JP3017945B2 - ディスク搬送装置 - Google Patents
ディスク搬送装置Info
- Publication number
- JP3017945B2 JP3017945B2 JP8268872A JP26887296A JP3017945B2 JP 3017945 B2 JP3017945 B2 JP 3017945B2 JP 8268872 A JP8268872 A JP 8268872A JP 26887296 A JP26887296 A JP 26887296A JP 3017945 B2 JP3017945 B2 JP 3017945B2
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- Japan
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- drive shaft
- valve
- disk
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はディスク搬送装置に
係り、特に成膜装置と供給テーブルとの間でコンパクト
ディスクなどの被処理基板を搬送するようにしたディス
ク搬送装置に関する。
係り、特に成膜装置と供給テーブルとの間でコンパクト
ディスクなどの被処理基板を搬送するようにしたディス
ク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体基板やコンパクトディスク
などの被処理基板は真空処理室内で蒸着やスパッタリン
グなどにより成膜処理が施される。この場合に処理すべ
き被処理基板を１枚ずつ供給したのでは作業能率が低下
する。また、成膜処理を施すべき円形の基板の表面はで
きる限りクリーンである必要があり、そのためには成膜
工程の前工程でできる限り長い時間真空引きにさらされ
るのが望ましい。
などの被処理基板は真空処理室内で蒸着やスパッタリン
グなどにより成膜処理が施される。この場合に処理すべ
き被処理基板を１枚ずつ供給したのでは作業能率が低下
する。また、成膜処理を施すべき円形の基板の表面はで
きる限りクリーンである必要があり、そのためには成膜
工程の前工程でできる限り長い時間真空引きにさらされ
るのが望ましい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディスク搬送装置は、ロードロック室を介して１回真空
引きされた後に、成膜室にローディングされるので被処
理基板の表面のクリーン度を十分に高めることできない
という問題があった。
ディスク搬送装置は、ロードロック室を介して１回真空
引きされた後に、成膜室にローディングされるので被処
理基板の表面のクリーン度を十分に高めることできない
という問題があった。
【０００４】そこで、本発明の目的は、成膜加工前の被
処理物のクリーン度を高められるようにしたディスク搬
送装置を提供することにある。
処理物のクリーン度を高められるようにしたディスク搬
送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、真空の搬送室を内側に形成し、側面及び上
面にディスクの受渡し口を有するハウジングフレーム
と、このハウジングフレームに対して軸受を介して回転
可能に嵌装され、互いに直交する方向のスライドガイド
を前面に有する回転テーブルと、この回転テーブルの中
心軸線を貫通して設けられ、回転および軸方向へ移動可
能な駆動軸と、この駆動軸の一方の軸端に結合された連
結板と、この連結板の両端に操作端が結合された一対の
駆動シリンダ装置と、前記駆動軸の他端に固着された十
字状の固定リンクと、この固定リンクの自由端にそれぞ
れピン結合された各揺動リンクと、前記各揺動リンクの
自由端に各脚部分がピン結合され、前記駆動軸の軸方向
への移動に伴って前記各スライドガイドに沿って半径方
向へ滑動可能であって電磁石が内装された４つの弁体
と、前記駆動軸を間欠回動させ前記弁体を逐次移動させ
る間欠駆動装置とを備えてなることを特徴とするもので
ある。また、前記４つの弁体が閉じて前記固定リンクと
前記揺動リンクとが一直線となった状態で、下向きの位
置にある前記弁体を受けるバルブ受けをさらに備えてい
ることが好ましい。
に本発明は、真空の搬送室を内側に形成し、側面及び上
面にディスクの受渡し口を有するハウジングフレーム
と、このハウジングフレームに対して軸受を介して回転
可能に嵌装され、互いに直交する方向のスライドガイド
を前面に有する回転テーブルと、この回転テーブルの中
心軸線を貫通して設けられ、回転および軸方向へ移動可
能な駆動軸と、この駆動軸の一方の軸端に結合された連
結板と、この連結板の両端に操作端が結合された一対の
駆動シリンダ装置と、前記駆動軸の他端に固着された十
字状の固定リンクと、この固定リンクの自由端にそれぞ
れピン結合された各揺動リンクと、前記各揺動リンクの
自由端に各脚部分がピン結合され、前記駆動軸の軸方向
への移動に伴って前記各スライドガイドに沿って半径方
向へ滑動可能であって電磁石が内装された４つの弁体
と、前記駆動軸を間欠回動させ前記弁体を逐次移動させ
る間欠駆動装置とを備えてなることを特徴とするもので
ある。また、前記４つの弁体が閉じて前記固定リンクと
前記揺動リンクとが一直線となった状態で、下向きの位
置にある前記弁体を受けるバルブ受けをさらに備えてい
ることが好ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下本発明によるディスク搬送装
置の実施例について添付の図面を参照して説明する。図
１において、符号１は成膜装置を示し、この成膜装置１
に隣接してディスク搬送装置２が接続されている。この
ディスク搬送装置２の成膜装置の側の側面には、受渡し
口３が形成されると共に、上面には受渡し口４が形成さ
れている。ディスク搬送装置２の内側には、詳細な構成
は後述するが十字状の連結リンク５を介して４個の弁体
６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが図中反時計方向へ９０度ずつ
回動するようになっている。この弁体には、電磁石が内
装されており、その表面に、４枚のディスクがインナー
マスクとアウターマスクと共に電磁石の磁気吸引力によ
って吸着保持される。
置の実施例について添付の図面を参照して説明する。図
１において、符号１は成膜装置を示し、この成膜装置１
に隣接してディスク搬送装置２が接続されている。この
ディスク搬送装置２の成膜装置の側の側面には、受渡し
口３が形成されると共に、上面には受渡し口４が形成さ
れている。ディスク搬送装置２の内側には、詳細な構成
は後述するが十字状の連結リンク５を介して４個の弁体
６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが図中反時計方向へ９０度ずつ
回動するようになっている。この弁体には、電磁石が内
装されており、その表面に、４枚のディスクがインナー
マスクとアウターマスクと共に電磁石の磁気吸引力によ
って吸着保持される。
【０００７】一方、図の左方には、水平面内を回転可能
な供給テーブル７が設置され、その上面には、４枚を一
組としたディスクＤと４個のディスクマスクが６個の領
域内に載置されるようになっている。
な供給テーブル７が設置され、その上面には、４枚を一
組としたディスクＤと４個のディスクマスクが６個の領
域内に載置されるようになっている。
【０００８】他方、ディスク搬送装置２と供給テーブル
７との間には、水平面内で回動可能な回転アーム８の中
心軸９が位置している。この回転アーム８の両端には、
永久磁石の磁気吸引力によって４個のディスクＤと、各
ディスクＤの中心部に装着されるインナーマスクと、デ
ィスの外周縁に装着されるアウターマスクとを吸着保持
できるディスクキャリア蓋１０Ａ，１０Ｂが吊持されて
いる。したがって、この回転アーム８が１８０度回動す
ることによりディスク搬送装置２と供給テーブル７との
間でディスクＤを搬送することができる。
７との間には、水平面内で回動可能な回転アーム８の中
心軸９が位置している。この回転アーム８の両端には、
永久磁石の磁気吸引力によって４個のディスクＤと、各
ディスクＤの中心部に装着されるインナーマスクと、デ
ィスの外周縁に装着されるアウターマスクとを吸着保持
できるディスクキャリア蓋１０Ａ，１０Ｂが吊持されて
いる。したがって、この回転アーム８が１８０度回動す
ることによりディスク搬送装置２と供給テーブル７との
間でディスクＤを搬送することができる。
【０００９】次に図２を参照して、ディスク搬送装置２
の構成の詳細を説明する。ディスク搬送装置２は、内部
を真空引き可能なハウジングフレーム１１を有し、ター
ボ分子ポンプ１２を使って所定の負圧力に真空引きされ
る。ハウジングフレーム１１には、軸受１３を介して回
転テーブル１４が嵌装されており、内側の面には、直交
する４個のスライドガイド１５が形成されている。この
回転テーブル１４の中心を駆動軸１６が回転および軸方
向へ移動可能に組み込まれている。
の構成の詳細を説明する。ディスク搬送装置２は、内部
を真空引き可能なハウジングフレーム１１を有し、ター
ボ分子ポンプ１２を使って所定の負圧力に真空引きされ
る。ハウジングフレーム１１には、軸受１３を介して回
転テーブル１４が嵌装されており、内側の面には、直交
する４個のスライドガイド１５が形成されている。この
回転テーブル１４の中心を駆動軸１６が回転および軸方
向へ移動可能に組み込まれている。
【００１０】上記駆動軸１６の軸端には、連結板１７が
固着されており、この連結板１７の両端には、駆動シリ
ンダ装置１８Ａ，１８Ｂの各操作ロッドが結合されてい
る。
固着されており、この連結板１７の両端には、駆動シリ
ンダ装置１８Ａ，１８Ｂの各操作ロッドが結合されてい
る。
【００１１】一方、前記駆動軸１６の他端には、十文字
状の固定リンク１９が固着され、これらの各端に揺動リ
ンク２０がピン２１を介してピン結合されている。ま
た、揺動リンク２０の自由端は、ピン２２を介して弁体
６Ａ，６Ｃの脚部材２３Ａ，２３Ｃに結合されている。
これらの脚部材２３Ａ，２３Ｃはそれぞれスライドガイ
ド１５と嵌合していて弁体に直線運動を与えることがで
きる。なお、本図中では省略されているが、弁体６Ｂ，
６Ｄについても同様である。
状の固定リンク１９が固着され、これらの各端に揺動リ
ンク２０がピン２１を介してピン結合されている。ま
た、揺動リンク２０の自由端は、ピン２２を介して弁体
６Ａ，６Ｃの脚部材２３Ａ，２３Ｃに結合されている。
これらの脚部材２３Ａ，２３Ｃはそれぞれスライドガイ
ド１５と嵌合していて弁体に直線運動を与えることがで
きる。なお、本図中では省略されているが、弁体６Ｂ，
６Ｄについても同様である。
【００１２】他方、前記駆動軸１６の軸上には、従動プ
ーリ２４が固着されており、タイミングベルト２５を介
して原動プーリ２６と連係している。この原動プーリ２
６はインデックスユニット２７により間欠回転運動を与
えられる。
ーリ２４が固着されており、タイミングベルト２５を介
して原動プーリ２６と連係している。この原動プーリ２
６はインデックスユニット２７により間欠回転運動を与
えられる。
【００１３】なお、弁体６Ｃが向き合う位置には、バル
ブ受け２８が固着されている。さらに、図１において、
ディスク搬送装置の直上には、バルブ押付け装置３０が
設置され、その押圧ロッド３０ａがディスクキャリア蓋
１０Ａまたは１０Ｂを下方へ押し付けるようになってい
る。
ブ受け２８が固着されている。さらに、図１において、
ディスク搬送装置の直上には、バルブ押付け装置３０が
設置され、その押圧ロッド３０ａがディスクキャリア蓋
１０Ａまたは１０Ｂを下方へ押し付けるようになってい
る。
【００１４】本発明はこのように構成されているから、
供給テーブル７の上の未処理のディスクを通常は４枚を
一組としてディスクキャリア蓋１０Ａが吸着脱保持した
ら、回転アーム８を１８０度回動させ、ディスクキャリ
ア蓋１０Ａが受渡し口４の直上に達したとき、バルブ押
付け装置３０の押圧ロッド３０ａがディスクキャリア蓋
１０Ａを押し下げ、弁体６Ａの上に成膜加工すべきディ
スクを吸着保持させる。ついで、駆動軸１６を反時計方
向へ９０度回動させ、弁体６Ｂ，６Ｃ，６Ｄの上へ成膜
加工すべきディスクを順次装着する。この間に受渡し口
３を通じて成膜加工側へディスクＤを搬送する。
供給テーブル７の上の未処理のディスクを通常は４枚を
一組としてディスクキャリア蓋１０Ａが吸着脱保持した
ら、回転アーム８を１８０度回動させ、ディスクキャリ
ア蓋１０Ａが受渡し口４の直上に達したとき、バルブ押
付け装置３０の押圧ロッド３０ａがディスクキャリア蓋
１０Ａを押し下げ、弁体６Ａの上に成膜加工すべきディ
スクを吸着保持させる。ついで、駆動軸１６を反時計方
向へ９０度回動させ、弁体６Ｂ，６Ｃ，６Ｄの上へ成膜
加工すべきディスクを順次装着する。この間に受渡し口
３を通じて成膜加工側へディスクＤを搬送する。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、成膜加工すべきディスクを保持した４個の弁体
を共通の駆動軸を介してハウジングフレームの真空雰囲
気に入れた後９０度おきに間欠回動して成膜加工室へ受
け入れるようにしたので、駆動系の取り付けスペースを
コンパクトにまとめることができ、さらに表面のクリー
ン度を十分に上げることができる。また、すべての弁体
が閉じてディスク搬送装置内が真空状態のとき、十字リ
ンクと揺動リンクが一直線となった状態でバルブ受けが
反力を受けるから駆動軸にかかるモーメント荷重をなく
すことができる。さらに、基盤の受け渡しの状態が垂直
または成膜面が下の状態で行うため微粒子の付着を抑え
ることができる。
よれば、成膜加工すべきディスクを保持した４個の弁体
を共通の駆動軸を介してハウジングフレームの真空雰囲
気に入れた後９０度おきに間欠回動して成膜加工室へ受
け入れるようにしたので、駆動系の取り付けスペースを
コンパクトにまとめることができ、さらに表面のクリー
ン度を十分に上げることができる。また、すべての弁体
が閉じてディスク搬送装置内が真空状態のとき、十字リ
ンクと揺動リンクが一直線となった状態でバルブ受けが
反力を受けるから駆動軸にかかるモーメント荷重をなく
すことができる。さらに、基盤の受け渡しの状態が垂直
または成膜面が下の状態で行うため微粒子の付着を抑え
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のディスク搬送装置の一実施例を示した
側断面図。
側断面図。
【図２】弁開状態にある本発明のディスク搬送装置の一
実施例を示した側断面図。
実施例を示した側断面図。
【図３】弁閉状態にある本発明のディスク搬送装置の一
実施例を示した側断面図。
実施例を示した側断面図。
【図４】ディスク搬送装置の正面図
１ 成膜装置 ２ ディスク搬送装置 ５ 連結リンク ６ 弁体 ７ 供給テーブル ８ 回転アーム １１ ハウジングフレーム １３ 軸受 １４ 回転テーブル １６ 駆動軸 １８ 駆動シリンダ装置 １９ 固定リンク ２０ 揺動リンク ２３ 脚部材 ２５ タイミングベルト
Claims (2)
- 【請求項１】真空の搬送室を内側に形成し、側面及び上
面にディスクの受渡し口を有するハウジングフレーム
と、このハウジングフレームに対して軸受を介して回転
可能に嵌装され、互いに直交する方向のスライドガイド
を前面に有する回転テーブルと、この回転テーブルの中
心軸線を貫通して設けられ、回転および軸方向へ移動可
能な駆動軸と、この駆動軸の一方の軸端に結合された連
結板と、この連結板の両端に操作端が結合された一対の
駆動シリンダ装置と、前記駆動軸の他端に固着された十
字状の固定リンクと、この固定リンクの自由端にそれぞ
れピン結合された各揺動リンクと、前記各揺動リンクの
自由端に各脚部分がピン結合され、前記駆動軸の軸方向
への移動に伴って前記各スライドガイドに沿って半径方
向へ滑動可能であって電磁石が内装された４つの弁体
と、前記駆動軸を間欠回動させ前記弁体を逐次移動させ
る間欠駆動装置とを備えてなるディスク搬送装置。 - 【請求項２】前記４つの弁体が閉じて前記固定リンクと
前記揺動リンクとが一直線となった状態で、下向きの位
置にある前記弁体を受けるバルブ受けをさらに備えたこ
とを特徴とする請求項１記載のディスク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8268872A JP3017945B2 (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | ディスク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8268872A JP3017945B2 (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | ディスク搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10121245A JPH10121245A (ja) | 1998-05-12 |
| JP3017945B2 true JP3017945B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=17464439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8268872A Expired - Fee Related JP3017945B2 (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | ディスク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3017945B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102653854A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜装置 |
-
1996
- 1996-10-09 JP JP8268872A patent/JP3017945B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102653854A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10121245A (ja) | 1998-05-12 |
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