JP2979530B2 - セラミックディスクバルブ - Google Patents
セラミックディスクバルブInfo
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- JP2979530B2 JP2979530B2 JP3127745A JP12774591A JP2979530B2 JP 2979530 B2 JP2979530 B2 JP 2979530B2 JP 3127745 A JP3127745 A JP 3127745A JP 12774591 A JP12774591 A JP 12774591A JP 2979530 B2 JP2979530 B2 JP 2979530B2
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- Japan
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- sliding contact
- valve body
- crystal
- ceramic
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フォーセットバルブな
どのディスク状をしたバルブに関するものである。
どのディスク状をしたバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】湯水混合栓用フォーセットなど、２枚の
ディスク状弁体を互いに摺接した状態で相対移動させる
ことによって、各弁体に形成した流体通路の開通、遮断
を行うようにしたバルブが一般的に用いられている。例
えば、図１に示すように、固定弁体２と可動弁体１を、
互いの摺接面１ａ、２ａで接した状態としておいて、レ
バー３の操作で可動弁体１を移動させることによって、
供給流体の開閉、切替え、調節、混合等の制御を行うこ
とができるようになっていた。
ディスク状弁体を互いに摺接した状態で相対移動させる
ことによって、各弁体に形成した流体通路の開通、遮断
を行うようにしたバルブが一般的に用いられている。例
えば、図１に示すように、固定弁体２と可動弁体１を、
互いの摺接面１ａ、２ａで接した状態としておいて、レ
バー３の操作で可動弁体１を移動させることによって、
供給流体の開閉、切替え、調節、混合等の制御を行うこ
とができるようになっていた。
【０００３】この種のバルブに対する要求特性は、下記
の通りであった。
の通りであった。
【０００４】(1) 各弁体間のシール性が保持されている
こと（日本水道協会規格耐圧１７．５ｋｇ／ｃｍ2 での
水漏れが無いこと） (2) レバー操作トルクが小さいこと（１０ｋｇｆ・ｃｍ
以下） (3) レバー操作トルクが長期間の使用に際して変化しに
くいこと これらの要求特性を満たすために、近年では、各弁体の
材質として、アルミナ、炭化珪素等のセラミックが用い
られていた。この場合、可動弁体１、固定弁体２の摺接
面１ａ、２ａの中心線平均粗さ（Ｒａ）をそれぞれ、
０．２μｍ以下、および０．３〜０．６μｍとし、かつ
各摺接面１ａ、２ａの平坦度を１μｍ以下とすればよい
ことを、本出願人は既に提案した（特開平１−１１６３
８６号公報参照）。
こと（日本水道協会規格耐圧１７．５ｋｇ／ｃｍ2 での
水漏れが無いこと） (2) レバー操作トルクが小さいこと（１０ｋｇｆ・ｃｍ
以下） (3) レバー操作トルクが長期間の使用に際して変化しに
くいこと これらの要求特性を満たすために、近年では、各弁体の
材質として、アルミナ、炭化珪素等のセラミックが用い
られていた。この場合、可動弁体１、固定弁体２の摺接
面１ａ、２ａの中心線平均粗さ（Ｒａ）をそれぞれ、
０．２μｍ以下、および０．３〜０．６μｍとし、かつ
各摺接面１ａ、２ａの平坦度を１μｍ以下とすればよい
ことを、本出願人は既に提案した（特開平１−１１６３
８６号公報参照）。
【０００５】
【従来技術の課題】ところが、上記の如き従来のセラミ
ックディスクバルブでは、セラミックが耐磨耗性、耐蝕
性に優れているため、長期間安定なものであるが、各弁
体間の摺動特性を上記要求レベルとするために、潤滑剤
が不可欠であった。そのため、長期使用中には、この潤
滑剤が流出して操作トルクが大きくなるという問題点が
あった。また、潤滑剤の種類によっては、長期使用中に
劣化したり、ゴミ等の付着による摺動特性の悪化も避け
られなかった。
ックディスクバルブでは、セラミックが耐磨耗性、耐蝕
性に優れているため、長期間安定なものであるが、各弁
体間の摺動特性を上記要求レベルとするために、潤滑剤
が不可欠であった。そのため、長期使用中には、この潤
滑剤が流出して操作トルクが大きくなるという問題点が
あった。また、潤滑剤の種類によっては、長期使用中に
劣化したり、ゴミ等の付着による摺動特性の悪化も避け
られなかった。
【０００６】さらに、これらの問題を解決するために、
各弁体の少なくともいずれか一方を、三次元網目構造の
多孔質セラミックスで形成し、このセラミックスの開放
気孔中に樹脂やオイルなどを含浸させたものもあった
（特開昭６１−２０６８７５号、６１−２４４９８０
号、６２−４９４９号、６２−３７５１７号公報等参
照)。しかし、これは、複合材料であり、異材質の組合
せであるため、各弁体間の硬度差により、一方の弁体の
磨耗が進み、初期の摺接面が維持されず、結果として操
作トルクが大きくなるという問題点があった。
各弁体の少なくともいずれか一方を、三次元網目構造の
多孔質セラミックスで形成し、このセラミックスの開放
気孔中に樹脂やオイルなどを含浸させたものもあった
（特開昭６１−２０６８７５号、６１−２４４９８０
号、６２−４９４９号、６２−３７５１７号公報等参
照)。しかし、これは、複合材料であり、異材質の組合
せであるため、各弁体間の硬度差により、一方の弁体の
磨耗が進み、初期の摺接面が維持されず、結果として操
作トルクが大きくなるという問題点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記に鑑みて本発明は、
セラミックディスクバルブにおいて、２枚の弁体のうち
一方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下
の滑らかな面とし、他方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒ
ａ）０．３〜０．６μｍ、結晶曲率半径２μｍ以上とし
たものである。
セラミックディスクバルブにおいて、２枚の弁体のうち
一方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下
の滑らかな面とし、他方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒ
ａ）０．３〜０．６μｍ、結晶曲率半径２μｍ以上とし
たものである。
【０００８】なお、本発明において表面の結晶曲率半径
とは、セラミックス表面近傍部分の切断面を電子顕微鏡
で拡大して写真撮影し、この写真をもとにして、表面に
露出した結晶の最も鋭いエッジ部分の曲率半径を測定し
た値のことである。即ち、本発明のセラミックディスク
バルブは、摺接面の結晶曲率半径が２μｍ以上と大き
く、結晶が丸みを帯びていることから、摺接面の実体摺
動面積（Ｒｅａｌ Ａｒｅａ ｏｆ Ｃｏｎｔａｃｔ）
が小さく、摺動性を高めることができる。
とは、セラミックス表面近傍部分の切断面を電子顕微鏡
で拡大して写真撮影し、この写真をもとにして、表面に
露出した結晶の最も鋭いエッジ部分の曲率半径を測定し
た値のことである。即ち、本発明のセラミックディスク
バルブは、摺接面の結晶曲率半径が２μｍ以上と大き
く、結晶が丸みを帯びていることから、摺接面の実体摺
動面積（Ｒｅａｌ Ａｒｅａ ｏｆ Ｃｏｎｔａｃｔ）
が小さく、摺動性を高めることができる。
【０００９】また、このような摺接面は、例えば焼結後
のセラミックス表面に研削等の加工を施した後、再焼成
することによって得ることができる。
のセラミックス表面に研削等の加工を施した後、再焼成
することによって得ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００１１】図１に示す湯水混合栓のバルブは、セラミ
ックスからなる固定弁体２と可動弁体１が摺接した状態
で配置され、レバー３で可動弁体１を移動させることに
よって、流通路の連通、遮断を行うようになっている。
このとき、可動弁体１と固定弁体２の摺接面１ａ、２ａ
が摺動することとなるが、レバー３の操作トルクを低く
し、かつシール性を高めるためには、この摺接面１ａ、
２ａの状態が重要である。
ックスからなる固定弁体２と可動弁体１が摺接した状態
で配置され、レバー３で可動弁体１を移動させることに
よって、流通路の連通、遮断を行うようになっている。
このとき、可動弁体１と固定弁体２の摺接面１ａ、２ａ
が摺動することとなるが、レバー３の操作トルクを低く
し、かつシール性を高めるためには、この摺接面１ａ、
２ａの状態が重要である。
【００１２】本発明のセラミックディスクバルブにおい
て、図１中のＡ部を１５００倍に拡大した電子顕微鏡写
真の概略図を図２に示すように、固定弁体２の摺接面２
ａを形成するセラミックスの結晶２ｂは、結晶曲率半径
が２μｍ以上と鋭いエッジのない丸みを帯びた形状であ
り、かつ摺接面２ａ全体として中心線平均粗さ（Ｒａ）
０．３〜０．６μｍと適度に凹凸を持っている。そのた
め、セラミックディスクバルブとして使用した時に、摺
接面１ａ、２ａの実体摺動面積が小さく、かつ互いにキ
ズを付けにくいことから、長期にわたって低い操作トル
クを維持できる。
て、図１中のＡ部を１５００倍に拡大した電子顕微鏡写
真の概略図を図２に示すように、固定弁体２の摺接面２
ａを形成するセラミックスの結晶２ｂは、結晶曲率半径
が２μｍ以上と鋭いエッジのない丸みを帯びた形状であ
り、かつ摺接面２ａ全体として中心線平均粗さ（Ｒａ）
０．３〜０．６μｍと適度に凹凸を持っている。そのた
め、セラミックディスクバルブとして使用した時に、摺
接面１ａ、２ａの実体摺動面積が小さく、かつ互いにキ
ズを付けにくいことから、長期にわたって低い操作トル
クを維持できる。
【００１３】また、このように摺接面２ａの結晶を丸み
を帯びた状態とするためには、セラミック体を再焼成す
ればよい。即ち、本発明のセラミックディスクバルブを
構成する固定弁体２の製造方法は以下の通りである。ま
ず、アルミナセラミック原料を所定の円盤形状に成形し
た後、１６００〜１７００℃の温度で焼成する。次に、
得られたセラミック体の表面をダイヤモンド砥粒で研磨
するが、このときのダイヤモンド砥粒の粒度を変化させ
ることで、自由にセラミック体の表面粗さを変化させる
ことができる。最後に、このセラミック体を再焼成する
が、このときの温度は、焼成温度以下の１０００〜１６
００℃とすればよい。そして、このように再焼成するこ
とによって、摺接面２ａの結晶が、鋭いエッジのない丸
い形状となる。
を帯びた状態とするためには、セラミック体を再焼成す
ればよい。即ち、本発明のセラミックディスクバルブを
構成する固定弁体２の製造方法は以下の通りである。ま
ず、アルミナセラミック原料を所定の円盤形状に成形し
た後、１６００〜１７００℃の温度で焼成する。次に、
得られたセラミック体の表面をダイヤモンド砥粒で研磨
するが、このときのダイヤモンド砥粒の粒度を変化させ
ることで、自由にセラミック体の表面粗さを変化させる
ことができる。最後に、このセラミック体を再焼成する
が、このときの温度は、焼成温度以下の１０００〜１６
００℃とすればよい。そして、このように再焼成するこ
とによって、摺接面２ａの結晶が、鋭いエッジのない丸
い形状となる。
【００１４】参考までに、上記製造工程中、ダイヤモン
ド砥石による研摩後の摺接面２ａの状態（従来のセラミ
ックディスクバルブの摺接面に相当する）を図３に示
す。これを図２と比較すれば明らかなように、再焼成す
ることによって、摺接面２ａの結晶を丸くできることが
わかる。
ド砥石による研摩後の摺接面２ａの状態（従来のセラミ
ックディスクバルブの摺接面に相当する）を図３に示
す。これを図２と比較すれば明らかなように、再焼成す
ることによって、摺接面２ａの結晶を丸くできることが
わかる。
【００１５】なお、本発明では、上記のようにセラミッ
ク体表面の結晶の丸みの大きさを表すために結晶曲率半
径を測定した。これは、図２に示すように、摺接面２ａ
近傍の断面の拡大写真を撮影し、この写真上で、表面に
露出した結晶の最も鋭いエッジの曲率半径Ｒを測定した
ものである。したがって、結晶曲率半径が大きいほど結
晶が丸みを帯びたものであることになる。
ク体表面の結晶の丸みの大きさを表すために結晶曲率半
径を測定した。これは、図２に示すように、摺接面２ａ
近傍の断面の拡大写真を撮影し、この写真上で、表面に
露出した結晶の最も鋭いエッジの曲率半径Ｒを測定した
ものである。したがって、結晶曲率半径が大きいほど結
晶が丸みを帯びたものであることになる。
【００１６】また、上記実施例では、固定弁体２の摺接
面２ａのみについて述べたが、可動弁体１の摺接面１ａ
は再焼成は行わずに、中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μ
ｍ以下の滑らかな面としてある。これは、両方の摺接面
を、再焼成するとシール性が悪くなってしまうためであ
る。即ち、本発明のセラミックディスクバルブは、可動
弁体１、固定弁体２のいずれか一方の摺接面を中心線平
均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μｍで、再焼成を行って
結晶曲率半径２μｍ以上とし、他方の摺接面は中心線平
均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下で再焼成は行わないもの
が良い。
面２ａのみについて述べたが、可動弁体１の摺接面１ａ
は再焼成は行わずに、中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μ
ｍ以下の滑らかな面としてある。これは、両方の摺接面
を、再焼成するとシール性が悪くなってしまうためであ
る。即ち、本発明のセラミックディスクバルブは、可動
弁体１、固定弁体２のいずれか一方の摺接面を中心線平
均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μｍで、再焼成を行って
結晶曲率半径２μｍ以上とし、他方の摺接面は中心線平
均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下で再焼成は行わないもの
が良い。
【００１７】また、上記可動弁体１、固定弁体２のう
ち、再焼成を行う方の弁体は、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分と
し、ＳｉＯ2 、ＣａＯ、ＭｇＯなどの公知の焼結助剤を
含むアルミナセラミックスを用いるが、他方の弁体は、
アルミナセラミックスに限らず、ジルコニア、炭化珪
素、窒化珪素などのセラミックスを用いてもよい。
ち、再焼成を行う方の弁体は、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分と
し、ＳｉＯ2 、ＣａＯ、ＭｇＯなどの公知の焼結助剤を
含むアルミナセラミックスを用いるが、他方の弁体は、
アルミナセラミックスに限らず、ジルコニア、炭化珪
素、窒化珪素などのセラミックスを用いてもよい。
【００１８】実験例１ 次に、本発明のセラミックディスクバルブを試作して、
実験を行った。
実験を行った。
【００１９】平均粒子径３μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末にＴｉ
を３〜５重量％、ＳｉＯ2 を４重量％、ＭｇＯを０．５
重量％、ＣａＯを０．５重量％添加し、さらに成形助剤
としてＰＶＡ、ＰＥＧを各々２重量％、その他有機物を
数重量％添加し、アルミナボールを用いてボールミル粉
砕混合を約５０時間行った。得られたスラリー状原料を
スプレードライヤーで造粒し、乾式加圧成形後、酸化雰
囲気中、約１６００℃で焼成を行った。得られた焼結体
は、平均結晶粒子径が５〜２０μm の針状結晶で、Ａｌ
2 Ｏ3 含有量が約９０％、嵩比重３．６の緻密質で、ビ
ッカース硬度１２００ｋｇ／ｍｍ2 （荷重５００ｇ）、
曲げ強度３５００ｋｇ／ｍｍ2 、ヤング率２．７×１０
6 ｋｇ／ｃｍ2 であった。
を３〜５重量％、ＳｉＯ2 を４重量％、ＭｇＯを０．５
重量％、ＣａＯを０．５重量％添加し、さらに成形助剤
としてＰＶＡ、ＰＥＧを各々２重量％、その他有機物を
数重量％添加し、アルミナボールを用いてボールミル粉
砕混合を約５０時間行った。得られたスラリー状原料を
スプレードライヤーで造粒し、乾式加圧成形後、酸化雰
囲気中、約１６００℃で焼成を行った。得られた焼結体
は、平均結晶粒子径が５〜２０μm の針状結晶で、Ａｌ
2 Ｏ3 含有量が約９０％、嵩比重３．６の緻密質で、ビ
ッカース硬度１２００ｋｇ／ｍｍ2 （荷重５００ｇ）、
曲げ強度３５００ｋｇ／ｍｍ2 、ヤング率２．７×１０
6 ｋｇ／ｃｍ2 であった。
【００２０】この焼結体を図１に示した可動弁体１、固
定弁体２とし、その摺接面１ａ、２ａをＧＣ砥粒により
荒研磨した後、ダイヤモンド砥粒により最終仕上げ加工
を行った。このとき、固定弁体２の摺接面２ａを中心線
平均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μｍ、平坦度１μｍ以
下とし、また、可動弁体１の摺接面１ａを中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．２μｍ以下、平坦度１μｍ以下とした。
定弁体２とし、その摺接面１ａ、２ａをＧＣ砥粒により
荒研磨した後、ダイヤモンド砥粒により最終仕上げ加工
を行った。このとき、固定弁体２の摺接面２ａを中心線
平均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μｍ、平坦度１μｍ以
下とし、また、可動弁体１の摺接面１ａを中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．２μｍ以下、平坦度１μｍ以下とした。
【００２１】その後、固定弁体２のみを約１２００℃で
再焼成した。再焼成の前後での表面状態を比較したとこ
ろ、表１に示すように結晶曲率半径が大きくなり、その
結果実体摺動面積が減少することがわかった。なお、こ
こで実体摺動面積とは、画像解析によって摺接面２ａの
摺動部分の面積を直接測定したもので、再焼成前を１と
したときの比を求めた。また、表１によれば、再焼成す
ることによって平坦度が悪くなるが、平坦度１μｍ以下
であれば問題ない。
再焼成した。再焼成の前後での表面状態を比較したとこ
ろ、表１に示すように結晶曲率半径が大きくなり、その
結果実体摺動面積が減少することがわかった。なお、こ
こで実体摺動面積とは、画像解析によって摺接面２ａの
摺動部分の面積を直接測定したもので、再焼成前を１と
したときの比を求めた。また、表１によれば、再焼成す
ることによって平坦度が悪くなるが、平坦度１μｍ以下
であれば問題ない。
【００２２】
【表１】
【００２３】次に、比較例として、可動弁体１と固定弁
体２の両方を再焼成したもの（比較例１）および可動弁
体１、固定弁体２のいずれも再焼成しないもの（比較例
２）を用意し、上記本発明実施例とともに、使用試験を
行った。いずれも、潤滑剤を用いずに、操作を繰り返し
た時の操作トルクの値を測定した。結果は、表２および
図４に示す通りである。
体２の両方を再焼成したもの（比較例１）および可動弁
体１、固定弁体２のいずれも再焼成しないもの（比較例
２）を用意し、上記本発明実施例とともに、使用試験を
行った。いずれも、潤滑剤を用いずに、操作を繰り返し
た時の操作トルクの値を測定した。結果は、表２および
図４に示す通りである。
【００２４】さらに、上記と同様にして、水圧を変化さ
せた時のシール性評価試験も実施した。この結果は表３
に示す通りである。
せた時のシール性評価試験も実施した。この結果は表３
に示す通りである。
【００２５】
【表２】
【００２６】
【表３】
【００２７】これらの結果より明らかに、比較例２は摺
接面の結晶が丸みを帯びたものでないため、１０万サイ
クルを越えると極端に操作トルクが大きくなるという問
題点があった。一方比較例１は、両方の摺接面１ａ、２
ａを共に再焼成したため、操作トルクは低かったもの
の、表３に示すようにシール性が悪く、１７．５ｋｇ／
ｃｍ2 での水漏れがあった。
接面の結晶が丸みを帯びたものでないため、１０万サイ
クルを越えると極端に操作トルクが大きくなるという問
題点があった。一方比較例１は、両方の摺接面１ａ、２
ａを共に再焼成したため、操作トルクは低かったもの
の、表３に示すようにシール性が悪く、１７．５ｋｇ／
ｃｍ2 での水漏れがあった。
【００２８】これに対し、本発明実施例では、一方の摺
接面２ａのみを再焼成したため、表２、図４に示すよう
に低い操作トルクを長期間維持でき、かつ表３に示すよ
うにシール性も優れていた。
接面２ａのみを再焼成したため、表２、図４に示すよう
に低い操作トルクを長期間維持でき、かつ表３に示すよ
うにシール性も優れていた。
【００２９】実験例２ 次に、上記本発明実施例において、固定弁体２の摺接面
２ａの表面粗さを変化させて同様の試験を行った。結果
は表４に示すように、摺接面２ａの中心線平均粗さ（Ｒ
ａ）が０．３μｍより小さいと操作トルクが大きく、一
方中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．６μｍより大きいとシ
ール性が悪かった。したがって、摺接面２ａの中心線平
均粗さ（Ｒａ）は０．３〜０．６μｍのものが良かっ
た。
２ａの表面粗さを変化させて同様の試験を行った。結果
は表４に示すように、摺接面２ａの中心線平均粗さ（Ｒ
ａ）が０．３μｍより小さいと操作トルクが大きく、一
方中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．６μｍより大きいとシ
ール性が悪かった。したがって、摺接面２ａの中心線平
均粗さ（Ｒａ）は０．３〜０．６μｍのものが良かっ
た。
【００３０】また、摺接面２ａの平均結晶粒子径を変化
させて同様の試験を行ったところ、平均結晶粒子径は８
〜２５μｍの範囲が良いことが確認された。
させて同様の試験を行ったところ、平均結晶粒子径は８
〜２５μｍの範囲が良いことが確認された。
【００３１】
【表４】
【００３２】
【発明の効果】このように本発明によれば、セラミック
ディスクバルブにおいて、２枚の弁体のうち一方の摺接
面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下の滑らかな
面とし、他方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３
〜０．６μｍとし、結晶曲率半径２μｍ以上としたこと
によって、潤滑剤を用いることなく、長期間にわたっ
て、高シール性を保ったまま、小さな操作トルクを維持
できる。したがって、前記したディスクバルブの要求特
性をすべて満たすことができ、湯水混合栓用フォーセッ
トなどに好適に用いることができる。
ディスクバルブにおいて、２枚の弁体のうち一方の摺接
面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下の滑らかな
面とし、他方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３
〜０．６μｍとし、結晶曲率半径２μｍ以上としたこと
によって、潤滑剤を用いることなく、長期間にわたっ
て、高シール性を保ったまま、小さな操作トルクを維持
できる。したがって、前記したディスクバルブの要求特
性をすべて満たすことができ、湯水混合栓用フォーセッ
トなどに好適に用いることができる。
【図１】セラミックディスクバルブの構造を示す断面図
である。
である。
【図２】図１中のＡ部の拡大断面図である。
【図３】図２に相当する、比較例の拡大断面図である。
【図４】本発明および比較例のディスクバルブにおけ
る、サイクル数と操作トルクの関係を示すグラフであ
る。
る、サイクル数と操作トルクの関係を示すグラフであ
る。
１ ・・・可動弁体 １ａ・・・摺接面 ２ ・・・固定弁体 ２ａ・・・摺接面 ３ ・・・レバー
Claims (1)
- 【請求項１】セラミックスの板状体からなる２枚の弁体
を摺接させて流路の開通、遮断を行うようにしたディス
クバルブにおいて、一方の弁体の摺接面を中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．２μｍ以下の滑らかな面とし、他方の弁
体の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μ
ｍ、結晶曲率半径２μｍ以上としたことを特徴とするセ
ラミックディスクバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3127745A JP2979530B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | セラミックディスクバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3127745A JP2979530B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | セラミックディスクバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04351379A JPH04351379A (ja) | 1992-12-07 |
| JP2979530B2 true JP2979530B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=14967641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3127745A Expired - Lifetime JP2979530B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | セラミックディスクバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979530B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5188234B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2013-04-24 | 京セラ株式会社 | 流路規定部材および液体吐出装置 |
| JP5997490B2 (ja) * | 2012-04-24 | 2016-09-28 | 株式会社不二工機 | 四方切換弁 |
-
1991
- 1991-05-30 JP JP3127745A patent/JP2979530B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH04351379A (ja) | 1992-12-07 |
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