JP2980554B2 - 振動駆動装置 - Google Patents

振動駆動装置

Info

Publication number
JP2980554B2
JP2980554B2 JP8142989A JP14298996A JP2980554B2 JP 2980554 B2 JP2980554 B2 JP 2980554B2 JP 8142989 A JP8142989 A JP 8142989A JP 14298996 A JP14298996 A JP 14298996A JP 2980554 B2 JP2980554 B2 JP 2980554B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
vibration
rotor
roller
drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP8142989A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08308266A (ja
Inventor
淳 玉井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP8142989A priority Critical patent/JP2980554B2/ja
Publication of JPH08308266A publication Critical patent/JPH08308266A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2980554B2 publication Critical patent/JP2980554B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は駆動ローラを回転駆
動する振動駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の振動駆動装置の振動子としては、
例えば特開昭63−214381号公報がある。この振
動子を図10乃至図14に示す。
【0003】この振動子125を構成する円板形状の電
歪素子114は、分割部110を境として二分割された
電極111と112が一面に形成され、共通電極113
が他面に形成されていて、電極111と112毎に分極
方向が反転(素子部114aと114b)されている。
振動子125は、このような電歪素子114を2枚用意
し、分割部110を一致させると共に、残留分極の方向
を対向させ(素子部114aと114aとを向かい合わ
せ、同様に素子部114bと114bとを向かい合わせ
る)、図12に示すU字形状の2枚の電極板115と1
16を間にして互いに向かい合った両電歪素子114の
電極111と112を重ね合わせ、中心部に絶縁筒11
7を配置挿通する。そして、一方の電歪素子114の他
面に形成された共通電極113の面には、出力端部11
8を細く形成すると共に、エクスポーネンシャル段部を
有する金属材119が接合され、他方の電歪素子114
の共通電極113の面には共通電極板120が接合さ
れ、この共通電極板120には金属材121を接合させ
て締着具としてのボルト122によりこれらを一体的に
固定している。
【0004】また、電極111と電極112および共通
電極113とには、電極板115と電極板116及び共
通電極板120とを介在させて不図示の駆動制御回路が
接続されている。
【0005】このような構成において、共通電極板12
0に対して電極板115と116に位相を制御できる駆
動電源を接続してその駆動周波数をたわみ共振周波数に
調節する。その位相差を零として駆動したときには、励
振電圧は電歪素子114の両素子部114aと114b
とに同一に印加されるので、一方の素子部が伸びた時に
は他方の素子部が縮み、これを交互に繰り返すことによ
りたわみ共振振動が行われ、その出力端部118は、図
10の(d)に示すように、軸に直角方向の運動が行わ
れる。
【0006】ここで、一方の電極板115に対し、他方
の電極板116に印加する駆動電圧の位相を進ませる
と、図10の(c)に示すようなたわみ方向に長い反時
計方向の楕円運動を行い、その進相度をさらに増して行
くと、図10の(b)(a)のごとく、たわみ方向に短
く、軸方向に長い楕円形状に変化する。同様に、その位
相を遅らせると、楕円振動方向は時計方向に反転し、ま
た位相差の増大に伴って、図10の(e)(f)(g)
のごとくその振動姿態が変化する。
【0007】さらに、電極板115と116に印加する
夫々の励振電圧の相対位相を零として、その相対振幅を
変化させると、出力端部118の振動姿態は図10の
(h)(i)(k)(l)のように、たわみ方向に対し
て傾斜した直線で振動する。なお、印加電圧が同振幅の
場合には、図10の(j)のように軸と直角方向に共振
振動する。
【0008】次に、駆動周波数を軸方向共振周波数に設
定し、180度位相の異なる駆動電圧を夫々の電極板1
15と116に印加すると、素子部114aと114b
は同時に伸びたり縮んだりして通常の縦形振動子と同様
に、図10の(p)に示すように、軸方向に共振振動す
る。
【0009】ここで、各電極板115と116に印加す
る駆動電圧の位相差を180度を基準として進相あるい
は遅相とすると、その度合いに応じて図10の(m)〜
(o),(q)〜(s)のように回転方向と楕円率が変
化した楕円運動が行われることになる。また、位相差を
180度として相対振幅を変化させると、同様にその大
小と極性とによって図10の(t)(u)(w)(x)
に示すようにその傾斜を変えて直線振動がおこなわれ
る。
【0010】なお、電歪素子としては、図13のよう
に、電極127と共通電極129を有する半円弧状の素
子部126aと、電極128と共通電極129を有する
半円弧状の素子部126bとの2分割構造のものを一定
の間隔を有して配置することで、電歪素子114に変え
て使用できる。
【0011】図14はこのような振動子をモータとして
用いたもので、支軸130が中心に形成された円板状の
ロータ131の面132に振動子125の出力端部11
8を圧接し、出力端部118の振動を例えば図10の
(s)の状態とすると、ロータ131は矢印の方向に回
転する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
振動モータを駆動源とした機器は種々考えられるが、小
型化、構造の簡易化の工夫が求められている。
【0013】本出願に係る第1の発明の目的は、小型化
でき、構造を簡易化できる振動駆動装置を提供すること
にある。
【0014】本出願に係る第2の発明の目的は、プリン
タの小型化を図れる振動駆動装置を提供することにあ
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】本出願に係る第1の発明
の目的を実現する構成は、2つの金属棒の間に電気−機
械エネルギー変換素子を挟持し、前記変換素子の厚み方
向の伸縮変位によって、一方の金属棒体の作用部が軸回
りに回転運動する略棒状の振動体と、前記振動体によっ
て回転駆動されるものであって、被搬送体を搬送させる
中空状の駆動ローラとを有し、前記振動体を前記駆動ロ
ーラの回転中心軸位置に軸線が一致するように配置し、
かつ該駆動ローラの中空内部に少なくとも一部を挿入
し、前記一方の金属棒体の作用部は前記駆動ローラに内
装され且つ前記駆動ローラに固定された別部材となるロ
ータの摺動部を摩擦駆動して前記駆動ローラを回転駆動
することを特徴とする振動駆動装置にある。
【0016】本出願に係る第2の発明の目的を実現する
構成は、上記した構成における前記駆動ローラは、プリ
ンターのプラテンローラであることを特徴とする振動駆
動装置にある。
【0017】
【発明の実施の形態】(発明の前提となる技術1) 図5乃至図9は本発明の前提となる技術1を示し、図5
はモータの分解斜視図である。
【0018】1は先端部の小径軸部1aと後端部の大径
軸部1bとの間に径が先端部に漸減するホーン形状のホ
ーン部1cを形成した金属丸棒からなる振動体、2は振
動体1の大径軸部1bと同径の外径に形成された金属丸
棒からなる押え体、3及び4は大径軸部1bと同径の外
径に形成された電気−機械エネルギー変換素子としての
円環形状の圧電素子板、5は圧電素子板3,4の共通の
電極板で、振動体1と押え体2との間に、電極板5を挾
むようにして圧電素子板3,4を配し、ボルト6により
押え板2を振動体1に固定することにより、圧電素子板
3,4を振動体1と押え体2との間に固定して、振動子
Aを構成している。ボルト6は、その頭部が円環状の絶
縁体7を介して押え体2に接し、且つ軸部が圧電素子板
3,4及び電極板5と非接触状態に保持されている。
【0019】圧電素子板3,4は、片面側に分極方向が
互いに異なり、且つ厚み方向に分極された2つの電極領
域(+電極a、−電極b)が中心軸線位置に形成された
絶縁部dの両側に対称に形成されると共に、他面側に+
電極a、−電極bの共通電極cが形成されていて、振動
子Aの軸線に対して互いに位置的位相が90°の角度を
ずらして配置され、圧電素子板3の共通電極cと圧電素
子板4の分割電極側が電極板5の表裏両面に接するよう
に配置されている。なお、圧電素子板3の分割電極(+
電極a、−電極b)は導電体である振動体1の後端面に
接し、また圧電素子板4は導電体である押え体2の前端
面に接している。
【0020】そして、電極板5と振動体1との間に交流
電圧V1 を、また電極板5と押え体2との間に交流電
圧V2 を印加することにより、圧電素子板3の厚み方
向における伸縮変位による振動と、圧電素子板4の厚み
方向における伸縮変位による振動との合成により振動子
Aを振動させる。
【0021】交流電圧V1 と交流電圧V2 とは、図
6に示すように、振幅及び周波数が共に同じで、時間
的、空間的位相が90°のずれを有している。
【0022】したがって、振動子Aは、軸心を中心と
し、円運動を行うことになる。なお、この円運動が生じ
る原理については、公知であるので説明は省略する。
【0023】ここで振動子Aの両端を自由端とした場
合、振動の腹の位置は振動子Aの両端に形成されること
になり、振動子Aの形状から振動体1の先端における円
運動の径は押え体2の後端よりもはるかに大きいが、前
述したように、振動体1の先端の円運動におけるトルク
は小さい。
【0024】本例では、振動子Aにおける振動体1のホ
ーン部1cの先端部(以下摺動部と称す)Bに振動の腹
の位置がくるように振動子Aに対する共振周波数を設定
し、その周波数で圧電素子板3,4を駆動している。
【0025】すなわち、振動子Aは、3節又はそれ以上
のモードで振動し、少なくとも振動子Aの両端と摺動部
Bとを腹として振動し、振動体1は図7(a),(b)
に示すように、ホーン部1c及び小径部1aが軸心Lを
中心とし、小径部1aの先端中心点Pが、図7に示すよ
うに、真円cの円周上を移動する首振り運動を行なうこ
とになる。
【0026】そして、摺動部Bにおける首振り運動を利
用し、後記するロータ8を軸心Lを中心として回転させ
るようにしており、この摺動部Bで得られるトルクは小
径部1aの先端で得られるトルクよりもはるかに大きい
ものであった。
【0027】ロータ8は、振動子Aの軸心Lと同軸に小
径部1aに嵌合し、ロータ8の内径部8aの後端部(以
下摩擦接触部と称す)8bを摺動部Bに対応する位置ま
で延出し、摩擦接触部8bの後端部をホーン部1cに当
接させている。ロータ8の内径部8aの内径は、図8に
示すように、振動子Aの小径部1aの外径よりも極僅か
大径に形成されて小径部1aの首振り運動を許容できる
ようにしており、内径部8aの長さ方向中央部8cはさ
らに径の大きい内径部に形成されて小径部1aと接触す
るのを防いでいる。
【0028】ロータ8の摩擦接触部8bは、摺動部Bの
外周形状と合致するラッパ形状に拡開し、振動体1の首
振り運動時に摺動部Bと線接触する。
【0029】ロータ8は、例えば不図示のスラストベア
リングを介して不図示のバネ等により、図4中の矢印方
向に押され、摩擦接触部8bと摺動部Bとの接触部に所
定の摩擦力を発生させ、また該スラストベアリングによ
り軸回り方向の回転が許容されている。
【0030】すなわち、振動子Aが摺動部Bを腹の位置
とする、例えば3節のモードで振動すると、前述したよ
うに振動体1は図7に示すように、軸心Lを中心とした
首振り運動を行ない、図9に示すように、摺動部Bがロ
ータ8の摩擦接触部8bと摩擦接触しながら時計方向又
は反時計方向に軸心Lに対し所定の半径rの軌跡を描き
ながら円運動し、ロータ8を回転させることとなる。
【0031】なお、図9は摺動部Bがロータ8の摩擦接
触部8bの内周面をこじりながら円運動することを説明
するために、摺動部Bの外径をロータ8の摩擦接触部8
bの内径よりもかなり小さくしているが、摺動部Bにお
ける首振り運動の半径は実際に極僅かであるので、摺動
部Bとロータ8の摩擦接触部8bの内周面とは微小の間
隙となっている。
【0032】ところで、振動子Aは振動体1のみが振動
するのではなく、全体が振動することから、このモータ
Mを機器等に取り付けする際、振動子Aの機器等に対す
る支持方法が問題となる。
【0033】この場合、振動の節の位置で振動子Aを支
持することが振幅が少ないことから一見最適に思える
が、振動子Aは振動の節位置を起点とする首振り運動を
行なっているので、この振動の節位置における軸心Lに
対する垂直平面は、軸心L方向に沿って揺動することに
なる。
【0034】このため、振動子Aにおいて、振動の節位
置となる個所、例えば振動体1または押え体2の外周面
にモータ取り付け用のフランジを延出したとすると、こ
のフランジは軸方向に揺動し、機器等との取付部が最悪
の場合には振動により破壊したりする虞れがあり、振動
の節位置では振動子Aの支持を行なうのに不適である。
【0035】そこで、振動子Aの振動状態につき種々検
討したところ、振動子Aの支持位置として一見不適と思
われる振動の腹の位置が適していることを見出した。
【0036】すなわち、振動の腹の位置は振幅が大きい
が、径方向のみしか変位しないので、上述のような揺動
運動による弊害が生じない。また、支持位置となる振動
の腹位置は、モータMの構造から当然摺動部Bよりも軸
方向後方側に設けられることになり、3節モードにより
振動子Aを振動させる場合には振動子Aの後端が支持位
置となり、また4節モードでは振動子Aの後端位置又は
振動子Aの後端と摺動部Bとの間とが振動子Aの支持位
置となる。
【0037】一方、振動子Aにおける振動の振幅は非常
に小さく、これらの支持位置となる腹位置の振幅はロー
タ8の振動を行なう摺動部Bにおける振幅よりもさらに
小さいので、径方向変位は殆ど無視することができ、振
動の腹位置を振動子Aの支持位置とすることで、振動子
Aを安定に機器等に支持させることが可能となる。
【0038】なお、振動子Aの後端を支持位置とする場
合、該後端を機器等の固定部材に対し、固定すると振動
子Aが両端を節位置とする振動モードになり、摺動部B
に振動の腹を形成することができなくなるので、径方向
における変位を許容できるように支持することが必要で
ある。 (発明の前提となる技術2) 図2は本発明の前提となる技術2の断面図を示してい
る。
【0039】本前提となる技術2は、円筒状のロータ2
0の両側に振動子Aを配置し、2つの振動子Aによりロ
ーラ状のロータ20を回転駆動するようにしたもので、
各振動子Aの後端から後方に支軸21を延出し、これら
の支軸21を取付部材22の取付孔23に嵌合させると
共にバネ24を図示の如く弾装し、ロータ20の軸孔2
5の端部26を振動子Aのホーン部1cとなる摺動部B
に圧接させている。ロータ20の軸孔25の端部26
は、前提となる技術1に示すロータ8の摩擦接触部8b
と同様に形成され、振動子Aの摺動部Bと対応し、また
ロータ20は両端部外周位置で軸受部材27により回転
自在に支持されて振動子Aの首振り運動に対し径方向に
移動するのを防ぎ、振動子Aの首振り運動を回転力に変
換可能としている。
【0040】一方、支軸21は取付孔23に対し固定さ
れていると、前述した如く振動モードが変わるので、本
前提となる技術2でも支軸21の径方向における自由度
を確保するために、取付孔23の開口周縁部28をテー
パ形状にしている。
【0041】なお、本前提となる技術2はこのまま本発
明の実施の形態のようなプリンターのプラテンローラと
してロータ20を使用することも可能である。 (本発明の前提となる技術3) 図3は本発明の前提となる技術3の断面図を示してい
る。
【0042】上記した本発明の前提となる技術2では、
ローラ20の両端部に振動子Aを夫々配置し、各振動子
Aの摺動部Bとローラ20の軸孔25の端部との摩擦接
触により該摺動部Bの首振り運動をロータ20の回転に
変換しているが、本前提となる技術3は各振動子Aの小
径部1aを夫々長くして先端部を固結し一体としたもの
である。
【0043】すなわち、このような構成のモータにおい
て、上記した各前提技術と同様に各振動子Aに、例えば
3節モードの振動を形成するように駆動すると、小径部
1aの固結により実質上一本の振動体となる軸部30は
長さ方向中央を腹とし、また摺動部Bも腹とする振動を
行ない、該軸部30の長さ方向中央に着目した場合には
軸心Lを中心とする所定の半径で円運動を行なうことに
なり、軸部30を全体として着目した場合には、例えば
向かい合う人間が一本の縄を回した時と同じような運
動、所謂縄飛び運動を行なう。
【0044】本前提技術3は、軸部30の長さ方向中央
部31に形成される振動の腹を利用し、縄飛び運動に伴
う該中央部31とローラ20の軸孔25の内周壁面との
摩擦接触によりローラ20を回転させるようにしてい
る。
【0045】この場合、上記した前提技術2のように振
動子Aの摺動部Bをロータ20を回転させるために利用
していないが、2つの振動子Aにより駆動を行なってい
るので、軸部30の中央部31における摩擦駆動のトル
クは大きく、充分にロータ20を回転させることがで
き、また必要に応じて摺動部Bにおける首振り運動を利
用することも可能である。 (本発明の前提となる技術3の変形例) 図4は本発明の前提となる技術3の変形例を示す断面図
で、ロータ20の軸孔25内に2つの振動体1,1を夫
々後端面を合わせるようにし、その間に圧電素子板3,
4を挟んで固定して全体として1つの振動子としてお
り、各振動体1,1の小径部1aは取付部材22の軸孔
23に挿入されている。
【0046】すなわち、圧電素子板の挟持位置を振動の
腹とした縄飛び運動により、振動体1の大径部1bとロ
ータ20の軸孔25との摩擦接触でロータ20を回転さ
せる。この場合、振動体1の大径部1bをロータ20内
に収容するので、省スペース化を図れる。
【0047】(実施の形態) 図1は本発明の実施の形態の断面図を示している。
【0048】本実施の形態は、プリンターのプラテンロ
ーラを駆動する駆動源に、図5に示すモータM(ロータ
8の形状が異なる点及びモータMの支持機構を図示した
点を除き同構造)を使用したもので、プラテンローラ1
0の一端部側の内部に振動子A及びロータ8からなるモ
ータMを収容し、このモータMによりプラテンローラ1
0の一端側の支軸を兼用している。
【0049】モータMは、振動子Aの押え体2の後端を
支持するようにしており、押え体2の後端に取り付け用
のフランジ部2aを設け、プリンターの取付フレーム1
1にテフロン等の低摩擦材からなる低摩擦シート12を
挟んで該フランジ部2aを取り付けるようにしており、
フランジ部2aに穿設された孔部(不図示)に、該孔部
の内径よりも小径の軸部を有する螺子13を通し、この
螺子13を取付フレーム11に螺着することで、軸方向
におけるモータMの移動は規制するがフランジ部2aの
径方向における伸縮を許容している。
【0050】プラテンローラ10は、内装されるモータ
Mのロータ8と回転不能に嵌合し、直接ロータ8の回転
力が伝達されるようになっており、他端側に固定した支
軸14が軸受部材15を介してプリンターの取付フレー
ム16に回転自在且つ軸方向移動可能に軸支されてい
る。支軸14にはバネ17が弾装され、バネ17の一端
はスラストベアリング18に当接し、またバネ17の他
端は軸受15に当接して、バネ17のバネ力によりロー
タ8を振動子Aに圧接すると共にローラ10を回転可能
としている。
【0051】
【発明の効果】本出願に係る請求項1、2に係る発明に
よれば、中空状の駆動ローラを振動体により直接回転駆
動させずに、駆動ローラに内装され、且つ固定されたロ
ータを摩擦駆動するようにしたので、駆動ローラの外径
もしくは内径にそれほど影響されずに振動体の金属棒体
の大きさを自由に設定することができ、特に大径な駆動
ローラの回転駆動を可能とするものである。
【0052】また、駆動ローラの中空内部に同軸な振動
体の少なくとも一部を挿入したので、装置の小型化が図
れ、例えばプリンター等の駆動ローラを有する装置の小
型化に寄与することができる。
【0053】さらに、略棒状の振動体を駆動ローラと同
軸とし、かつ振動体の作用部を軸回りに回転運動させて
駆動ローラを駆動するようにしたので、駆動ローラの駆
動時の偏心が生じにくい。
【0054】特に、請求項2に係る発明では、プラテン
ローラを有するプリンターの小型化を図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の断面図。
【図2】本発明の前提となる技術2の断面図。
【図3】本発明の前提となる技術3の断面図。
【図4】本発明の前提となる技術3の変形例を示す断面
図。
【図5】本発明の前提となる技術1を示すモータの分解
斜視図。
【図6】図5の圧電素子板に印加する交流電源の波形
図。
【図7】(a),(b)は図5のモータの振動子の首振
り運動を示す側面図及び正面図。
【図8】図5のモータの組み付け状態を示す図。
【図9】図5のモータの駆動状態を説明する図。
【図10】従来の振動子を示す断面図。
【図11】図10の振動子の電歪素子を示す斜視図。
【図12】図10の振動子の電極板を示す斜視図。
【図13】図10の振動子の他の電歪素子を示す斜視
図。
【図14】図10の振動子を用いたモータ。
【符号の説明】
M:モータ A:振動子 B:摺動部 1:振動体 2:押え体 3,4:圧電素子板 5:電極板 6:ボルト 7:絶縁状 8:ロータ 10:ローラ 11:取付部材 12:低摩擦シート 20:ロータ 24:バネ。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2つの金属棒の間に電気−機械エネルギ
    ー変換素子を挟持し、前記変換素子の厚み方向の伸縮変
    位によって、一方の金属棒体の作用部が軸回りに回転運
    動する略棒状の振動体と、 前記振動体によって回転駆動されるものであって、被搬
    送体を搬送させる中空状の駆動ローラとを有し、 前記振動体を前記駆動ローラの回転中心軸位置に軸線が
    一致するように配置し、かつ該駆動ローラの中空内部に
    少なくとも一部を挿入し、前記一方の金属棒体の作用部
    は前記駆動ローラに内装され且つ前記駆動ローラに固定
    された別部材となるロータの摺動部を摩擦駆動して前記
    駆動ローラを回転駆動することを特徴とする振動駆動装
    置。
  2. 【請求項2】 前記駆動ローラは、プリンターのプラテ
    ンローラであることを特徴とする請求項1に記載の振動
    駆動装置。
JP8142989A 1996-06-05 1996-06-05 振動駆動装置 Expired - Fee Related JP2980554B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8142989A JP2980554B2 (ja) 1996-06-05 1996-06-05 振動駆動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8142989A JP2980554B2 (ja) 1996-06-05 1996-06-05 振動駆動装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1142339A Division JP2874762B2 (ja) 1989-06-05 1989-06-05 モータ駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08308266A JPH08308266A (ja) 1996-11-22
JP2980554B2 true JP2980554B2 (ja) 1999-11-22

Family

ID=15328355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8142989A Expired - Fee Related JP2980554B2 (ja) 1996-06-05 1996-06-05 振動駆動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2980554B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4596610B2 (ja) * 2000-05-31 2010-12-08 キヤノン株式会社 振動波駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08308266A (ja) 1996-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2874762B2 (ja) モータ駆動装置
US5124611A (en) Vibration motor
JP2632811B2 (ja) 振動駆動モータ
JP2996483B2 (ja) 振動型モータ
JP2980554B2 (ja) 振動駆動装置
JPH0474952B2 (ja)
JP2925492B2 (ja) モータ駆動装置
JP2925493B2 (ja) 振動波装置
JP3124284B2 (ja) 振動波駆動装置
JP2996494B2 (ja) 振動型モータ装置
JPH04133678A (ja) 超音波モータ
JP4133486B2 (ja) 超音波モータ
JPS61262091A (ja) 振動波モ−タ
JPH08331875A (ja) モータ
JP2734691B2 (ja) 回転運動発生装置
JP2779415B2 (ja) 超音波モータ
JPH0491667A (ja) 棒状超音波モータ
JPH06113564A (ja) アクチュエータ
JPH06101944B2 (ja) 圧電モ−タ
JPH0255584A (ja) 超音波振動子及びそれを用いた超音波モータ
JPH07184380A (ja) 圧電モータ
JPH0795780A (ja) モード回転型超音波モータ
JPH06210244A (ja) 超音波振動子および超音波アクチュエータ
JPH04117185A (ja) 棒状超音波モータ
JPH0491678A (ja) 超音波モータ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees