JP3018216B2 - リ−ドフレ−ムの製造方法 - Google Patents
リ−ドフレ−ムの製造方法Info
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームをプレス
とエッチングを併用して製造する方法に関する。
とエッチングを併用して製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置は高集積度化および小型化さ
れ、これに対応してリードフレ−ムはそのリードが微細
で小ピッチの多ピンとすることを要請される。
れ、これに対応してリードフレ−ムはそのリードが微細
で小ピッチの多ピンとすることを要請される。
【０００３】リードフレームは例えば１００ピン超のも
のが製造されるようになり、多ピンリ−ドフレーム製造
として、プレスによる打抜きとエッチングを併用する方
法が提案されている。例えば特公平３ー６６６３号公報
にはインナ−リード部とパッド部はエッチングで形成
し、アウターリード部はプレスで形成するリードフレー
ムの製造方法が示されている。これではリ−ドが幅、ピ
ッチともより微細なインナーリード部はエッチングで微
細に食刻でき、リ−ドの幅、ピッチとも微細さが幾分緩
和されるアウターリード部はプレスで形成することで高
速且つ高安定打抜き作用の利点が得られ、形状精度のす
ぐれたリードフレームが比較的安価に製造できる効果が
ある。
のが製造されるようになり、多ピンリ−ドフレーム製造
として、プレスによる打抜きとエッチングを併用する方
法が提案されている。例えば特公平３ー６６６３号公報
にはインナ−リード部とパッド部はエッチングで形成
し、アウターリード部はプレスで形成するリードフレー
ムの製造方法が示されている。これではリ−ドが幅、ピ
ッチともより微細なインナーリード部はエッチングで微
細に食刻でき、リ−ドの幅、ピッチとも微細さが幾分緩
和されるアウターリード部はプレスで形成することで高
速且つ高安定打抜き作用の利点が得られ、形状精度のす
ぐれたリードフレームが比較的安価に製造できる効果が
ある。
【０００４】
【この発明が解決しようとする課題】リードフレームを
プレスとエッチングの併用で製造する場合は、前述のよ
うにプレスでリードパターンの１部例えばアウターリー
ドを穿設し、残りのインナーリード等のリードパターン
をエッチングで形成するが、エッチングの際に先に形成
したアウターリード及び素材金属板の両端面部等を食刻
しないようにする必要がある。これは出来あがるリード
フレームのパターンを所定の形状精度にするうえで、更
に素材金属板からのリードフレームの製造歩留りを高め
るための課題である。
プレスとエッチングの併用で製造する場合は、前述のよ
うにプレスでリードパターンの１部例えばアウターリー
ドを穿設し、残りのインナーリード等のリードパターン
をエッチングで形成するが、エッチングの際に先に形成
したアウターリード及び素材金属板の両端面部等を食刻
しないようにする必要がある。これは出来あがるリード
フレームのパターンを所定の形状精度にするうえで、更
に素材金属板からのリードフレームの製造歩留りを高め
るための課題である。
【０００５】本発明はプレスとエッチングを併用して微
細なリードパタ−ンを有するリードフレームを形状精度
よく、また歩留り高く製造することを目的とする。
細なリードパタ−ンを有するリードフレームを形状精度
よく、また歩留り高く製造することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、プレス
でリードパタ−ンの一部を形成し、残余のリードパター
ンをエッチングで形成するリードフレームの製造方法に
おいて、プレスでリードパターンの一部を穿設し、該一
部のリードパターンが穿設された金属板にフォトレジス
トを電着により付着させ、または必要に応じて金属板に
ドライレジストフイルムを貼着するとともに金属板端面
部にフォトレジストを電着で付着させ、前記プレスで形
成しなかった残余のリードパターンをフォトレジストま
たは必要に応じて貼着したドライレジストフイルムに焼
付け現像し、エッチングし残余のリードパターンを形成
することを特徴とするリードフレ−ムの製造方法にあ
る。
でリードパタ−ンの一部を形成し、残余のリードパター
ンをエッチングで形成するリードフレームの製造方法に
おいて、プレスでリードパターンの一部を穿設し、該一
部のリードパターンが穿設された金属板にフォトレジス
トを電着により付着させ、または必要に応じて金属板に
ドライレジストフイルムを貼着するとともに金属板端面
部にフォトレジストを電着で付着させ、前記プレスで形
成しなかった残余のリードパターンをフォトレジストま
たは必要に応じて貼着したドライレジストフイルムに焼
付け現像し、エッチングし残余のリードパターンを形成
することを特徴とするリードフレ−ムの製造方法にあ
る。
【０００７】
【作用】本発明はリードパターンの一部をプレスで形成
した素材金属板に、エッチングで残余のリードパターン
を形成するに際しフォトレジストを電着で付着させるの
で、板端面さらに先に形成されたリードパターンの加工
端面まで均一に且つ薄くフォトレジスト膜が付着し、そ
の後のリードパターンの焼付け及び現像での解像度が高
まり、エッチングで形成するリ−ドが例えば１６０ピン
超の微細であっも精度よく製造できる。また、素材金属
板は両端面部に前記フォトレジスト膜がきっちり付着し
ているので、エッチングで当該端面が食刻されず、素材
金属板をリードフレームの採寸幅に等しくまたは可級的
に近似でき歩留りが高くなる。
した素材金属板に、エッチングで残余のリードパターン
を形成するに際しフォトレジストを電着で付着させるの
で、板端面さらに先に形成されたリードパターンの加工
端面まで均一に且つ薄くフォトレジスト膜が付着し、そ
の後のリードパターンの焼付け及び現像での解像度が高
まり、エッチングで形成するリ−ドが例えば１６０ピン
超の微細であっも精度よく製造できる。また、素材金属
板は両端面部に前記フォトレジスト膜がきっちり付着し
ているので、エッチングで当該端面が食刻されず、素材
金属板をリードフレームの採寸幅に等しくまたは可級的
に近似でき歩留りが高くなる。
【０００８】金属板にフォトレジストを電着で付着する
前に、ドライレジストフイルムを貼着する場合は、電着
処理時間が短縮され生産性が高まる。
前に、ドライレジストフイルムを貼着する場合は、電着
処理時間が短縮され生産性が高まる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について一実施例に基づき図面
を参照し詳細に説明する。図面において、１はリードフ
レームの素材金属板で例えば銅、銅合金、鉄−Ｎｉ合金
等である。２は前記素材金属板１をプレスにて形成した
アウターリードである。３はエッチング加工領域で、イ
ンナーリード、パッド、サポ−トバ−の残り等所望の残
余のリードパターンが形成される。４はガイドホ−ルで
ある。
を参照し詳細に説明する。図面において、１はリードフ
レームの素材金属板で例えば銅、銅合金、鉄−Ｎｉ合金
等である。２は前記素材金属板１をプレスにて形成した
アウターリードである。３はエッチング加工領域で、イ
ンナーリード、パッド、サポ−トバ−の残り等所望の残
余のリードパターンが形成される。４はガイドホ−ルで
ある。
【００１０】プレスでのリードパターンの形成は前記ア
ウターリード２に限らず、該アウターリード２に近い側
のインナーリードの一部まで形成してもよい。
ウターリード２に限らず、該アウターリード２に近い側
のインナーリードの一部まで形成してもよい。
【００１１】５はフォトレジスト電着装置で、前記リー
ドパターンの一部が形成された素材金属板１にフォトレ
ジストを電着させるものである。該電着装置５はこの実
施例では、フォトレジスト水溶液の貯留部を有するとと
もに通行竪穴６を設けた電着浴槽７と、前記電着浴槽７
を収容し該浴槽７のオ−バ−フロ−水溶液を排出し循環
系に流す受浴槽８と、フォトレジスト水溶液を前記電着
浴槽７に供給する水溶液供給装置９と、濾過器を内蔵し
たタンク１０とポンプ１１が設けられ、フォトレジスト
水溶液を電着浴槽７に流通管（図示しない）を経由して
水溶液供給装置９から循環供給するようになっている。
また、素材金属板１への通電陽極１２と、電着浴槽７内
のフォトレジスト水溶液に通電する陰極１３が設けられ
ている。１４は直流電源装置である。
ドパターンの一部が形成された素材金属板１にフォトレ
ジストを電着させるものである。該電着装置５はこの実
施例では、フォトレジスト水溶液の貯留部を有するとと
もに通行竪穴６を設けた電着浴槽７と、前記電着浴槽７
を収容し該浴槽７のオ−バ−フロ−水溶液を排出し循環
系に流す受浴槽８と、フォトレジスト水溶液を前記電着
浴槽７に供給する水溶液供給装置９と、濾過器を内蔵し
たタンク１０とポンプ１１が設けられ、フォトレジスト
水溶液を電着浴槽７に流通管（図示しない）を経由して
水溶液供給装置９から循環供給するようになっている。
また、素材金属板１への通電陽極１２と、電着浴槽７内
のフォトレジスト水溶液に通電する陰極１３が設けられ
ている。１４は直流電源装置である。
【００１２】なお、前記フォトレジスト電着装置５の前
方には素材金属板１を洗浄する前処理装置（図示しな
い）、後方には洗浄・乾燥装置（図示しない）が設けら
れている。
方には素材金属板１を洗浄する前処理装置（図示しな
い）、後方には洗浄・乾燥装置（図示しない）が設けら
れている。
【００１３】素材金属板１にフォトレジストを電着する
に際しては、通電陽極１２を前記素材金属板に当接させ
るとともに、陰極１３を電着浴槽７に当接させて通電す
ると該電着浴槽７のフォトレジスト構成剤例えばアクリ
ル系、ポリオレフィン系、カゼイン系等の構成剤は電気
分解してイオン化し、陽極に接続された素材金属板１へ
泳動し析出付着してフォトレジスト膜が形成される。該
電着でのフォトレジスト膜は素材金属板１の露出地金箇
所に均一にできるから、先にアウターリード２が穿設形
成された端面の隅々に至る全表面及びエッチング加工領
域３とも一様に設けられる。
に際しては、通電陽極１２を前記素材金属板に当接させ
るとともに、陰極１３を電着浴槽７に当接させて通電す
ると該電着浴槽７のフォトレジスト構成剤例えばアクリ
ル系、ポリオレフィン系、カゼイン系等の構成剤は電気
分解してイオン化し、陽極に接続された素材金属板１へ
泳動し析出付着してフォトレジスト膜が形成される。該
電着でのフォトレジスト膜は素材金属板１の露出地金箇
所に均一にできるから、先にアウターリード２が穿設形
成された端面の隅々に至る全表面及びエッチング加工領
域３とも一様に設けられる。
【００１４】その後、素材金属板１のエッチング加工領
域３上のフォトレジスト膜に、インナーリード１５、パ
ッド１６及びサポ−トバ−１７から構成される残余のリ
ードパターンが焼付けられる。次いで現像して該リード
パターンのレジストマスクが作られ、エッチングを行い
リードフレームが製造される。
域３上のフォトレジスト膜に、インナーリード１５、パ
ッド１６及びサポ−トバ−１７から構成される残余のリ
ードパターンが焼付けられる。次いで現像して該リード
パターンのレジストマスクが作られ、エッチングを行い
リードフレームが製造される。
【００１５】リードパターンの一部がプレスで形成され
た素材金属板１に、前述のように電着で付着させたフォ
トレジスト膜は薄く一様に、また隅々まで覆っているの
で、残余のリードパターンの焼付けの解像度が高く微細
な形状でも精度よく、且つ既に形成されたアウターリー
ドにきっちり整合したレジストマスクが得られる。而し
てその後にエッチングすると微細な所望形状のリードフ
レームが製造される。
た素材金属板１に、前述のように電着で付着させたフォ
トレジスト膜は薄く一様に、また隅々まで覆っているの
で、残余のリードパターンの焼付けの解像度が高く微細
な形状でも精度よく、且つ既に形成されたアウターリー
ドにきっちり整合したレジストマスクが得られる。而し
てその後にエッチングすると微細な所望形状のリードフ
レームが製造される。
【００１６】また、プレスでリードパターンの一部を形
成した素材金属板１に、ドライレジストフイルムを貼着
した場合には、当該素材金属板１の両端面は前記ドライ
レジストフイルムが未貼着となることがある。この際は
エッチング工程で素材金属板１の両端面部は食刻作用を
受け、先に形成したアウターリード部の形状を害するの
で、素材金属板１板幅を余分に広めにし歩留り低下を来
しているが、本発明の他の実施例ではこの問題を解決す
るように次のようにする。
成した素材金属板１に、ドライレジストフイルムを貼着
した場合には、当該素材金属板１の両端面は前記ドライ
レジストフイルムが未貼着となることがある。この際は
エッチング工程で素材金属板１の両端面部は食刻作用を
受け、先に形成したアウターリード部の形状を害するの
で、素材金属板１板幅を余分に広めにし歩留り低下を来
しているが、本発明の他の実施例ではこの問題を解決す
るように次のようにする。
【００１７】リードパターンの一部が形成された素材金
属板１にドライレジストフイルムを板面に貼着した後
に、フォトレジスト電着装置５に通し、当該素材金属板
１の両端面部の地金露出部にフォトレジスト構成剤を析
出付着させる。これにより素材金属板１は全面がフォト
レジストで覆われ、その後のエッチングで先に形成され
たアウターリード部が形状を崩されたり、板両端面部が
食刻されることがなく、製造されたリードフレームは形
状が優れ、また、その製造歩留りが高くなる。
属板１にドライレジストフイルムを板面に貼着した後
に、フォトレジスト電着装置５に通し、当該素材金属板
１の両端面部の地金露出部にフォトレジスト構成剤を析
出付着させる。これにより素材金属板１は全面がフォト
レジストで覆われ、その後のエッチングで先に形成され
たアウターリード部が形状を崩されたり、板両端面部が
食刻されることがなく、製造されたリードフレームは形
状が優れ、また、その製造歩留りが高くなる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は前述のように、プレスでリード
パターンの一部を形成した素材金属板に電着にてフォト
レジストを全面に均一且つ薄く形成するから、その後、
残余のリードパターンの焼付けの解像度がすぐれ微細な
リードを有するリードフレームが得られる。また前記素
材金属板は全面にフォトレジストが形成され端面部がエ
ッチングの際に食刻されることがなく、当該素材金属板
からのリードフレーム製造歩留りが高くなる。
パターンの一部を形成した素材金属板に電着にてフォト
レジストを全面に均一且つ薄く形成するから、その後、
残余のリードパターンの焼付けの解像度がすぐれ微細な
リードを有するリードフレームが得られる。また前記素
材金属板は全面にフォトレジストが形成され端面部がエ
ッチングの際に食刻されることがなく、当該素材金属板
からのリードフレーム製造歩留りが高くなる。
【図１】本発明の一実施例においてプレスで形成したリ
ードパターンを示す図。
ードパターンを示す図。
【図２】本発明の一実施例におけるフォトレジスト電着
装置を示す図。
装置を示す図。
【図３】本発明の一実施例におけるエッチングで形成す
るリードパターンを示す図。
るリードパターンを示す図。
【図４】本発明の一実施例で製造されたリードフレーム
を示す図。
を示す図。
１ 素材金属板 ２ アウターリード ３ エッチング加工領域 ４ ガイドホ−ル ５ フォトレジスト電着装置 ６ 通行竪穴 ７ 電着浴槽 ８ 受け浴槽 ９ 水溶液供給装置 １０ タンク １１ ポンプ １２ 通電陽極 １３ 陰極 １４ 直流電源装置 １５ インナーリード １６ パッド １７ サポ−トバ−
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 23/50 C23F 1/00 102
Claims (1)
- 【請求項１】 プレスで金属板にリードパターンの
一部を形成し、残りのリードパターンをエッチングで形
成するリードフレームの製造方法において、 プレスでリードパターンの一部を穿設し、該一部リード
パターンが穿設された金属板にドライレジストフィルム
を貼着するとともに、該金属板端面にフォトレジストを
電着により付着させ、前記プレスで形成しなかった残余
のリードパターンを前記ドライレジストフィルムに焼付
け現像し、エッチングし前記残余のリードパターンを形
成することを特徴とするリードフレームの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11654293A JP3018216B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11654293A JP3018216B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310639A JPH06310639A (ja) | 1994-11-04 |
| JP3018216B2 true JP3018216B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=14689700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11654293A Expired - Fee Related JP3018216B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018216B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP11654293A patent/JP3018216B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06310639A (ja) | 1994-11-04 |
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