JP3049102B2 - ダイナミックram - Google Patents

ダイナミックram

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JP3049102B2
JP3049102B2 JP3049988A JP4998891A JP3049102B2 JP 3049102 B2 JP3049102 B2 JP 3049102B2 JP 3049988 A JP3049988 A JP 3049988A JP 4998891 A JP4998891 A JP 4998891A JP 3049102 B2 JP3049102 B2 JP 3049102B2
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイナミックRAMに
関し、更に詳しくは、選択されたダイナミックメモリセ
ルの信号を各コラム毎のビット線にラッチするセンスア
ンプを備えたダイナミックRAM(ランダムアクセスメ
モリ)に関する。
【0002】ダイナミックRAMでは、アドレスの入力
から各メモリセルのデータの出力迄のアクセス時間をで
きるだけ短くして高速作動を可能とするための努力が払
われている。高速作動が可能なダイナミックRAMの一
つの形式として、ロウアドレスを固定し、コラムアドレ
スの入力のみで連続的にメモリセルのアクセスを可能と
するものがある。この形式のダイナミックRAMでは、
各コラム毎にセンスアンプを設け、選択されたメモリセ
ルの信号をこのセンスアンプでビット線にラッチした後
のコラムの選択がスタティック形式に行なわれる。
【0003】
【従来の技術】図1及び2を参照して上記形式のダイナ
ミックRAMについて説明する。図1及び2は夫々、ダ
イナミックRAMの回路略図及びブロック図であり、い
ずれも本発明の実施例及び従来のダイナミックRAMの
構成を説明するための図である。
【0004】図1及び図2に示したように、メモリアレ
イ1は、コラム及びロウ毎に配列される多数のメモリセ
ルを備え、ロウアドレスを入力されるロウデコーダ8に
よって選択されるワード線WL1〜WLnによって一つ
のロウが選択され、更に、コラムアドレスを入力される
コラムデコーダ9からの信号によって一つのコラムが選
択される。
【0005】読出し時においてロウアドレスが入力され
ると、各コラムにおいて当該ロウに配されるメモリセル
が、ワード線WL1〜WLnのHレベルへの移行によっ
て当該ビット線対の一方と導通し、このメモリセルのデ
ータがビット線対2、2’にラッチされる。次にコラム
アドレスが入力されると、選択されたコラムのビット線
対21、21’が、コラムゲート41の導通を介してデ
ータ線5、5’と導通し、これによって選択されたメモ
リセルのデータは、ビット線対21、21’及びデータ
線5、5’を介して伝達され、メインアンプ7によって
読み取られる。
【0006】アクティヴ負荷回路6は、Nチャネルトラ
ンジスタQ8,Q9として構成され、読出し時にHレベ
ルとなる信号φRによってオンとなり、高電位電源VC
Cとデータ線5、5’とを導通させる。アクティヴ負荷
回路6をNチャネルトランジスタとしたことにより、
ータ線5、5’はHレベルの電位をNチャネルトランジ
スタのしきい値(スレッシュホールド電圧)によって抑
えられる。またLレベルとなっている一方のビット線と
導通しているデータ線は、アクティヴ負荷回路を構成す
るトランジスタQ8またはQ9と、Q6(Q7)及びQ
3(Q5)との直列オン抵抗の比で決まるレベルに制限
される。その電位振幅を小さく制限されるため、寄生容
量の大きなデータ線5、5’がHレベルとLレベルとの
間で双方向に移行するとき、その移行が早められ信号読
出し期間が短縮される。
【0007】上記形式のダイナミックRAMにおいて
は、一般に、低消費電力及び高集積化を考慮して、セン
スアンプ31、コラムゲート41及びアクティヴ負荷回
路6を構成する各トランジスタにはMOSトランジスタ
が採用される。この内センスアンプ31を構成するMO
SトランジスタQ2〜Q5については、できるだけ微小
の電圧を検出可能とするためそのチャネル長が長く形成
され、一方、コラムゲート41及びアクティヴ負荷回路
6を構成する各MOSトランジスタQ6〜Q9について
