JP3043916B2 - 半割り式研磨ロール及びその製造方法 - Google Patents
半割り式研磨ロール及びその製造方法Info
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- JP3043916B2 JP3043916B2 JP5018014A JP1801493A JP3043916B2 JP 3043916 B2 JP3043916 B2 JP 3043916B2 JP 5018014 A JP5018014 A JP 5018014A JP 1801493 A JP1801493 A JP 1801493A JP 3043916 B2 JP3043916 B2 JP 3043916B2
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Description
【０００１】イ．発明の目的 (1) 産業上の利用分野 この発明は、ＩＣ基板等のワーク研磨に供せられるバフ
態様の研磨ロールに関し、更に詳しくは、回転軸に分割
されて装着される半割り式研磨ロールに関する。
態様の研磨ロールに関し、更に詳しくは、回転軸に分割
されて装着される半割り式研磨ロールに関する。
【０００２】(2) 従来の技術 半割り式研磨ロールは、回転軸への取付け作業が容易で
あることから普及しつつある。この半割り研磨ロールに
は従来より、積層構造式及び放射構造式の２種類の
構造形式がある。の積層構造式の研磨ロール１００
は、図６（ａ）に示すように、コア円筒体１０１にバフ
体１０２が固設され、該コア円筒体１０１を介して回転
軸１０３に取付けボルトをもって取り付けられ、回転動
されるものである。そして、この研磨ロール１００のバ
フ体１０２は、製作工程において円環状をなすバフ要素
１０２ａを多数枚積み重ね、これらのバフ要素１０２ａ
相互を接着剤を介して固結させ、その中心軸を含む平面
で切断し、それぞれの半割り状のバフ体を半割りコア円
筒体１０１に固着させてなるものである。図６（ｂ）は
バフ要素１０２ａを互いに分離した状態を示す。の放
射構造式の研磨ロール１１０は、図７に示すように、コ
ア円筒体１１１とバフ体１１２とからなるものである
が、バフ体１１２は、矩形状のバフ要素１１２ａを多数
枚積み重ね、これらのバフ要素１１２ａ相互を接着剤を
介して固結させ、これを半円状に展開させて折り込み、
コア円筒体１１１の表面に固着させてなるものである。
あることから普及しつつある。この半割り研磨ロールに
は従来より、積層構造式及び放射構造式の２種類の
構造形式がある。の積層構造式の研磨ロール１００
は、図６（ａ）に示すように、コア円筒体１０１にバフ
体１０２が固設され、該コア円筒体１０１を介して回転
軸１０３に取付けボルトをもって取り付けられ、回転動
されるものである。そして、この研磨ロール１００のバ
フ体１０２は、製作工程において円環状をなすバフ要素
１０２ａを多数枚積み重ね、これらのバフ要素１０２ａ
相互を接着剤を介して固結させ、その中心軸を含む平面
で切断し、それぞれの半割り状のバフ体を半割りコア円
筒体１０１に固着させてなるものである。図６（ｂ）は
バフ要素１０２ａを互いに分離した状態を示す。の放
射構造式の研磨ロール１１０は、図７に示すように、コ
ア円筒体１１１とバフ体１１２とからなるものである
が、バフ体１１２は、矩形状のバフ要素１１２ａを多数
枚積み重ね、これらのバフ要素１１２ａ相互を接着剤を
介して固結させ、これを半円状に展開させて折り込み、
コア円筒体１１１の表面に固着させてなるものである。
【０００３】しかしながら、の積層式研磨ロール１０
０においては、円環状のバフ要素１０２ａを個々に接着
させていく製作作業に手間を要し、非効率的である。か
つその不整に帰因して、コア円筒体１０１との接着が十
分強固に行われ難く、使用中における剥離の原因とな
る。また、の研磨ロール１１０においては、製造手間
が懸かるうえ、バフ要素１１２ａ間の接合力が内径側と
外径側とで相違し、剥れが生じ易い。
０においては、円環状のバフ要素１０２ａを個々に接着
させていく製作作業に手間を要し、非効率的である。か
つその不整に帰因して、コア円筒体１０１との接着が十
分強固に行われ難く、使用中における剥離の原因とな
る。また、の研磨ロール１１０においては、製造手間
が懸かるうえ、バフ要素１１２ａ間の接合力が内径側と
外径側とで相違し、剥れが生じ易い。
