JP3000976B2 - 有機基板を用いた半導体装置 - Google Patents

有機基板を用いた半導体装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機基板を用いた
半導体装置に関し、特にICチップと基板とのマウント
材による固着強度を高めた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】有機基板を用いた半導体装置において、
有機基板上にICチップを搭載する場合、有機基板上の
ICチップ搭載部に設けられた金属膜上に、導電性接着
剤からなるマウント材を塗布し、このマウント材によっ
てICチップと誘電体基板とを固着した構造を有してい
る。
【0003】図2(a)は、従来の、有機基板を用いた
半導体装置の断面図を示しており、また、図2(b)
は、図2(a)の有機基板1の平面図を示している。図
に示されているように、有機基板1の表面には、ICチ
ップ搭載部2が形成され、このICチップ搭載部2上に
ICチップ4が導電性接着剤からなるマウント材3によ
って固着される。その後、ワイヤボンディング等の配線
接続が行われ、さらに樹脂5によってICチップ4が覆
われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の有機基板
を用いた半導体装置においては、ICチップを基板に固
着する際、金属との接着性が比較的弱い導電性エポキシ
樹脂のマウント材3により、ICチップを平面状の金属
膜からなるICチップ搭載部2に固着しているため、I
Cチップと基板の固着強度は必ずしも十分とは言えず、
リフロ半田付け時の熱ストレス等によりICチップと基
板間が部分的に分離したり、ボンディングワイヤ切れや
ICチップクラックなどの発生を招く恐れがあった。
【0005】本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、I
Cチップと有機基板との固着強度を高めることにより、
熱ストレスで起こるICチップと基板間の部分的分離現
象をなくし、ボード等に実装する際のリフロ半田付け時
にボンディングワイヤ切れやICチップクラックなどの
発生しない、信頼性の高い有機基板を用いた半導体装置
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明における有機基板
を用いた半導体装置は、有機基板上のICチップ搭載部
に、奥が広まった断面形状を有する穴を設けていること
を特徴としている。この有機基板上にマウント材を用い
てICチップを固着すると、前記奥が広まった断面形状
の穴に、ICチップを基板に固着するためのマウント材
である導電性エポキシ樹脂が入り込むことにより、IC
チップと基板間の機械的固着強度を高めることができ
る。
【0007】また、基板に穴を設けることで、マウント
材である導電性エポキシ樹脂と同系統のエポキシ系基板
とを接着することとなり、接着性をより高めることがで
きる。これにより、リフロ半田付け時の熱ストレスでの
ICチップと基板間の部分的分離現象がなくなり、ボン
ディングワイヤ切れやICチップクラックの発生を防ぐ
ことができ、信頼性の高い半導体装置を提供できる。
【0008】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1(a)は、本発明の有
機基板を用いた半導体装置の一実施の形態を示す断面図
であり、図1(b)は、本発明の有機基板の平面図であ
る。
【0009】有機基板1上のICチップ搭載部2には、
図1(a)及び(b)に示されているように、ICチッ
プ4を搭載する位置の範囲内に、ICチップ搭載部2の
金属膜を貫通し有機基板1の内部に達する奥が広まった
断面形状を有する穴6が設けられている。そして、IC
チップ4は、ICチップ搭載部2上及びこのICチップ
搭載部2に設けられたこの奥が広まった穴6に入り込ん
だマウント材3によって有機基板1に固着される。
【0010】穴の大きさはマウント材3が入り込み易い
ように0.2mm以上が望ましく、奥行きは基板厚の1
/5以下とし、穴6の数は搭載するICチップに合わせ
適宜選択することができる。
【0011】また、ICチップ搭載部2の表面から見た
穴6の形状は、図1(b)に示されている円形状のもの
に限られるものではなく、矩形状、あるいはスリット状
等適宜の形状とすることができる。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、有機基
板上のICチップ搭載部に奥が広まった断面形状を有す
る穴を設けることにより、ICチップと基板との固着強
度を高めることができ、リフロ半田付け時の熱ストレス
で発生するボンディングワイヤ切れやICクラックを防
ぐことができ、信頼性の高い半導体装置を提供すること
ができる。
【0013】
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の有機基板を用いた半導体装
置の実施の形態を示す断面図である。(b)は、本発明
において用いられる有機体基板の平面図である。
【図2】(a)は、従来の有機基板を用いた半導体装置
の断面図である。(b)は、従来の有機基板の平面図で
ある。
【符号の説明】
1 有機基板 2 ICチップ搭載部 3 マウント材 4 ICチッブ 5 樹脂 6 奥が広まった断面形状を有する穴

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有機基板上に金属膜により形成されたI
    Cチップ搭載部が設けられ、該ICチップ搭載部上に
    ウント材によってICチップを固着した半導体装置にお
    いて、 前記有機基板のICチップ搭載部には、前記ICチップ
    搭載部に形成された金属膜を貫通して前記有機基板の内
    部に達する奥が広まった断面形状を有し、前記マウント
    材が入り込む穴が設けられていることを特徴とする有機
    基板を用いた半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記有機基板はエポキシ系基板であり、
    前記マウント材は、導電性エポキシ樹脂であることを特
    徴とする請求項1記載の有機基板を用いた半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記穴は、前記ICチップ搭載部に複数
    個設けられていることを特徴とする請求項1記載の有機
    基板を用いた半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記ICチップ搭載部の表面から見た前
    記穴の形状は、円形、矩形、スリット状のうちの何れか
    であることを特徴とする請求項1記載の有機基板を用い
    た半導体装置。
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