は、駆動能力をできるだけ高めるためそのチャネル長が
短く形成されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】一般に半導体装置の製
造時において温度等のプロセス条件を常に一定に保つこ
とは困難であり、このプロセス条件の差異により、各回
路要素の特性にバラツキが生ずる。従って、上記形式の
ダイナミックRAMについても、プロセス条件の変動に
より、その回路要素の特性がバラツキを有するという問
題がある。
【0009】例えばアクティヴ負荷回路6を構成するM
OSトランジスタQ8、Q9のチャネル長が短く形成さ
れる場合には、このダイナミックRAMではバス線5、
5′の振幅が小さくなってメインアンプ7での誤作動の
おそれが大きくなり、逆の場合には、バス線5、5′の
振幅が大きくなりバス線のレベル移行が遅くなって高速
作動が行なわれず、いずれもダイナミックRAMの基本
的な性能に影響を及ぼす。
【0010】本発明は、上述の従来のダイナミックRA
Mの問題に鑑み、製造時におけるプロセス条件等の差異
にも拘らず、製造される個々のダイナミックRAM毎に
データ線の電位振幅が異なることなく、高速性及び信号
伝達の正確性についての障害が生じないで所定の性能が
維持されるダイナミックRAMを提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のダイナミックRAMは、メモリセルに記憶
された情報を読み出すためのビット線と、該ビット線
低電位電源との間にそれぞれ設けられた一対の第1
の電界効果トランジスタを含み、該ビット線に読み出
された情報を増幅するためのセンスアンプと、データ線
と、高電位電源と前記データ線の間に設けられ、
ード制御信号に応答して導通する一対の第2の電界効果
トランジスタを含むアクティ負荷回路と、前記データ
と前記ビット線との間に設けられ、コラム選択
号に応答して導通する一対の第3の電界効果トランジス
タからなるコラムゲートとを有し、前記データ線対の一
論理レベルの時、前記一対の第1、第3及び第2
の電界効果トランジスタのうちそれぞれ前記データ線対
の一方に対応する側の電界効果トランジスタを介して、
前記低電位電源と前記高電位電源間に電流パスが構成さ
れるダイナミックRAMにおいて、前記一対の第1、第
2及び第3の電界効果トランジスタのチャネル長が、実
質的に相互に等しく形成されていることを特徴とするも
のである。
【0012】
【作用】センスアンプ、コラムゲート及びアクティヴ負
荷回路の各電界効果トランジスタのチャネル長が、実質
的に相互に等しく形成されるとした構成により、プロセ
ス条件の変動により、これらのトランジスタのチャネル
長にバラツキが発生しても、各トランジスタのオン抵抗
が一定の比率で変動することとなり、このためデータ線
の電位振幅が一定に保たれ、個々のダイナミックRAM
毎にデータ線の電位振幅が変動することはない。
【0013】
【実施例】図1を参照して説明する。同図において、メ
モリアレイ1は、図示した一つのコラムに多数のメモリ
セル11〜1nを備え、更に、このコラムと同様の多数
のコラムを備えている。各メモリセル11〜1nは、論
理信号のレベル”H”又は”L”を蓄積電荷による電圧
信号として記憶するコンデンサC11〜C1nと、多数
のワード線WL1〜WLnのいずれか一つのHレベルに
よって導通し、コンデンサC11〜C1n上に記憶され
た電圧信号をどちらか一方のビット線21、21′に伝
達するNチャネルトランジスタQ11〜Q1nとから構
成される。
【0014】センスアンプ31は、センスアンプ電源ラ
インPSA、NSAによって駆動される二組のCMOS
トランジスタ32、33を備え、各CMOSトランジス
タ32、33は、夫々の共通に接続されたゲートが、他
方のCMOSトランジスタ33、32のソース・ドレイ
ン路の直列接続ノードn2、n1に接続されると共に、
各一方のビット線21′、21に接続されている。セン
スアンプ電源ラインPSA及びNSAは、リセット期間
において夫々高電位及び低電位電源の各電位VCC及びV
SSの1/2の電位に保持され、読出し期間において夫々
ほぼ高電位VCC及び低電位VSSレベルに移行する。
【0015】ビット線対21、21’は、コラム選択信
号CLSmによって導通するコラムゲート41の一対の
NチャネルトランジスタQ6、Q7を介してデータ
5、5’と導通し、データ線5、5’は、各コラムゲー
トを介して各ビット線対と導通可能であると共に、メイ
ンアンプ7の入力に接続されている。アクティヴ負荷回
路6は、読出し期間においてHレベルとなるリード信号
φRによって導通して高電位電源VCCとデータ線5、
5’とを導通させる一対のNチャネルトランジスタQ
8、Q9を備える。
【0016】上記のように構成したダイナミックRAM
において、データの読出しが行われる場合には、まずロ
ウアドレスが入力され、ワード線WL1〜WLnのいず
れかがHレベルになり、当該ワード線によって選択され
る各コラムのメモリセルのデータが、各ビット線対の一
方に伝達され、このデータは各ビット線対毎にセンスア
ンプ31によってラッチされる。このラッチは、例えば
図示したコラムにおいてメモリセル11が選択されその
データが論理”H”であるとすると、センスアンプ31
の各CMOSトランジスタ32、33の内、Nチャネル
トランジスタQ5がオンとなってビット線21’をVS
Sレベルに、またPチャネルトランジスタQ2がオンと
なってビット線21をVCCレベルに、夫々維持するよ
うに行われる。
【0017】コラムアドレスが入力されると、選択され
た一つのコラムゲートが導通し、当該ビット線対とデー
線5、5’とが導通する。一方、別にリード信号φR
のHレベルを受けてアクティヴ負荷回路6が導通するの
で、高電位電源VCC、アクティヴ負荷回路の各トラン
ジスタQ8、Q9、データ線5、5’、コラムゲート4
1の各トランジスタQ6、Q7、各ビット線21、2
1’、センスアンプ31の各CMOSトランジスタ3
2、33のうち導通しているPチャネルトランジスタ又
はNチャネルトランジスタ、及びセンスアンプ電源ライ
ンPSA又はNSAに至る回路が形成される。これによ
って、選択されたメモリセルのデータが”H”である先
の例の場合には、一方のデータ線5がHレベルに、他方
データ線5’がLレベルになり、メインアンプ7にお
いてデータ””が検出される。
【0018】前記例において、データ線5は、VCCレ
ベルに維持されている一方のビット線21とNチャネル
トランジスタQ8を介してVCC電源とに夫々導通して
いる。データ線5は、コラムゲートトランジスタQ6、
Q7がNチャネルトランジスタであり、一般的にコラム
選択信号CLSmはVCCレベルまでしか上がらないこ
と、並びに駆動能力が大きくデータ線の電位を上昇させ
得るアクディヴ負荷回路のNチャネルトランジスタQ8
がスレッシュホールド電圧Vthによりその導通を制限
されることにより、結局その電位は読出し期間中VCC
−Vthに維持される。
【0019】他方のデータ線5’は、一方ではアクティ
ヴ負荷回路6のトランジスタQ9を介して高電位電源V
CCに導通し、他方ではコラムゲート41のトランジス
タQ7、他方のビット線21’、センスアンプ31のC
MOSトランジタ33の導通しているNチャネルトラン
ジスタQ5を経由してセンスアンプ電源ラインNSAに
導通している。このためデータ線5’は、アクティヴ負
荷回路6のNチャネルトランジスタQ9と、コラムゲー
ト41のNチャネルトランジスタQ7及びセンスアプ3
1のNチャネルトランジスタQ5とによって分圧される
ので、前記一方のデータ線5の電位よりも電圧αだけ電
位が低くなる。このαは、前述のバス線の電位振幅の値
であり、メインアンプ7の検出感度及び電位レベルの移
行スピードの観点から、その値が個々の半導体で変動し
ないことが要請されるものである。
【0020】Lレベルにあるデータ線5’の電位VDB
及びαの値は、前記分圧の条件から、 VDB=VCC−Vth−α=VCC(RQ7+RQ5)/(RQ9+
RQ7+RQ5) ■ となる。但し、RQ9、RQ7及びRQ5は夫々トランジスタ
Q9、Q7及びQ5のオン抵抗であり、VthはNチャネ
ルトランジスタQ9のスレッシュホールド電圧である。
【0021】一般にMOSトランジスタのオン抵抗は、
そのチャネル長に比例することが知られており、前記各
MOSトランジスタQ9、Q7及びQ5のオン抵抗RQ
9、RQ7及びRQ5は、夫々そのトランジスタの各チャネ
