JP2981973B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
に係り、特にボンデイング点検出装置に関する。
に係り、特にボンデイング点検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ワイヤボンデイングにおいて、リ
ードフレームにペレットが固着された半導体試料をヒー
トブロック上に移送して位置決めし、カメラで半導体試
料のボンデイング点を検出する場合、ヒートブロックの
加熱によって陽炎が発生し、この陽炎によってボンデイ
ング点が正確に検出できない。このため、例えば特開昭
53−10268号公報及び実開昭51−88177号
公報に示すように、エア又は不活性ガスをボンデイング
面に向けて吹き付けることが行われている。即ち、加熱
されて上昇する空気を吹き飛ばし、加熱空気が半導体試
料とカメラ鏡筒間に存在しないようにして陽炎を防止し
ていた。
ードフレームにペレットが固着された半導体試料をヒー
トブロック上に移送して位置決めし、カメラで半導体試
料のボンデイング点を検出する場合、ヒートブロックの
加熱によって陽炎が発生し、この陽炎によってボンデイ
ング点が正確に検出できない。このため、例えば特開昭
53−10268号公報及び実開昭51−88177号
公報に示すように、エア又は不活性ガスをボンデイング
面に向けて吹き付けることが行われている。即ち、加熱
されて上昇する空気を吹き飛ばし、加熱空気が半導体試
料とカメラ鏡筒間に存在しないようにして陽炎を防止し
ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボン
デイング面にエア等を吹き付けるので、ボンデイング面
が冷却され、ボンダビリティ(ボンデイング品質)が低
下すると共に、エア等がワイヤボンデイング後のワイヤ
にストレスを与えるという問題があった。またキャピラ
リの下端に延在したワイヤに、電気トーチで放電させて
ボールを形成する場合、エア等が放電に悪影響を及ぼ
す。このため、放電時にはエア等の吹き付けをオフにす
る必要があった。
デイング面にエア等を吹き付けるので、ボンデイング面
が冷却され、ボンダビリティ(ボンデイング品質)が低
下すると共に、エア等がワイヤボンデイング後のワイヤ
にストレスを与えるという問題があった。またキャピラ
リの下端に延在したワイヤに、電気トーチで放電させて
ボールを形成する場合、エア等が放電に悪影響を及ぼ
す。このため、放電時にはエア等の吹き付けをオフにす
る必要があった。
【0004】本発明の目的は、ボンダビリティが低下す
ることがなく、またワイヤボンデイング後のワイヤに悪
影響を与えないワイヤボンデイング装置を提供すること
にある。
ることがなく、またワイヤボンデイング後のワイヤに悪
影響を与えないワイヤボンデイング装置を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、ヒートブロック上に位置決め載置さ
れた半導体試料のボンデイング点をカメラ鏡筒を通して
カメラで検出し、この検出されたボンデイング点にワイ
ヤを接続するワイヤボンデイング装置において、前記カ
メラ鏡筒の検出画像取込み部に、該検出画像取込み部と
半導体試料間における空気密度変化の生じる所まで下方
に延在したカバーを取付け、前記カメラ鏡筒に冷却エア
を吹き付ける冷却エア供給手段を配設したことを特徴と
する。
の本発明の構成は、ヒートブロック上に位置決め載置さ
れた半導体試料のボンデイング点をカメラ鏡筒を通して
カメラで検出し、この検出されたボンデイング点にワイ
ヤを接続するワイヤボンデイング装置において、前記カ
メラ鏡筒の検出画像取込み部に、該検出画像取込み部と
半導体試料間における空気密度変化の生じる所まで下方
に延在したカバーを取付け、前記カメラ鏡筒に冷却エア
を吹き付ける冷却エア供給手段を配設したことを特徴と
する。
【0006】
【作用】カメラ鏡筒を通してカメラで半導体試料のボン
デイング点を検出する場合、ヒートブロックによって加
熱された空気はカバー20に伝わり、カバー内は加熱さ
れた温度となっている。従って、カバー内の加熱空気は
周囲の冷たい空気に直接触れなく温度変化がないので、
半導体試料と検出画像取込み部の検出口との間において
陽炎が発生しない。
デイング点を検出する場合、ヒートブロックによって加
熱された空気はカバー20に伝わり、カバー内は加熱さ
れた温度となっている。従って、カバー内の加熱空気は
周囲の冷たい空気に直接触れなく温度変化がないので、
半導体試料と検出画像取込み部の検出口との間において
陽炎が発生しない。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1により説明す
る。ヒートブロック1上には、ペレット2が固着された
リードフレーム3よりなる半導体試料4が位置決めされ
る。XY方向に駆動される図示しないボンデイングヘッ
ドには、一端にキャピラリ5が固定されたボンデイング
アーム6が上下動可能に設けられており、キャピラリ5
にはワイヤ7が挿通されている。なお、8はワイヤクラ
ンパ、9はテンション板バネを示し、これらワイヤクラ
ンパ8及びテンション板バネ9はボンデイングヘッドに
設けられている。
る。ヒートブロック1上には、ペレット2が固着された
リードフレーム3よりなる半導体試料4が位置決めされ
る。XY方向に駆動される図示しないボンデイングヘッ
ドには、一端にキャピラリ5が固定されたボンデイング
アーム6が上下動可能に設けられており、キャピラリ5
にはワイヤ7が挿通されている。なお、8はワイヤクラ
ンパ、9はテンション板バネを示し、これらワイヤクラ
ンパ8及びテンション板バネ9はボンデイングヘッドに
設けられている。
【0008】またボンデイングヘッドには、カメラ15
が取付けられたカメラ鏡筒16が固定されており、カメ
ラ鏡筒16の検出画像取込み部17の検出口は下方に向
いている。更にボンデイングヘッドには、多数個のLE
Dをリング状に配設して取付けた照明手段19が前記検
出画像取込み部17の検出口の下方に位置するように取
付けられている。以上は公知の構成であるので、これ以
上の説明は省略する。
が取付けられたカメラ鏡筒16が固定されており、カメ
ラ鏡筒16の検出画像取込み部17の検出口は下方に向
いている。更にボンデイングヘッドには、多数個のLE
Dをリング状に配設して取付けた照明手段19が前記検
出画像取込み部17の検出口の下方に位置するように取
付けられている。以上は公知の構成であるので、これ以
上の説明は省略する。
【0009】本実施例においては、前記カメラ鏡筒16
の検出画像取込み部17と前記照明手段19間の空間を
覆うように、検出画像取込み部17と照明手段19にカ
バー20が固定されている。
の検出画像取込み部17と前記照明手段19間の空間を
覆うように、検出画像取込み部17と照明手段19にカ
バー20が固定されている。
【0010】次に作用について説明する。陽炎は、空気
密度が変化する所で発生する。即ち、ヒートブロック1
によって加熱された空気が上昇して周囲の空気に触れる
ことによって発生する。調査の結果、ヒートブロック1
の温度が約300℃前後で周囲の温度が20℃の場合、
ヒートブロック1から約10mm上方で陽炎が発生し
た。従来は、前記従来の技術の項で述べたように、半導
体試料4のボンデイング面上の加熱空気にエアを吹き付
けて加熱空気を吹き飛ばし、加熱空気が半導体試料4と
カメラ鏡筒16間に存在しないようにして陽炎を防止し
ていた。
密度が変化する所で発生する。即ち、ヒートブロック1
によって加熱された空気が上昇して周囲の空気に触れる
ことによって発生する。調査の結果、ヒートブロック1
の温度が約300℃前後で周囲の温度が20℃の場合、
ヒートブロック1から約10mm上方で陽炎が発生し
た。従来は、前記従来の技術の項で述べたように、半導
体試料4のボンデイング面上の加熱空気にエアを吹き付
けて加熱空気を吹き飛ばし、加熱空気が半導体試料4と
カメラ鏡筒16間に存在しないようにして陽炎を防止し
ていた。
【0011】本実施例においては、カメラ鏡筒16を通
してカメラ15で半導体試料4のボンデイング点を検出
する場合、ヒートブロック1によって加熱された空気は
照明手段19の穴を通してカバー20内に伝わり、カバ
ー20内は加熱された温度となっている。従って、カバ
ー20内の加熱空気は周囲の冷たい空気に直接触れなく
温度変化がないので、半導体試料4と検出画像取込み部
17の検出口との間において陽炎が発生しない。
してカメラ15で半導体試料4のボンデイング点を検出
する場合、ヒートブロック1によって加熱された空気は
照明手段19の穴を通してカバー20内に伝わり、カバ
ー20内は加熱された温度となっている。従って、カバ
ー20内の加熱空気は周囲の冷たい空気に直接触れなく
温度変化がないので、半導体試料4と検出画像取込み部
17の検出口との間において陽炎が発生しない。
【0012】このように、半導体試料4にエア等を吹き
付けないで陽炎を防止することができるので、ボンダビ
リティが低下することがなく、またワイヤボンデイング
後のワイヤに悪影響を与えることはない。またエア等を
オン・オフする手段も必要としない。
付けないで陽炎を防止することができるので、ボンダビ
リティが低下することがなく、またワイヤボンデイング
後のワイヤに悪影響を与えることはない。またエア等を
オン・オフする手段も必要としない。
【0013】なお、上記実施例は、カバー20は、カメ
ラ鏡筒16の検出画像取込み部17と照明手段19間を
覆うようにほぼ四角状の筒状に形成した場合について説
明した。しかし、カバー20は、後方(カメラ15側)
が開放した断面コ字状でもよい。この場合は、カバー2
0内の加熱空気は後方に流れて初めて冷たい空気に接触
する。即ち、カバー20内では冷たい空気に直接触れな
いので、前記実施例と同様に、半導体試料4と検出画像
取込み部17の検出口との間において陽炎が発生しな
い。
ラ鏡筒16の検出画像取込み部17と照明手段19間を
覆うようにほぼ四角状の筒状に形成した場合について説
明した。しかし、カバー20は、後方(カメラ15側)
が開放した断面コ字状でもよい。この場合は、カバー2
0内の加熱空気は後方に流れて初めて冷たい空気に接触
する。即ち、カバー20内では冷たい空気に直接触れな
いので、前記実施例と同様に、半導体試料4と検出画像
取込み部17の検出口との間において陽炎が発生しな
い。
【0014】また上記実施例は、照明がリング状に配設
された照明手段19をカメラ鏡筒16の下方に備えたワ
イヤボンデイング装置に適用した場合について説明し
た。しかし、照明がリング状である照明手段19をカメ
ラ鏡筒16の下方に有しない場合には、カバー20は、
少なくとも陽炎が発生する所に配設する必要がある。
された照明手段19をカメラ鏡筒16の下方に備えたワ
イヤボンデイング装置に適用した場合について説明し
た。しかし、照明がリング状である照明手段19をカメ
ラ鏡筒16の下方に有しない場合には、カバー20は、
少なくとも陽炎が発生する所に配設する必要がある。
【0015】ところで、本実施例においては、カバー2
0内の加熱された空気によってカメラ鏡筒16が熱膨張
する。カメラ鏡筒16が熱膨張すると、ボンデイング点
の検出点が位置ずれし、キャピラリ5との相対的な位置
ずれが生じる。これを防止するため、カメラ鏡筒16の
側方には、該カメラ鏡筒16に沿って冷却用パイプ21
を配設し、該冷却用パイプ21をボンデイングヘッドに
固定する。冷却用パイプ21には、カメラ鏡筒16の方
向にエアを吹き出すエア吹き出し穴22が多数設けられ
ている。即ち、冷却用パイプ21より冷却エアを吹き付
けることによってカメラ鏡筒16の発熱が抑制され、カ
メラ鏡筒16の熱膨張が少ないので、ボンデイング点の
検出点の位置ずれが防止される。
0内の加熱された空気によってカメラ鏡筒16が熱膨張
する。カメラ鏡筒16が熱膨張すると、ボンデイング点
の検出点が位置ずれし、キャピラリ5との相対的な位置
ずれが生じる。これを防止するため、カメラ鏡筒16の
側方には、該カメラ鏡筒16に沿って冷却用パイプ21
を配設し、該冷却用パイプ21をボンデイングヘッドに
固定する。冷却用パイプ21には、カメラ鏡筒16の方
向にエアを吹き出すエア吹き出し穴22が多数設けられ
ている。即ち、冷却用パイプ21より冷却エアを吹き付
けることによってカメラ鏡筒16の発熱が抑制され、カ
メラ鏡筒16の熱膨張が少ないので、ボンデイング点の
検出点の位置ずれが防止される。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、ヒートブロック上に位
置決め載置された半導体試料のボンデイング点をカメラ
鏡筒を通してカメラで検出し、この検出されたボンデイ
ング点にワイヤを接続するワイヤボンデイング装置にお
いて、前記カメラ鏡筒の検出画像取込み部に、該検出画
像取込み部と半導体試料間における空気密度変化の生じ
る所まで下方に延在したカバーを取付けたので、ボンダ
ビリティが低下することがなく、またワイヤボンデイン
グ後のワイヤに悪影響を与えない。
置決め載置された半導体試料のボンデイング点をカメラ
鏡筒を通してカメラで検出し、この検出されたボンデイ
ング点にワイヤを接続するワイヤボンデイング装置にお
いて、前記カメラ鏡筒の検出画像取込み部に、該検出画
像取込み部と半導体試料間における空気密度変化の生じ
る所まで下方に延在したカバーを取付けたので、ボンダ
ビリティが低下することがなく、またワイヤボンデイン
グ後のワイヤに悪影響を与えない。
【図1】本発明のワイヤボンデイング装置の一実施例の
要部を示す斜視図である。
要部を示す斜視図である。
1 ヒートブロック 4 半導体試料 15 カメラ 16 カメラ鏡筒 17 検出画像取込み部 20 カバー 21 冷却用パイプ
Claims (1)
- 【請求項1】 ヒートブロック上に位置決め載置された
半導体試料のボンデイング点をカメラ鏡筒を通してカメ
ラで検出し、この検出されたボンデイング点にワイヤを
接続するワイヤボンデイング装置において、前記カメラ
鏡筒の検出画像取込み部に、該検出画像取込み部と半導
体試料間における空気密度変化の生じる所まで下方に延
在したカバーを取付け、前記カメラ鏡筒に冷却エアを吹
き付ける冷却エア供給手段を配設したことを特徴とする
ワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7154048A JP2981973B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ワイヤボンディング装置 |
TW087219922U TW453510U (en) | 1995-05-30 | 1995-12-26 | Wire connection device |
KR1019960006809A KR100191553B1 (ko) | 1995-05-30 | 1996-03-14 | 와이어본딩장치 |
US08/657,016 US5720424A (en) | 1995-05-30 | 1996-05-30 | Wire bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7154048A JP2981973B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08330350A JPH08330350A (ja) | 1996-12-13 |
JP2981973B2 true JP2981973B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=15575783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7154048A Expired - Fee Related JP2981973B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5720424A (ja) |
JP (1) | JP2981973B2 (ja) |
KR (1) | KR100191553B1 (ja) |
TW (1) | TW453510U (ja) |
Families Citing this family (13)
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