JP3005787B2 - ボンデイング荷重測定装置 - Google Patents

ボンデイング荷重測定装置

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JP3005787B2 JP5202485A JP20248593A JP3005787B2 JP 3005787 B2 JP3005787 B2 JP 3005787B2 JP 5202485 A JP5202485 A JP 5202485A JP 20248593 A JP20248593 A JP 20248593A JP 3005787 B2 JP3005787 B2 JP 3005787B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
のボンデイング荷重測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンデイング装置は、周知の如
く、ボンデイングアームの先端に取付けられたキャピラ
リに挿通されたワイヤを半導体ペレットの電極及び外部
リードのリードに押し付けてボンデイングし、電極とリ
ードとの間をワイヤで接続するものである。この場合、
キャピラリがワイヤを電極及びリードに押し付けるボン
デイング荷重は、ボンデイング品質に及ぼす影響が大き
いので、ボンデイング荷重を測定し、予め決められた設
定値に設定する必要がある。
【０００３】従来、ボンデイング荷重の測定は、図４に
示すようにして行っている。即ち、一端に輪５０ａを形
成したワイヤ５０の他端をテンションゲージ３１の測定
レバー３４に取付ける。そこで、ボンデイングアーム５
にキャピラリ６を固定するキャピラリ固定ねじ７にワイ
ヤ５０の輪５０ａを引っ掛ける。そして、テンションゲ
ージ３１を手で持ち、垂直に引き上げてボンデイング荷
重値をテンションゲージ３１の目盛りで読み取る。読み
値が設定値に対して異なっている場合は、ボンデイング
アーム５に荷重を加えるリニアモータの電圧を高くした
り、低くしたりしてボンデイング荷重を調整する。上記
操作を再度繰り返してボンデイング荷重値を設定値にす
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、テン
ションゲージ３１を手で持ってボンデイング荷重を測定
するので、手ぶれや測定者間の誤差があり、測定値の信
頼度が低い。また一定の測定値が得られないために、設
定値に調整するために長時間を要するという問題があっ
た。
【０００５】本発明の目的は、測定値の信頼性の向上及
びボンデイング荷重の設定時間の短縮が図れるボンデイ
ング荷重測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、枠体に回転自在に支承されたねじ軸
と、このねじ軸を手で回す手回し部材と、前記ねじ軸に
螺合し該ねじ軸の回転によって上下動させられる雌ねじ
と、この雌ねじと共に上下動するスライダと、このスラ
イダに固定されたゲージホルダと、このゲージホルダに
着脱自在に取付けられたテンションゲージと、このテン
ションゲージの測定レバーに取付けられ、ボンデイング
アーム又はボンデイングアームと一体の部材に係合する
係合部を有するフックと、前記枠体をワイヤボンデイン
グ装置に固定する固定手段とを備えたことを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】固定手段によって枠体をワイヤボンデイング装
置に固定する。そして、テンションゲージの測定レバー
に取付けられたフックの係合部をボンデイングアーム又
はボンデイングアームと一体の部材に係合させる。次に
フックが上昇する方向に手回し部材を回す。これによ
り、ねじ軸が回転して雌ねじ、スライダ、ゲージホルダ
及びテンションゲージが上昇し、フックによってボンデ
イングアームが持ち上げられる。この結果、ボンデイン
グ荷重値がテンションゲージに表示される。そこで、テ
ンションゲージの表示値が設定値に合うように、ボンデ
イングアームに荷重を加えるリニアモータの電圧を変化
させる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。まず、ワイヤボンデイング装置の本実施例
に関係する部分の概略構成を説明する。図１に示すよう
に、リードフレーム１の両側をガイドするガイドレール
２、３間には、リードフレーム１を加熱するヒートブロ
ック４が上下動可能に設けられている。ガイドレール３
の上方には、ボンデイングアーム５が配設されており、
ボンデイングアーム５の一端にはヒートブロック４の上
方に位置するようにキャピラリ６がキャピラリ固定ねじ
７で固定されている。またガイドレール２の側方には押
さえ蓋取付け支柱８が設けられており、押さえ蓋取付け
支柱８の上面にはフレーム押さえ蓋９が固定されてい
る。フレーム押さえ蓋９は、リードフレーム１の上面を
位置決めする押さえ部９ａと、キャピラリ６が臨むボン
デイング窓９ｂが形成されている。
【０００９】次にボンデイング荷重測定装置の構成を図
１乃至図３により説明する。ベース板１５には側板１６
が固定され、側板１６の上部には支持板１７がベース板
１５と平行に固定され、ベース板１５、側板１６及び支
持板１７でボンデイング荷重測定装置の枠体を構成して
いる。ベース板１５及び支持板１７には、ねじ軸１８が
軸受１９、２０を介して回転自在に支承され、またガイ
ド棒２１の上下端が固定されている。ねじ軸１８の上端
部には回し駒２２が固定され、回し駒２２には手回しハ
ンドル２３が取付けられている。ねじ軸１８のねじ部に
は雌ねじ２４が螺合されており、雌ねじ２４の両側面に
はフラットな切り欠き溝２４ａが形成されている。前記
ガイド棒２１にはスライダ２５が上下動自在に嵌挿され
ており、スライダ２５の一端には前記雌ねじ２４の切り
欠き溝２４ａに挿入される雌ねじホルダ部２５ａが形成
されている。
【００１０】スライダ２５の他端にはゲージホルダ３０
が固定されている。ゲージホルダ３０には、テンション
ゲージ３１をゲージホルダ３０の底板３０ａに押し付け
る板ばね３２の一端部が固定され、また板ばね３２をテ
ンションゲージ３１に押し付けるねじ部材３３が取付け
られている。テンションゲージ３１の測定レバー３４に
は、フック３５の上端が固定され、フック３５の下端部
には、前記キャピラリ固定ねじ７に挿入される穴３５ａ
が形成されている。
【００１１】前記ベース板１５の前記側板１６と反対側
は、前記ゲージホルダ３０が上下できるように２又状と
なっており、ベース板１５の２又状部の下面には前記押
さえ蓋取付け支柱８に載置される載置板４０が固定され
ている。またベース板１５の２又状部分の一方の側面に
は、押さえ蓋取付け支柱８の突起部８ａの下面に係合す
る固定爪４１が固定されている。ベース板１５の２又状
部分の他方の側方には、ピン４２が固定され、ピン４２
には、押さえ蓋取付け支柱８の突起部８ａの下面に係合
する可動爪４３が揺動自在に取付けられている。可動爪
４３には横長穴４３ａが形成されており、横長穴４３ａ
にはベース板１５のあご部１５ａに螺合されたねじ部材
４４が挿通されている。また可動爪４３が開放するよう
に、ベース板１５のあご部１５ａと可動爪４３間にはば
ね４５が設けられている。
【００１２】次に作用について説明する。まずボンデイ
ング荷重測定装置を押さえ蓋取付け支柱８の突起部８ａ
に取付ける。この操作はねじ部材４４を緩めた状態で行
う。ねじ部材４４を緩めると、ばね４５の付勢力で可動
爪４３は外側に開いた状態になる。そこで、載置板４０
を押さえ蓋取付け支柱８に載置し、固定爪４１が押さえ
蓋取付け支柱８の突起部８ａの下面に係合するようにベ
ース板１５を横にずらして合わせる。次にねじ部材４４
を締め付ける。これにより、可動爪４３はねじ部材４４
によって押されてピン４２を中心として回動し、可動爪
４３は押さえ蓋取付け支柱８の突起部８ａの下面に係合
する。これにより、ボンデイング荷重測定装置は押さえ
蓋取付け支柱８に固定される。
【００１３】次にフック３５の穴３５ａがキャピラリ固
定ねじ７に対応するように手回しハンドル２３を回す。
即ち、手回しハンドル２３を回すと、ねじ軸１８の回転
によって雌ねじ２４、スライダ２５、ゲージホルダ３０
及びテンションゲージ３１が上下動する。フック３５の
