JP2992151B2

JP2992151B2 - ボンディング装置

Info

Publication number: JP2992151B2
Application number: JP3303831A
Authority: JP
Inventors: 彰英斉藤
Original assignee: SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
Current assignee: SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
Priority date: 1991-10-24
Filing date: 1991-10-24
Publication date: 1999-12-20
Anticipated expiration: 2014-12-20
Also published as: JPH05121471A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンディング
装置、ワイヤボンディング装置等のボンディング装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ボンディング装置には、作業者により各
種データを入力するための第１と第２の２つの操作パネ
ル１（図５参照）、２（図６参照）が設けられ、それら
の操作パネル１、２には、それぞれの入力目的に応じた
キーが設けられている。

【０００３】例えば、操作パネル１、２には、フロッピ
ーディスク等の記録媒体に記録されたデータの修正を行
なうための数字キー及び文字キー（アルファベットや仮
名入力用キー）３、ボンディング装置の動作を制御する
制御キー４、ボンディングヘッドが載置されたＸＹテー
ブルの微少調整を行なうチェスマン５、等が設けられて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで数字キーと文
字キーは、使用頻度が少ない割りに、そのキー数が多く
（アルファベットの場合、最低でも26のキーが必要）、
このため操作パネル上でキーが占める面積が大きい（操
作パネル、装置全体が大型化してしまう）。

【０００５】また、操作キーの総数が多いことから、キ
ー操作が煩雑になり、操作ミスを生じ易い。

【０００６】本発明は、ボンディング装置における操作
パネルが占める面積を少なくして、操作パネル、装置全
体の小型化を図るとともに、操作パネル上の操作キーの
数を少なくし、キー操作を簡略化し、これにより操作ミ
スを極力減少させることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ボンディングヘッドが搭載されるＸＹテーブルと、
チェスマンと、このチェスマンの作動状態を検出する検
出部と、この検出部の出力信号に応じて前記ＸＹテーブ
ルを移動させるＸＹテーブル移動制御部と、を有するボ
ンディング装置において、数字、文字等の表示装置と、
この表示装置の表示制御部と、切換手段とを有し、前記
切換手段の切り換えにて前記検出部が前記ＸＹテーブル
移動制御部に接続された状態下では、前記ＸＹテーブル
移動制御部は、前記検出部の出力信号に基づいて前記Ｘ
Ｙテーブルの移動制御を行ない、前記切換手段の切り換
えにて前記検出部が前記表示制御部に接続された状態下
では、前記表示制御部は、前記検出部の出力信号に基づ
いて前記表示装置に数字、文字等を表示させることを特
徴とする。

【０００８】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記検出部は、前記チェスマ
ンの回転状態を検出し、前記表示制御部は、前記検出部
の出力信号に基づいて求めた前記チェスマンの回転速度
に応じて、複数桁から構成される数字、文字等の表示設
定桁を指定するようにしたものである。

【０００９】請求項３に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記検出部は、前記チェスマ
ンの回転状態を検出し、前記表示制御部は、前記チェス
マンの一方の方向の回転状態を示す前記検出部の出力信
号に基づいて前記表示装置に表示させる数字、文字等を
変化させ、前記チェスマンの他方の方向の回転状態を示
す前記検出部の出力信号に基づいて前記表示装置に表示
された数字、文字等を確定するようにしたものである。

【００１０】

【００１１】

【作用】本発明によれば、切換手段の切り換えにて、チ
ェスマンの作動状態を検出する検出部がＸＹテーブル移
動制御部に接続された状態下では、ＸＹテーブル移動制
御部は、検出部の出力信号に基づいてＸＹテーブルの移
動制御を行ない、切換手段の切り換えにて検出部が表示
制御部に接続された状態下では、表示制御部は、検出部
の出力信号に基づいて表示装置に数字、文字等を表示さ
せることにより、チェスマンの作動状態を検出する検出
部の出力信号を表示装置に数値、文字を表示させる入力
信号に兼用するようにしたことから、数字キー及び文字
キーが不要となり、操作パネル上のキーの総数を減らす
ことができ、操作パネルによって占められる面積を少な
くして、操作パネル、装置全体の小型化が図れる。

【００１２】また、キーの総数が少なくなることから、
キー操作を単純化することができ、操作ミスを極力減少
させることができる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明が適用されたボンディング装置
の操作パネルの一例を示す模式図、図２は図４の制御系
統図、図３はモニタの表示状態を示す模式図、図４は本
発明が適用されたボンディング装置を示す模式図であ
る。

【００１４】ワイヤボンディング装置１０は、図４に示
す如く、ＸＹテーブル１１にボンディングヘッド１２、
ＣＣＤカメラ１３を搭載している。そして、カメラ１３
により、半導体チップの電極又はリードフレームのリー
ドを撮像し、撮像した画像をモニタ１４に表示する。こ
のとき、モニタ１４の画面中央には、カメラ１３の中心
位置を示し、且つモニタ画面におけるポイントを指示す
るときの目合わせとなる指示マーク（レチクルと呼ばれ
る）が表示される。

【００１５】そこで作業者はモニタ１４に写し出された
画像を見ながら、操作パネル２０（図１参照）のチェス
マン２１、２２を操作することにてカメラ１３を移動さ
せ、レチクルを電極又はリード上における理想的なボン
ディング位置に合わせる。そしてこの位置合わせ後、操
作パネル２０のボンディング操作ボタンを押すことで、
ボンディング位置座標がメモリに記憶される。

【００１６】さて、ボンディング位置座標が記憶される
と、ワイヤボンディング装置１０のボンディング制御部
は、電極とそれに対応するリードのボンディング位置座
標に基づいて、それぞれのボンディング位置間における
ボンディングヘッド１２のキャピラリの移動情報を算出
し、設定する。そして、ボンディングヘッド１２のキャ
ピラリは、このようにして設定された移動情報に基づい
て移動し、電極とリード間にワイヤを接続する。尚、図
４において、１６はローダマガジン、１７はアンローダ
マガジンである。

【００１７】即ち、ボンディング装置１０にあっては、
図２に示す如く、操作パネル２０が、Ｘテーブル操作用
のチェスマン２１及びＹテーブル操作用のチェスマン２
２と、チェスマン２１、２２の作動状態（回転状態）を
検出するロータリーエンコーダ２３、２４（検出部）と
を有している。チェスマン２１、２２を回転させると、
対応するロータリーエンコーダ２３、２４の回転軸が一
体的に回転されるのである。そして、ロータリーエンコ
ーダ２３、２４は、パルスカウンタ２５、２６を介し
て、ＸＹテーブル移動制御部として機能する制御装置２
７に接続されている。パルスカウンタ２５、２６は、ロ
ータリーエンコーダ２３、２４から出力されるパルス数
をカウントし、カウント値を制御装置２７に出力する。
これにより、Ｘテーブル操作用のチェスマン２１を回転
させると、ロータリーエンコーダ２３からその回転量に
応じたパルスが出力されるとともに、パルスカウンタ２
５により、このパルス数がカウントされ、カウント値が
制御装置２７に送られる。そして制御装置２７は、Ｘモ
ータドライバを介してカウント値と同パルス数分、ステ
ッピングモータを回転させる。Ｘテーブルの移動方向並
びに移動量は、チェスマン２１の回転方向、回転量に応
じることになるのである。

【００１８】然るに、ボンディング装置１０にあって
は、唯一の操作パネル２０を有するのみであり、チェス
マン２１、２２とロータリーエンコーダ２３、２４と
が、数字、文字等のデータ入力装置を構成する。即ち、
図１に示す如く、操作パネル２０上には、チェスマン２
１、２２と、制御キー２８とが配置されるだけで、数字
キー、文字キーは無い。

【００１９】そして、ボンディング装置１０にあって
は、前述の制御装置２７が表示制御部としても機能し、
制御装置２７は、上記ロータリーエンコーダ２３、２４
の検出値に基づいて、チェスマン２１、２２の回転状態
に基づくデータ入力値を表示装置としてのモニタ１４に
表示させる。

【００２０】以下、ボンディング座標の修正を行なう場
合について、３つの異なる実施例を説明する。尚、ボン
ディング座標の修正を行なうに当たり、操作パネル２０
に設けられたモードキー（切換手段）を操作して、モニ
タ１４（図３、図４）における表示をボンディング座標
の修正モードに切り換える。

【００２１】（実施例１）チェスマン２１、２２を回転
させることにて発生するパルス数（回転量）をロータリ
ーエンコーダ２３、２４により検出し、パルスの数の下
１桁のみをモニタ１４への入力値として用いる方法。

【００２２】ボンディング座標の修正モードに切り換
えた段階で、モニタ１４には、図３に示すように例えば
フロッピーディスク等の記録媒体に記録されたキャピラ
リのボンディング時のＸ座標とＹ座標が表示される。

【００２３】そこでまずＸ座標の修正を行なうため
に、選択キー２８ａによりモニタ１４上のＸ座標を指定
する。この指定により、Ｘ座標の数値の最小桁の数字上
にカーソル２９が位置する。

【００２４】Ｘテーブル用のチェスマン２１を回転さ
せると、この回転量に応じてカーソル位置の数字が変化
する。即ち、チェスマン２１の回転に伴ってロータリー
エンコーダ２３から出力されるパルス数がパルスカウン
タ２５によりカウントされ、このカウント値の下１桁の
数値がカーソル位置に入力される。例）カウント値が「２３」だとすると、カーソル位置に
は「３」と入力される。

