JP2984639B2 - 液切り用エアーナイフ装置 - Google Patents
液切り用エアーナイフ装置Info
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- JP2984639B2 JP2984639B2 JP9327932A JP32793297A JP2984639B2 JP 2984639 B2 JP2984639 B2 JP 2984639B2 JP 9327932 A JP9327932 A JP 9327932A JP 32793297 A JP32793297 A JP 32793297A JP 2984639 B2 JP2984639 B2 JP 2984639B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルや
半導体の製造装置において、薬液処理槽から次の処理槽
へ板状部品を搬送する際、薬液処理槽出口に設けられる
板状部品表面の薬液除去を行なうエアーナイフ装置に関
する。
半導体の製造装置において、薬液処理槽から次の処理槽
へ板状部品を搬送する際、薬液処理槽出口に設けられる
板状部品表面の薬液除去を行なうエアーナイフ装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルや半導体素子等の製造装
置では、処理対象の板状部品を複数の処理槽が連結され
た装置内で、コンベアベルト・ローラ等の搬送手段によ
って搬送し、各処理槽内で各種の薬液によって表面処理
を施している。これら処理槽内の出口には、基板表面に
付着した薬液が次の処理槽内へ持ち出されないようにす
るために、液切り用エアーナイフ装置を有している。こ
こで使用するエアーナイフ装置は、処理槽からの薬液持
ち出し防止を目的としているが、板状部品の薬液除去を
完全に行なうと、板状部品の表面が乾燥し、ムラの発
生、表面に付着したゴミが固着する等の不具合があり、
板状部品の表面が半乾き状態となるように薬液除去を行
っており、除去された薬液は処理槽へ戻る。
置では、処理対象の板状部品を複数の処理槽が連結され
た装置内で、コンベアベルト・ローラ等の搬送手段によ
って搬送し、各処理槽内で各種の薬液によって表面処理
を施している。これら処理槽内の出口には、基板表面に
付着した薬液が次の処理槽内へ持ち出されないようにす
るために、液切り用エアーナイフ装置を有している。こ
こで使用するエアーナイフ装置は、処理槽からの薬液持
ち出し防止を目的としているが、板状部品の薬液除去を
完全に行なうと、板状部品の表面が乾燥し、ムラの発
生、表面に付着したゴミが固着する等の不具合があり、
板状部品の表面が半乾き状態となるように薬液除去を行
っており、除去された薬液は処理槽へ戻る。
【０００３】図６は、従来のエアーナイフ装置の一例を
示す斜視図である。搬送ローラ１上を矢印方向へ搬送さ
れる板状部品２は液切りステーション１５へはいり、ス
リット状ノズル２５から吐出されるエアーによって表面
の薬液を吹き飛ばされながら液切りステーション１５を
通過する。エアーナイフ５には、エアー源（図示せず）
からチューブ１８を介してエアーが供給される。排気口
１９は、液切りステーション１５内の飛散したミスト状
薬液を排出する（特開平４−２８８８３０参照）。
示す斜視図である。搬送ローラ１上を矢印方向へ搬送さ
れる板状部品２は液切りステーション１５へはいり、ス
リット状ノズル２５から吐出されるエアーによって表面
の薬液を吹き飛ばされながら液切りステーション１５を
通過する。エアーナイフ５には、エアー源（図示せず）
からチューブ１８を介してエアーが供給される。排気口
１９は、液切りステーション１５内の飛散したミスト状
薬液を排出する（特開平４−２８８８３０参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術における第
１の問題点は、液切りステーションで吹き飛ばされた薬
液が、エアーナイフのスリット状ノズル及びエアーナイ
フ表面、液切りステーション内壁で結晶化することであ
る。その理由は、排気口より水分を含んだエアーが排出
され、エアーナイフより水分を含まないエアーが供給さ
れるため、薬液の乾燥が促進されるからである。
１の問題点は、液切りステーションで吹き飛ばされた薬
液が、エアーナイフのスリット状ノズル及びエアーナイ
フ表面、液切りステーション内壁で結晶化することであ
る。その理由は、排気口より水分を含んだエアーが排出
され、エアーナイフより水分を含まないエアーが供給さ
れるため、薬液の乾燥が促進されるからである。
【０００５】第２の問題点は、板状部品の表面に傷が発
生することである。その理由は、エアーナイフのスリッ
ト状ノズル部に付着した薬液が結晶化し、エアー吹き出
し時に板状部品の表面に衝突するからである。
生することである。その理由は、エアーナイフのスリッ
ト状ノズル部に付着した薬液が結晶化し、エアー吹き出
し時に板状部品の表面に衝突するからである。
【０００６】本発明の目的は、薬液の乾燥により発生し
た結晶が、エアーナイフの吹き出しによって板状部品の
表面に当たり、表面を傷つけることを防ぐことのできる
液切り用エアーナイフ装置を提供することにある。
た結晶が、エアーナイフの吹き出しによって板状部品の
表面に当たり、表面を傷つけることを防ぐことのできる
液切り用エアーナイフ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、搬送路上を送
られてくる板状部品（図１の２）の表面に板状部品の斜
め方向よりスリット状ノズル（図１の２５）から噴出さ
れる気体を吹きつけ、板状部品表面に付着している薬液
を除去するエアーナイフ装置において、同一種類の薬液
を散布するためのスプレーノズル（図１の４）、ポンプ
（図１の１２）、板状部品の搬入搬出を検知する出入口
検出センサ（図１の７，８）を有する。スプレーノズル
は揺動するパイプに取り付けることができる。
られてくる板状部品（図１の２）の表面に板状部品の斜
め方向よりスリット状ノズル（図１の２５）から噴出さ
れる気体を吹きつけ、板状部品表面に付着している薬液
を除去するエアーナイフ装置において、同一種類の薬液
を散布するためのスプレーノズル（図１の４）、ポンプ
（図１の１２）、板状部品の搬入搬出を検知する出入口
検出センサ（図１の７，８）を有する。スプレーノズル
は揺動するパイプに取り付けることができる。
【０００８】板状部品検出センサの信号に対応して、板
状部品が液切りステーション内に無い時のみ、ポンプを
介しスプレーノズルからエアーナイフ表面、エアーナイ
フのスリット状ノズル、及び液切りステーションの内壁
に同一種類の薬液を散布する。このため、エアーナイフ
の液切り作用を妨げることなく、薬液の結晶化を防ぐこ
とができる。
状部品が液切りステーション内に無い時のみ、ポンプを
介しスプレーノズルからエアーナイフ表面、エアーナイ
フのスリット状ノズル、及び液切りステーションの内壁
に同一種類の薬液を散布する。このため、エアーナイフ
の液切り作用を妨げることなく、薬液の結晶化を防ぐこ
とができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明について図面を参照して詳
細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を示す
構成概略図である。図１を参照すると、薬液処理槽１４
の下流側に液切りステーション１５、すなわち液切り用
エアーナイフ装置が連結されており、薬液処理槽１４
は、処理薬液を貯める貯液タンク１０、シャワーノズル
３から板状部品２へ薬液を散布するためのポンプ９、フ
ィルタ８を有している。下流側の液切りステーション
（液切り用エアーナイフ装置）１５は、エアー供給源６
よりエアーを供給されるエアーナイフ５、板状部品検出
用の入口検出センサ７、出口検出センサ８及び処理薬液
を貯める貯液タンク１１、スプレーノズル４から板状部
品２へ薬液散布するためのポンプ１２、フィルタ１３を
有している。
細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を示す
構成概略図である。図１を参照すると、薬液処理槽１４
の下流側に液切りステーション１５、すなわち液切り用
エアーナイフ装置が連結されており、薬液処理槽１４
は、処理薬液を貯める貯液タンク１０、シャワーノズル
３から板状部品２へ薬液を散布するためのポンプ９、フ
ィルタ８を有している。下流側の液切りステーション
（液切り用エアーナイフ装置）１５は、エアー供給源６
よりエアーを供給されるエアーナイフ５、板状部品検出
用の入口検出センサ７、出口検出センサ８及び処理薬液
を貯める貯液タンク１１、スプレーノズル４から板状部
品２へ薬液散布するためのポンプ１２、フィルタ１３を
有している。
【００１０】次に図３を参照すると、液切りステーショ
ン１５は、その内部のミスト状薬液を排出する排気口１
９、液切り及びスプレーノズル４から散布された薬液を
貯液タンク１１へ流す回収穴２８を有し、スプレーノズ
ル４は、エアーナイフ５や液切りステーション１５の内
壁に向って設置されている。
ン１５は、その内部のミスト状薬液を排出する排気口１
９、液切り及びスプレーノズル４から散布された薬液を
貯液タンク１１へ流す回収穴２８を有し、スプレーノズ
