JP3022298B2 - 印刷ステンシルを作製する方法とその装置 - Google Patents

印刷ステンシルを作製する方法とその装置

Info

Publication number
JP3022298B2
JP3022298B2 JP8011061A JP1106196A JP3022298B2 JP 3022298 B2 JP3022298 B2 JP 3022298B2 JP 8011061 A JP8011061 A JP 8011061A JP 1106196 A JP1106196 A JP 1106196A JP 3022298 B2 JP3022298 B2 JP 3022298B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screen
coating
coating layer
layer
band
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP8011061A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08238863A (ja
Inventor
ペーター・ベルナー
Original Assignee
フィングラフ・アクチエンゲゼルシヤフト
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=4181849&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3022298(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by フィングラフ・アクチエンゲゼルシヤフト filed Critical フィングラフ・アクチエンゲゼルシヤフト
Publication of JPH08238863A publication Critical patent/JPH08238863A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3022298B2 publication Critical patent/JP3022298B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41C—PROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00—Forme preparation
    • B41C1/14—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing
    • B41C1/148—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing by a traditional thermographic exposure using the heat- or light- absorbing properties of the pattern on the original, e.g. by using a flash
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/2014—Contact or film exposure of light sensitive plates such as lithographic plates or circuit boards, e.g. in a vacuum frame
    • G03F7/2016—Contact mask being integral part of the photosensitive element and subject to destructive removal during post-exposure processing
    • G03F7/2018—Masking pattern obtained by selective application of an ink or a toner, e.g. ink jet printing
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/12—Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Moulding By Coating Moulds (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微細網目のスク
リーンに未露光の感光乳剤層を付け、このスクリーン上
で露光させたくない個所に所定のパターンに合わせてワ
ックスを含む非透光性の塗布層を塗布し、露光後に除去
する、微細網目のスクリーンを用いて印刷ステンシルを
作製する方法、及びこの方法を実施する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の塗布された印刷ステンシルは、
ヨーロッパ特許出願第０４９２３５１号明細書、ヨーロ
ッパ特許出願第０５５８０９８号明細書、およびヨーロ
ッパ特許出願第０５９０１６４号明細書に開示されてい
るように周知である。個々に考察すると、ヨーロッパ特
許出願第０４９２３５１号明細書では、同じタイプの印
刷ステンシルを作製する方法とそれに対応する装置が開
示されている。この場合、例えばタルク粉末のような粉
末をスクリーンに塗布する。従ってその後に吹き付けた
インクが流れることなく、正確な輪郭を形成する。この
装置の難点は、粉末を使用することでこの粉末が作業場
にミストを発生させるため環境に悪影響を与える点にあ
る。
【０００３】ヨーロッパ特許出願第０５５８０９８号明
細書では、直径の異なる複数の円管状スクリーンの中心
を合わせるため、複数の段のある心押台を形成すること
が記載されている。このような心押台の製造は相当複雑
で、高価になる。何故なら、単純な周知の心押台に比べ
て、これ等の心押台を交換するだけで経費の上昇が浮上
してくる。
【０００４】最後に、ヨーロッパ特許出願第０５９０１
６４号明細書は、塗布層を高粘性層で形成する方法を開
示している。高粘性層の材料として合成樹脂ラッカーの
感光乳剤が提案されている。しかし、このような材料は
スクリーンに強く付着し、露光後にワックスを取り除く
ことを行っていない。何故なら、塗布液体が印刷化学薬
品の磨耗や化学的な影響に対して抵抗力を有すべきであ
るからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、この発明の課
題は、簡単に除去できる塗布層を所定のパターンに合わ
せてスクリーンに塗布し、円管にして、あるいは平坦な
面にして前記スクリーンに塗布できる方法およびその装
置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、露光されてない感光乳剤層を備えた微細網目の
スクリーンから成り、感光乳剤層上には露光させたくな
い個所が特殊のパターンに従って非光透過層によって被
覆されており、被覆層はワックスを含みかつ露光後に除
去されるようになる、印刷ステンシルを製造するたその
方法において、被覆層は、吹付ヘッドによって感光乳剤
層に塗布されることを特徴とする前記印刷ステンシルの
製造方法によって解決されている。
【０００７】更に、上記の課題は、この発明により、微
細網目スクリーンを被覆する装置であって、微細網目ス
クリーンは、露光されてない感光乳剤層を備え、かつ感
光乳剤層上には露光させたくない個所が特殊のパターン
に従って非光透過層によって被覆されており、被覆層は
ワックスを含みかつ露光後に除去されるようになり、そ
の際被覆装置（２０、４０）を有している前記微細網目
スクリーンを被覆する装置において、被覆装置（２０、
４０）は感光乳剤層に対して被覆層を塗布するための吹
付ヘッドを有することを特徴とする前記微細網目スクリ
ーンを被覆する装置によって解決されている。
【０００８】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項（請求項２から４まで及び請求項
６から９まで）に記載されている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
【００１０】
【実施例】図１，図２および図３の円筒状のスクリーン
を被せる装置には支持部２上にフレーム１がある。これ
らの支持部２のうち二つを図１に示してある。二つの心
押台３，４は、周知のように円筒状のスクリーン５を挟
持し、モータ３３とタイミングベルト３４により心押台
３のスピンドルを介してスクリーン５を回転駆動するた
めに使用される。破線で示す心押台４の位置により心押
台４’として示すように、心押台４は、スクリーンを上
方又は前方に妨げられることなく挿入できるため軸方向
に移動可能に配置されている。例えば垂直に調整可能な
３つの支持部６，７，８が挿入を助けるために使用さ
れ、これらの支持部にはスクリーン５の半径に相応する
大きさの円弧形の凹所を備えた各一つの載置板９があ
る。上記支持部６，７，８は機械的又は空気圧的に持ち
上がるので、載置板は位置９a を占め、スクリーン５に
対する床面を形成する。心押台４を保持位置にすると、
スクリーン５は中心合わせされ、送風機１０を用いて空
気をスクリーンに吹き込むので、スクリーンは正確に丸
い円筒形となる。
【００１１】塗布装置２０は、図２と図３から分かるよ
うに、この実施例の場合、９６個のノズルを備えた吹付
ヘッド２１で構成され、これ等のノズルが塗布装置の底
に対して鋭角となるように直線状に配置されている。更
に、塗布装置２０の上には吹付ヘッド２１の個々のノズ
ルを制御する、つまり開閉するデータ変換器を備えた制
御部２２がある。塗布装置２０の上には、当然、塗布液
体、この実施例の場合、接着剤を混ぜたワックスの貯蔵
容器２４もある。このワックスは昇温され、保温された
導管２３を経由して吹付ヘッド２１に導入される。
【００１２】例えば９６個のノズルを備えた吹付ヘッド
２１による塗布は約８ mm 幅の帯域によって行われる。
同期歯車による駆動部はスクリーンが１回転する毎に８
mm移動する。回転の初期点は、位置変換器３２で決め
る。発光器２５も塗布装置２０の中に組み込まれている
ので、基本的にワックスを塗布していない個所の露光を
同じ操作で行うことができる。
【００１３】塗布装置の送りはスピンドル３０とボール
ネジナット３１により極めて一様に行われる。円筒状の
スクリーンの周囲の同じ位置で塗布が必ず始まると、パ
ターンに直線を与えることは容易に分かる。これを防ぐ
ため、制御に必要な角度変換器（ロータリーエンコー
ダ）３２を利用し、パターンの始まりに対して塗布装置
４０をどのようにも調整できる。この調整は前記始まり
に関して正弦関数を用いて行うと有利である。その結
果、スクリーンの回転に対してその都度初期位置を進め
たり遅らせることができ、パターンに検知し得る中断が
生じない。
【００１４】同様に、図４と図５では塗布装置４０も平
坦なスクリーンの上を移動する。ただ、ここでは塗布装
置４０が直交する二つの方向に移動する点で円筒状のス
クリーンと相違する。フレーム４１に装着された平坦な
スクリーン４２を正しい位置に保持するため、支持ヘッ
ド４３を使用する。これらの支持ヘッドにはフレーム４
１が直交する二つの方向で接するので、正確に固定され
た位置を占める。スクリーン４２は他の支持ヘッド４３
上の多くの個所に載っているので、塗布装置４０の軽い
圧力に耐える。Ｙ方向に駆動するため（図５を参照），
モータ４４を使用する。このモータは緊張部材４５で緊
張させた駆動ベルト４６により移動台４７を塗布装置４
０と共に段階的に移動させる。そうすると、塗布装置４
０が周知の駆動手段により一様にＸ方向に往復移動す
る。この場合、次の塗布の前に９６個のノズルを用いて
８ mm の各塗布幅を移動させる必要があり、フレームの
同じ縁部分の位置に急激に戻して塗布できることを考え
れば、塗布装置が両方の移動方向でスクリーンに吹き付
けるか、あるいは唯一方の方向で吹き付けるかは問題で
はない。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の方法お
よびその装置により、簡単に除去できる塗布層を所定の
パターンに合わせてスクリーンに塗布でき、スクリーン
に円管状にして、あるいは平坦な面状にして塗布でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 スクリーンを緊張させる手段と共に円筒状の
スクリーンに塗布を行う装置の立面図、
【図２】 図１で左から見た側面図、
【図３】 吹付ヘッド装置と付属する制御部を有する移
動台の平面図、
【図４】 平坦なスクリーンを塗布する装置の側面図、
【図５】 スクリーンの緊張フレームのホルダーの平面
図である。
【符号の説明】
１ フレーム ２ 支持部 ３ 心押台 ４ 心押台 ４’ 心押台 ５ 円筒状のスクリーン ６ 支持部 ７ 支持部 ８ 支持部 ９ 載置板 １０ 送風機 ２０ 塗布装置 ２１ 吹付ヘッド ２２ 制御部 ２３ 保温導管 ２４ 貯蔵容器 ２５ 発光器 ３０ スピンドル ３１ ボールネジナット ３２ 位置変換器（角度変換器） ３３ モータ ３４ 歯付きベルト ３５ スピンドル ４０ 塗布装置 ４１ フレーム ４２ 平坦なスクリーン ４３ 支持ヘッド ４４ モータ ４５ 緊張部材 ４６ 駆動ベルト ４７ 移動台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41C 1/14 B41N 1/24 G03F 7/12

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 微細網目のスクリーンに未露光の感光乳
    剤層を付け、このスクリーン上で露光させたくない個所
    に所定のパターンに合わせてワックスを含む非透光性の
    塗布層を塗布し、露光後に除去する、微細網目のスクリ
    ーンを用いて印刷ステンシルを作製する方法において、 吹付ヘッドにより帯域状に感光乳剤層に塗布層を塗布す
    ることを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 円筒状または円管状のスクリーン（５）
    の場合、パターン中の明確な分離線を無くするため、ス
    クリーンが１回転する毎に帯域状の塗布層の始まり位置
    を変えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 帯域状の塗布層の始まり位置の変更は、
    正弦曲線に従って行われることを特徴とする請求項２に
    記載の方法。
  4. 【請求項４】 帯域状の塗布層で塗布されたスクリーン
    のワックスを塗布していない個所は、塗布後に同じ操作
    で露光されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１
    項に記載の方法。
  5. 【請求項５】 塗布装置（２０，４０）を備え、微細網
    目のスクリーンに未露光の感光乳剤層を付け、このスク
    リーン上で露光させたくない個所に所定のパターンに合
    わせてワックスを含む非透光性の塗布層を塗布し、露光
    後に除去する、微細網目のスクリーンに塗布する装置に
    おいて、 前記塗布装置（２０，４０）が、感光乳剤層に対して帯
    域状に塗布層を塗布するための吹付ヘッドを有すること
    を特徴とする装置。
  6. 【請求項６】 円管状のスクリーン（５）を長手軸線の
    回りに回転させる装置の複数の心押台（３，４）を備
    え、少なくとも一方の心押台（３，４）は円管状のスク
    リーン（５）の円筒状の凹所に圧搾空気を供給できるよ
    うに設計されていることを特徴とする請求項５に記載の
    装置。
  7. 【請求項７】 複数の心押台（３，４）を用いて円管状
    のスクリーン（５）の向きを揃えるため、及び挿入を助
    けるため、それぞれ一つの載置板（９）と円弧状の凹所
    を有する多数の支持部（６，７，８）を備えていること
    を特徴とする請求項６に記載の装置。
  8. 【請求項８】 平坦なスクリーン（４２）を保持するた
    め行列状に配置された多数の支持ヘッド（４３）を備え
    ていることを特徴とする請求項５に記載の装置。
  9. 【請求項９】 支持ヘッド（４３）の幾つかは、平坦な
    スクリーン（４２）のフレーム（４１）を主要な２つの
    方向ＸとＹに向けて揃うように配置されていることを特
    徴とする請求項８に記載の装置。
JP8011061A 1995-01-26 1996-01-25 印刷ステンシルを作製する方法とその装置 Expired - Fee Related JP3022298B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH00213/95A CH690030A5 (de) 1995-01-26 1995-01-26 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone.
CH213/95-4 1995-01-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08238863A JPH08238863A (ja) 1996-09-17
JP3022298B2 true JP3022298B2 (ja) 2000-03-15

Family

ID=4181849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8011061A Expired - Fee Related JP3022298B2 (ja) 1995-01-26 1996-01-25 印刷ステンシルを作製する方法とその装置

Country Status (13)

Country Link
EP (1) EP0733951B1 (ja)
JP (1) JP3022298B2 (ja)
KR (1) KR960029098A (ja)
CN (1) CN1074990C (ja)
AT (1) ATE170639T1 (ja)
BR (1) BR9600213A (ja)
CH (1) CH690030A5 (ja)
DE (1) DE59600495D1 (ja)
DK (1) DK0733951T3 (ja)
ES (1) ES2123304T3 (ja)
HK (1) HK1000635A1 (ja)
IL (1) IL116630A (ja)
RU (1) RU2157763C2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19725488A1 (de) * 1997-06-17 1999-01-21 Kissel & Wolf Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckform und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
AU3834800A (en) * 2000-03-24 2001-10-03 F. Lli Robustelli Srl Method for centered screen printing and apparatus
EP1154326A1 (de) * 2000-05-12 2001-11-14 Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Druckplatten
AT500267B8 (de) * 2001-05-22 2007-02-15 Berndorf Band Ges M B H Verfahren zum strukturieren von endlosen bändern für pressen
US20150336301A1 (en) 2012-05-02 2015-11-26 Rolith, Inc. Cylindrical polymer mask and method of fabrication
CN104412165B (zh) * 2012-05-02 2018-06-19 超材料技术美国公司 圆筒形聚合物掩膜和制造方法
US9481112B2 (en) 2013-01-31 2016-11-01 Metamaterial Technologies Usa, Inc. Cylindrical master mold assembly for casting cylindrical masks
US9782917B2 (en) 2013-01-31 2017-10-10 Metamaterial Technologies Usa, Inc. Cylindrical master mold and method of fabrication
US10088914B2 (en) * 2013-06-13 2018-10-02 Microsoft Technology Licensing, Llc Modifying input delivery to applications
CN104742493A (zh) * 2013-12-27 2015-07-01 乐凯华光印刷科技有限公司 一种丝网印刷版及其制造方法
CN111391475A (zh) * 2020-04-18 2020-07-10 杨林 一种印刷丝网印版线形流动曝光装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4390369A (en) * 1981-12-17 1983-06-28 Exxon Research And Engineering Co. Natural wax-containing ink jet inks
US5154121A (en) * 1988-11-09 1992-10-13 Man Roland Druckmaschinen Ag System and method to apply a printing image on a printing machine cylinder having ink accepting receptors or cells, in accordance with electronically furnished image information
CN1022417C (zh) * 1990-06-04 1993-10-13 中国科学院长春应用化学研究所 速溶阴离子型聚丙烯酰胺制备
US5156089A (en) * 1990-12-17 1992-10-20 Gerber Scientific Products, Inc. Method and apparatus for making a painting screen using an ink jet printer for printing a graphic on the screen emulsion
US5192641A (en) * 1990-12-19 1993-03-09 Hoechst Celanese Corporation Method of thermal wax transfer as a mask for digital color proofing
US5345254A (en) * 1991-05-16 1994-09-06 Xerox Corporation Ink jet printing process
US5247315A (en) * 1992-02-06 1993-09-21 Gerber Scientific Products, Inc. Method of printing a graphic having uniform ink density on an emulsion coated printing screen
EP0562150B1 (de) * 1992-03-27 1995-05-31 Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Bearbeiten dünnwandiger Hohlzylinder mittels eines Laserstrahls
ATE246813T1 (de) * 1992-09-22 2003-08-15 Schablonentechnik Kufstein Ag Vorrichtung zum aufbringen einer abdeckflüssigkeit auf einen zylinder
DE59301804D1 (de) * 1993-04-28 1996-04-11 Schablonentechnik Kufstein Ag Vorrichtung zum formstabilen Aufspannen eines dünnwandigen Hohlzylinders

Also Published As

Publication number Publication date
EP0733951A2 (de) 1996-09-25
JPH08238863A (ja) 1996-09-17
CN1074990C (zh) 2001-11-21
KR960029098A (ko) 1996-08-17
RU2157763C2 (ru) 2000-10-20
ES2123304T3 (es) 1999-01-01
DE59600495D1 (de) 1998-10-08
ATE170639T1 (de) 1998-09-15
DK0733951T3 (da) 1999-06-07
CH690030A5 (de) 2000-03-31
HK1000635A1 (en) 2002-03-15
BR9600213A (pt) 1998-01-06
EP0733951B1 (de) 1998-09-02
IL116630A0 (en) 1996-03-31
IL116630A (en) 1998-10-30
EP0733951A3 (de) 1996-12-18
CN1154910A (zh) 1997-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3022298B2 (ja) 印刷ステンシルを作製する方法とその装置
CA2057736C (en) Printing screen and method and apparatus for its manufacture
US6294020B1 (en) Device for applying photoresist to a base body surface
US5370762A (en) Use site production of sandblasting photomasks
JPH01307756A (ja) 印刷用回転式シルクスクリーン印刷ステンシルの準備方法
JP2003026434A (ja) レーザで引き起こされた溝の溝跡をマーキングするための方法
JP2006321243A (ja) コーティングを施されたスクリーン片を備えたスクリーン印刷版およびそのスクリーン印刷版を製造する方法
RU96102671A (ru) Способ изготовления печатных шаблонов и устройство для его осуществления
JPH02229574A (ja) 基材に模様を形成させる方法とその装置
US6076459A (en) Method and apparatus for the production of a printing stencil
JP3046780B2 (ja) ハーフトーン印刷方法及びハーフトーン印刷装置
JP3040732B2 (ja) ハーフトーンステンシルならびにその製造方法および製造装置
JPH01193068A (ja) ピストンスカートへの被膜形成方法
JP4440370B2 (ja) 可撓性シート基材へのパターン複製装置
JPH03107849A (ja) コーティング方法
JP7219999B1 (ja) フレキソ版とその製造方法とヒートカット装置
US4505198A (en) Apparatus and method for applying printed material to a cylindrical object
EP1522406A1 (en) A linear-motor-drive machine for precise positioning of items to be printed and/or varnished
JPH08166673A (ja) 印刷版用マーク付与装置
JPH0570011A (ja) 高摩擦ローラ
WO1994020223A1 (en) Method and system for applying a marking to a substrate, particularly a painted border adjacent to and around a windshield plate
JPS5978870A (ja) レ−ザ印字装置
JPH03248843A (ja) 円筒体周面への印刷方法及び装置
JPH03183512A (ja) 光学部品製造装置
JPH09114099A (ja) 薄膜形成装置および薄膜形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990202

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19991130

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees