JP3033426B2 - レジスト密着性および耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 - Google Patents
レジスト密着性および耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管用シャド
ウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種機能材料として
用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系合金薄板とその製造法に関するものである。
ウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種機能材料として
用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系合金薄板とその製造法に関するものである。
【０００２】Ｎｉを２６〜５２％含むＦｅ−Ｎｉ系合金
およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金は室温から３００℃にわ
たる温度域で低い熱膨張係数を示し、カラー受像管用シ
ャドウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種の機能材料
として広く用いられている。
およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金は室温から３００℃にわ
たる温度域で低い熱膨張係数を示し、カラー受像管用シ
ャドウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種の機能材料
として広く用いられている。
【０００３】しかしながらこれらの材料は極めて錆を発
生し易く、例えば、合金鋼帯の製造工程中や上記した各
種の機器の制作中に、鋼帯および鋼板の一部が発銹する
ことが多々あり、耐銹性の向上が強く望まれており、こ
の問題を解決するため、特開昭６０−２１３３１号公報
では、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金の耐銹性の向上を、Ｃ
ｒおよびＣｏの添加により達成している。
生し易く、例えば、合金鋼帯の製造工程中や上記した各
種の機器の制作中に、鋼帯および鋼板の一部が発銹する
ことが多々あり、耐銹性の向上が強く望まれており、こ
の問題を解決するため、特開昭６０−２１３３１号公報
では、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金の耐銹性の向上を、Ｃ
ｒおよびＣｏの添加により達成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の先行技術では耐銹性を向上させているが、この
技術で特徴とするＣｒの添加により、シャドウマスク用
合金また、ＩＣリードフレーム用合金においては、レジ
スト密着性の劣化がそれぞれひき起こされるという問題
がある。レジスト密着性とは、フォトエッチング工程に
て上記した電子部品用材料を製造するに当り、合金帯を
脱脂後塗布されたレジストが、以降の製造工程で剥離し
てしまう現象である。
た従来の先行技術では耐銹性を向上させているが、この
技術で特徴とするＣｒの添加により、シャドウマスク用
合金また、ＩＣリードフレーム用合金においては、レジ
スト密着性の劣化がそれぞれひき起こされるという問題
がある。レジスト密着性とは、フォトエッチング工程に
て上記した電子部品用材料を製造するに当り、合金帯を
脱脂後塗布されたレジストが、以降の製造工程で剥離し
てしまう現象である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記したよう
な実情に鑑み、検討を重ねて創案されたものであって、
耐銹性に優れ、かつ、所要のレジスト密着性を有するカ
ラー受像管用シャドウマスク、ＩＣリードフレーム等の
各種の機能材料として用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板
およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法を提
供するものである。
な実情に鑑み、検討を重ねて創案されたものであって、
耐銹性に優れ、かつ、所要のレジスト密着性を有するカ
ラー受像管用シャドウマスク、ＩＣリードフレーム等の
各種の機能材料として用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板
およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法を提
供するものである。
【０００６】その要旨とするところは、以下のとおりで
ある。 （１）重量％で、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：０．０６％
以下、Ｏ：０．００５％以下、Ｓ：０．００３％以下、
Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：０．００３％以下、Ｈ：３．
０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：０．００１〜０．１％を含有し、
残部がＦｅ及び不可避不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合金
であって、その表面をＲａ０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ
４０〜２００μｍとし、さらに酸化膜を厚み１０〜２０
０オングストロームで形成させたことを特徴とするレジ
スト密着性と耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合
金薄板。
ある。 （１）重量％で、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：０．０６％
以下、Ｏ：０．００５％以下、Ｓ：０．００３％以下、
Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：０．００３％以下、Ｈ：３．
０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：０．００１〜０．１％を含有し、
残部がＦｅ及び不可避不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合金
であって、その表面をＲａ０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ
４０〜２００μｍとし、さらに酸化膜を厚み１０〜２０
０オングストロームで形成させたことを特徴とするレジ
スト密着性と耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合
金薄板。
【０００７】（２）重量％で、Ｎｉ：２６〜３８％、Ｃ
ｏ：１〜２０％、Ｃ：０．０６％以下、Ｏ：０．００５
％以下、Ｓ：０．００３％以下、Ｐ：０．０１％以下、
Ｎ：０．００３％以下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：
０．００１〜０．１％を含有し、残部がＦｅ及び不可避
不純物からなるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であって、その
表面をＲａ０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ４０〜２００μ
ｍとし、さらに酸化膜を厚み１０〜２００オングストロ
ームで形成させたことを特徴とするレジスト密着性と耐
銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
ｏ：１〜２０％、Ｃ：０．０６％以下、Ｏ：０．００５
％以下、Ｓ：０．００３％以下、Ｐ：０．０１％以下、
Ｎ：０．００３％以下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：
０．００１〜０．１％を含有し、残部がＦｅ及び不可避
不純物からなるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であって、その
表面をＲａ０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ４０〜２００μ
ｍとし、さらに酸化膜を厚み１０〜２００オングストロ
ームで形成させたことを特徴とするレジスト密着性と耐
銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
【０００８】（３）Ｓｂを０．００１〜０．１％付加的
に含有する上記（１）または（２）に記載のレジスト密
着性と耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板
または電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
に含有する上記（１）または（２）に記載のレジスト密
着性と耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板
または電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
【０００９】（４）上記（１）〜（３）に記載の化学成
分を有するＦｅ−Ｎｉ系合金帯またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ
系合金帯を１回ないし２回以上冷延、焼鈍を繰返したの
ち、仕上げ冷延、応力除去焼鈍してコイルまたはフープ
を製造するに当り、表面粗度Ｒａ：０．０５〜１．２μ
ｍ、ＲＳｍ：４０〜２５０μｍの直径２００ｍｍ以下の
ダルロールを用いて前記仕上げ冷延率（ＣＲ％）を１５
〜８０％として請求項１〜３の表面粗度を得、前記応力
除去焼鈍を温度（Ｔ℃）を４５０〜６８０℃、保持時間
（ｔ，ｓｅｃ）を０．５〜３００ｓｅｃ、雰囲気の露点
（Ｄ．Ｐ．℃）を−１０〜−６０℃、雰囲気をＨ2 ：
５０ｖｏｌ％以上、Ｏ2 ：０．０２ｖｏｌ％以下、残
部：不活性ガスとして請求項１〜３に記載の酸化膜厚さ
を得ることを特徴とするレジスト密着性と耐銹性に優れ
た電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板またはＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金薄板の製造方法。
分を有するＦｅ−Ｎｉ系合金帯またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ
系合金帯を１回ないし２回以上冷延、焼鈍を繰返したの
ち、仕上げ冷延、応力除去焼鈍してコイルまたはフープ
を製造するに当り、表面粗度Ｒａ：０．０５〜１．２μ
ｍ、ＲＳｍ：４０〜２５０μｍの直径２００ｍｍ以下の
ダルロールを用いて前記仕上げ冷延率（ＣＲ％）を１５
〜８０％として請求項１〜３の表面粗度を得、前記応力
除去焼鈍を温度（Ｔ℃）を４５０〜６８０℃、保持時間
（ｔ，ｓｅｃ）を０．５〜３００ｓｅｃ、雰囲気の露点
（Ｄ．Ｐ．℃）を−１０〜−６０℃、雰囲気をＨ2 ：
５０ｖｏｌ％以上、Ｏ2 ：０．０２ｖｏｌ％以下、残
部：不活性ガスとして請求項１〜３に記載の酸化膜厚さ
を得ることを特徴とするレジスト密着性と耐銹性に優れ
た電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板またはＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金薄板の製造方法。
【００１０】
【作用】上記したような本発明について更に説明する
と、本発明者等は、上述した観点から、耐銹性に優れ、
かつ、所要の表面処理性を有するカラー受像管用シャド
ウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種の機能材料とし
て用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金薄板を開発すべく、鋭意研究を重ねた結果、
次の知見を得た。即ち、本合金鋼帯の化学成分、および
表面粗さの制御、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜からなる酸化
膜の厚さを適正に制御することおよび冷延、焼鈍を１回
ないし２回以上繰返したのち、仕上げ冷延、応力除去焼
鈍してコイルまたはフープを製造するに当り、仕上げ冷
延率、応力除去焼鈍時の温度、時間、雰囲気、露点を所
定の範囲内に調整することにより、耐銹性が優れ、所要
のレジスト密着性を有する前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板お
よびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を得ることができる。
と、本発明者等は、上述した観点から、耐銹性に優れ、
かつ、所要の表面処理性を有するカラー受像管用シャド
ウマスク、ＩＣリードフレーム等の各種の機能材料とし
て用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金薄板を開発すべく、鋭意研究を重ねた結果、
次の知見を得た。即ち、本合金鋼帯の化学成分、および
表面粗さの制御、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜からなる酸化
膜の厚さを適正に制御することおよび冷延、焼鈍を１回
ないし２回以上繰返したのち、仕上げ冷延、応力除去焼
鈍してコイルまたはフープを製造するに当り、仕上げ冷
延率、応力除去焼鈍時の温度、時間、雰囲気、露点を所
定の範囲内に調整することにより、耐銹性が優れ、所要
のレジスト密着性を有する前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板お
よびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を得ることができる。
【００１１】斯かる発明について、先ずその化学成分範
囲の限定理由の仔細を述べると、以下の如くである。
囲の限定理由の仔細を述べると、以下の如くである。
【００１２】Ｎｉは、本合金の基本成分であり、熱膨張
係数を変化させる元素であって、カラー受像管シャドウ
マスク用（以下単にシャドウマスク用という）として
は、色ずれの発生を防止するために要求される３０〜１
００℃の温度域における平均熱膨張係数の上限は３．０
×１０-6／℃である。この平均熱膨張係数の条件を満た
すＮｉ量はＦｅ−Ｎｉ合金にあっては３０〜３８％の範
囲内である。従って、カラー受像管用シャドウマスク用
としては、Ｎｉ量を３０〜３８％の範囲内に限定すべき
である。なお、このようなＮｉ量の範囲内でも、平均熱
膨張係数を低下させうる好ましいＮｉ量は３５〜３７％
であり、更には、この平均熱膨張係数をより低下させう
る更に好ましいＮｉ量は３５．５〜３６．５％である。
係数を変化させる元素であって、カラー受像管シャドウ
マスク用（以下単にシャドウマスク用という）として
は、色ずれの発生を防止するために要求される３０〜１
００℃の温度域における平均熱膨張係数の上限は３．０
×１０-6／℃である。この平均熱膨張係数の条件を満た
すＮｉ量はＦｅ−Ｎｉ合金にあっては３０〜３８％の範
囲内である。従って、カラー受像管用シャドウマスク用
としては、Ｎｉ量を３０〜３８％の範囲内に限定すべき
である。なお、このようなＮｉ量の範囲内でも、平均熱
膨張係数を低下させうる好ましいＮｉ量は３５〜３７％
であり、更には、この平均熱膨張係数をより低下させう
る更に好ましいＮｉ量は３５．５〜３６．５％である。
【００１３】なお、Ｃｏを１％未満の範囲内で含有する
場合でも上記した平均熱膨張係数の上限を満足するＮｉ
量は３０〜３８％である。このような場合でも、平均熱
膨張係数を低下させる好ましいＮｉ量は３５〜３７％で
ある。また、１〜８％のＣｏを含有するＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系合金の場合、上述した平均熱膨張係数の条件を満た
すＮｉ量範囲は２６〜３８％であり、またＮｉ量は３０
〜３３％、Ｃｏ量は３〜８％にすることにより、平均熱
膨張係数は更に低く優れたものとなる。
場合でも上記した平均熱膨張係数の上限を満足するＮｉ
量は３０〜３８％である。このような場合でも、平均熱
膨張係数を低下させる好ましいＮｉ量は３５〜３７％で
ある。また、１〜８％のＣｏを含有するＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系合金の場合、上述した平均熱膨張係数の条件を満た
すＮｉ量範囲は２６〜３８％であり、またＮｉ量は３０
〜３３％、Ｃｏ量は３〜８％にすることにより、平均熱
膨張係数は更に低く優れたものとなる。
【００１４】また、ＩＣリードフレーム用としては、半
導体素子、ガラスおよびセラミックス等との熱膨張の整
合性を保つためには、Ｎｉ量を３８％超、５２％以下と
することが必要である。従って、ＩＣリードフレーム用
としてはＮｉ量を３８％超、５２％以下の範囲内に限定
すべきである。なお、このようなＮｉ量の範囲内でも、
半導体素子、ガラスおよびセラミックス等の熱膨張係数
に応じてＮｉ量は適切に選択される。
導体素子、ガラスおよびセラミックス等との熱膨張の整
合性を保つためには、Ｎｉ量を３８％超、５２％以下と
することが必要である。従って、ＩＣリードフレーム用
としてはＮｉ量を３８％超、５２％以下の範囲内に限定
すべきである。なお、このようなＮｉ量の範囲内でも、
半導体素子、ガラスおよびセラミックス等の熱膨張係数
に応じてＮｉ量は適切に選択される。
【００１５】なお、Ｃｏを１％未満の範囲内で含有する
場合でも、ＩＣリードフレーム用としての熱膨張の整合
性を保つためのＮｉ量は３８％超え、５２％以下であ
る。また、ＩＣリードフレーム用材料としてはＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金も本発明の対象としているが、この場
合、Ｃｏ：１〜２０％、Ｎｉ：２６〜３８％の範囲内で
あれば、ＩＣリードフレーム用としての熱膨張の整合性
を保つことが可能である。
場合でも、ＩＣリードフレーム用としての熱膨張の整合
性を保つためのＮｉ量は３８％超え、５２％以下であ
る。また、ＩＣリードフレーム用材料としてはＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金も本発明の対象としているが、この場
合、Ｃｏ：１〜２０％、Ｎｉ：２６〜３８％の範囲内で
あれば、ＩＣリードフレーム用としての熱膨張の整合性
を保つことが可能である。
【００１６】さて、上記したＦｅ−Ｎｉ系合金またはＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金においては、耐銹性とレジスト密
着性をともに優れたものとするために、表面粗度（Ｒ
ａ、ＲＳｍ）の適正化、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜の形成
およびＳｎの微量添加、更に好ましくは、Ｓｂの複合添
加が必須となる。すなわち、合金薄板表面の表面粗さ
（中心線平均粗さＲａ、ＪＩＳＢ０６０１の表面粗さ）
を０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ（基準長さ内における表
面粗さを示す粗さ曲線の凹凸の間隔の平均値である）を
４０〜２００μｍとすることが、レジスト密着性を優れ
たものとするため必要である。Ｒａが０．１μｍ未満か
つまたはＲＳｍが２００μｍ超ではレジスト膜と合金薄
板表面の接合強度が低く、結果的にレジスト密着性が劣
化する。一方、Ｒａが０．７μｍ超かつまたはＲＳｍが
４０μｍ未満では、フォトエッチング後の製品の寸法精
度が悪くなる。つまり、Ｒａ：０．１〜０．７μｍ、Ｒ
Ｓｍ：４０〜２００μｍとすることにより、レジスト密
着性が優れたレベルとなりかつ、製品の寸法精度も良好
となる。以上より、本発明合金薄板表面の表面粗さはＲ
ａ：０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ：４０〜２００μｍと
定めた。
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金においては、耐銹性とレジスト密
着性をともに優れたものとするために、表面粗度（Ｒ
ａ、ＲＳｍ）の適正化、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜の形成
およびＳｎの微量添加、更に好ましくは、Ｓｂの複合添
加が必須となる。すなわち、合金薄板表面の表面粗さ
（中心線平均粗さＲａ、ＪＩＳＢ０６０１の表面粗さ）
を０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ（基準長さ内における表
面粗さを示す粗さ曲線の凹凸の間隔の平均値である）を
４０〜２００μｍとすることが、レジスト密着性を優れ
たものとするため必要である。Ｒａが０．１μｍ未満か
つまたはＲＳｍが２００μｍ超ではレジスト膜と合金薄
板表面の接合強度が低く、結果的にレジスト密着性が劣
化する。一方、Ｒａが０．７μｍ超かつまたはＲＳｍが
４０μｍ未満では、フォトエッチング後の製品の寸法精
度が悪くなる。つまり、Ｒａ：０．１〜０．７μｍ、Ｒ
Ｓｍ：４０〜２００μｍとすることにより、レジスト密
着性が優れたレベルとなりかつ、製品の寸法精度も良好
となる。以上より、本発明合金薄板表面の表面粗さはＲ
ａ：０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ：４０〜２００μｍと
定めた。
【００１７】本発明においては、上記したような表面粗
度の制御に加え、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜の形成が必須
となる。このような酸化膜が１０オングストローム以上
では、後述するＳｎ更にはＳｂの添加のもとで本発明で
意図するレジスト密着性が得られるが、２００オングス
トローム超となると、本発明で意図するレジスト密着性
が得られない。以上より、上記した酸化膜厚さは１０〜
２００オングストロームと定めた。
度の制御に加え、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜の形成が必須
となる。このような酸化膜が１０オングストローム以上
では、後述するＳｎ更にはＳｂの添加のもとで本発明で
意図するレジスト密着性が得られるが、２００オングス
トローム超となると、本発明で意図するレジスト密着性
が得られない。以上より、上記した酸化膜厚さは１０〜
２００オングストロームと定めた。
【００１８】上記したＦｅ−ｒｉｃｈな酸化膜厚さの適
正化に加え、本合金のレジスト密着性を確保しつつ、耐
食性の向上のためＳｎの適量添加が有効である。すなわ
ちＳｎは本合金中にあっては、合金薄板の製造工程中で
は、酸化物を生成しないため、後述するようなＦｅ−ｒ
ｉｃｈの酸化膜と合金下地の界面に濃縮し、上記した酸
化膜の密着性を高めることを通じて、耐銹性を高める元
素である。Ｓｎが０．００１％以上で、上記した効果が
得られるため、下限は０．００１％と定めた。一方、Ｓ
ｎ量が０．１％を越えると、本合金で要求されるレジス
ト密着性が劣化するため好ましくないため、上限は０．
１％とする。本合金においては、上記したＳｎの添加に
加え、Ｓｂを複合添加することにより耐銹性をより高め
うる。Ｓｂが０．００１％以上で、上記したＳｎの濃化
層にＳｂも含まれるようになり、このＳｂの濃化層によ
り耐銹性が更に優れたものになる。一方、Ｓｂが０．１
％を超えると、上記したような本合金で要求されるレジ
スト密着性が逆に損なわれる。以上より、付加的に添加
されうるＳｂ量は０．００１〜０．１％と定めた。
正化に加え、本合金のレジスト密着性を確保しつつ、耐
食性の向上のためＳｎの適量添加が有効である。すなわ
ちＳｎは本合金中にあっては、合金薄板の製造工程中で
は、酸化物を生成しないため、後述するようなＦｅ−ｒ
ｉｃｈの酸化膜と合金下地の界面に濃縮し、上記した酸
化膜の密着性を高めることを通じて、耐銹性を高める元
素である。Ｓｎが０．００１％以上で、上記した効果が
得られるため、下限は０．００１％と定めた。一方、Ｓ
ｎ量が０．１％を越えると、本合金で要求されるレジス
ト密着性が劣化するため好ましくないため、上限は０．
１％とする。本合金においては、上記したＳｎの添加に
加え、Ｓｂを複合添加することにより耐銹性をより高め
うる。Ｓｂが０．００１％以上で、上記したＳｎの濃化
層にＳｂも含まれるようになり、このＳｂの濃化層によ
り耐銹性が更に優れたものになる。一方、Ｓｂが０．１
％を超えると、上記したような本合金で要求されるレジ
スト密着性が逆に損なわれる。以上より、付加的に添加
されうるＳｂ量は０．００１〜０．１％と定めた。
【００１９】なお、本合金において、前記した、Ｎｉ、
Ｓｎ、Ｓｂの他は、優れた加工性を確保するためＣ：
０．０６％以下、Ｏ：０．００５％以下、Ｓ：０．００
３％以下、Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：０．００３％以
下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下の範囲内とする。
Ｓｎ、Ｓｂの他は、優れた加工性を確保するためＣ：
０．０６％以下、Ｏ：０．００５％以下、Ｓ：０．００
３％以下、Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：０．００３％以
下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下の範囲内とする。
【００２０】さて、本発明における耐銹性向上、レジス
ト密着性の確保を達成する上記した合金薄板を得る方法
の１つとしては、本合金を冷延・焼鈍を１回ないし２回
以上繰返したのち調質圧延、応力除去焼鈍して製造する
に際して、前記調質圧延率、応力除去焼鈍条件の適正化
が必須である。
ト密着性の確保を達成する上記した合金薄板を得る方法
の１つとしては、本合金を冷延・焼鈍を１回ないし２回
以上繰返したのち調質圧延、応力除去焼鈍して製造する
に際して、前記調質圧延率、応力除去焼鈍条件の適正化
が必須である。
【００２１】仕上げ冷延率（ＣＲ）は１５％未満では、
後述する最適な応力除去焼鈍下でも、本合金の表面処理
性を確保しつつ、耐銹性を向上させうる厚さのＦｅ−ｒ
ｉｃｈな酸化膜が１０オングストローム未満しか形成さ
れず、優れた耐銹性が得られない。一方このＣＲが８０
％を越えると、最適な応力除去焼鈍下でも、上記した酸
化膜が２００オングストローム超で形成され、本合金の
表面処理性が確保できない。よって、仕上げ冷延率は１
５〜８０％と定めた。なお、本発明で特徴とする合金薄
板の表面粗度は、仕上げ冷延において、表面粗度Ｒａ：
０．０５〜１．２μｍ、ＲＳｍ：４０〜２５０μｍの直
径２００ｍｍ以下のロールを用い、仕上げ冷延率を１５
％以上とすることにより、適切に得ることができる。
後述する最適な応力除去焼鈍下でも、本合金の表面処理
性を確保しつつ、耐銹性を向上させうる厚さのＦｅ−ｒ
ｉｃｈな酸化膜が１０オングストローム未満しか形成さ
れず、優れた耐銹性が得られない。一方このＣＲが８０
％を越えると、最適な応力除去焼鈍下でも、上記した酸
化膜が２００オングストローム超で形成され、本合金の
表面処理性が確保できない。よって、仕上げ冷延率は１
５〜８０％と定めた。なお、本発明で特徴とする合金薄
板の表面粗度は、仕上げ冷延において、表面粗度Ｒａ：
０．０５〜１．２μｍ、ＲＳｍ：４０〜２５０μｍの直
径２００ｍｍ以下のロールを用い、仕上げ冷延率を１５
％以上とすることにより、適切に得ることができる。
【００２２】応力除去焼鈍の条件としては、温度（Ｔ
℃）４５０〜６８０℃、保持時間（ｔ．ｓｅｃ）０．５
〜３００ｓｅｃ、雰囲気中の露点（Ｄ．Ｐ．℃）−１０
〜−６０℃、雰囲気ガス組成Ｈ2 ：５０ｖｏｌ以上、
Ｏ2 ：０．０２ｖｏｌ％以下、残：不活性ガスとする
ことにより、本発明で意図する優れた耐銹性の向上、お
よびレジスト密着性の確保を達成することができる。
℃）４５０〜６８０℃、保持時間（ｔ．ｓｅｃ）０．５
〜３００ｓｅｃ、雰囲気中の露点（Ｄ．Ｐ．℃）−１０
〜−６０℃、雰囲気ガス組成Ｈ2 ：５０ｖｏｌ以上、
Ｏ2 ：０．０２ｖｏｌ％以下、残：不活性ガスとする
ことにより、本発明で意図する優れた耐銹性の向上、お
よびレジスト密着性の確保を達成することができる。
【００２３】すなわち、Ｔが４５０℃未満、または、ｔ
が０．５ｓｅｃ未満またはＤ．Ｐ．が−６０℃未満で
は、本合金を最適条件下で応力除去焼鈍する際に表面処
理性を確保しつつ、耐銹性を向上させうるＦｅ−ｒｉｃ
ｈな酸化膜が１０オングストローム未満しか形成され
ず、優れた耐銹性が得られない。
が０．５ｓｅｃ未満またはＤ．Ｐ．が−６０℃未満で
は、本合金を最適条件下で応力除去焼鈍する際に表面処
理性を確保しつつ、耐銹性を向上させうるＦｅ−ｒｉｃ
ｈな酸化膜が１０オングストローム未満しか形成され
ず、優れた耐銹性が得られない。
【００２４】また、Ｔが６８０℃超、またはｔが３００
ｓｅｃ超、またはＤ．Ｐが−１０℃超またはＨ2 が５０
ｖｏｌ％未満、または、Ｏ2 が０．０２ｖｏｌ％越で
は、本合金を最適条件下で応力除去焼鈍する場合でも、
上記した酸化膜が２００オングストローム超と厚くなり
すぎ、本合金のレジスト密着性が確保できない。
ｓｅｃ超、またはＤ．Ｐが−１０℃超またはＨ2 が５０
ｖｏｌ％未満、または、Ｏ2 が０．０２ｖｏｌ％越で
は、本合金を最適条件下で応力除去焼鈍する場合でも、
上記した酸化膜が２００オングストローム超と厚くなり
すぎ、本合金のレジスト密着性が確保できない。
【００２５】以上より、応力除去焼鈍条件として、Ｔ：
４５０〜６８０℃、ｔ：０．５〜３００ｓｅｃ、Ｄ．
Ｐ．：−１０〜−６０℃、ガス組成：Ｈ2 ；５０ｖｏ
ｌ％以上、Ｏ2 ；０．０２ｖｏｌ％以下、残：不活性
ガスをそれぞれ定めた。
４５０〜６８０℃、ｔ：０．５〜３００ｓｅｃ、Ｄ．
Ｐ．：−１０〜−６０℃、ガス組成：Ｈ2 ；５０ｖｏ
ｌ％以上、Ｏ2 ；０．０２ｖｏｌ％以下、残：不活性
ガスをそれぞれ定めた。
【００２６】
【実施例】本発明によるものの具体的な実施例について
更に説明すると以下の如くである。 （実施例１）本発明者らは取鍋精錬によって、次の表１
に示すような、化学成分を有する合金Ａ、Ｃ、Ｊ〜Ｍの
鋼塊を造塊法で、また合金Ｂ、ＤのＣＣスラブを連続鋳
造法でそれぞれ調整した。これらの合金Ａ、Ｃ、Ｊ〜Ｍ
の鋼塊を手入れ後、分塊圧延して得られたスラブ、およ
び合金Ｂ、ＤのＣＣスラブを合わせて、表面疵取り、熱
間圧延、疵取りして得られた熱延コイルを用いて、以
降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延（圧下率３０％）−歪
取り焼鈍（Ｈ2 ：９９ｖｏｌ％、Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ
2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ2 、５４０℃×３００
ｓｅｃ）を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板である
材料No. ４２〜４９を得た。また、材料No. ５０とNo.
５１は合金Ａを用い、上記した材料No. ４２と仕上げ冷
延までは同じ製造方法にて材料を作製し、その後の歪取
り焼鈍を、おのおの５４０℃×０．２ｓｅｃと５４０℃
×４００ｓｅｃ（No. ５０、No. ５１とも他の歪取り焼
鈍条件は、Ｈ2 ：６０ｖｏｌ％、Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ
2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ2 ）で行なった板厚
０．１５ｍｍの合金薄板である。これらの材料を用い
て、耐銹性およびレジスト密着性を調べた。
更に説明すると以下の如くである。 （実施例１）本発明者らは取鍋精錬によって、次の表１
に示すような、化学成分を有する合金Ａ、Ｃ、Ｊ〜Ｍの
鋼塊を造塊法で、また合金Ｂ、ＤのＣＣスラブを連続鋳
造法でそれぞれ調整した。これらの合金Ａ、Ｃ、Ｊ〜Ｍ
の鋼塊を手入れ後、分塊圧延して得られたスラブ、およ
び合金Ｂ、ＤのＣＣスラブを合わせて、表面疵取り、熱
間圧延、疵取りして得られた熱延コイルを用いて、以
降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延（圧下率３０％）−歪
取り焼鈍（Ｈ2 ：９９ｖｏｌ％、Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ
2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ2 、５４０℃×３００
ｓｅｃ）を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板である
材料No. ４２〜４９を得た。また、材料No. ５０とNo.
５１は合金Ａを用い、上記した材料No. ４２と仕上げ冷
延までは同じ製造方法にて材料を作製し、その後の歪取
り焼鈍を、おのおの５４０℃×０．２ｓｅｃと５４０℃
×４００ｓｅｃ（No. ５０、No. ５１とも他の歪取り焼
鈍条件は、Ｈ2 ：６０ｖｏｌ％、Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ
2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ2 ）で行なった板厚
０．１５ｍｍの合金薄板である。これらの材料を用い
て、耐銹性およびレジスト密着性を調べた。
【００２７】
【表１】
【００２８】耐銹性の評価はこれらの供試材についてＪ
ＩＳＺ２３７１による塩水噴霧試験を１０時間行い、点
錆発生頻度を調べることにより行い、更にレジスト密着
性は歪取り焼鈍後の合金板を脱脂後、レジスト塗布し
て、ＪＩＳＤ０２０２に基づく碁盤目試験を行い、レジ
スト膜のはがれを観察することにより調べた。なお、本
実施例では、材料No. ４７、No. ４９以外は仕上げ冷延
時に、Ｒａ０．３〜１．２μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０μ
ｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを用
いて仕上げ圧延では圧下率３０％にて圧延することによ
り表２に示す表面粗度の材料を得た。材料No. ４７では
Ｒａ０．７０μｍ、ＲＳｍ２８０μｍ、材料No. ４９で
はＲａ０．０３μｍ、ＲＳｍ１０５μｍのワークロール
（ロール径１２０ｍｍ）を用いて、仕上げ圧延は上記と
同じ条件にて圧延することにより、表２に示す表面粗度
の材料を得た。また、材料表面の酸化膜厚さは、オージ
ェ分光分析法により調べた。
ＩＳＺ２３７１による塩水噴霧試験を１０時間行い、点
錆発生頻度を調べることにより行い、更にレジスト密着
性は歪取り焼鈍後の合金板を脱脂後、レジスト塗布し
て、ＪＩＳＤ０２０２に基づく碁盤目試験を行い、レジ
スト膜のはがれを観察することにより調べた。なお、本
実施例では、材料No. ４７、No. ４９以外は仕上げ冷延
時に、Ｒａ０．３〜１．２μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０μ
ｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを用
いて仕上げ圧延では圧下率３０％にて圧延することによ
り表２に示す表面粗度の材料を得た。材料No. ４７では
Ｒａ０．７０μｍ、ＲＳｍ２８０μｍ、材料No. ４９で
はＲａ０．０３μｍ、ＲＳｍ１０５μｍのワークロール
（ロール径１２０ｍｍ）を用いて、仕上げ圧延は上記と
同じ条件にて圧延することにより、表２に示す表面粗度
の材料を得た。また、材料表面の酸化膜厚さは、オージ
ェ分光分析法により調べた。
【００２９】それらの結果を表２に示した。この結果よ
り、材料No. ４２〜４５の各材は、本発明規定内の化学
成分、表面粗度および酸化膜厚さを有しており、点錆発
生頻度は低く、耐銹性に優れており、かつレジスト密着
性も本発明で意図する優れたレベルを示している。これ
らの材料のフォトエッチング後の製品の寸法精度は良好
であった。特にＳｂが複合添加された材料No. ４４とN
o. ４５は、他の発明例に比べて、耐銹性が更に優れた
レベルとなっている。これに対して、材料No. ４６、N
o. ４８はそれぞれ、Ｓｎ量が本発明規定上限を超える
もの、Ｓｂが本発明規定上限を超えるものであり、本発
明例に比べて、特に、レジスト密着性が劣る。また、材
料No. ４７はＳｎ量が本発明規定未満のものであり点錆
発生頻度は、本発明例に比べて高く、耐銹性が劣ってい
る。また、この材料では、ＲＳｍが本発明規定上限を越
えており、レジスト密着性は劣っている。材料No. ４９
はＲａが本発明規定の下限未満であり、レジスト密着性
は本発明例に比べて劣っている。また、材料No. ５０、
No. ５１はそれぞれ酸化膜厚さが、本発明規定の下限未
満のもの、本発明規定の上限を超えるものであり、それ
ぞれ本発明例に比べて耐銹性、レジスト密着性が劣って
いる。以上のように、本発明で意図する耐銹性、レジス
ト密着性を得るためには、本合金のＳｎ、Ｓｂ量、加え
て、表面粗度、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜厚さの制御が重
要であることが理解される。
り、材料No. ４２〜４５の各材は、本発明規定内の化学
成分、表面粗度および酸化膜厚さを有しており、点錆発
生頻度は低く、耐銹性に優れており、かつレジスト密着
性も本発明で意図する優れたレベルを示している。これ
らの材料のフォトエッチング後の製品の寸法精度は良好
であった。特にＳｂが複合添加された材料No. ４４とN
o. ４５は、他の発明例に比べて、耐銹性が更に優れた
レベルとなっている。これに対して、材料No. ４６、N
o. ４８はそれぞれ、Ｓｎ量が本発明規定上限を超える
もの、Ｓｂが本発明規定上限を超えるものであり、本発
明例に比べて、特に、レジスト密着性が劣る。また、材
料No. ４７はＳｎ量が本発明規定未満のものであり点錆
発生頻度は、本発明例に比べて高く、耐銹性が劣ってい
る。また、この材料では、ＲＳｍが本発明規定上限を越
えており、レジスト密着性は劣っている。材料No. ４９
はＲａが本発明規定の下限未満であり、レジスト密着性
は本発明例に比べて劣っている。また、材料No. ５０、
No. ５１はそれぞれ酸化膜厚さが、本発明規定の下限未
満のもの、本発明規定の上限を超えるものであり、それ
ぞれ本発明例に比べて耐銹性、レジスト密着性が劣って
いる。以上のように、本発明で意図する耐銹性、レジス
ト密着性を得るためには、本合金のＳｎ、Ｓｂ量、加え
て、表面粗度、Ｆｅ−ｒｉｃｈな酸化膜厚さの制御が重
要であることが理解される。
【００３０】
【表２】
【００３１】（実施例２）本発明者らは取鍋精錬によっ
て、次の表３に示すような、化学成分を有する合金Ｅ、
Ｇ、Ｎ〜Ｑの鋼塊を造塊法で、また合金Ｆ、Ｈ、ＩのＣ
Ｃスラブを連続鋳造法でそれぞれ調整した。これらの合
金Ｅ、Ｇ、Ｎ〜Ｑの鋼塊を手入れ後、分塊圧延して得ら
れたスラブ、および合金Ｆ、Ｈ、ＩのＣＣスラブを合わ
せて、表面疵取り、熱間圧延、疵取りして得られた熱延
コイルを用いて、以降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延
（圧下率７０％）−歪取り焼鈍（Ｈ2 ：７０ｖｏｌ％、
Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ
2 、５４０℃×３００ｓｅｃ）を行ない、板厚０．１５
ｍｍの合金薄板である材料No. ５２〜No. ６０を得た。
また、材料No. ６１とNo. ６２は合金Ｅを用い、上記し
た材料No. ５２と仕上げ冷延までは同じ製造方法にて材
料を作製し、その後の歪取り焼鈍を、おのおの５４０℃
×０．１ｓｅｃと５４０℃×４５０ｓｅｃ（No. ６１、
No. ６２とも他の歪取り焼鈍条件は、Ｈ2 ：６０ｖｏｌ
％、Ｄ．Ｐ．−４０℃、Ｏ2 ：０．００６ｖｏｌ％、
残：Ｎ2 ）で行なった板厚０．１５ｍｍの合金薄板であ
る。これらの材料を用いて、耐銹性およびレジスト密着
性を調べた。なお、耐銹性の評価方法、酸化膜の厚さ測
定方法は実施例１と同じにした。
て、次の表３に示すような、化学成分を有する合金Ｅ、
Ｇ、Ｎ〜Ｑの鋼塊を造塊法で、また合金Ｆ、Ｈ、ＩのＣ
Ｃスラブを連続鋳造法でそれぞれ調整した。これらの合
金Ｅ、Ｇ、Ｎ〜Ｑの鋼塊を手入れ後、分塊圧延して得ら
れたスラブ、および合金Ｆ、Ｈ、ＩのＣＣスラブを合わ
せて、表面疵取り、熱間圧延、疵取りして得られた熱延
コイルを用いて、以降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延
（圧下率７０％）−歪取り焼鈍（Ｈ2 ：７０ｖｏｌ％、
Ｄ．Ｐ．−５０℃、Ｏ2 ：０．００５ｖｏｌ％、残：Ｎ
2 、５４０℃×３００ｓｅｃ）を行ない、板厚０．１５
ｍｍの合金薄板である材料No. ５２〜No. ６０を得た。
また、材料No. ６１とNo. ６２は合金Ｅを用い、上記し
た材料No. ５２と仕上げ冷延までは同じ製造方法にて材
料を作製し、その後の歪取り焼鈍を、おのおの５４０℃
×０．１ｓｅｃと５４０℃×４５０ｓｅｃ（No. ６１、
No. ６２とも他の歪取り焼鈍条件は、Ｈ2 ：６０ｖｏｌ
％、Ｄ．Ｐ．−４０℃、Ｏ2 ：０．００６ｖｏｌ％、
残：Ｎ2 ）で行なった板厚０．１５ｍｍの合金薄板であ
る。これらの材料を用いて、耐銹性およびレジスト密着
性を調べた。なお、耐銹性の評価方法、酸化膜の厚さ測
定方法は実施例１と同じにした。
【００３２】
【表３】
【００３３】なお、本実施例では、材料No. ５８、No.
６０以外は、仕上げ冷延時に、Ｒａ０．０５〜０．４μ
ｍ、ＲＳｍ４０〜２５０μｍのワークロール（ロール径
１２０ｍｍ）のロールを用いて仕上げ圧延では、圧下率
７０％にて圧延することにより表４に示す材料の表面粗
度を得た。材料No. ５８ではＲａ０．７０、ＲＳｍ３０
０μｍ、材料No. ６０ではＲａ０．０２μｍ、ＲＳｍ１
２０μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）を用い
て、仕上げ圧延は上記と同じ条件にて圧延することによ
り表４に示す表面粗度の材料を得た。これらの結果は表
４において示す如くである。
６０以外は、仕上げ冷延時に、Ｒａ０．０５〜０．４μ
ｍ、ＲＳｍ４０〜２５０μｍのワークロール（ロール径
１２０ｍｍ）のロールを用いて仕上げ圧延では、圧下率
７０％にて圧延することにより表４に示す材料の表面粗
度を得た。材料No. ５８ではＲａ０．７０、ＲＳｍ３０
０μｍ、材料No. ６０ではＲａ０．０２μｍ、ＲＳｍ１
２０μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）を用い
て、仕上げ圧延は上記と同じ条件にて圧延することによ
り表４に示す表面粗度の材料を得た。これらの結果は表
４において示す如くである。
【００３４】
【表４】
【００３５】この結果より、材料No. ５２〜５６の各材
は、本発明規定内の化学成分、表面粗度および酸化膜厚
さを有しており、点錆発生頻度は低く、耐銹性に優れて
おり、かつレジスト密着性も本発明で意図する優れたレ
ベルを示している。これらの材料のフォトエッチング後
の製品の寸法精度は良好であった。特に、Ｓｂが複合添
加された材料No. ５４とNo. ５５は、他の発明例に比べ
て、耐銹性が更に優れたレベルとなっている。これに対
して、材料No. ５７、No. ５９はそれぞれＳｎ量が本発
明規定上限を超えるもの、Ｓｂ量が本発明規定上限を超
えるものであり、本発明例に比べて、特にレジスト密着
性が劣っている。また、材料No. ５８は、Ｓｎ量が本発
明規定未満のものであり、点錆発生頻度は、本発明例に
比べて高く、耐銹性が劣っている。また、この材料では
ＲＳｍが本発明規定上限を超えており、レジスト密着性
は劣っている。材料No. ６０はＲａが本発明規定の下限
未満であり、レジスト密着性は本発明例に劣っている。
また、材料No. ６１、No.６２はそれぞれ酸化膜厚さ
が、本発明規定の下限未満のもの、本発明規定の上限を
超えるものであり、それぞれ本発明例に比べて耐銹性、
レジスト密着性が劣っている。以上のように、本発明で
意図する耐銹性、レジスト密着性を得るためには、本合
金のＳｎ、Ｓｂ量、表面粗度加えてＦｅ−ｒｉｃｈな酸
化膜厚さの制御が重要であることが理解される。
は、本発明規定内の化学成分、表面粗度および酸化膜厚
さを有しており、点錆発生頻度は低く、耐銹性に優れて
おり、かつレジスト密着性も本発明で意図する優れたレ
ベルを示している。これらの材料のフォトエッチング後
の製品の寸法精度は良好であった。特に、Ｓｂが複合添
加された材料No. ５４とNo. ５５は、他の発明例に比べ
て、耐銹性が更に優れたレベルとなっている。これに対
して、材料No. ５７、No. ５９はそれぞれＳｎ量が本発
明規定上限を超えるもの、Ｓｂ量が本発明規定上限を超
えるものであり、本発明例に比べて、特にレジスト密着
性が劣っている。また、材料No. ５８は、Ｓｎ量が本発
明規定未満のものであり、点錆発生頻度は、本発明例に
比べて高く、耐銹性が劣っている。また、この材料では
ＲＳｍが本発明規定上限を超えており、レジスト密着性
は劣っている。材料No. ６０はＲａが本発明規定の下限
未満であり、レジスト密着性は本発明例に劣っている。
また、材料No. ６１、No.６２はそれぞれ酸化膜厚さ
が、本発明規定の下限未満のもの、本発明規定の上限を
超えるものであり、それぞれ本発明例に比べて耐銹性、
レジスト密着性が劣っている。以上のように、本発明で
意図する耐銹性、レジスト密着性を得るためには、本合
金のＳｎ、Ｓｂ量、表面粗度加えてＦｅ−ｒｉｃｈな酸
化膜厚さの制御が重要であることが理解される。
【００３６】（実施例３）実施例１で用いたものと同様
の合金No. Ａ〜No. Ｄに対応した熱延コイルを用いて、
以降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延（ＣＲ％）−歪取り
焼鈍を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板No. １〜N
o. １９を得た。仕上げ冷延、歪取り焼鈍は次の表５に
示す条件によって行った。なお、本実施例では、仕上げ
冷延時にＲａ０．３〜１．２μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０
μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを
用いて、表５に示す仕上げ冷延での圧下率（以下仕上げ
冷延率と略す）にて圧延を行ない、表６に示す表面粗度
の材料を得ている。又耐銹性の評価はこれらの供試材に
ついてＪＩＳＺ２３７１による塩水噴霧試験を１０時間
行い、点錆発生頻度を調べることにより行い、更にレジ
スト密着性、酸化膜厚さの測定は実施例１と同様の方法
にて調査し、それらの結果を表６に示した。
の合金No. Ａ〜No. Ｄに対応した熱延コイルを用いて、
以降、冷間圧延−焼鈍−仕上げ冷延（ＣＲ％）−歪取り
焼鈍を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板No. １〜N
o. １９を得た。仕上げ冷延、歪取り焼鈍は次の表５に
示す条件によって行った。なお、本実施例では、仕上げ
冷延時にＲａ０．３〜１．２μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０
μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを
用いて、表５に示す仕上げ冷延での圧下率（以下仕上げ
冷延率と略す）にて圧延を行ない、表６に示す表面粗度
の材料を得ている。又耐銹性の評価はこれらの供試材に
ついてＪＩＳＺ２３７１による塩水噴霧試験を１０時間
行い、点錆発生頻度を調べることにより行い、更にレジ
スト密着性、酸化膜厚さの測定は実施例１と同様の方法
にて調査し、それらの結果を表６に示した。
【００３７】
【表５】
【００３８】
【表６】
【００３９】上記表５、６に示した結果から明らかなよ
うに、本発明範囲内の仕上げ冷延率、応力除去焼鈍条件
による材料No. １１〜No. １９の各材は、本発明規定範
囲内の酸化膜厚さ表面粗度を有し点錆発生頻度は低く、
耐銹性に優れており、かつレジスト密着性も本発明で意
図する優れたレベルを示している。Ｃｏを含有する材料
No. １９は同様に優れた特性を示している。
うに、本発明範囲内の仕上げ冷延率、応力除去焼鈍条件
による材料No. １１〜No. １９の各材は、本発明規定範
囲内の酸化膜厚さ表面粗度を有し点錆発生頻度は低く、
耐銹性に優れており、かつレジスト密着性も本発明で意
図する優れたレベルを示している。Ｃｏを含有する材料
No. １９は同様に優れた特性を示している。
【００４０】これに対して、材料No. １、No. ３、No.
５、No. ７、No. ９、No. １０は、それぞれ、仕上げ冷
延率が本発明規定上限を超えるもの、Ｔが本発明規定上
限を超えるもの、ｔが本発明規定上限を超えるもの、
Ｄ．Ｐが本発明規定上限を超えるもの、Ｈ2 （ｖｏｌ
％）が本発明規定下限を越えるもの、Ｏ2 （ｖｏｌ％）
が本発明規定上限超のものであり、酸化膜厚さは２００
オングストロームを超え、点錆発生頻度は５個／１００
ｃｍ2 以下であるがレジストの密着性は発明例に比べ
て、劣っている。
５、No. ７、No. ９、No. １０は、それぞれ、仕上げ冷
延率が本発明規定上限を超えるもの、Ｔが本発明規定上
限を超えるもの、ｔが本発明規定上限を超えるもの、
Ｄ．Ｐが本発明規定上限を超えるもの、Ｈ2 （ｖｏｌ
％）が本発明規定下限を越えるもの、Ｏ2 （ｖｏｌ％）
が本発明規定上限超のものであり、酸化膜厚さは２００
オングストロームを超え、点錆発生頻度は５個／１００
ｃｍ2 以下であるがレジストの密着性は発明例に比べ
て、劣っている。
【００４１】一方、材料No. ２、No. ４、No. ６、No.
８はそれぞれ、仕上げ冷延率が本発明規定下限未満のも
の、Ｔが本発明規定下限未満のものｔが本発明規定下限
未満のもの、Ｄ．Ｐが本発明規定下限未満のものであ
り、酸化膜厚さは１０オングストローム未満でありレジ
ストの密着性は前記した比較例に比べると優れている
が、錆発生頻度は、５個／１００ｃｍ2 を超えており、
耐銹性が劣っている。なお、材料No. ２では、仕上げ冷
延率が本発明規定下限未満であり、表面粗度（ＲＳｍ）
が本発明規定の上限を越えており、レジスト密着性が劣
っている。
８はそれぞれ、仕上げ冷延率が本発明規定下限未満のも
の、Ｔが本発明規定下限未満のものｔが本発明規定下限
未満のもの、Ｄ．Ｐが本発明規定下限未満のものであ
り、酸化膜厚さは１０オングストローム未満でありレジ
ストの密着性は前記した比較例に比べると優れている
が、錆発生頻度は、５個／１００ｃｍ2 を超えており、
耐銹性が劣っている。なお、材料No. ２では、仕上げ冷
延率が本発明規定下限未満であり、表面粗度（ＲＳｍ）
が本発明規定の上限を越えており、レジスト密着性が劣
っている。
【００４２】以上のようにカラー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系
合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金において化学成分、
表面粗度、仕上げ冷延率、応力除去焼鈍でのＴ、ｔ、
Ｄ．Ｐ、Ｈ2 （ｖｏｌ％）、Ｏ2 （ｖｏｌ％）を本発明
規定値内とすることにより、本発明で意図する優れた、
耐銹性、レジスト密着性が得られることが明らかであ
る。
合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金において化学成分、
表面粗度、仕上げ冷延率、応力除去焼鈍でのＴ、ｔ、
Ｄ．Ｐ、Ｈ2 （ｖｏｌ％）、Ｏ2 （ｖｏｌ％）を本発明
規定値内とすることにより、本発明で意図する優れた、
耐銹性、レジスト密着性が得られることが明らかであ
る。
【００４３】（実施例４）実施例２で用いたものと同様
の合金No. Ｅ〜No. Ｉに対応した熱延コイルを用いて、
以降、冷延圧延−焼鈍−仕上げ冷延（ＣＲ％）−歪取り
焼鈍を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板No. ２１〜
No. ４０を得、仕上げ冷延、歪取り焼鈍は、次の表７に
示す条件にて行なった。なお、本実施例では、仕上げ冷
延時にＲａ０．０５〜０．４μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０
μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを
用いて、表７に示す仕上げ冷延率にて圧延を行ない、表
８に示す表面粗度の材料を得ている。耐銹性の評価は、
これらの供試材について、ＪＩＳＺ２３７１による塩水
噴霧試験を１０時間行ない点錆発生頻度を調べることに
より行ない、また、レジスト密着性、酸化膜厚さの測定
は実施例１と同様の方法にて調査した。これらの結果は
表８において示す如くである。
の合金No. Ｅ〜No. Ｉに対応した熱延コイルを用いて、
以降、冷延圧延−焼鈍−仕上げ冷延（ＣＲ％）−歪取り
焼鈍を行ない、板厚０．１５ｍｍの合金薄板No. ２１〜
No. ４０を得、仕上げ冷延、歪取り焼鈍は、次の表７に
示す条件にて行なった。なお、本実施例では、仕上げ冷
延時にＲａ０．０５〜０．４μｍ、ＲＳｍ４０〜２５０
μｍのワークロール（ロール径１２０ｍｍ）のロールを
用いて、表７に示す仕上げ冷延率にて圧延を行ない、表
８に示す表面粗度の材料を得ている。耐銹性の評価は、
これらの供試材について、ＪＩＳＺ２３７１による塩水
噴霧試験を１０時間行ない点錆発生頻度を調べることに
より行ない、また、レジスト密着性、酸化膜厚さの測定
は実施例１と同様の方法にて調査した。これらの結果は
表８において示す如くである。
【００４４】
【表７】
【００４５】
【表８】
【００４６】上記表７、表８に示した結果から明らかな
ように、本発明範囲内の仕上げ冷延率、応力除去焼鈍条
件による材料No. ３１〜No. ４０の各材は、本発明規定
範囲内の酸化膜厚さ、表面粗度を有し点錆発生頻度が低
く、耐銹性に優れており、かつレジスト密着性も本発明
で意図する優れたレベルを示している。このように、Ｃ
ｏを含有する材料No. ３９およびNo. ４０は同様に優れ
た特性を示している。
ように、本発明範囲内の仕上げ冷延率、応力除去焼鈍条
件による材料No. ３１〜No. ４０の各材は、本発明規定
範囲内の酸化膜厚さ、表面粗度を有し点錆発生頻度が低
く、耐銹性に優れており、かつレジスト密着性も本発明
で意図する優れたレベルを示している。このように、Ｃ
ｏを含有する材料No. ３９およびNo. ４０は同様に優れ
た特性を示している。
【００４７】これに対して、材料No. ２１、No. ２３、
No. ２５、No. ２７、No. ２９、No. ３０はそれぞれ、
仕上げ冷延率が本発明規定上限を超えるもの、Ｔが本発
明規定上限を超えるもの、ｔが本発明規定上限を超える
もの、Ｄ．Ｐが本発明規定上限を超えるもの、Ｈ2 （ｖ
ｏｌ％）が本発明規定下限未満のもの、Ｏ2 （ｖｏｌ
％）が本発明規定上限を超えるものであり、酸化膜厚さ
は２００オングストロームを超え点錆発生頻度は５個／
１００ｃｍ2 以下であるがレジスト密着性は発明例に比
べて劣っている。
No. ２５、No. ２７、No. ２９、No. ３０はそれぞれ、
仕上げ冷延率が本発明規定上限を超えるもの、Ｔが本発
明規定上限を超えるもの、ｔが本発明規定上限を超える
もの、Ｄ．Ｐが本発明規定上限を超えるもの、Ｈ2 （ｖ
ｏｌ％）が本発明規定下限未満のもの、Ｏ2 （ｖｏｌ
％）が本発明規定上限を超えるものであり、酸化膜厚さ
は２００オングストロームを超え点錆発生頻度は５個／
１００ｃｍ2 以下であるがレジスト密着性は発明例に比
べて劣っている。
【００４８】一方、材料No. ２２、No. ２４、No. ２
６、No. ２８はそれぞれ、仕上げ冷延率が本発明規定下
限未満のもの、Ｔが本発明規定下限未満のもの、ｔが本
発明規定下限未満のもの、Ｄ．Ｐが本発明規定下限未満
のものであり、酸化膜厚さは１０オングストローム未満
でありレジスト密着性は前記した比較例に比べると優れ
ているが、錆発生頻度は、５個／１００ｃｍ2 を超えて
おり、耐銹性が劣っている。なお、材料No. ２２では、
仕上げ冷延率が本発明規定下限未満であり、表面粗度
（ＲＳｍ）が本発明規定の上限を超えており、レジスト
密着性が劣っている。
６、No. ２８はそれぞれ、仕上げ冷延率が本発明規定下
限未満のもの、Ｔが本発明規定下限未満のもの、ｔが本
発明規定下限未満のもの、Ｄ．Ｐが本発明規定下限未満
のものであり、酸化膜厚さは１０オングストローム未満
でありレジスト密着性は前記した比較例に比べると優れ
ているが、錆発生頻度は、５個／１００ｃｍ2 を超えて
おり、耐銹性が劣っている。なお、材料No. ２２では、
仕上げ冷延率が本発明規定下限未満であり、表面粗度
（ＲＳｍ）が本発明規定の上限を超えており、レジスト
密着性が劣っている。
【００４９】以上説明したようにＩＣリードフレーム用
Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金におい
て化学成分、表面粗度仕上げ冷延率、応力除去焼鈍での
Ｔ、ｔ、Ｄ．Ｐ、Ｈ2 （ｖｏｌ％）、Ｏ2 （ｖｏｌ％）
を本発明規定値内とすることにより、本発明の目的とす
る優れた、耐銹性、レジスト密着性が得られることが明
らかである。
Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金におい
て化学成分、表面粗度仕上げ冷延率、応力除去焼鈍での
Ｔ、ｔ、Ｄ．Ｐ、Ｈ2 （ｖｏｌ％）、Ｏ2 （ｖｏｌ％）
を本発明規定値内とすることにより、本発明の目的とす
る優れた、耐銹性、レジスト密着性が得られることが明
らかである。
【００５０】
【発明の効果】以上詳述したような、本発明によれば、
耐銹性が優れ、かつ優れたレジスト密着性が優れたカラ
ー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系
合金、ＩＣリードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金などの各種の機能材料に用いられ
るＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
薄板を適切に提供することができるものであるから、工
業的に有利な効果がもたらされ、その結果の大きい発明
である。
耐銹性が優れ、かつ優れたレジスト密着性が優れたカラ
ー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系
合金、ＩＣリードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金などの各種の機能材料に用いられ
るＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
薄板を適切に提供することができるものであるから、工
業的に有利な効果がもたらされ、その結果の大きい発明
である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｊ 29/07 Ｈ０１Ｊ 29/07 Ｚ (72)発明者 鹿毛 勇 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 若狭 浩 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−251249（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−111448（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−268902（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−221024（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−259027（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 38/00 - 38/60 C22C 19/03 C21D 9/46 - 9/48 H01J 29/07
Claims (4)
- 【請求項１】 重量％で、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：
０．０６％以下、Ｏ：０．００５％以下、Ｓ：０．００
３％以下、Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：０．００３％以
下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：０．００１〜０．１
％を含有し、残部がＦｅ及び不可避不純物からなるＦｅ
−Ｎｉ系合金であって、その表面をＲａ０．１〜０．７
μｍ、ＲＳｍ４０〜２００μｍとし、さらに酸化膜を厚
み１０〜２００オングストロームで形成させたことを特
徴とするレジスト密着性と耐銹性に優れた電子部品用Ｆ
ｅ−Ｎｉ系合金薄板。 - 【請求項２】 重量％で、Ｎｉ：２６〜３８％、Ｃｏ：
１〜２０％、Ｃ：０．０６％以下、Ｏ：０．００５％以
下、Ｓ：０．００３％以下、Ｐ：０．０１％以下、Ｎ：
０．００３％以下、Ｈ：３．０ｐｐｍ以下、Ｓｎ：０．
００１〜０．１％を含有し、残部がＦｅ及び不可避不純
物からなるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であって、その表面
をＲａ０．１〜０．７μｍ、ＲＳｍ４０〜２００μｍと
し、さらに酸化膜を厚み１０〜２００オングストローム
で形成させたことを特徴とするレジスト密着性と耐銹性
に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。 - 【請求項３】Ｓｂを０．００１〜０．１％付加的に含有
する請求項１または２に記載のレジスト密着性と耐銹性
に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板または電子部
品用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。 - 【請求項４】請求項１〜３に記載の化学成分を有するＦ
ｅ−Ｎｉ系合金帯またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金帯を１
回ないし２回以上冷延、焼鈍を繰返したのち、仕上げ冷
延、応力除去焼鈍してコイルまたはフープを製造するに
当り、表面粗度Ｒａ：０．０５〜１．２μｍ、ＲＳｍ：
４０〜２５０μｍの直径２００ｍｍ以下のダルロールを
用いて前記仕上げ冷延率（ＣＲ％）を１５〜８０％とし
て請求項１〜３の表面粗度を得、前記応力除去焼鈍を温
度（Ｔ℃）を４５０〜６８０℃、保持時間（ｔ，ｓｅ
ｃ）を０．５〜３００ｓｅｃ、雰囲気の露点（Ｄ．Ｐ．
℃）を−１０〜−６０℃、雰囲気をＨ2 ：５０ｖｏｌ
％以上、Ｏ2 ：０．０２ｖｏｌ％以下、残部：不活性
ガスとして請求項１〜３に記載の酸化膜厚さを得ること
を特徴とするレジスト密着性と耐銹性に優れた電子部品
用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
薄板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6041073A JP3033426B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | レジスト密着性および耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6041073A JP3033426B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | レジスト密着性および耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07252601A JPH07252601A (ja) | 1995-10-03 |
| JP3033426B2 true JP3033426B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=12598279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6041073A Expired - Fee Related JP3033426B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | レジスト密着性および耐銹性に優れた電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3033426B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004137563A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-13 | Toyo Kohan Co Ltd | カラー受像管用アパーチャーグリル用素材、アパーチャーグリルおよびカラー受像管 |
| KR102142752B1 (ko) * | 2017-12-19 | 2020-08-07 | 주식회사 포스코 | 수지 밀착성이 우수한 Fe-Ni계 합금 포일, 그 제조방법, 증착용 마스크 및 상기 증착용 마스크 제조방법 |
-
1994
- 1994-03-11 JP JP6041073A patent/JP3033426B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07252601A (ja) | 1995-10-03 |
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