【０００４】(3) 発明が解決しようとする問題点 本発明は上記従来の技術の半割り式研磨ロールの製法の
もつ欠点を克服すべくなされたものであり、製造手間の
削減をなすとともに、構造的にも強固な半割り研磨ロー
ルを提供することを目的とするものである。
もつ欠点を克服すべくなされたものであり、製造手間の
削減をなすとともに、構造的にも強固な半割り研磨ロー
ルを提供することを目的とするものである。
【０００５】ロ. 発明の構成 (1) 問題点を解決するための手段 本発明の半割り式研磨ロール及びその製造方法は上記目
的を達成するため、次の技術的手段を採る。すなわち、
本発明の半割り式研磨ロールは、所定の一定内径の中空
部を保持し、螺旋状に捲回された際に下層において砥粒
が含まれず、上層において砥粒が付着された研磨シート
を螺旋状に多層にわたって捲回されるとともにそれぞれ
の層間は接着剤をもって固着された研磨シートの円筒体
をその中心軸を含む平面により２分割し、前記２分割さ
れた研磨シートよりなるバフをそれぞれ２分割された前
記バフと中心軸を共有する半割りコア円筒の外周に固着
してなることを特徴とする。また、本発明の半割り式研
磨ロールの製造方法は、(a) 所定の一定径の円柱状の芯
棒に研磨シートを接着剤を介して螺旋状に緊密に巻き付
けるとともに、下層部を除いて砥粒を付加する工程、
(b) 前記研磨シートの固結を待って前記芯棒を引き抜く
工程、(c) 前記螺旋状に巻かれた研磨シートの円筒体を
中空部の軸中心を含む平面をもって２分割に切断して半
割り状のバフを得る工程、(d) それぞれの半割り状のバ
フを前記芯棒の外径と同一曲率の半割りコア円筒の外周
に固着する工程、よりなることを特徴とする。
的を達成するため、次の技術的手段を採る。すなわち、
本発明の半割り式研磨ロールは、所定の一定内径の中空
部を保持し、螺旋状に捲回された際に下層において砥粒
が含まれず、上層において砥粒が付着された研磨シート
を螺旋状に多層にわたって捲回されるとともにそれぞれ
の層間は接着剤をもって固着された研磨シートの円筒体
をその中心軸を含む平面により２分割し、前記２分割さ
れた研磨シートよりなるバフをそれぞれ２分割された前
記バフと中心軸を共有する半割りコア円筒の外周に固着
してなることを特徴とする。また、本発明の半割り式研
磨ロールの製造方法は、(a) 所定の一定径の円柱状の芯
棒に研磨シートを接着剤を介して螺旋状に緊密に巻き付
けるとともに、下層部を除いて砥粒を付加する工程、
(b) 前記研磨シートの固結を待って前記芯棒を引き抜く
工程、(c) 前記螺旋状に巻かれた研磨シートの円筒体を
中空部の軸中心を含む平面をもって２分割に切断して半
割り状のバフを得る工程、(d) それぞれの半割り状のバ
フを前記芯棒の外径と同一曲率の半割りコア円筒の外周
に固着する工程、よりなることを特徴とする。
【０００６】(2) 作用 ワークの研磨において、研磨ロールのシート層は次第に
磨耗減耗するが、螺旋状であるので、シート層間の接着
剤部が同時に露出することなく、かつ、砥粒が常時存在
し、安定した良好な研磨作業を維持できる。
磨耗減耗するが、螺旋状であるので、シート層間の接着
剤部が同時に露出することなく、かつ、砥粒が常時存在
し、安定した良好な研磨作業を維持できる。
【０００７】(3) 実施例 本発明の半割り式研磨ロール及びその製造方法の実施例
を図面に基づいて説明する。図１〜図４はその一実施例
の半割り式研磨ロールを示す。すなわち、図１はその全
体構成を示し、図２〜図４は各部分構成を示す。図にお
いて、１は半割り式研磨ロール（以下、単に「研磨ロー
ル」という）であり、該研磨ロール１は回転軸２に取り
付けられて回転駆動される。
を図面に基づいて説明する。図１〜図４はその一実施例
の半割り式研磨ロールを示す。すなわち、図１はその全
体構成を示し、図２〜図４は各部分構成を示す。図にお
いて、１は半割り式研磨ロール（以下、単に「研磨ロー
ル」という）であり、該研磨ロール１は回転軸２に取り
付けられて回転駆動される。
【０００８】しかして、この半割り式研磨ロール１は、
図２に示すように、装着される回転軸２の中心を含む平
面をもって２分割された半割り体１ａ，１ｂが合わさっ
て一体とされ、それぞれの半割り体１ａ，１ｂは、半円
筒状をなすコア円筒４と、該コア円筒４の外側に積層状
に巻き付けられる同じく半円筒状のバフ５とからなる。
そして、この半割り研磨ロール１は、それぞれの半割り
体１ａ，１ｂが独立して回転軸２に取り付けられるが、
一体となったとき、コア円筒４並びにバフ５は断面にお
いて真円状を保持する。
図２に示すように、装着される回転軸２の中心を含む平
面をもって２分割された半割り体１ａ，１ｂが合わさっ
て一体とされ、それぞれの半割り体１ａ，１ｂは、半円
筒状をなすコア円筒４と、該コア円筒４の外側に積層状
に巻き付けられる同じく半円筒状のバフ５とからなる。
そして、この半割り研磨ロール１は、それぞれの半割り
体１ａ，１ｂが独立して回転軸２に取り付けられるが、
一体となったとき、コア円筒４並びにバフ５は断面にお
いて真円状を保持する。
【０００９】研磨ロール１の回転軸２への取付け構造に
ついては、図３に示すように、コア円筒４の端部に、公
知のとおりボルト挿通孔１０が穿設され、このボルト挿
通孔１０に対応して回転軸２にねじ孔１１が螺設され、
これらの孔１０，１１にボルト頭部１２ａ、ねじ部１２
ｂを有する取付けボルト１２が装着される。そして、取
付けボルト１２のねじ部１２ｂのねじ孔１１への締込み
により、ボルト頭部１２ａをコア円筒４に押圧し、コア
円筒４ひいては研磨ロール１を回転軸２に固定する。こ
の取付け態様に限らず、取付けボルト１２が回転軸２を
貫通して上下の半割り体１ａ，１ｂにわたって挿通さ
れ、ボルト・ナットにより締付け固定する旧来の固定方
法によることもできる。
ついては、図３に示すように、コア円筒４の端部に、公
知のとおりボルト挿通孔１０が穿設され、このボルト挿
通孔１０に対応して回転軸２にねじ孔１１が螺設され、
これらの孔１０，１１にボルト頭部１２ａ、ねじ部１２
ｂを有する取付けボルト１２が装着される。そして、取
付けボルト１２のねじ部１２ｂのねじ孔１１への締込み
により、ボルト頭部１２ａをコア円筒４に押圧し、コア
円筒４ひいては研磨ロール１を回転軸２に固定する。こ
の取付け態様に限らず、取付けボルト１２が回転軸２を
貫通して上下の半割り体１ａ，１ｂにわたって挿通さ
れ、ボルト・ナットにより締付け固定する旧来の固定方
法によることもできる。
【００１０】本実施例において、バフ５の構造、特には
その積層構造に特徴を有する。もっと詳しくは、バフ５
は所定厚の合成樹脂製のシートを素材とし、円筒状をな
すコア円筒４の周表面と中心を共有する多層（本実施例
では９層）の積層状態に形成される。図２にその積層断
面の一部が示され、図４はその拡大図である。図示され
るように、バフ５の各層５1 〜５9 は相互に接着剤をも
って上下に積層状に固着され、その下層（本実施例では
１〜３層）部分には砥粒が含まれず、それより上層部分
のシート層５4 〜５9 には砥粒１５が付着されている。
すなわち、シートは網状もしくは多孔状の合成樹脂材が
好ましいものとして使用され、その空隙部に砥粒１５を
包持し、接着剤をもって固定される。しかして、バフ５
は、上下の半割り体１ａ，１ｂが合わさったとき、螺旋
状、渦巻き状となっている。
その積層構造に特徴を有する。もっと詳しくは、バフ５
は所定厚の合成樹脂製のシートを素材とし、円筒状をな
すコア円筒４の周表面と中心を共有する多層（本実施例
では９層）の積層状態に形成される。図２にその積層断
面の一部が示され、図４はその拡大図である。図示され
るように、バフ５の各層５1 〜５9 は相互に接着剤をも
って上下に積層状に固着され、その下層（本実施例では
１〜３層）部分には砥粒が含まれず、それより上層部分
のシート層５4 〜５9 には砥粒１５が付着されている。
すなわち、シートは網状もしくは多孔状の合成樹脂材が
好ましいものとして使用され、その空隙部に砥粒１５を
包持し、接着剤をもって固定される。しかして、バフ５
は、上下の半割り体１ａ，１ｂが合わさったとき、螺旋
状、渦巻き状となっている。
【００１１】上記の半割り式研磨ロール１は次のように
して製作される。図５はその工程の一部を示す。 (a) 所定の径の円柱状の芯棒２０が用意され、該芯棒２
０の表面に剥離剤を塗布し、しかる後、この芯棒２０に
一連の研磨シート２１を張力を導入しつつ螺旋状に巻き
付ける。すなわち、螺旋状の各層は中心軸に向かって圧
力が加わり、緊密な螺旋体となる。なお、この研磨シー
ト２１は既述したように、網状もしくは多孔状の合成樹
脂材よりなる。 (b) 図５に示すように、研磨シート２１に接着剤２２を
塗布し、研磨シート２１相互の重なり部分を接着してゆ
く。芯棒２０に近い下層（本実施例では１層〜３層）部
分は接着剤のみとする。４層以後の層には砥粒１５が加
えられる。 (c) この螺旋状に巻かれた研磨シートの円筒体が十分な
強度をもって固結したとき、芯棒２０を引き抜く。 (d) 上記の研磨シートの円筒体を中空部の軸中心を含む
平面をもって２分割に切断し、半割りバフロール５を得
る。 (e) 上記の半割りバフロール５を別途用意された半割り
コア円筒４の表面に接着剤をもって固着させ、それぞれ
一対の半割り体１ａ，１ｂを得る。
して製作される。図５はその工程の一部を示す。 (a) 所定の径の円柱状の芯棒２０が用意され、該芯棒２
０の表面に剥離剤を塗布し、しかる後、この芯棒２０に
一連の研磨シート２１を張力を導入しつつ螺旋状に巻き
付ける。すなわち、螺旋状の各層は中心軸に向かって圧
力が加わり、緊密な螺旋体となる。なお、この研磨シー
ト２１は既述したように、網状もしくは多孔状の合成樹
脂材よりなる。 (b) 図５に示すように、研磨シート２１に接着剤２２を
塗布し、研磨シート２１相互の重なり部分を接着してゆ
く。芯棒２０に近い下層（本実施例では１層〜３層）部
分は接着剤のみとする。４層以後の層には砥粒１５が加
えられる。 (c) この螺旋状に巻かれた研磨シートの円筒体が十分な
強度をもって固結したとき、芯棒２０を引き抜く。 (d) 上記の研磨シートの円筒体を中空部の軸中心を含む
平面をもって２分割に切断し、半割りバフロール５を得
る。 (e) 上記の半割りバフロール５を別途用意された半割り
コア円筒４の表面に接着剤をもって固着させ、それぞれ
一対の半割り体１ａ，１ｂを得る。
【００１２】本実施例の研磨ロール１を使用してなされ
るワークの研磨作業において、研磨ロールの研磨シート
層は次第に磨耗減耗するが、螺旋状であるので、シート
層間の接着剤部が同時に露出することなく、安定した良
好な研磨作業を維持できる。更にまた、バフ５の渦巻き
状のシート層は外側から消費されてゆき、一定の厚さに
達したとき、砥粒のない層となり、交換の目安とされ
る。このとき、砥粒のない層の色が変えられていれば、
色変を見て交換時期を容易に知ることができる。また、
研磨ロール１の製作において、螺旋状の各層は緊密に固
着されて強固な構造となり、また砥粒の有無の層が容易
かつ連続的に作成され、効率良く製作され、製造コスト
の低減をなすことができる。
るワークの研磨作業において、研磨ロールの研磨シート
層は次第に磨耗減耗するが、螺旋状であるので、シート
層間の接着剤部が同時に露出することなく、安定した良
好な研磨作業を維持できる。更にまた、バフ５の渦巻き
状のシート層は外側から消費されてゆき、一定の厚さに
達したとき、砥粒のない層となり、交換の目安とされ
る。このとき、砥粒のない層の色が変えられていれば、
色変を見て交換時期を容易に知ることができる。また、
研磨ロール１の製作において、螺旋状の各層は緊密に固
着されて強固な構造となり、また砥粒の有無の層が容易
かつ連続的に作成され、効率良く製作され、製造コスト
の低減をなすことができる。
【００１３】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の基本的技術思想の範囲内で種々設計変更
が可能である。
なく、本発明の基本的技術思想の範囲内で種々設計変更
が可能である。
【００１４】ハ. 発明の効果 本発明によれば以下の特有の効果を有する。 本発明
の半割り式研磨ロールによれば、半割り式研磨ロールの
装着性の利便性を活用できるとともに、ワークの研磨作
業において、研磨ロールのシート層の減耗につれて、螺
旋状であるのでシート層間の接着剤部が同時に露出する
ことなく、安定した研磨作業を維持できる。 本研磨
ロールによれば、バフの渦巻き状のシート層は外側から
消費されてゆき、一定の厚さに達したとき砥粒のない層
となり、容易に交換の目安を検知することができる。
本発明の研磨ロールの製造方法によれば、螺旋状の各
層は緊密に固着されて強固な構造となり、また砥粒の有
無の層が容易かつ連続的に作成され、効率良く製作さ
れ、製造コストの低減をなすことができる。
の半割り式研磨ロールによれば、半割り式研磨ロールの
装着性の利便性を活用できるとともに、ワークの研磨作
業において、研磨ロールのシート層の減耗につれて、螺
旋状であるのでシート層間の接着剤部が同時に露出する
ことなく、安定した研磨作業を維持できる。 本研磨
ロールによれば、バフの渦巻き状のシート層は外側から
消費されてゆき、一定の厚さに達したとき砥粒のない層
となり、容易に交換の目安を検知することができる。
本発明の研磨ロールの製造方法によれば、螺旋状の各
層は緊密に固着されて強固な構造となり、また砥粒の有
無の層が容易かつ連続的に作成され、効率良く製作さ
れ、製造コストの低減をなすことができる。
【図１】本発明の一実施例の半割り式研磨ロールの全体
構成を示す縦断面図。
構成を示す縦断面図。
【図２】図１のII−II線拡大断面図。
【図３】図１の III部拡大図。
【図４】図２のIV−IV線断面図。
【図５】本発明の半割り式研磨ロールの製造工程中の一
工程を示す図。
工程を示す図。
【図６】従来の積層構造式の研磨ロールを示す図。
【図７】従来の放射構造式の研磨ロールを示す図。
１…半割り式研磨ロール、１ａ，１ｂ…半割り体、２…
回転軸、４…コア円筒、５…バフ、１５…砥粒、２０…
芯棒
回転軸、４…コア円筒、５…バフ、１５…砥粒、２０…
芯棒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24D 13/02 B24D 3/00 340 B24D 9/08
Claims (2)
- 【請求項１】 所定の一定内径の中空部を保持し、螺旋
状に捲回された際に下層において砥粒が含まれず、上層
において砥粒が付着された研磨シートを螺旋状に多層に
わたって捲回されるとともにそれぞれの層間は接着剤を
もって固着された研磨シートの円筒体をその中心軸を含
む平面により２分割し、 前記２分割された研磨シートよりなるバフをそれぞれ２
分割された前記バフと中心軸を共有する半割りコア円筒
の外周に固着してなる、 ことを特徴とする半割り式研磨ロール。 - 【請求項２】(a) 所定の一定径の円柱状の芯棒に研磨シ
ートを接着剤を介して螺旋状に緊密に巻き付けるととも
に、下層部を除いて砥粒を付加する工程、 (b) 前記研磨シートの固結を待って前記芯棒を引き抜く
工程、 (c) 前記螺旋状に巻かれた研磨シートの円筒体を中空部
の軸中心を含む平面をもって２分割に切断して半割り状
のバフを得る工程、 (d) それぞれの半割り状のバフを前記芯棒の外径と同一
曲率の半割りコア円筒の外周に固着する工程、 よりなることを特徴とする半割り式研磨ロールの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018014A JP3043916B2 (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 半割り式研磨ロール及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018014A JP3043916B2 (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 半割り式研磨ロール及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06206168A JPH06206168A (ja) | 1994-07-26 |
| JP3043916B2 true JP3043916B2 (ja) | 2000-05-22 |
Family
ID=11959822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5018014A Expired - Fee Related JP3043916B2 (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 半割り式研磨ロール及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3043916B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114029857A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-02-11 | 广东锐特科技有限公司 | 一体芯拉丝轮 |
-
1993
- 1993-01-08 JP JP5018014A patent/JP3043916B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06206168A (ja) | 1994-07-26 |
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