ル長LQ9、LQ7及びLQ5によって、RQ9=C9*LQ9、
RQ7=C7*LQ7、RQ5=C5*LQ5と表わすことができ
る。但し、C9、C7及びC5は、夫々のMOSトランジ
スタのチャネル幅等によって定まり、チャネル長に依存
しない定数である。
【0022】本発明では、各MOSトランジスタQ9、
Q7及びQ5のチャネル長は相互に等しく形成されてお
り、LQ9=LQ7=LQ5とされている。従って前記(1)式
の右辺は、VCC(C7+C5)/(C9+C7+C5)とな
り、これからαは、 α=VCC−Vth−VCC(C7+C5)/(C9+C7+C5) (2) と定まる。
【0023】これらチャネル長は、ダイナミックRAM
の製造時においてプロセス条件の変動のためにその値が
変動しても、同じプロセス条件で製造される各MOSト
ランジスタ相互では同じように変動することが知られて
おり、従って、上記式で定まる電位振幅αは、プロセス
条件の差異により変動することはない。
【0024】上記実施例のダイナミックRAMにおいて
は、センスアンプ31、コラムゲート41及びアクティ
ヴ負荷回路6の各MOSトランジスタのチャネル長は、
他の回路要素、例えば書込み回路等に配される各MOS
トランジスタのチャネル長よりも長く形成されている。
チャネル長が長い場合には、プロセス条件の変動による
チャネル長のバラツキの影響を受け難いため、特に前記
電位振幅の一定維持が確保される。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
プロセス条件等の差異により個々のダイナミックRAM
毎にMOSトランジスタのチャネル長が変動しても、ダ
イナミックRAMを構成し、データ線の電位振幅の値を
定める各MOSトランジスタのチャネル長が相互に等し
く形成されるので、データ線の電位振幅が個々に変動す
るおそれがなく高速動作と信号伝達の正確性の双方が維
持できるダイナミックRAMを提供でき、ダイナミック
RAMの動作の安定に寄与すること大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例及び従来のダイナミックRA
Mの回路図である。
【図2】図1のダイナミックRAMのブロック図であ
る。
【符号の説明】
1 メモリアレイ 11〜1n メモリセル 2、2’、21、21’ ビット線 3、31 センスアンプ 4、41 コラムゲート 5、5’ データ線 6 アクティヴ負荷回路 7 メインアンプ Q11〜Q1n,Q2〜Q9 MOSトランジスタ

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メモリセルに記憶された情報を読み出すた
    めのビット線と、 該ビット線低電位電源との間にそれぞれ設けられた
    一対の第1の電界効果トランジスタを含み、該ビット線
    に読み出された情報を増幅するためのセンスアンプ
    と、 データ線と、高電位 電源と前記データ線の間に設けられ、リード
    御信号に応答して導通する一対の第2の電界効果トラン
    ジスタを含むアクティ負荷回路と、 前記データ線と前記ビット線との間に設けられ、コ
    ラム選択信号に応答して導通する一対の第3の電界効果
    トランジスタからなるコラムゲートとを有し、 前記データ線対の一方論理レベルの時、前記一対の
    第1、第3及び第2の電界効果トランジスタのうちそれ
    ぞれ前記データ線対の一方に対応する側の電界効果トラ
    ンジスタを介して、前記低電位電源と前記高電位電源間
    に電流パスが構成されるダイナミックRAMにおいて、 前記一対の第1、第2及び第3の電界効果トランジスタ
    のチャネル長が、実質的に相互に等しく形成されている
    ことを特徴とするダイナミックRAM。
  2. 【請求項2】前記一対の第1、第2及び第3の電界効果
    トランジスタのチャネル長が、前記センスアンプ、前記
    コラムゲート及び前記アクティ負荷回路以外の回路要
    素を構成する電界効果トランジスタのチャネル長よりも
    長く形成されていることを特徴とする請求項1記載のダ
    イナミックRAM。
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