JP2976869B2 - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Description
ボディの塗装面における凹凸等の表面欠陥を検出するの
に用いる表面欠陥検査装置に関するものである。
ば特開昭64−38638号公報などに記載されたもの
がある。
被検査面上に光の帯を形成し、この光の帯をカメラによ
り撮像すると共に、同帯を移動させてその反射像を連続
且つ段階的に記録し、最終的にこれらの部分的な像の記
録を全体像に編集して、被検査面上の欠陥および欠陥の
座標情報を出力するようになっている。
たような従来の表面欠陥検査装置にあっては、例えば自
動車のボディのように複雑な曲面を有する被検査体を対
象とした場合、曲面部分では光の帯の反射方向が曲率に
応じて変化するため、その反射像を常にカメラのイメー
ジセンタに映し出すための制御が必要になり、さらに、
自動車のボディの曲面は車種によっても形状や部位が異
なるため、制御がより複雑になるという問題があり、こ
のような問題を解決することが課題であった。
されたもので、被検査面が複雑な曲面であっても、簡単
な制御で表面欠陥を自動的に且つ精度良く検出すること
ができる表面欠陥検査装置。
検査装置は、請求項1として、被検査体の被検査面に光
を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を
作成し、受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出す
る表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状
を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する
照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査
面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮
像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置
により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を
検出しその結果を出力する検査処理手段を備え、照明手
段および撮像装置固定手段の内側に被検査体を通過させ
て被検査面の検査を行う構成としており、上記の構成を
課題を解決するための手段としている。
は、請求項2として、照明手段の門型形状が、被検査体
の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状である構成と
し、請求項3として、照明手段が、白色の背景板に、ほ
ぼ等間隔に配置された複数の光源を備えると共に、光源
の被検査面側に、光透過部と艶消し黒色部を交互に配置
した光拡散シートを備え、光源からの光を光拡散シート
の光透過部に通すことにより被検査面上に明暗パターン
を形成する構成とし、請求項4として、照明手段の光拡
散シートが、被検査体を囲む門型形状を成す艶消し黒色
のシートガイドに張ってあり、シートガイドが、光源お
よび背景板から移動可能である構成としており、上記の
構成を課題を解決するための手段としている。
は、請求項5として、撮像装置固定手段の門型形状が、
被検査物体の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状で
ある構成としており、請求項6として、撮像装置がCC
Dカメラであって、各CCDカメラによる全体の視野が
被検査体の移動方向の正面輪郭に沿った連続した帯状を
成すと共に、隣接するCCDカメラ同士の視野が所定の
領域でオーバーラップしており、且つ被検査体の移動方
向とCCDカメラの受光画像における水平もしくは垂直
方向とを一致させた構成としており、請求項7として、
明暗パターンが、CCDカメラに映る明暗パターンに基
づいて明暗パターンの間隔が変化する構成とし、請求項
8として、CCDカメラの視野調整、ピント調整および
オーバーラップ量調整を、被検査体の移動方向の正面輪
郭にほぼ適合した形状を成し且つその表面に所定間隔の
線もしくは点の図形が描かれた参照モデルを用いて行う
構成とし、請求項9として、参照モデルが、被検査体の
移動方向に対する横断面のうちの最大の横断面輪郭にほ
ぼ適合した形状である構成とし、請求項10として、参
照モデルの図形の線以外の部分の色が被検査面の塗装色
で最も明度の高い色であって、同参照モデルの表面を撮
像しながらCCDカメラのレンズ絞りおよびシャッター
スピードを調整する構成とし、請求項11として、被検
査面の塗装色で塗装され且つカメラ視野より大きいテス
トピースを参照モデルの表面に接して設け、テストピー
スを撮像しながらCCDカメラのレンズ絞りおよびシャ
ッタースピードを調整する構成としており、上記の構成
を課題を解決するための手段としている。
は、請求項12として、検査処理手段が、複数の撮像装
置から得られた受光画像の画像データにおける空間周波
数成分のうちの高い周波数領域で且つレベルが所定値以
上の成分のみを抽出する画像強調処理手段と、画像強調
処理手段からの時間的に異なる画像データにおいて移動
量および移動方向が所定の条件で一致する目標部分を検
出する追跡処理手段を備えた構成とし、請求項13とし
て、検査処理手段が、検査開始および検査終了を判断す
る検査開始終了判定手段と、検査開始から被検査体の移
動量を測定する移動量測定手段を備え、これらの手段か
ら得た情報に基づいて追跡処理手段で検出した目標部分
の被検査面上の位置を算出し、その結果を被検査体の展
開図上に表示する手段である構成とし、請求項14とし
て、被検査体の展開図が、被検査体に対する撮像装置の
取付角度および画角に基づいて描かれている構成とし、
さらに、請求項15として、被検査体が照明手段および
撮像装置固定手段の内側を通過し且つ被検査面の検査を
行っている際に被検査体とこの被検査体を移動させる搬
送コンベアの速度を一致させる速度一致手段を備えた構
成としており、上記の構成を課題を解決するための手段
としている。
装置によれば、被検査体を囲む門型形状を成す照明手
段、および同じく被検査体を囲む門型形状を成し且つ撮
像装置を備えた撮像装置固定手段を採用し、被検査面上
に光の明暗パターンを形成すると共に、照明手段および
撮像装置固定手段の内側に被検査体を通過させて被検査
面を検査することから、被検査面に複雑な曲面がある場
合であっても、被検査面全体に対する照明および撮像の
条件をほぼ均等にすることができ、照明手段や撮像装置
さらには被検査体に対して何ら複雑な制御を行うことな
く、簡単な制御で表面欠陥を自動的に且つ精度良く検出
することができる。
置によれば、照明手段の門型形状を被検査体の移動方向
の正面輪郭にほぼ適合した形状にしたので、請求項1の
効果に加えて、被検査面全体に対する照明条件をより一
層均一にすることができ、表面欠陥の検出をより容易に
且つより精度よく行うことができる。
置によれば、請求項1および2の効果に加えて、明暗パ
ターンをより正確に形成することができ、表面欠陥の検
出のさらなる容易化および精度向上に貢献し得る。
置によれば、請求項3の効果に加えて、シートガイドの
移動により、当該シートガイド、光源および背景板のメ
ンテナンスにも容易に対処することができる。
置によれば、撮像装置固定手段の門型形状を被検査物体
の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状にしたので、
請求項1の効果に加えて、被検査面全体に対する撮像条
件をより一層均一にすることができ、表面欠陥の検出を
より容易に且つより精度よく行うことができる。
置によれば、請求項1および5の効果に加えて、被検査
面全体を隙間なく検査することができ、検査のさらなる
精度の向上を実現することができる。
置によれば、請求項6の効果に加えて、検査精度をより
一層向上させることができる。
検査装置によれば、請求項6および7の効果に加えて、
撮像装置の調整を容易に且つ迅速に行うことができると
ともに、検査精度をより一層向上させることができる。
装置によれば、請求項1の効果に加えて、表面欠陥をよ
り迅速に且つより正確に検出することができ、また、本
発明の請求項13に係わる表面欠陥検査装置によれば、
請求項12の効果に加えて、被検査体の展開図上におい
て表面欠陥を容易に認識することができ、後の修正作業
などに活用することが容易であり、さらに、本発明の請
求項14に係わる表面欠陥検査装置によれば、請求項1
3の効果に加えて、被検査体の展開図上における表面欠
陥の位置をより正確に表示することができる。
欠陥検査装置によれば、請求項1、12および13の効
果に加えて、被検査体と搬送コンベアの速度を確実に一
致させることができ、検査精度ならびに展開図上におけ
る表面欠陥の表示の精度をより一層高めることができ
る。
欠陥検査装置の一実施例を説明する。この実施例では、
被検査体である自動車のボディにおいて、被検査面であ
る塗装面の欠陥を検査する場合を示している。
うに、照明手段1と、複数の撮像装置(3)が取り付け
られた撮像装置固定手段2と、検査処理手段4を備えて
いる。
輪郭にほぼ適合した門型(アーチ)形状を成し、被検査
面上に所定の明暗パターンを映し出すよう構成されてい
る。撮像装置固定手段2は、照明手段1とほぼ同一形状
で照明手段1に並設されている。撮像装置(3)はCC
Dカメラ(以下「カメラ」と記す)3であって、明暗パ
ターンの映る被検査面を撮像するように、撮像装置固定
手段2の所定の位置に各々取付固定してある。検査処理
手段4は、主に画像強調処理手段41、追跡処理手段4
2、ホストコンピュータ43で構成してある。ボディ5
は、台車6に載せられると共に、レール7および搬送コ
ンベア8によって照明装置1および撮像装置固定手段2
の内側を移動し、その間に検査処理手段4で所定の処理
が行われ、被検査面であるボディ5の塗装面の検査が行
われる。
ボディ5の搬送方向(図2中の矢印の方向)に対して垂
直に設置されている。カメラ3は、調整固定治具3aに
よって撮像装置固定手段2の所定の位置および角度に調
整された状態で固定してある。
動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状とすることによ
り、光照射面からボディ5の表面までの距離が部位にか
かわらずほぼ一定となり、よって光をボディ5の表面に
むらなくほぼ均一に照射する。
すように、光源101の光を被検査面にむだなく且つむ
らなく照射するために、白色もしくは光を拡散反射する
よう表面処理された複数の背景板102を備え、この背
景板102に複数の光源101がほぼ等間隔に取り付け
られた構造となっている。
って、1つの背景板102の被検査体側に2列で計4本
取り付けられ、その裏側に当該光源101を高周波点灯
させる電源107(図7参照)が取り付けてある。そし
て、光源101、背景板102および電源107を1つ
の照明ユニット104とし、この照明ユニット104を
図5のように門型形状をした支柱103に隙間無く取り
付けることにより、照明手段1を構成している。
5の正面輪郭形状に合わせて容易に変形できるような可
撓性を有し且つ透光性を有する材料から成るものであっ
て、例えば艶消し黒色のマスキングテープを等間隔に貼
ることにより、光透過部105aと艶消し黒色部105
bを交互に配置したものである。光を拡散する理由は、
ボディ塗装色がメタリック塗装といった場合にメタリッ
クの光輝材の影響を抑えるためである。
い材質で、このしわによって陰や照明むらが発生する場
合には、シートガイド106により、光拡散シート10
5を下方から支えると共に、同シート105をボディ5
の正面輪郭形状に合わせて張ることにより、しわの発生
を抑える。シートガイド106は、艶消し黒色に塗装さ
れており、支柱103は、光拡散シート105の艶消し
黒色部105bに重なる間隔となっている。光拡散シー
ト105とシートガイド106とは、この支柱103に
おいて艶消し黒色のボルト、ナットおよびワッシャ(図
示せず)により固定してある。さらに、シートガイド1
06には、キャスター106aが取り付けてあって、光
拡散シート105を張った状態でボディ5の前後方向に
移動できる構造となっている。したがって、図8のよう
にシートガイド106を移動させることにより、例えば
光源101の交換などを容易に行える。
ィ5の移動方向の正面輪郭形状にほぼ合った形状であ
る。これは、各カメラ3からボディ5の表面までの距離
をほぼ一定にするためであり、その結果全てのカメラ3
での視野の大きさがほぼ同一となる。ボディ5の形状に
応じた距離の細かい調整やカメラ3の向きの調整は、撮
像装置固定手段2の所定位置に固定された調整固定治具
3aで行われる。調整固定治具3aでも調整できないよ
うな場合、例えばボディ5のフード(ボンネット)とル
ーフ(天井)とのように高さが大きく異なる面では、レ
ンズの焦点距離を変えて視野の大きさを調整してもよ
い。さらに図10のように各々隣接するカメラ3同士の
視野は、所定の大きさ以上でオーバーラップした帯状と
なるように調整されている。上記のように、フード部と
ルーフ部では高さが大きく異なるが、図からも明らかの
ようにこれらの部位は、同一のカメラで同時に検査され
ることはないので、図9のようにフード用のカメラ
(3)H1〜H8とルーフ用のカメラ(3)R1〜R7
とを切り換えて各々調整してもよい。カメラ3の切り換
え位置は図21のような検査の必要のない前後ウィンド
ウ部の位置(符号Cで示す)が適当である。このときル
ーフ用カメラ(3)R1〜R7の視野は、左右の側面用
カメラ(3)SL1〜SL5、SR1〜SR5およびフ
ード用カメラ(3)H1〜H8と同様に、図10のよう
にルーフ部で帯状となる。
図10の斜線部のような領域である。ただし、オーバー
ラップ量が大きいほどカメラ3の台数が増加してしまう
ので、検出したい欠陥の最小の大きさから画像の分解
能、つまりカメラ1台あたりの視野の大きさを決定し、
その視野の大きさから被検査面全面を検査するのに必要
なおよそのカメラ台数を決定し、最終的にオーバーラッ
プ量を決定すればよい。さらに、図10のように長方形