【００２５】数値が希望の数になったところで、設定
キー２８ｂを押す。するとカーソル位置にその数値が設
定され、カーソルは１桁上の数値へ移動する。

【００２６】、の動きを繰り返し、各桁の数値の
修正を行なう。Ｘ座標の修正が終了したら、選択キー２８ａによりＹ
座標を指定する。Ｘ座標の修正と同様にして、Ｙ座標の修正を行なう。
このときの修正には、チェスマン２２を用いる。

【００２７】（実施例２）チェスマン２１、２２を回転
させることにて発生するパルス数（回転量）をロータリ
ーエンコーダ２３、２４により検出し、パルスの数その
ものをモニタ１４への入力値として用いる方法。

【００２８】実施例１の、と同様。Ｘテーブル用のチェスマン２１を回転させると、Ｘ座
標がこの回転に応じた数だけ変化する。即ち、チェスマ
ン２１と共に回転するロータリーエンコーダ２３から出
力されるパルス数分だけ変化する。例）Ｘ座標が「１０．０」と表示されている時、チェス
マン２１を「２３」パルス分、正方向に回転させたとす
ると、Ｘ座標の表示は「１２．３」に変化する。

【００２９】Ｘ座標の表示を希望の数値に合わせて設
定キー２８ｂを押すことにより、その数値が設定され
る。Ｘ座標の修正が終了したら、選択キー２８ａによりＹ
座標を指定する。

【００３０】Ｘ座標の修正と同様にして、Ｙ座標の修
正を行なう。このときの修正には、チェスマン２２を用
いる。

【００３１】（実施例３）チェスマン２１、２２の回転
速度に応じて桁を指定し、そしてその桁の数値を設定す
る。この場合、各桁に対応するチェスマンの回転速度を
予め段階的に設定（例えばゆっくり回すと１桁目、速く
回すと２桁目、より速く回すと３桁目）しておき、ロー
タリーエンコーダ２３、２４から出力される単位時間当
たりのパルス数からチェスマン２１、２２の回転速度を
検出し、この検出した回転速度に対応する桁位置にカー
ソル２９が位置するようにする。そして回転速度が維持
されている時間に応じてその桁の数値が「１」ずつ増加
するようになっている。

【００３２】実施例１のと同様。Ｘ座標の修正を行なうために、選択キー２８ａにより
モニタ１４上のＸ座標を指定する。

【００３３】修正する数値の桁に応じた回転速度でチ
ェスマン２１を回転させることにより、その桁位置にカ
ーソル２９が位置する。そしてその桁の数値を修正す
る。

【００３４】他の桁の数値を修正する時は、その桁に
応じた回転速度でチェスマン２１、２２を回転させてカ
ーソルをその位置に合わせる。

【００３５】Ｘ座標の修正が終了したら、選択キー２
８ａによりＹ座標を指定する。Ｘ座標の修正と同様にして、Ｙ座標の修正を行なう。
このときの修正には、チェスマン２２を用いる。

【００３６】次に、アルファベットや仮名文字などの文
字を入力する場合について、説明する。

【００３７】文字の修正は、例えば、フロッピーディス
ク等に記録されているプログラム上の文字を修正する場
合に用いられる。

【００３８】文字の入力方法は、別に設定した入力ボタ
ンを操作した後、チェスマン２１（アルファベット修正
用として用いる）、チェスマン２２（仮名文字修正用と
して用いる）の回転により発生するパルスのカウント値
を文字に換算し（パルスのカウント値が１つ増すごとに
１文字ずつ順に変化する）、入力する。例）チェスマン２１に関してカウント値「１」…「Ａ」、カウント値「４」…「Ｄ」チェスマン２２に関してカウント値「１」…「ア」、カウント値「４」…「エ」

【００３９】このとき、アルファベットの場合、Ａ〜Ｚ
の文字が２６パルス周期で変化し、仮名文字の場合、ア
〜ンの文字が４８パルス周期で変化するように設定す
る。

【００４０】以上のように、本発明の実施によれば、操
作パネル２０のモードキーの切り換え操作にてＸＹテー
ブル移動制御部として機能する制御装置２７にチェスマ
ン２１、２２の回転状態を検出するロータリーエンコー
ダ２３、２４が接続された状態下では、制御装置２７
は、ロータリーエンコーダ２３、２４の出力パルスに基
づいてＸＹテーブル１１の移動制御を行ない、モードキ
ーの切り換え操作にて表示制御部として機能する制御装
置２７にロータリーエンコーダ２３、２４が接続された
状態下では、制御装置２７は、ロータリーエンコーダ２
３、２４の出力パルスに基づいてモニタ１４に数字、文
字等を表示させることにより、チェスマン２１、２２の
回転状態を検出するロータリーエンコーダ２３、２４の
出力パルスをモニタ１４に数値、文字を表示させる入力
信号に兼用するようにしたことから、数字キー及び文字
キーが不要となり、操作パネル２０上のキーの総数を減
らすことができ、操作パネル２０によって占められる面
積を少なくして、操作パネル２０、装置全体の小型化が
図れる。

【００４１】また、キーの総数が少なくなることから、
キー操作を単純化することができ、操作ミスを極力減少
させることができる。

【００４２】尚、上記実施例にあっては、ロータリーエ
ンコーダ２３、２４から発生する「１パルス」毎に、修
正する数値や文字が変化するように構成したが、「１０
パルス」、或いは「１００パルス」毎に、修正する数値
や文字が順次変化するように設定しても良い。

【００４３】また、本発明の実施において、チェスマン
２１、２２を右回りに回転させることにてモニタ１４に
入力される数値、文字が変化し、左回りに回転させるこ
とにて当該数値、文字が確定されるものとしても良い。
これによれば、チェスマン２１、２２が、モニタ１４に
入力された数値、文字を確定するためのキー（上述の実
施例１〜３では設定キー２８ｂ）に兼用されることか
ら、数値、文字を確定するためのキーが不要となり、操
作パネル２０上のキーの総数を更に減らすことができ、
操作パネル２０によって占められる面積を更に少なくし
て、操作パネル２０、装置全体の更なる小型化が図れ
る。

【００４４】また、本発明の実施において、データ入力
装置による入力項目がＸ座標、Ｙ座標の如くの２項目だ
けである場合、Ｘテーブル側のチェスマン２１だけを使
用し、このチェスマン２１を左回りに回転させるとモニ
タ１４に入力されるＸ座標の数値が、右回りに回転させ
るとモニタ１４に入力されるＹ座標の数値が変化するよ
うに構成しても良い。

【００４５】また、本発明の実施において、データ入力
装置による入力項目は、Ｘ座標の数値及びＹ座標の数値
の如くの２項目だけでなく、３項目以上であっても良い
ことは勿論である。

【００４６】また、本発明の実施において、チェスマン
は揺動タイプであり、検出部はチェスマンの揺動角度を
検出するものであっても良い。

【００４７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ボンディ
ング装置における操作パネル、装置全体の小型化が図
れ、またキー操作を簡略化し、これにより操作ミスを極
力減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明が適用されたボンディング装置の
操作パネルの一例を示す模式図である。

【図２】図２は図４の制御系統図である。

【図３】図３はモニタの表示状態を示す模式図である。

【図４】図４は本発明が適用されたボンディング装置を
示す模式図である。

【図５】図５は従来のボンディング装置の第１操作パネ
ルを示す模式図である。

【図６】図６は従来のボンディング装置の第２操作パネ
ルを示す模式図である。

【符号の説明】

１０ボンディング装置１１ＸＹテーブル１２ボンディングヘッド１４モニタ（表示装置）２１、２２チェスマン２３、２４ロータリーエンコーダ（検出部）２７制御装置（ＸＹテーブル移動制御部、表示制御
部）

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ボンディングヘッドが搭載されるＸＹテ
ーブルと、チェスマンと、このチェスマンの作動状態を
検出する検出部と、この検出部の出力信号に応じて前記
ＸＹテーブルを移動させるＸＹテーブル移動制御部と、
を有するボンディング装置において、数字、文字等の表
示装置と、この表示装置の表示制御部と、切換手段とを
有し、前記切換手段の切り換えにて前記検出部が前記Ｘ
Ｙテーブル移動制御部に接続された状態下では、前記Ｘ
Ｙテーブル移動制御部は、前記検出部の出力信号に基づ
いて前記ＸＹテーブルの移動制御を行ない、前記切換手
段の切り換えにて前記検出部が前記表示制御部に接続さ
れた状態下では、前記表示制御部は、前記検出部の出力
信号に基づいて前記表示装置に数字、文字等を表示させ
ることを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】前記検出部は、前記チェスマンの回転状
態を検出し、前記表示制御部は、前記検出部の出力信号
に基づいて求めた前記チェスマンの回転速度に応じて、
複数桁から構成される数字、文字等の表示設定桁を指定
する請求項１記載のボンディング装置。
【請求項３】前記検出部は、前記チェスマンの回転状
態を検出し、前記表示制御部は、前記チェスマンの一方
の方向の回転状態を示す前記検出部の出力信号に基づい
て前記表示装置に表示させる数字、文字等を変化させ、
前記チェスマンの他方の方向の回転状態を示す前記検出
部の出力信号に基づいて前記表示装置に表示された数
字、文字等を確定する請求項１記載のボンディング装
置。