ル４は、エアーナイフ５や液切りステーション１５の内
壁に向って設置されている。
【００１１】次に本発明の第１の実施の形態の動作につ
いて図１、図２を用いて説明する。ここで図２は動作を
示すタイムチャートである。薬液処理槽１４でシャワー
ノズル３からの薬液スプレーで処理された板状部品２
は、搬送ローラ１上を進み、液切りステーション１５に
搬入されると、入口検出センサ７がオンし、ポンプ１２
が停止してスプレーノズル４からの薬液散布をやめ、エ
アーナイフ５がエアー供給源６からのエアーを吹き出
す。
いて図１、図２を用いて説明する。ここで図２は動作を
示すタイムチャートである。薬液処理槽１４でシャワー
ノズル３からの薬液スプレーで処理された板状部品２
は、搬送ローラ１上を進み、液切りステーション１５に
搬入されると、入口検出センサ７がオンし、ポンプ１２
が停止してスプレーノズル４からの薬液散布をやめ、エ
アーナイフ５がエアー供給源６からのエアーを吹き出
す。
【００１２】板状部品２が液切りステーション１５を通
過すると、出口検出センサ８がオンからオフになりエア
ーナイフ５がエアーの吹き出しを止め、ポンプ１２が運
転しスプレーノズル４から薬液を散布する。エアーナイ
フ５で板状部品２から吹き飛ばされた薬液と、スプレー
ノズル４から散布された薬液は、同一種類で共に貯液タ
ンク１１に常時回収される。
過すると、出口検出センサ８がオンからオフになりエア
ーナイフ５がエアーの吹き出しを止め、ポンプ１２が運
転しスプレーノズル４から薬液を散布する。エアーナイ
フ５で板状部品２から吹き飛ばされた薬液と、スプレー
ノズル４から散布された薬液は、同一種類で共に貯液タ
ンク１１に常時回収される。
【００１３】このように液切りステーション１５内に板
状部品２が無いときのみ、スプレーノズル４から薬液が
散布されるので、エアーナイフ５の液切り作業を中断さ
せることなく、液切りステーション１５の内壁、エアー
ナイフ表面で薬液が結晶化することを防止できる。ま
た、液切りステーション１５内で液切りされた薬液及び
結晶化防止のために散布された薬液は、貯液タンク１１
に回収され再利用される。
状部品２が無いときのみ、スプレーノズル４から薬液が
散布されるので、エアーナイフ５の液切り作業を中断さ
せることなく、液切りステーション１５の内壁、エアー
ナイフ表面で薬液が結晶化することを防止できる。ま
た、液切りステーション１５内で液切りされた薬液及び
結晶化防止のために散布された薬液は、貯液タンク１１
に回収され再利用される。
【００１４】次に本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の実施
例を参照すると、スプレーノズル２６を取り付けたパイ
プ２７が、液切りステーション１５内のエアーナイフ５
の上流側上部に平行に対向するように取付けてある。ス
プレーノズル２６はスプレー面積が広くなるように扇形
ノズルとしている。パイプ２７は、クランク機構（図示
せず）に取り付けてあり、図４（Ｂ）に示すようにパイ
プ２７の中心線を中心に首振り揺動を行なう。図４
（Ｃ）を参照すると、入口検出センサ７と出口検出セン
サ８は振り子型センサを使用していて、振り子２９は倒
れ状態で真下の磁気センサ２８がオンし、振り子２９が
直立状態でオフする。
て詳細に説明する。図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の実施
例を参照すると、スプレーノズル２６を取り付けたパイ
プ２７が、液切りステーション１５内のエアーナイフ５
の上流側上部に平行に対向するように取付けてある。ス
プレーノズル２６はスプレー面積が広くなるように扇形
ノズルとしている。パイプ２７は、クランク機構（図示
せず）に取り付けてあり、図４（Ｂ）に示すようにパイ
プ２７の中心線を中心に首振り揺動を行なう。図４
（Ｃ）を参照すると、入口検出センサ７と出口検出セン
サ８は振り子型センサを使用していて、振り子２９は倒
れ状態で真下の磁気センサ２８がオンし、振り子２９が
直立状態でオフする。
【００１５】次に本発明の実施例の動作について図４
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して詳細に説明する。液
切りステーション１５に板状部品２が搬入されると、直
立状態の入口側の振り子２９が倒れ磁気センサ２８がオ
ンする。板状部品２が液切りステーション１５を通過す
ると、出口側の振り子２９が倒れオンし、直立にもどり
オフする。これに対応して、板状部品２が液切りステー
ション１５内に無いときのみ、パイプ２７が首振り揺動
し、ポンプ１２からの薬液がスプレーノズル２６より散
布される。パイプ２７が首振り揺動するので均一な薬液
散布が行われる。又、２本のパイプ２７は平行に対向し
首振り揺動するので、互いに付着した薬液が結晶化する
のを防いでいる。
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して詳細に説明する。液
切りステーション１５に板状部品２が搬入されると、直
立状態の入口側の振り子２９が倒れ磁気センサ２８がオ
ンする。板状部品２が液切りステーション１５を通過す
ると、出口側の振り子２９が倒れオンし、直立にもどり
オフする。これに対応して、板状部品２が液切りステー
ション１５内に無いときのみ、パイプ２７が首振り揺動
し、ポンプ１２からの薬液がスプレーノズル２６より散
布される。パイプ２７が首振り揺動するので均一な薬液
散布が行われる。又、２本のパイプ２７は平行に対向し
首振り揺動するので、互いに付着した薬液が結晶化する
のを防いでいる。
【００１６】次に本発明の第２の実施の形態について図
５（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。図５（Ａ）を参
照すると、本実施の形態においては薬液散布手段として
スリット状薬液ノズル２０を有している。このスリット
状薬液ノズル２０は、エアーを吹き出すスリット状ノズ
ル２５の真上に設置してある。このスリット状薬液ノズ
ル２０には、薬液供給管２１を介しポンプ１２から薬液
が供給され、液切りステーション１５内に板状部品２が
無いとき、スリット状ノズル２５へ薬液を散布する。こ
のときスリット状ノズル２５から少量のエアーを出し続
けることで、薬液がスリット状ノズル２５内に進入する
ことも防いでいる。この実施の形態では、最も板状部品
２の表面に傷をつけ易いスリット状ノズル２５に結晶が
発生することを、より集中的な薬液散布で防止すること
ができる。
５（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。図５（Ａ）を参
照すると、本実施の形態においては薬液散布手段として
スリット状薬液ノズル２０を有している。このスリット
状薬液ノズル２０は、エアーを吹き出すスリット状ノズ
ル２５の真上に設置してある。このスリット状薬液ノズ
ル２０には、薬液供給管２１を介しポンプ１２から薬液
が供給され、液切りステーション１５内に板状部品２が
無いとき、スリット状ノズル２５へ薬液を散布する。こ
のときスリット状ノズル２５から少量のエアーを出し続
けることで、薬液がスリット状ノズル２５内に進入する
ことも防いでいる。この実施の形態では、最も板状部品
２の表面に傷をつけ易いスリット状ノズル２５に結晶が
発生することを、より集中的な薬液散布で防止すること
ができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した本発明の第１の効果は、液
切り用エアーナイフ装置で液切りされる板状部品の表面
において、結晶による傷発生を防止できるということで
ある。その理由は、液切りされ液切りステーション内壁
及びエアーナイフ表面に付着した薬液の乾燥・固化が液
切りステーション内に設けた薬液散布手段により防止で
きるからである。
切り用エアーナイフ装置で液切りされる板状部品の表面
において、結晶による傷発生を防止できるということで
ある。その理由は、液切りされ液切りステーション内壁
及びエアーナイフ表面に付着した薬液の乾燥・固化が液
切りステーション内に設けた薬液散布手段により防止で
きるからである。
【００１８】第２の効果は、液切りエアーナイフの液切
りを妨げることなく、すなわち、液切り用エアーナイフ
装置を使用している生産設備を停止させることなく薬液
の乾燥・固化が防止できる。その理由は、液切りステー
ションの出入口近辺に設けた板状部品検出手段により、
液切りステーション内の板状部品の有無が判断でき、無
しの時のみ薬液散布ができるからである。
りを妨げることなく、すなわち、液切り用エアーナイフ
装置を使用している生産設備を停止させることなく薬液
の乾燥・固化が防止できる。その理由は、液切りステー
ションの出入口近辺に設けた板状部品検出手段により、
液切りステーション内の板状部品の有無が判断でき、無
しの時のみ薬液散布ができるからである。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す構成概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の第１の実施の形態の動作を示すタイム
チャートである。
チャートである。
【図３】本発明の第１の実施の形態の液切りステーショ
ンを示す一部切欠き斜視図である。
ンを示す一部切欠き斜視図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例を示す全体図
と一部拡大図である。
と一部拡大図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の第２の実施の形態を
示す全体図と一部拡大図である。
示す全体図と一部拡大図である。
【図６】従来の液切り用エアーナイフ装置を示す斜視図
である。
である。
１ 搬送ローラ ２ 板状部品 ３ シャワーノズル ４，２６ スプレーノズル ５ エアーナイフ ６ エアー供給源 ７ 入口検出センサ ８ 出口検出センサ ９，１２ ポンプ １０，１１ 貯液タンク １３ フィルタ １４ 薬液処理槽 １５ 液切りステーション ２５ スリット状ノズル ２７ パイプ
Claims (4)
- 【請求項１】 搬送路を送られてくる板状部品の表面に
板状部品の斜め方向よりスリット状ノズルから噴出され
る気体を吹きつけ、板状部品表面に付着している薬液を
除去するエアーナイフ装置において、エアーナイフを囲
む仕切り壁の内側及びエアーナイフ表面へ板状部品表面
と同じ種類の薬液を散布するスプレーノズル及びこれに
薬液を供給する手段を有することを特徴とする液切り用
エアーナイフ装置。 - 【請求項２】 装置の出入口に板状部品の搬入搬出を検
出するセンサを有することを特徴とする請求項１記載の
液切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項３】 前記スプレーノズルは揺動するパイプに
取り付けられていることを特徴とする請求項１または２
記載の液切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項４】 前記スプレーノズルからの薬液の散布
は、装置内に板状部品が無い場合のみ行うことを特徴と
する請求項１記載の液切り用エアーナイフ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9327932A JP2984639B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 液切り用エアーナイフ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9327932A JP2984639B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 液切り用エアーナイフ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11162908A JPH11162908A (ja) | 1999-06-18 |
| JP2984639B2 true JP2984639B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=18204627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9327932A Expired - Fee Related JP2984639B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 液切り用エアーナイフ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2984639B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101090347B1 (ko) | 2010-02-09 | 2011-12-07 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 식각장치 |
| JP6335114B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-05-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP9327932A patent/JP2984639B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11162908A (ja) | 1999-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990907 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |