のキュアー後、ワイヤボンダに
よりチップ4と基板上のボンディングパッド5とをボン
ディングワイヤー6により結線し、この後、封入・排気
等の工程を経て完成する。
は、以下に示すような構造を有している。すなわち、図
4に示したように、Al配線されたガラス基板1の絶縁
層2の上にダイボンド材3を塗布し、その上にチップ4
を載せ、ダイボンド材3のキュアー後、ワイヤボンダに
よりチップ4と基板上のボンディングパッド5とをボン
ディングワイヤー6により結線し、この後、封入・排気
等の工程を経て完成する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この従来のチップ固定
方法によれば、ダイボンド材3は自重によって外側へ広
がってゆくし、またチップ4をマウントする際ICチッ
プ4をダイボンド材3に対して押し下げるようにするた
め、チップ4と絶縁層2との間からダイボンド材3がは
み出してしまう。このはみ出し方が図4のように均一
で、かつチップ4を固定する形になるとは限らず、時と
して図5のように、広がりすぎたり、またチップ4とダ
イボンド材3との間にすき間ができたり、また図6のよ
うにチップ4の下のダイボンド材3の厚みがほとんどな
くなったりする場合があった。そのため、ダイ強度が1
kgにも満たずダイ剥がれ不良などが発生することがあ
った。
方法によれば、ダイボンド材3は自重によって外側へ広
がってゆくし、またチップ4をマウントする際ICチッ
プ4をダイボンド材3に対して押し下げるようにするた
め、チップ4と絶縁層2との間からダイボンド材3がは
み出してしまう。このはみ出し方が図4のように均一
で、かつチップ4を固定する形になるとは限らず、時と
して図5のように、広がりすぎたり、またチップ4とダ
イボンド材3との間にすき間ができたり、また図6のよ
うにチップ4の下のダイボンド材3の厚みがほとんどな
くなったりする場合があった。そのため、ダイ強度が1
kgにも満たずダイ剥がれ不良などが発生することがあ
った。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、チップイング
ラス型蛍光表示パネルにおいて、真空外容器の絶縁層上
に4辺がチップサイズより大きい第1の溝部と、その中
に2辺がチップサイズより大きく、残りの2辺がチップ
サイズより小さい第2の溝部を設け、第2の溝部内にダ
イボンド材を充填し、その上にチップを載せて固定する
構造を有することを特徴とする。また、第1の溝部の長
さ及び幅はチップサイズよりも0.2mm程度大きく
し、第2の溝部はその肩にチップが乗るように第1の溝
部より0.5mm程度小さくしてもよい。
ラス型蛍光表示パネルにおいて、真空外容器の絶縁層上
に4辺がチップサイズより大きい第1の溝部と、その中
に2辺がチップサイズより大きく、残りの2辺がチップ
サイズより小さい第2の溝部を設け、第2の溝部内にダ
イボンド材を充填し、その上にチップを載せて固定する
構造を有することを特徴とする。また、第1の溝部の長
さ及び幅はチップサイズよりも0.2mm程度大きく
し、第2の溝部はその肩にチップが乗るように第1の溝
部より0.5mm程度小さくしてもよい。
【0005】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a),(b)は本発明の第1の実施例を示す
平面図及び断面図である。絶縁層2はガラス基板1に通
常のスクリーン印刷の技術を用いて2層作られる。その
際にスクリーンを2種類用い、1番目に第2の溝7を作
り、2番目に第1の溝8を作る。絶縁層の厚さは約10
μm×2=20μmなので、第1の溝8の深さは約10
μm,第2の溝7の深さは約20μmとなる。また第1
の溝8の長さ、幅はICよりも0.2mm程度大きく
し、第2の溝7はその肩にICが乗るように第1の溝よ
り0.5mm程度小さくする。なお、5はボンディング
パッドである。
る。図1(a),(b)は本発明の第1の実施例を示す
平面図及び断面図である。絶縁層2はガラス基板1に通
常のスクリーン印刷の技術を用いて2層作られる。その
際にスクリーンを2種類用い、1番目に第2の溝7を作
り、2番目に第1の溝8を作る。絶縁層の厚さは約10
μm×2=20μmなので、第1の溝8の深さは約10
μm,第2の溝7の深さは約20μmとなる。また第1
の溝8の長さ、幅はICよりも0.2mm程度大きく
し、第2の溝7はその肩にICが乗るように第1の溝よ
り0.5mm程度小さくする。なお、5はボンディング
パッドである。
【0006】図2(a),(b)は第1の実施例にチッ
プ4をマウントした状態を示す平面図および断面図であ
る。ガラス基板1の上にはAl薄膜技術によりAl配線
がされている。その上にはスクリーン印刷の技術によっ
て第1,第2の溝7,8及び蛍光体とAl配線との導通
を図るための穴を有する絶縁層が設けられ、その穴には
導通用のグラファイトが塗布される。そして絶縁層の上
には導通用のグラファイトを介してパターン状のグラフ
ァイト層が設けられ、その上に蛍光体が形成される。ま
た第2の溝部7にはダイボンド材3が塗布され、その上
にチップ4が第1の溝部8にぴったりはまるような形で
マウントされ、キュアーしてチップ4を固定する。この
状態で基板上のボンディングパット5とチップ4がワイ
ヤボンダによってボンディングワイヤー6で結線され
る。その後グリッド,フィラメント等の電極部品やカバ
ーガラス等と共に組み立てられ、フリットガラスの溶融
によって封入が行われる。そして内部を真空に引き、封
止して完成する。
プ4をマウントした状態を示す平面図および断面図であ
る。ガラス基板1の上にはAl薄膜技術によりAl配線
がされている。その上にはスクリーン印刷の技術によっ
て第1,第2の溝7,8及び蛍光体とAl配線との導通
を図るための穴を有する絶縁層が設けられ、その穴には
導通用のグラファイトが塗布される。そして絶縁層の上
には導通用のグラファイトを介してパターン状のグラフ
ァイト層が設けられ、その上に蛍光体が形成される。ま
た第2の溝部7にはダイボンド材3が塗布され、その上
にチップ4が第1の溝部8にぴったりはまるような形で
マウントされ、キュアーしてチップ4を固定する。この
状態で基板上のボンディングパット5とチップ4がワイ
ヤボンダによってボンディングワイヤー6で結線され
る。その後グリッド,フィラメント等の電極部品やカバ
ーガラス等と共に組み立てられ、フリットガラスの溶融
によって封入が行われる。そして内部を真空に引き、封
止して完成する。
【0007】図3(a),(b)は本発明の第2の実施
例を示す平面図と断面図である。製法は第1の実施例と
ほとんど同じてあるが、第2の溝部7の2辺はチップサ
イズより大きく、残りの2辺はチップサイズより小さく
なっており、第1の溝部8もそれに応じて大きくなって
いる部分を有することが特徴となっている。
例を示す平面図と断面図である。製法は第1の実施例と
ほとんど同じてあるが、第2の溝部7の2辺はチップサ
イズより大きく、残りの2辺はチップサイズより小さく
なっており、第1の溝部8もそれに応じて大きくなって
いる部分を有することが特徴となっている。
【0008】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、絶縁層
上に設けた第1,第2の溝によりダイボンド材の面積,
厚さを一定に保つことができ、ダイ強度は15kg程度
の強度を得ることができる。。また第2の実施例では、
ダイボンド材が多くても逃げ道があり、また溶媒がここ
から出てゆくので、溶媒がチップの下にこもってダイ剥
がれ不良を起こすということも減少する。
上に設けた第1,第2の溝によりダイボンド材の面積,
厚さを一定に保つことができ、ダイ強度は15kg程度
の強度を得ることができる。。また第2の実施例では、
ダイボンド材が多くても逃げ道があり、また溶媒がここ
から出てゆくので、溶媒がチップの下にこもってダイ剥
がれ不良を起こすということも減少する。
【図1】本発明の第1の実施例を示す図であり、(a)
図は平面図、(b)図は(a)図のAA断面図である。
図は平面図、(b)図は(a)図のAA断面図である。
【図2】本発明の第1の実施例のワイヤボンディング後
を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図の
AA断面図である。
を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図の
AA断面図である。
【図3】本発明の第2の実施例のワイヤボンディング後
を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図の
AA断面図である。
を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図の
AA断面図である。
【図4】従来のチップイングラス型蛍光表示パネルのI
Cマウント部とボンディングパッド部のワイヤボンディ
ング後の断面図である。
Cマウント部とボンディングパッド部のワイヤボンディ
ング後の断面図である。
【図5】従来の製法による不良例を示す断面図である。
【図6】従来の製法による他の不良例を示す断面図であ
る。
る。
1 ガラス基板 2 絶縁層 3 ダイボンド材 4 チップ 5 ボンディングパッド 6 ボンディングワイヤー 7 第2の溝部 8 第1の溝部
Claims (2)
- 【請求項1】 チップイングラス型蛍光表示パネルにお
いて、真空外容器の絶縁層上に4辺がチップサイズより
大きい第1の溝部と、その中に2辺がチップサイズより
大きく、残りの2辺がチップサイズより小さい第2の溝
部を設け、第2の溝部内にダイボンド材を充填し、その
上にチップを載せて固定したことを特徴とするチップイ
ングラス型蛍光表示パネル。 - 【請求項2】 チップイングラス型蛍光表示パネルにお
いて、真空外容器の絶縁層上に長さ及び幅がチップサイ
ズよりも0.2mm程度大きい第1の溝部と、その中に
長さ及び幅が第1の溝部より0.5mm程度小さい第2
の溝部を設け、第2の溝部内にダイボンド材を充填し、
その上にチップを載せて固定したことを特徴とするチッ
プイングラス型蛍光表示パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3248667A JP3060645B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | チップイングラス型蛍光表示パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3248667A JP3060645B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | チップイングラス型蛍光表示パネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0589805A JPH0589805A (ja) | 1993-04-09 |
JP3060645B2 true JP3060645B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=17181548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3248667A Expired - Lifetime JP3060645B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | チップイングラス型蛍光表示パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3060645B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP3248667A patent/JP3060645B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0589805A (ja) | 1993-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2978861B2 (ja) | モールドbga型半導体装置及びその製造方法 | |
JP2003017646A (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP2973792B2 (ja) | 樹脂封止形半導体装置 | |
JP2904141B2 (ja) | 半導体装置 | |
EP0090566A2 (en) | Semiconductor device package | |
JPH01303730A (ja) | 半導体素子の実装構造とその製造方法 | |
JP3060645B2 (ja) | チップイングラス型蛍光表示パネル | |
JPH07283334A (ja) | 気密封止電子部品 | |
JP2003243598A (ja) | 半導体装置及びその半導体装置の製造方法 | |
JPS61147555A (ja) | 半導体装置 | |
JP2679224B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0547988A (ja) | 半導体装置 | |
JPH10303227A (ja) | 半導体パッケージ及びその製造方法 | |
JP2785575B2 (ja) | Ic内蔵型蛍光表示管とその製造方法 | |
JP2834069B2 (ja) | チップイングラス型蛍光表示管 | |
JP2810551B2 (ja) | 半導体パッケージ | |
JPH08130267A (ja) | 樹脂封止型半導体パッケージ、それを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP3051225B2 (ja) | 集積回路用パッケージ | |
JP2001210781A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JPH05145002A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0574348A (ja) | チツプイングラス型蛍光表示パネルの製造方法 | |
JPH0547835A (ja) | 半導体装置の実装構造 | |
JPH0556605B2 (ja) | ||
JPH01205433A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0547948A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000328 |