で表した各々のカメラ視野は、カメラ受光画像中をボデ
ィ5が水平もしくは垂直方向に移動するような向きに、
斜めになることなく固定される。
ディ5を載せた台車6は、搬送コンベア8によって移動
する。搬送コンベア8は、チェーン81、駆動装置82
およびフック84を備えており、駆動装置82には回転
量情報を検出するパルスジェネレータ83が設けてあ
る。台車6の下部の爪61にフック84がひっかかって
おり、駆動装置82が矢印の方向に回転することにより
チェーン81が駆動され、ボディ5を搬送する。
にがたつきがあると、チェーン81の移動量とボディ5
を載せた台車6の移動量とが厳密には一致しないため、
後述するパルスジェネレータ83から得られる駆動装置
82の回転量情報を用いてボディ5の移動量を算出する
時点で誤差が発生し、検出精度が低下してしまう恐れが
ある。そこで、本発明では、図18に示すように、フッ
ク84が爪61をボディ5の搬送方向の前後から隙間な
く常に接するよう挟み込む構造としている。さらに、チ
ェーン81の余分なたるみがないように調整すれば、ボ
ディ5と搬送コンベア8の速度をより一致させることが
できる。また、他の例として、搬送コンベア8およびレ
ール7等の全体が搬送方向に対して上り坂となっていれ
ば、ボディ5の自重で爪61とフック84が常に接する
ためがたつきは発生しない。このような速度一致手段
は、この実施例のみに限定されるものではない。
8の移動量と一致した台車6に載ったボディ5は、先述
した位置に配置された照明手段1およびカメラ3が取り
付けられた撮像装置固定手段2の内側を、レール7に沿
って低速度且つ振動することなくスムーズに移動し、そ
れと同時に検査処理手段4が以下に説明する手順でボデ
ィ塗装面上の欠陥を自動的に検査する。
強調処理手段41における画像例および処理フローを示
す図である。
された被検査面をカメラ3で撮像すると図19(a)に
ようになる。図19(d)に示すステップS1で画像入
力された原画像aにおいて、凹凸状の欠陥部Eでは光が
乱反射するため、図のように明パターンでは暗部となり
現れ、欠陥Eが暗パターンにある場合は明部となり現れ
る。この原画像aに対してステップS2で微分等のエッ
ジ検出処理を行ない、ステップS3において所定のしき
い値で2値化すると、図19(b)のような画像におい
て輝度変化のあった領域つまり空間周波数の高い領域が
白、それ以外の部分が黒となった2値画像が得られる。
この2値画像bの白画素に対してステップS4において
ラベリング(番号付け)を行い、さらにステップS5に
おいて面積/重量計算を行なう。2値画像bの白画素に
おいて欠陥Eは孤立点であり、明暗パターンの境界線は
画面の上下を横切るような大きな物体となることから、
ステップS6において、所定の判定値で面積判定を行な
い面積の小さい孤立点のみを抽出すると図19(c)の
ような画像となる。ここで、ゆず肌といった欠陥にはな
らない塗装面上の凹凸があると、これらは図19(c)
のように欠陥とともに孤立点(以下、これをノイズNと
称す)となり抽出される場合がある。
ための追跡処理手段42の作用を、図19および図20
を用いて説明する。画像強調処理手段41において孤立
点を抽出する処理を時間的に連続して行なうと、面積判
定結果画像は図20(a)〜(f)のようになり、これ
らを重ねると図20(g)のようになる。つまり、カメ
ラ3および照明手段1は固定され、ボディ5は移動する
ので、カメラ画像においてボディ表面にある欠陥Eはボ
ディ5の移動に応じて図20(g)の矢印の方向に移動
するが、ノイズNはボディ5の移動とは無関係にランダ
ムに発生する。よって、時間的に異なる連続した面積判
定結果画像からボディ5の移動量および移動方向が所定
の条件で一致するものが最終的に欠陥Eと判断できる。
画像における欠陥Eの移動方向は、カメラ3に対してボ
ディ5がどのような方向で通過するかによって決定する
ため、本実施例のようにカメラ3の位置が固定でボディ
5の搬送方向が常に同じであるならば、各カメラ3毎に
決定できる。さらにカメラ3の視野が、前述したように
ボディ5の搬送方向に平行に設定されていれば、欠陥E
は画像中の水平もしくは垂直方向に移動することにな
る。本実施例では、欠陥Eが図20(g)のように画像
中を真横(矢印)に移動するような向きにカメラ3が固
定されているものとして説明している。
なる連続した画像において、まず初めに各画像の各白画
素におけるy方向(画面の縦方向)の重心座標の比較を
行なう。上記のように欠陥Eは画像中を真横に移動する
ため、2つの画像間でy方向重心座標がほぼ同じ白画素
があれば、その白画素が欠陥Eである可能性が高いと判
断できるため欠陥候補としてメモリに記憶する。
中の白画素において、2つの画像間のx方向重心座標の
差が画像における移動画素数、符号が移動方向を表すの
で、ステップS7におけるボディ5の移動量から算出し
た実移動画素数および画像におけるボディ5の移動方向
とをステップS8で比較し、これらが所定の範囲で一致
していれば、その白画素が欠陥Eである可能性がさらに
高いと判断できるので、その白画素の時間的に新しい
x,y重心座標を記憶する。
い、1つの白画素において上記比較の一致回数が所定の
回数以上になったならば、ステップS9においてその白
画素を欠陥Eと判定し、ステップS10において欠陥リ
ストに最終的な重心座標および面積を書き込み記憶す
る。追跡処理手段42は、上記のような処理をボディ5
がカメラ視野に映っている間連続して行ない、ボディ5
の通過後、上記欠陥リストをホストコンピュータ43に
送る。
算出できる。
の時間差で、本実施例では画像強調処理の処理時間に相
当する。これは、追跡処置手段42が画像強調処理手段
41からデータ(面積判定後の面積/重心座標データ)
を受け取る間隔を計数すれば測定可能である。(例:
0.1[s]) ボディ移動速度vは、パルスジェネレータ83による駆
動装置82の回転量情報からホストコンピュータ43が
算出し、追跡処理手段42に随時送られる。(例:10
0[mm/s]) 画像サイズLは、画像におけるボディ移動方向の画素数
であって、例えばx×y=512×480画素の画像で
ボディ5がx方向に移動するならば、L=512とな
る。
視野のボディ移動方向の寸法であって、例えば被検査面
において1つのカメラ視野(図10の長方形)がx×y
=120×100[mm]でボディがx方向に移動する
ならば、A=120[mm]となる。
度vおよびカメラ視野Aの関係について説明する。
理時間に相当するが、時間tの間に視野Aを通過してし
まうほど速度vが速すぎると、欠陥があった場合、同一
の欠陥が画像中に2回以上出現しないために上記追跡処
理が成立しない。よって、欠陥が画像中を少なくとも2
回以上映るように時間t、速度sおよび視野Aを設定す
る。
みをかけ上記画像強調処理を実行すれば時間tが一定と
なるため、各種調整や演算が容易となる。なお画像強調
処理手段41および追跡処理手段42は、本実施例の構
成に限定されるものではない。
分の検査が終了すると、その欠陥検査結果に基づいて、
ボディ表面上の欠陥位置に相当するにボディ展開図上の
位置にマーク(例えば●)を表示する。この手順を以下
に説明する。
定手段と、移動量測定手段を備えている。
を検出して各種検査処理の開始および終了のタイミング
を判断するもので、例えば透過型光電スイッチをボディ
搬送方向に対して垂直方向に、且つボディ5の先端およ
び後端が光電スイッチの光りを遮るような高さに、且つ
カメラ視野にボディ先端が映る直前にボディ5が光電ス
イッチを遮るような位置に取付ることによって実現でき
る。ボディ5および台車6の相対位置関係が既知であれ
ば、上記光電スイッチを台車6に合わせて取り付けても
良い。
ディ5が入りカメラ画像にボディ5が映っているとき
と、ボディ5がなく背景のみが映っているときとの、画
像の輝度の違いを利用して検査の開始および終了のタイ
ミングを判断してもよい。なお上記検査開始終了判定手
段は、本実施例に限定されるものではない。
で検出された検査開始地点を基準としてボディ5の移動
量を測定するものである。本実施例では、上記移動量が
パルスジェネレータ83から得られる駆動装置82の回
転情報とホストコンピュータ43の内部クロック等の時
間情報から移動量を算出する。つまり検査処理手段4は
常にボディ5の検査位置が把握でき、先の追跡処理手段
42で検出された欠陥Eのボディ上の位置が算出できる
ので、最終的にホストコンピュータ43では欠陥の面積
/重心座標およびボディ上での位置情報がリストに記憶
される。
行され、検出した欠陥のリスト情報に基づいて、例えば
図21のようなボディ5の展開図における表示位置を算
出してマークする。図21中のy方向における欠陥表示
位置は、各々のカメラ視野の大きさおよびカメラ位置は
既知であり、上記のように画像中を移動する欠陥のy方
向重心座標はほとんど変化しないため、展開図縮尺度が
決まれば容易に算出できる。同様にx方向の欠陥表示位
置は、上記のように図21の検査開始地点Pを基準とし
てボディ移動量から算出できる。このように欠陥位置に
マークを表示した展開図は、例えばモニターやプリンタ
ーなどの出力装置に出力される。
面調整用参照モデル91の概略正面図、平面図および側
面図である。図12は、ピラー面およびルーフ面調整用
参照モデル92の概略正面図、平面図および側面図であ
る。
からも明らかなようにボディ5の移動方向の正面輪郭と
ほぼ適合している。本実施例では、ボディ5のフード面
とルーフ面の高さの差が大きく、それぞれ別のカメラで
検査する構成であるため、2種類の参照モデルを91,
92用意しているが、参照モデルの種類はボディ(被検
査体)5の形状に応じて用意すれば良い。また、参照モ
デル91,92の平面および側面には所定の間隔の格子
線が描かれており、各カメラ3でこの格子線を映してモ
ニターで確認しながらカメラ視野を図10のように調整
する。つまり上記格子線は、カメラ視野の大きさが確認
できればよいので、図14(a)に示すような所定の間
隔の点や、図14(b)に示すようなあらかじめ決定し
ておいた視野の大きさとほぼ同じ四角形などの図形でも
良い。このとき、モニターに映した参照モデル91,9
2の図形を見ながらピント調整も同時に行なう。
とカメラ3と参照モデル91(92)との位置関係を示
す概略平面図である。ボディ5は搬送コンベア8により
レール7に沿って移動するため、参照モデル91(9
2)は移動時のボディ5と同じ位置、つまりレールに対
して90°でその両端がボディ5の側面と一致する位置
に設置される。
面調整時における照明手段1とカメラ3と参照モデル9
1との位置関係を示す概略正面図であり、同様に図17
はルーフ面およびピラー面調整時の概略正面図である。
上記と同様に搬送時のボディ位置と参照モデル91,9
2の位置を一致させるために、調整用台93,94に参
照モデル91,92をそれぞれ載せてカメラ3の各種調
整を行なう。
2の形状は、ボディ5の移動方向の正面輪郭にほぼ適合
した形状であるとともに、ボディ5の移動方向に対する
横断面のうちの最大の横断面輪郭に適合していなければ
ならない。最も大きい輪郭であるということは、カメラ
3からの距離が最も小さいということであり、この状態
でカメラの視野調整を行なえばそれ以外の部位ではカメ
ラ3からの距離が遠くなるので隣合うカメラ3,3のオ
ーバーラップはかならず存在することになる。言いかえ
ると、輪郭が最大でない状態でオーバーラップ量を調整
すると、図9のようにカメラ視野断面は三角形なのでカ
メラ3とボディ5との距離が小さくなるほど視野は小さ
くなるため、調整時以上の大きさの輪郭を持つ部位で
は、所定のオーバーラップ量が確保できない。このため
には、参照モデルが最も大きい輪郭に適合した形状であ
ればよく、自動車のボディ5に関して言えば、例えば側
面ではドア部、ルーフ部ではルーフ中央部、フード/ト
ランク部では最も高い部位が参照モデルの形状に適して
いる。
を示す図である。図15(a)のような2種類のボディ
5A,5Bの場合は、ボディ5Aの移動方向の正面輪郭
の方が全ての部位で大きいので、参照モデル91,92
は、図中の太線のようになる。図15(b)のように、
ボディ5A,5Bの輪郭の大きさが各部位で異なる場合
は、ボディ5A,5Bの輪郭の大きい方を滑らかに結ぶ
図中の太線のような形状となる。
る。
ら被検査面までの距離つまり撮影距離が変化するので、
すべての場合でピントが合うようにするためには、カメ
ラ3の被写界深度(ピントの合う範囲)を撮影距離の変
化に対して十分大きくとる必要がある。被写界深度は、
レンズ絞り値、レンズ焦点距離および撮影距離から計算
することができるので、カメラ視野の大きさ等からレン
ズ仕様や撮影距離、および必要な被写界深度を予め決め
れば、およそのレンズ絞り値を決定することができる。
本実施例のようにボディ5が移動している場合、カメラ
受光画像がブレないような値である必要があるので、移
動速度も考慮した上でおよその絞りおよびシャッタース
ピードを微調整し決定すれば良い。
被検査面の光反射特性において最も反射率の高い状態
で、カメラ3の出力信号レベルが飽和しないようにオシ
ロスコープ等を用いて調整する。自動車のボディ5の場
合は、白やシルバーメタリックといった最も明度の高い
塗装色で調整を行なえば良い。また、上記光の反射量
は、照明およびカメラ3と被検査面までの距離で近いほ
ど大きいので、例えば本実施例のように照明およびカメ
ラ位置が固定であれば、ボディの5の最大の正面輪郭よ
り作成された先の参照モデル91,92の表面で調整を
行なえば良い。
方向のダイナミックレンジを無駄なく使用するため、カ
メラ3の出力信号レベルがホワイトレベルをオーバーす
る少し手前であればよい。さらに、調整を効率よく行な
うためには、参照モデル91,92の視野調整用の図形
が描かれている面の図形以外の背景の部分が、上記のよ
うに白やシルバーメタリックといった反射率の最も高い
状態となっていれば、カメラ3の視野調整とともに調整
を行なうことができる。
の調整面を塗装することが困難なときは、白やシルバー
メタリックに塗装したカメラ視野より大きいテストピー
スを用意し、調整したいカメラ視野に対応する参照モデ
ル表面に接して置き、それをカメラ3で撮像しながら調
整を行なえば良い。
よるエッジ検出を用いた場合、画像中の輝度変化を抽出
するので図19(b)のように明暗パターンの境界線も
