CN102653854A - 镀膜装置 - Google Patents

Abstract

一镀膜装置，其包括腔体及收容于腔体内的转盘、工件挂具及靶体。工件挂具包括一定位轴、两偏心轮、一保持架、两往复轴及一承载板。定位轴及保持架设于转盘上，且彼此能相对转动，两偏心轮轴心沿定位轴轴向固定在定位轴上，且偏心方向相反，各偏心轮边缘设有一环形滑槽。保持架收容偏心轮及定位轴，定位轴固定于转盘上，保持架随转盘转动且能自转，两往复轴分别对应两偏心轮滑动设置于保持架上，各往复轴一端可滑动地卡合于偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于承载板的端部，当保持架相对定位轴转动，两偏心轮分别驱动两往复轴沿定位轴径向作往复运动，且两往复轴的运动方向相反。通过往复轴带动承载板两端部交替靠近靶体，提高两侧镀膜均匀性。

Description

镀膜装置

技术领域

本发明涉及一种镀膜装置。

背景技术

现有的镀膜设备为了镀膜均匀，通常将待镀工件悬挂在一旋转挂具上，该旋转挂具固定在一转盘上，并通过传动机构与转盘连接。在镀膜机镀膜时，该旋转挂具与转盘一同转动，同时该旋转挂具绕其自身中心轴自转，以提高镀膜的均匀性。

然而，由于工件在旋转挂具的轴向方向上具有一定高度，所以工件的上下侧的膜层厚度仍然有一定差异，从而产生工件膜层厚度不均匀的问题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种用于提高膜层均匀性的镀膜装置。

一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各偏心轮的边缘设有一环形滑槽，所述保持架收容所述偏心轮及所述定位轴，所述定位轴固定连接于所述转盘上，所述保持架随所述转盘一起转动且能够沿保持架自身中心轴转动，所述两个往复轴分别对应所述两个偏心轮滑动设置于所述保持架上，所述各往复轴一端可滑动地卡合于所述偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于所述承载板一端部，当所述保持架相对所述定位轴转动时，所述两个偏心轮分别驱动所述两个往复轴沿所述定位轴的径向作往复运动，且所述两个往复轴的运动方向相反。

本发明提供的镀膜装置通过往复轴带动所述承载板的两端部交替前后运动，将待镀工件的上部与下部交替靠近靶体，从而提高待镀工件的上部与下部的镀膜均匀性。

附图说明

图1为本发明的镀膜装置的结构示意图。

图2为图1所示的镀膜装置的示意图。

主要元件符号说明

镀膜装置    100

腔体        10

转盘        20

靶体        30

工件挂具    40

定位轴      410

偏心轮      420

第一偏心轮  421

第二偏心轮  422

环形滑槽    423

保持架      430

第一环形架  431

第二环形架  432

连接件      433

轴孔        434

往复轴      440

滑动部      441

枢接部      442

轴体        443

承载板      450

承载板端部      450a

底面            451

连接部          452

第一齿轮        50

固定轴          51

第二齿轮        460

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。

请参阅图1及图2，本发明提供的镀膜装置100。该镀膜装置100包括一个腔体10、一个转盘20、多个靶体30及多个工件挂具40。

该腔体10用以提供一真空镀膜环境。该腔体10与气体入口与气体出口(图中均未示出)相连通。该气体入口用于向腔体10内导入放电气体，例如氩气、氮气等。该气体出口用于与真空泵(图未示)相连以使腔体10获得初始的真空度以及在溅射过程中保持一定的真空度。该腔体10还可设置于箱体(图未示)内，以增加气密性。

所述转盘20位于所述腔体10的底部。该转盘20可以为圆盘形、圆环形，也可以为正多边形并可围绕其几何中心进行旋转。本实施方式中，转盘20为圆环形的转盘。

所述靶体30固定于所述腔体10内，其在镀膜过程中通常充当阴极，用于提供形成薄膜的材料。每一靶体30为固定于腔体10中的单个片状靶体，该多个靶体30设置于工件挂具40周围，包围所述工件挂具40。

该工件挂具40包括定位轴410、多对偏心轮420、保持架430、多对往复轴440及承载板450。

本实施方式中，所述定位轴410固定连接于所述转盘20上，所述定位轴410与所述转盘20的转动轴平行。

本实施方式中，所述各对偏心轮420均包括第一偏心轮421及第二偏心轮422。所述第一偏心轮421及所述第二偏心轮422的轴心沿所述定位轴410的轴向固定于所述定位轴410上。所述第一偏心轮421与所述第二偏心轮422结构相同，且偏心方向相反。所述第一偏心轮421与所述第二偏心轮422的外廓为正圆。沿所述第一偏心轮421及所述第二偏心轮422的边缘分别开设一环形滑槽423。本实施方式中，所述环形滑槽423是T型槽。

所述保持架430转动连接于转盘20上。所述保持架430套设于所述定位轴410及各对偏心轮420外侧。该保持架430可自转，同时可随转盘20一起转动。本实施方式中，所述转盘20中心转动连接一第一齿轮50，所述第一齿轮50通过一固定轴51固定于所述腔体10底部。所述保持架430底部固定一第二齿轮460，所述第二齿轮460与所述第一齿轮50相啮合。当所述转盘20转动时，所述保持架430随转盘20一起转动，所述第一齿轮50保持固定，所述保持架430在所述第二齿轮460的驱动下实现自转。

该保持架430与转盘20的转动轴平行设置。所述保持架430包括第一环形架431、第二环形架432及连接件433。所述连接件433连接于所述第一环形架431及所述第二环形架432之间。所述第一环形架431及所述第二环形架432分别套设于所述第一偏心轮421及所述第二偏心轮422外侧。所述第一环形架431及所述第二环形架432分别相对所述两个环形滑槽423开设轴孔434。

所述往复轴440穿过所述轴孔434并一端容置于所述环形滑槽431内，且能够在所述轴孔434内滑动。本实施方式中，所述往复轴440是一圆柱轴。所述往复轴440包括滑动部441、枢接部442及轴体443，所述滑动部441及所述枢接部442相对固定于所述轴体443两端。本实施方式中，所述滑动部441及所述枢接部442螺接于所述轴体443两端。所述滑动部441卡合于所述环形滑槽423内，在所述环形滑槽423内滑动。本实施方式中，所述滑动部441是一T型滑块结构。所述枢接部442与所述承载板450的一端转动连接。本实施方式中，所述枢接部442是一转轴结构。

所述承载板450用于承载待镀工件，所述承载板450包括底面451，所述承载板450的两端部450a的底面451上加工有两个连接部452。所述连接部452与所述往复轴440的枢接部442转动连接。本实施方式中，所述连接部452是与所述往复轴440相配合的开口轴套结构。

镀膜时，该工件挂具40在转盘20的带动下在靶体30前运动，使靶体30上产生的粒子沉积于所述承载板450上的工件。该工件挂具40可绕转盘20的转动轴等间距分布。

同时，由于所述定位轴410相对所述转盘20固定，在所述往复轴440绕所述第一偏心轮421及所述第二偏心轮422转动时，所述往复轴440的滑动部441在所述环形滑槽423内滑动，带动所述往复轴440在所述轴孔434内往复运动。从而使得所述承载板450上的待镀工件的上部与下部交替的靠近、远离所述靶体30，将待镀工件的上部与下部均匀的镀膜。

本发明提供的镀膜装置通过往复轴带动所述承载板的两端部交替前后运动，将待镀工件的上部与下部交替靠近靶体，从而提高待镀工件的上部与下部的镀膜均匀性。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，其特征在于，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各偏心轮的边缘设有一环形滑槽，所述保持架收容所述偏心轮及所述定位轴，所述定位轴固定连接于所述转盘上，所述保持架随所述转盘一起转动且能够沿保持架自身中心轴转动，所述两个往复轴分别对应所述两个偏心轮滑动设置于所述保持架上，所述各往复轴一端可滑动地卡合于所述偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于所述承载板一端部，当所述保持架相对所述定位轴转动时，所述两个偏心轮分别驱动所述两个往复轴沿所述定位轴的径向作往复运动，且所述两个往复轴的运动方向相反。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一偏心轮与所述第二偏心轮的外廓为正圆。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述保持架包括第一环形架、第二环形架及连接件，所述连接件连接于所述第一环形架及所述第二环形架之间，所述第一环形架及所述第二环形架分别套设于所述第一偏心轮及所述第二偏心轮外侧，所述第一环形架及所述第二环形架分别相对所述第一偏心轮及所述第二偏心轮的环形滑槽开设轴孔。

4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述往复轴是一圆柱轴。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述往复轴包括滑动部、枢接部及轴体，所述滑动部及所述枢接部相对固定于所述轴体两端，所述滑动部卡合于所述环形滑槽内，在所述环形滑槽内滑动，所述枢接部与所述承载板一端转动连接。

6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述滑动部及所述枢接部螺接于所述轴体两端。

7.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述滑动部是一T型滑块结构，所述枢接部是一转轴结构。

8.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载板包括底面，所述底面的两端设置有两个连接部，所述连接部与所述往复轴的枢接部转动连接。

9.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，所述连接部是与所述往复轴的枢接部相配合的开口轴套结构。

Images