穴３５ａがキャピラリ固定ねじ７に対応したら、穴３５
ａをキャピラリ固定ねじ７に引っ掛ける。そこで、フッ
ク３５が上昇するように手回しハンドル２３を回す。こ
れにより、ボンデイングアーム５は持ち上げられ、ボン
デイング荷重値がテンションゲージ３１に表示される。
ボンデイング荷重値が設定値に合うように図示しないリ
ニアモータの電圧を変化させて調整する。
【００１４】このように、手回しハンドル２３を回すこ
とによりテンションゲージ３１が機械的手段で上下動し
て測定でき、測定値を見ながらボンデイング荷重が補正
できるので、ボンデイング荷重の設定が短時間に容易に
行える。また測定者間の測定誤差がなく、信頼性が向上
する。
【００１５】なお、上記実施例はボンデイング荷重測定
装置をワイヤボンデイング装置の押さえ蓋取付け支柱８
に固定したが、特に押さえ蓋取付け支柱８に限られるも
のではない。例えばワイヤボンデイング装置の前方側に
設けられた操作パネルに固定するようにしてもよい。ま
たボンデイング荷重測定装置の固定手段として、固定爪
４１と可動爪４３とを用いたが、これに限られるもので
はない。例えばマグネット等の固定手段を用いてもよ
い。またフック３５に穴３５ａを設け、穴３５ａをキャ
ピラリ固定ねじ７に係合させたが、これに限定されるも
のではない。例えばフック３５の下端をＬ字状に折り曲
げ、この折り曲げ部をボンデイングアーム５の下面又は
キャピラリ６の先端に係合させてもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、枠体に回転自在に支承
されたねじ軸と、このねじ軸を手で回す手回し部材と、
前記ねじ軸に螺合し該ねじ軸の回転によって上下動させ
られる雌ねじと、この雌ねじと共に上下動するスライダ
と、このスライダに固定されたゲージホルダと、このゲ
ージホルダに着脱自在に取付けられたテンションゲージ
と、このテンションゲージの測定レバーに取付けられ、
ボンデイングアーム又はボンデイングアームと一体の部
材に係合する係合部を有するフックと、前記枠体をワイ
ヤボンデイング装置に固定する固定手段とを備えたボン
デイング荷重測定装置を用いて測定するので、測定値の
信頼性の向上及びボンデイング荷重の設定時間の短縮が
図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるボンデイング荷重測定装置の一実
施例を示す一部切り欠き断面正面図である。
【図２】左側面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】従来のボンデイング荷重測定方法の正面図であ
る。
【符号の説明】
５ ボンデイングアーム ６ キャピラリ ７ キャピラリ固定ねじ ８ 押さえ蓋取付け支柱 １５ ベース板 １６ 側板 １７ 支持板 １８ ねじ軸 ２３ 手回しハンドル ２４ 雌ねじ ２５ スライダ ３０ ゲージホルダ ３１ テンションゲージ ３４ 測定レバー ３５ フック ４１ 固定爪 ４３ 可動爪

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 枠体に回転自在に支承されたねじ軸と、
    このねじ軸を手で回す手回し部材と、前記ねじ軸に螺合
    し該ねじ軸の回転によって上下動させられる雌ねじと、
    この雌ねじと共に上下動するスライダと、このスライダ
    に固定されたゲージホルダと、このゲージホルダに着脱
    自在に取付けられたテンションゲージと、このテンショ
    ンゲージの測定レバーに取付けられ、ボンデイングアー
    ム又はボンデイングアームと一体の部材に係合する係合
    部を有するフックと、前記枠体をワイヤボンデイング装
    置に固定する固定手段とを備えたことを特徴とするボン
    デイング荷重測定装置。
JP5202485A 1993-07-26 1993-07-26 ボンデイング荷重測定装置 Expired - Lifetime JP3005787B2 (ja)

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