白画素として抽出される。よって、欠陥Eが明暗パター
ンの境界線付近にあると、欠陥Eと境界線とが一体化し
てしまい欠陥Eが孤立点として現れない場合がある。さ
らに、1画面当たりに映る境界線の数が多くなるほど欠
陥Eが消える頻度が高くなるため、欠陥検出精度が悪化
してしまうことになる。例えばボディ5のフロントフェ
ンダーの先端部は、凸状の曲面なので凸レンズの作用を
することから、明暗パターンのピッチが部位によらず一
定ならば、カメラ画像には平面部のときより多く上記境
界線が映ることになり、欠陥検出精度が悪化する。
4および図25に基づいて説明する。
散シート105を通過してボディ5の表面で反射し、さ
らにカメラ3の視野に映る明暗パターンを示すもので、
図面に各画像例を示す。例えば画像中に明暗パターン境
界線が4本現れるようにするためには、明暗パターンの
ピッチをボディ5の形状を考慮し設計すれば良い。ここ
では、明暗パターンの境界線の本数が問題であり、画像
における明暗パターンの映り方、つまり明/暗の順序は
欠陥での乱反射を利用した検出原理とは無関係なので何
等制限はない。
面とにおける明暗パターンのピッチが異なる場合は、明
暗パターンシートにおける側面から水平面に移行する位
置、例えば門型形状のR部において、明暗パターンが不
連続にならないように艶消し黒色テープを貼れば、前後
のフェンダーからフード/トランク面の間のR部でも明
暗パターンが極端に歪むことなく映し出すことができ
る。
境界線を4本としたが、境界線の本数は各カメラ3にお
いて同じである必要はない。また、境界線が少ないほど
画面中に欠陥の現れる頻度は高くなるが、境界線を少な
くするために明暗パターンのピッチを広げすぎると欠陥
での凹凸による乱反射を利用し欠陥を検出する場合に小
さい欠陥の検出精度が低下してしまうので、これらを考
慮にいれ実験的に明暗パターンを設計すれば良い。
る。
ずカメラ3の視野に映るボディ表面には照明手段1の明
暗パターンを形成するような構成となっている。つま
り、図23のようにカメラ3がボディ5に対して斜め前
方から撮像するような構成であり、このときのカメラ取
付角度をθ2、カメラの画角をθ1としている。
図21のような通常の展開図に欠陥位置を表示した場
合、実際のボディ上の欠陥位置と一致しない場合があ
る。これはカメラ3が図23のように斜め前方からの視
点で撮像しているのに対して、展開図はボディの真横
(側面図)および真上(水平面)からの視点で見た図で
あり、それぞれ視点が異なるためである。このような欠
陥の表示ずれを防ぐには、図22のようにボディ5を実
際のカメラ3のように斜め前方から見たような展開図を
用いれば良い。
る。
関係の正面図である。
一例を示す概略斜視図である。
表す概略平面図である。
る。
ルの一例を示す正面図(a)、平面図(b)および側面
図(c)である。
を示す正面図(a)、平面図(b)および側面図(c)
である。
係を示す概略平面図である。
例を示す図である。
々概略正面図である。
調整の一例を示す概略正面図である。
調整の一例を示す概略正面図である。
である。
る画像(a)〜(c)および処理フロー(d)の一例を
示す図である。
す図である。
示す概略平面図である。
略平面図である。
概略側面図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 被検査体の被検査面に光を照射し、被検
査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、受光画
像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査
装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検
査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被
検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光
に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付
けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその結果
を出力する検査処理手段を備え、照明手段および撮像装
置固定手段の内側に被検査体を通過させて被検査面の検
査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項2】 照明手段の門型形状が、被検査体の移動
方向の正面輪郭にほぼ適合した形状であることを特徴と
する請求項1に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項3】 照明手段が、白色の背景板に、ほぼ等間
隔に配置された複数の光源を備えると共に、光源の被検
査面側に、光透過部と艶消し黒色部を交互に配置した光
拡散シートを備え、光源からの光を光拡散シートの光透
過部に通すことにより被検査面上に明暗パターンを形成
することを特徴とする請求項1または2に記載の表面欠
陥検査装置。 - 【請求項4】 照明手段の光拡散シートが、被検査体を
囲む門型形状を成す艶消し黒色のシートガイドに張って
あり、シートガイドが、光源および背景板から移動可能
であることを特徴とする請求項3に記載の表面欠陥検査
装置。 - 【請求項5】 撮像装置固定手段の門型形状が、被検査
物体の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項6】 撮像装置がCCDカメラであって、各C
CDカメラによる全体の視野が被検査体の移動方向の正
面輪郭に沿った連続した帯状を成すと共に、隣接するC
CDカメラ同士の視野が所定の領域でオーバーラップし
ており、且つ被検査体の移動方向とCCDカメラの受光
画像における水平もしくは垂直方向とを一致させたこと
を特徴とする請求項1または5に記載の表面欠陥検査装
置。 - 【請求項7】 明暗パターンが、CCDカメラに映る明
暗パターンに基づいて明暗パターンの間隔が変化するこ
とを特徴とする請求項6に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項8】 CCDカメラの視野調整、ピント調整お
よびオーバーラップ量調整を、被検査体の移動方向の正
面輪郭にほぼ適合した形状を成し且つその表面に所定間
隔の線もしくは点の図形が描かれた参照モデルを用いて
行うことを特徴とする請求項6または7に記載の表面欠
陥検査装置。 - 【請求項9】 参照モデルが、被検査体の移動方向に対
する横断面のうちの最大の横断面輪郭にほぼ適合した形
状であることを特徴とする請求項8に記載の表面欠陥検
査装置。 - 【請求項10】 参照モデルの図形の線以外の部分の色
が被検査面の塗装色で最も明度の高い色であって、同参
照モデルの表面を撮像しながらCCDカメラのレンズ絞
りおよびシャッタースピードを調整することを特徴とす
る請求項8または9に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項11】 被検査面の塗装色で塗装され且つカメ
ラ視野より大きいテストピースを参照モデルの表面に接
して設け、テストピースを撮像しながらCCDカメラの
レンズ絞りおよびシャッタースピードを調整することを
特徴とする請求項8〜10に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項12】 検査処理手段が、複数の撮像装置から
得られた受光画像の画像データにおける空間周波数成分
のうちの高い周波数領域で且つレベルが所定値以上の成
分のみを抽出する画像強調処理手段と、画像強調処理手
段からの時間的に異なる画像データにおいて移動量およ
び移動方向が所定の条件で一致する目標部分を検出する
追跡処理手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載
の表面欠陥検査装置。 - 【請求項13】 検査処理手段が、検査開始および検査
終了を判断する検査開始終了判定手段と、検査開始から
被検査体の移動量を測定する移動量測定手段を備え、こ
れらの手段から得た情報に基づいて追跡処理手段で検出
した目標部分の被検査面上の位置を算出し、その結果を
被検査体の展開図上に表示する手段であることを特徴と
する請求項12に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項14】 被検査体の展開図が、被検査体に対す
る撮像装置の取付角度および画角に基づいて描かれてい
ることを特徴とする請求項13に記載の表面欠陥検査装
置。 - 【請求項15】 被検査体が照明手段および撮像装置固
定手段の内側を通過し且つ被検査面の検査を行っている
際に被検査体とこの被検査体を移動させる搬送コンベア
の速度を一致させる速度一致手段を備えたことを特徴と
する請求項1,12および13のいずれかに記載の表面
欠陥検査装置。
Priority Applications (3)
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JP7344054A JP2976869B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 表面欠陥検査装置 |
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