JP3012573B2 - パーティクル測定機構 - Google Patents
パーティクル測定機構Info
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいて発生するパーティクルを抑制するためにパーテイ
クルを計数するパーティクル測定機構に関し、特に製造
装置の配管に流れる気体や液体中に含まれるパーティク
ルの数を測定するパーティクル測定機構に関する。
おいて発生するパーティクルを抑制するためにパーテイ
クルを計数するパーティクル測定機構に関し、特に製造
装置の配管に流れる気体や液体中に含まれるパーティク
ルの数を測定するパーティクル測定機構に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の集積回路の微細化に伴いパ
ーティクルの発生を抑制することが半導体装置の製造に
おいて重要な課題となっている。クリーンルームのよう
なある空間領域のパーテイクルイは、市販のパーティク
ルカウンタなどで容易に測定できるが、製造装置のよう
な場合は、測定する箇所によつて測定機構が変わってく
る。通常、装置の場合は、誤差の生じ難い気体が層流状
態で流れる配管に測定機構を取り付けてパーティクルを
測定していた。
ーティクルの発生を抑制することが半導体装置の製造に
おいて重要な課題となっている。クリーンルームのよう
なある空間領域のパーテイクルイは、市販のパーティク
ルカウンタなどで容易に測定できるが、製造装置のよう
な場合は、測定する箇所によつて測定機構が変わってく
る。通常、装置の場合は、誤差の生じ難い気体が層流状
態で流れる配管に測定機構を取り付けてパーティクルを
測定していた。
【0003】図2は従来の一例におけるパーティクル測
定機構を説明するための図である。従来、この種のパー
ティクル測定機構は、例えば、図2に示すように、レー
ザ光を照射するレーザー発振器7と、レーザ光の照射に
よりサンプリング配管11に流れるパーティクルから反
射する散乱光を入光する受光部材8と、受光部材8から
得られ光信号を計数しパーティクルを測定するとともに
バルブ10の開閉を制御する制御部9とから構成されて
いる。
定機構を説明するための図である。従来、この種のパー
ティクル測定機構は、例えば、図2に示すように、レー
ザ光を照射するレーザー発振器7と、レーザ光の照射に
よりサンプリング配管11に流れるパーティクルから反
射する散乱光を入光する受光部材8と、受光部材8から
得られ光信号を計数しパーティクルを測定するとともに
バルブ10の開閉を制御する制御部9とから構成されて
いる。
【0004】このパーティクル測定機構で配管12に流
れるパーティクルを測定する場合は、まず、配管12と
分岐されたバイパス配管に取り付けられたバルブ10を
開き、配管12から流れる気体をサンプリング配管11
に流し、レーザ発振器7からレーザ光を透明管を透して
サンプリング配管11内を照射する。このことにより、
サンプリング配管11内のパーティクルによりレーザ光
は反射され受光部材8に入光され制御部9によりカウン
トされる。
れるパーティクルを測定する場合は、まず、配管12と
分岐されたバイパス配管に取り付けられたバルブ10を
開き、配管12から流れる気体をサンプリング配管11
に流し、レーザ発振器7からレーザ光を透明管を透して
サンプリング配管11内を照射する。このことにより、
サンプリング配管11内のパーティクルによりレーザ光
は反射され受光部材8に入光され制御部9によりカウン
トされる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のパーテ
ィクル測定機構では、パーティクルを測定しようとする
配管にサンプリング配管に継手を介して取り付けなけれ
ばならず、取り付け角度が流れの方向に対して90度近
くになる屈曲部を形成することになる。このため、配管
より流れるパーティクルが継手の繋ぎ目に堆積し、ある
程度堆積すると、剥離しサンプリング配管に流れ異常な
計数値を示すことがある。特に、この近傍にバルブなど
が取り付けられている場合、バルブが開閉する毎に蓄積
したパーティクルが流されパーティクル数が異常値を計
数する。
ィクル測定機構では、パーティクルを測定しようとする
配管にサンプリング配管に継手を介して取り付けなけれ
ばならず、取り付け角度が流れの方向に対して90度近
くになる屈曲部を形成することになる。このため、配管
より流れるパーティクルが継手の繋ぎ目に堆積し、ある
程度堆積すると、剥離しサンプリング配管に流れ異常な
計数値を示すことがある。特に、この近傍にバルブなど
が取り付けられている場合、バルブが開閉する毎に蓄積
したパーティクルが流されパーティクル数が異常値を計
数する。
【0006】もし、このパーティクル測定機構が処理室
の上流にあれば、処理室にあるウェハに品質に重大な欠
陥をもたらす。また、この機構を装置の稼動あるいは停
止のインターロックとして使用していた場合には、装置
が稼動中に急激に停止し、処理中のウェハに不良品を発
生させるという問題がある。
の上流にあれば、処理室にあるウェハに品質に重大な欠
陥をもたらす。また、この機構を装置の稼動あるいは停
止のインターロックとして使用していた場合には、装置
が稼動中に急激に停止し、処理中のウェハに不良品を発
生させるという問題がある。
【0007】また、他の装置あるいは他の場所に取り付
けてパーティクルを測定しょうとしても、配管に取り付
けたりあるいは光軸調整したりする準備に時間がかかる
という欠点がある。
けてパーティクルを測定しょうとしても、配管に取り付
けたりあるいは光軸調整したりする準備に時間がかかる
という欠点がある。
【0008】従って、本発明の目的は、配管中に流れる
気体もしくは流体に含まれるパーティクルを正確に測定
できるとともに他の装置に移しても取付けなど要する時
間が少なくて済むパーティクル測定機構を提供すること
にある。
気体もしくは流体に含まれるパーティクルを正確に測定
できるとともに他の装置に移しても取付けなど要する時
間が少なくて済むパーティクル測定機構を提供すること
にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、中央に
透明管を有し該透明管の両端から気体や液体の流れる方
向に口径が拡がって伸びるテーパ管を具備するとともに
パーティクルを測定すべき配管と継手を介して接続する
測定用配管と、この測定用配管の該透明管を挟み込むよ
うに前記透明管を保持する二つ割されるハウジングと、
二つ割される前記ハウジングの内側にあって前記透明管
の外壁にレーザ光射出口を接して配設されるレーザ発振
器と、二つ割される前記ハウジングの内側にあって前記
透明管の外壁に接して受光部が配置されかつ前記透明管
の外周囲に等分に配設される複数の受光部材と、前記ハ
ウジングの二つ割りされた部材を互いに締め付ける手段
とを備えるパーティクル測定機構である。また、前記ハ
ウジングの内壁と前記透明管の外壁との間に弾性板部材
が介在することが望ましい。さらに、前記締め付ける手
段は、いずれかの前記部材に一端が回転自在に取り付け
られ他端にねじが形成されるラッチボルトと、他の前記
部材の溝に回転して入れ込まれる前記ラッチボルトの該
ねじにねじ込まれる蝶ナットとを有することが望まし
い。
透明管を有し該透明管の両端から気体や液体の流れる方
向に口径が拡がって伸びるテーパ管を具備するとともに
パーティクルを測定すべき配管と継手を介して接続する
測定用配管と、この測定用配管の該透明管を挟み込むよ
うに前記透明管を保持する二つ割されるハウジングと、
二つ割される前記ハウジングの内側にあって前記透明管
の外壁にレーザ光射出口を接して配設されるレーザ発振
器と、二つ割される前記ハウジングの内側にあって前記
透明管の外壁に接して受光部が配置されかつ前記透明管
の外周囲に等分に配設される複数の受光部材と、前記ハ
ウジングの二つ割りされた部材を互いに締め付ける手段
とを備えるパーティクル測定機構である。また、前記ハ
ウジングの内壁と前記透明管の外壁との間に弾性板部材
が介在することが望ましい。さらに、前記締め付ける手
段は、いずれかの前記部材に一端が回転自在に取り付け
られ他端にねじが形成されるラッチボルトと、他の前記
部材の溝に回転して入れ込まれる前記ラッチボルトの該
ねじにねじ込まれる蝶ナットとを有することが望まし
い。
【0010】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【0011】図1(a)および(b)は発明の一実施の
形態におけるパーティクル測定機構を示す斜視図および
断面図である。このパーティクル測定機構は、図1に示
すように、上ハウジング1aと下ハウジング1bとに二
つ割りにされるとともに両端の口径がテーパ状に拡がる
測定用配管4の中央に括れる直管部である透明管6を前
記上下ハウジングで挟み固定するハウジング1と、上ハ
ウジング1aに取り付けられ透明管6内にレーザ光を照
射するレーザ発振器2と、レーザ光の照射によってパー
ティクルからの散乱光を入光し光を電流に変換するとと
もに上ハウジング1aと下ハウジング1bの内側にあっ
て透明管6に接して取付けられる受光部材3とを備えて
いる。
形態におけるパーティクル測定機構を示す斜視図および
断面図である。このパーティクル測定機構は、図1に示
すように、上ハウジング1aと下ハウジング1bとに二
つ割りにされるとともに両端の口径がテーパ状に拡がる
測定用配管4の中央に括れる直管部である透明管6を前
記上下ハウジングで挟み固定するハウジング1と、上ハ
ウジング1aに取り付けられ透明管6内にレーザ光を照
射するレーザ発振器2と、レーザ光の照射によってパー
ティクルからの散乱光を入光し光を電流に変換するとと
もに上ハウジング1aと下ハウジング1bの内側にあっ
て透明管6に接して取付けられる受光部材3とを備えて
いる。
【0012】測定用配管4は、予め測定すべき装置の配
管12に継手13により接続されている。そして、測定
用配管4は継手13側にテーパ状に拡がり中程の括れた
部分に直管である透明管6を繋ぎもうけている。このよ
うな測定用配管4を測定すべき場所に幾つかを設けるこ
とが望ましい。ただ、この測定用配管4は常に流れの方
向に一致するように配管12に取り付けることが肝要で
ある。
管12に継手13により接続されている。そして、測定
用配管4は継手13側にテーパ状に拡がり中程の括れた
部分に直管である透明管6を繋ぎもうけている。このよ
うな測定用配管4を測定すべき場所に幾つかを設けるこ
とが望ましい。ただ、この測定用配管4は常に流れの方
向に一致するように配管12に取り付けることが肝要で
ある。
【0013】さらに、この測定用配管4は、内部が円滑
で層流状態で気体や液体が流れるようにする。また、中
央部の直管部は透明管6のみ石英などで制作しても良い
が、繋ぎめに段差が生じないように一体で測定用配管4
を製作することが望ましい。なお、この場合、ハウジン
グ1から露呈した測定用配管4の部分は、外部から透明
壁を透して侵入する光によってノイズとならないように
外周囲を遮蔽物で覆うことが望ましい。
で層流状態で気体や液体が流れるようにする。また、中
央部の直管部は透明管6のみ石英などで制作しても良い
が、繋ぎめに段差が生じないように一体で測定用配管4
を製作することが望ましい。なお、この場合、ハウジン
グ1から露呈した測定用配管4の部分は、外部から透明
壁を透して侵入する光によってノイズとならないように
外周囲を遮蔽物で覆うことが望ましい。
【0014】透明管6の外壁に投射口を密着させ上ハウ
ジング1aに取り付けられるレーザ発振器2は、例え
ば、630nmから690nmのレーザ光を発振する半
導体レーザを使用している。また、受光部材3は、透明
管6の外周囲に4個が等分に透明管6の外壁に受光部が
接するように設けられている。そして、この受光部材3
は、受光面積の大きいフォトダイオードアレイを使用し
ている。もし、これらレーザ発振器2および受光部材3
と透明管6との間に空間があると、その空間に介在する
パーティクルを検出し反応ガスや薬液中のパーティクル
の正確な検出ができなくなる。
ジング1aに取り付けられるレーザ発振器2は、例え
ば、630nmから690nmのレーザ光を発振する半
導体レーザを使用している。また、受光部材3は、透明
管6の外周囲に4個が等分に透明管6の外壁に受光部が
接するように設けられている。そして、この受光部材3
は、受光面積の大きいフォトダイオードアレイを使用し
ている。もし、これらレーザ発振器2および受光部材3
と透明管6との間に空間があると、その空間に介在する
パーティクルを検出し反応ガスや薬液中のパーティクル
の正確な検出ができなくなる。
【0015】一方、透明管6にハウジング1を取り付け
る機構は、下ハウジング1bに回転自在にピンに取り付
けられたラッチボルト5と、回転して上ハウジング1a
の溝に入りこんだラッチボルト5にねじ込まれる蝶ナッ
ト14と備えている。そして、上ハウジング1aと下ハ
ウジング1bとで透明管6を挟みこみ蝶ナット14を締
め付け固定する。なお、ハウジング1がすべり位置がず
れないように、ハウジング1の内面と透明管6との間
に、図面には示さないが、ゴム板のような弾性板部材6
aを設けることが望ましい。
る機構は、下ハウジング1bに回転自在にピンに取り付
けられたラッチボルト5と、回転して上ハウジング1a
の溝に入りこんだラッチボルト5にねじ込まれる蝶ナッ
ト14と備えている。そして、上ハウジング1aと下ハ
ウジング1bとで透明管6を挟みこみ蝶ナット14を締
め付け固定する。なお、ハウジング1がすべり位置がず
れないように、ハウジング1の内面と透明管6との間
に、図面には示さないが、ゴム板のような弾性板部材6
aを設けることが望ましい。
【0016】次に、このパーティクル測定機構によるパ
ーティクル測定手順を説明する。まず、予め、測定しよ
うとする装置の配管12の目くら栓を外し、代わりに測
定用配管4を継手13にて接続する。そして、レーザ発
振器2と受光部材3とを備えるハウジング1を透明管6
を挟み、ラッチボルト5を旋回させ上ハウジング1aの
溝に入れ蝶ナット14で締め付け固定する。
ーティクル測定手順を説明する。まず、予め、測定しよ
うとする装置の配管12の目くら栓を外し、代わりに測
定用配管4を継手13にて接続する。そして、レーザ発
振器2と受光部材3とを備えるハウジング1を透明管6
を挟み、ラッチボルト5を旋回させ上ハウジング1aの
溝に入れ蝶ナット14で締め付け固定する。
【0017】次に、レーザ発振器2からレーザ光を発射
させる。透明管6に流れる薬液中にパーティクルがある
と、レーザ光はパーティクルによって乱反射し散乱光と
して外方に放射される。そして、放射された散乱光が受
光部材3に入光されて、電気変換され制御部に電気信号
として入力され、制御部の計数回路によりパーティクル
としてカウントされる。もし、パーティクルがないとレ
ーザ光はそのまま直進して受光部材3の隙間を通って通
り抜けるので反射光は発生せず、受光部材3では何も検
出しない。そして、検出されたパーティクルの数を所定
時間積算し、単位時間あたりのパーティクル数を集計す
る。
させる。透明管6に流れる薬液中にパーティクルがある
と、レーザ光はパーティクルによって乱反射し散乱光と
して外方に放射される。そして、放射された散乱光が受
光部材3に入光されて、電気変換され制御部に電気信号
として入力され、制御部の計数回路によりパーティクル
としてカウントされる。もし、パーティクルがないとレ
ーザ光はそのまま直進して受光部材3の隙間を通って通
り抜けるので反射光は発生せず、受光部材3では何も検
出しない。そして、検出されたパーティクルの数を所定
時間積算し、単位時間あたりのパーティクル数を集計す
る。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、一方向に
流れる気体または液体の配管途中に流れの抵抗となる段
差や屈曲部がなく円滑な内壁をもつ測定用配管を直結
し、この測定用配管に流れる気体あるいは液体中に含ま
れるパーティクルに透明壁を通してレーザ光を照射する
レーザ発振器とパーティクルによって反射する散乱光を
検知する受光部材とを設けることによって、段差や屈曲
部から剥離する異物を流れの中に混入することなく測定
できるので、パーティクルの測定が正確となり、プロセ
ス条件が正確に設定でき製品の歩留まりが向上するとい
う効果がある。
流れる気体または液体の配管途中に流れの抵抗となる段
差や屈曲部がなく円滑な内壁をもつ測定用配管を直結
し、この測定用配管に流れる気体あるいは液体中に含ま
れるパーティクルに透明壁を通してレーザ光を照射する
レーザ発振器とパーティクルによって反射する散乱光を
検知する受光部材とを設けることによって、段差や屈曲
部から剥離する異物を流れの中に混入することなく測定
できるので、パーティクルの測定が正確となり、プロセ
ス条件が正確に設定でき製品の歩留まりが向上するとい
う効果がある。
【0019】また、レーザ発振器および受光部材をアラ
イメントがとれた状態で内側に取り付けるハウジング体
を二分割し、測定用配管に跨るように分割されたハウジ
ングで挟み保持し、特別な工具を用いることなく締め付
け手段を設けることによって、他の配管および他の装置
にも簡単に移すことができ汎用性が高めることができる
という効果ある。
イメントがとれた状態で内側に取り付けるハウジング体
を二分割し、測定用配管に跨るように分割されたハウジ
ングで挟み保持し、特別な工具を用いることなく締め付
け手段を設けることによって、他の配管および他の装置
にも簡単に移すことができ汎用性が高めることができる
という効果ある。
【図1】本発明の一実施の形態におけるパーティクル測
定機構を示す斜視図および断面図である。
定機構を示す斜視図および断面図である。
【図2】従来の一例におけるパーティクル測定機構を示
す図である。
す図である。
1 ハウジング 1a 上ハウジング 1b 下ハウジング 2,7 レーザ発振器 3,8 受光部材 4 測定用配管 5 ラッチボルト 6 透明管 6a 弾性板部材 9 制御部 10 バルブ 11 サンプリング配管 12 配管 13 継手
Claims (3)
- 【請求項1】 中央に透明管を有し該透明管の両端から
気体や液体の流れる方向に口径が拡がって伸びるテーパ
管を具備するとともにパーティクルを測定すべき配管と
継手を介して接続する測定用配管と、この測定用配管の
該透明管を挟み込むように前記透明管を保持する二つ割
されるハウジングと、二つ割される前記ハウジングの内
側にあって前記透明管の外壁にレーザ光射出口を接して
配設されるレーザ発振器と、二つ割される前記ハウジン
グの内側にあって前記透明管の外壁に接して受光部が配
置されかつ前記透明管の外周囲に等分に配設される複数
の受光部材と、前記ハウジングの二つ割りされた部材を
互いに締め付ける手段とを備えることを特徴とするパー
ティクル測定機構。 - 【請求項2】 前記ハウジングの内壁と前記透明管の外
壁との間に弾性板部材が介在することを特徴とする請求
項1記載のパーティクル測定機構。 - 【請求項3】 前記締め付ける手段は、いずれかの前記
部材に一端が回転自在に取り付けられ他端にねじが形成
されるラッチボルトと、他の前記部材の溝に回転して入
れ込まれる前記ラッチボルトの該ねじにねじ込まれる蝶
ナットとを有することを特徴とする請求項1または請求
項2記載のパーティクル測定機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9263426A JP3012573B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | パーティクル測定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9263426A JP3012573B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | パーティクル測定機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11101731A JPH11101731A (ja) | 1999-04-13 |
JP3012573B2 true JP3012573B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=17389340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9263426A Expired - Fee Related JP3012573B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | パーティクル測定機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3012573B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109580500A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-04-05 | 扬州市管件厂有限公司 | 高频宽幅激光扫描智能检测装置及方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5036439B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2012-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 試料ホルダ |
JP4961291B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2012-06-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | 試料ホルダ用治具 |
JP5603376B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2014-10-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 試料ホルダ |
DE102016124064A1 (de) * | 2016-12-12 | 2018-06-14 | HELLA GmbH & Co. KGaA | Messeinrichtung und Verfahren zur Messung von Feinstaub für ein Kraftfahrzeug |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP9263426A patent/JP3012573B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109580500A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-04-05 | 扬州市管件厂有限公司 | 高频宽幅激光扫描智能检测装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11101731A (ja) | 1999-04-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991124 |
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