DE102007063529A1 - Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand Download PDF

Info

Publication number
DE102007063529A1
DE102007063529A1 DE200710063529 DE102007063529A DE102007063529A1 DE 102007063529 A1 DE102007063529 A1 DE 102007063529A1 DE 200710063529 DE200710063529 DE 200710063529 DE 102007063529 A DE102007063529 A DE 102007063529A DE 102007063529 A1 DE102007063529 A1 DE 102007063529A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
primary images
spatial
intensity
local
spatial intensity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE200710063529
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Priority to DE200710063529 priority Critical patent/DE102007063529A1/de
Priority to PCT/EP2008/011127 priority patent/WO2009083251A1/de
Publication of DE102007063529A1 publication Critical patent/DE102007063529A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2536Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object using several gratings with variable grating pitch, projected on the object with the same angle of incidence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9515Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) wird ein Muster bereitgestellt, das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) mit einer ersten räumlichen Periode bildet. Der Gegenstand mit der Oberfläche (17) wird relativ zu dem Muster derart positioniert, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf (34a) auf die Oberfläche (17) fällt. Es wird eine Anzahl von Primärbildern aufgenommen, die die Oberfläche (17) mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) zeigt. In Abhängigkeit von den Primärbildern werden Eigenschaften der Oberfläche (17) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird zumindest ein weiterer räumlicher Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) mit einer weiteren räumlichen Periode bereitgestellt. Die erste und die weiteren räumlichen Perioden sind verschieden voneinander. Es wird eine Anzahl von weiteren Primärbildern aufgenommen, die die Oberfläche (17) mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) zeigen. In Abhängigkeit von den ersten und weiteren Primärbildern wird zumindest eine Kenngröße bestimmt, die für eine Streucharakteristik (110, 112) der Oberfläche (17) repräsentativ ist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand, mit den Schritten:
    • – Bereitstellen eines Musters, das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf mit einer ersten räumlichen Periode bildet,
    • – Positionieren des Gegenstandes mit der Oberfläche relativ zu dem Muster derart, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt,
    • – Aufnehmen einer Anzahl von ersten Primärbildern, die die Oberfläche mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf zeigen, und
    • – Bestimmen von Eigenschaften der Oberfläche in Abhängigkeit von den Primärbildern.
  • Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand, mit einem Muster, das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf mit einer ersten räumlichen Periode bildet, einer Aufnahme zum Positionieren des Gegenstandes mit der Oberfläche relativ zu dem Muster derart, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt, zumindest einer Bildaufnahmeeinheit zum Aufnehmen einer Anzahl von Primärbildern, die die Oberfläche mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf zeigen, und einer Auswerteeinheit zum Bestimmen von Eigenschaften der Oberfläche in Abhängigkeit von den Primärbildern.
  • Ein solches Verfahren und eine solche Vorrichtung sind beispielsweise aus DE 198 21 059 A1 bekannt.
  • Bei der industriellen Fertigung von Produkten spielt die Qualität von Produktoberflächen eine immer wichtigere Rolle. Dabei kann es sich um dekorative Oberflächen handeln, wie etwa Lackoberflächen von Kraftfahrzeugen, oder um technische Oberflächen, wie z. B. die Oberflächen von feinbearbeiteten metallischen Kolben oder Lagern.
  • Hohe Qualität kann einerseits durch hochwertige und stabile Fertigungsprozesse erreicht werden. Andererseits sollten die relevanten Qualitätsparameter möglichst vollständig kontrolliert werden, um Qualitätsmängel frühzeitig zu erkennen. Es gibt bereits eine Vielzahl von Konzepten, um Produktoberflächen zu inspizieren. Häufig sind die bekannten Verfahren und Vorrichtungen jedoch nur für einen speziellen Anwendungsfall einsetzbar, weil sie ein hohes a priori-Wissen über die zu inspizie rende Oberfläche voraussetzen. Dies betrifft insbesondere die Frage, ob es sich um eine glänzende und/oder spiegelnde Oberfläche oder um eine matte Oberfläche handelt.
  • Matte, raue Oberflächen werden insbesondere mit so genannten Streifenprojektionsverfahren inspiziert. Dabei wird ein Streifenmuster aus einer bekannten Position und Richtung auf die matte Oberfläche projiziert, und das entstehende Bild wird mit einer Bildaufnahmeeinheit unter einem definierten Winkel zur Projektionsrichtung aufgenommen. Die projizierten Muster werden aufgrund von Höhenvariationen der Oberfläche verzerrt. Anhand der bekannten geometrischen Beziehungen zwischen dem Musterprojektor, der Oberfläche und der Bildaufnahmeeinheit kann eine Information über die lokalen Höhen der Oberfläche bestimmt werden. Solche Streifenprojektionsverfahren eignen sich jedoch nicht oder nur sehr bedingt für die Inspektion von glänzenden, spiegelnden Oberflächen, weil die Oberfläche selbst in einem solchen Fall nicht oder nur sehr schlecht sichtbar ist.
  • Auch zur Inspektion von glänzenden und spiegelnden Oberflächen wurden verschiedene Verfahren mit Streifenmustern vorgeschlagen. Dabei müssen die Streifenmuster jedoch nicht von einer bekannten Position aus projiziert werden. Es genügt vielmehr, dass die Muster „irgendwie" auf die Oberfläche fallen. Die glänzende bzw. spiegelnde Oberfläche wird hier als Teil eines optischen Systems verwendet, durch das man die Streifenmuster betrachtet. Eigenschaften der Oberfläche lassen sich anhand des Systemverhaltens dieses optischen Systems bestimmen. Diese Verfahren werden in der Fachsprache häufig als deflektometrische Verfahren bezeichnet. Eine grundlegende Beschreibung solcher Verfahren findet sich in einer Publikation von Markus Knauer, „Vermessung spiegelnder Oberflächen – Eine Aufgabe der optischen 3D-Sensorik", erschienen in der DE-Zeitschrift Photonik, Ausgabe 4/2004, Seiten 62–64 oder in einer Publikation von Sören Kammel, „Deflektometrie zur Qualitätsprüfung spiegelnd reflektierender Oberflächen", erschienen in der DE-Zeitschrift tm – Technisches Messen, Ausgabe 4/2003, Seiten 193–198. Beide beschreiben insbesondere die so genannte phasenmessende Deflektometrie (PMD). Hiernach wird ein Streifenmuster mit einem sinusförmigen Intensitätsverlauf relativ zu der zu inspizierenden Oberfläche verscho ben. Im Abstand von jeweils 90° bezogen auf die Periode des Intensitätsverlaufs werden Bilder aufgenommen. Diese Bilder werden nach der so genannten 4-Bucket-Methode ausgewertet, wodurch man für jeden betrachteten Punkt der Objektoberfläche eine Phaseninformation erhält, die für die lokale Oberflächenneigung an diesem Objektpunkt repräsentativ ist. Durch Integration oder Differentiation der lokalen Oberflächenneigungen lassen sich die lokale Höhe und die lokale Krümmung der Oberfläche bestimmen, so dass Beulen, Kratzer und andere dimensionelle Defekte der Oberfläche erkannt werden können.
  • Die eingangs genannte DE 198 21 059 A1 schlägt vor, ein solches deflektometrisches Verfahren auch zur Inspektion einer diffus reflektierenden, also nichtspiegelnden Oberfläche zu verwenden. Zwar führe das diffuse Streuverhalten der Oberfläche zu einer Verwaschung der Intensitätsverteilungen. Diese könne jedoch durch die Phasenrekonstruktion aufgelöst werden, wenn ein sinusförmiger Intensitätsverlauf mit einer geringen Ortsfrequenz verwendet werde.
  • US 6,239,436 B1 schlägt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Inspektion einer matten Oberfläche vor, wobei Infrarotstrahlung mit einem strukturierten Muster auf die Oberfläche fällt und mit einer Infrarotkamera aufgenommen wird. Auch bei diesem Verfahren geht es in erster Linie darum, Beulen zu entdecken, um insbesondere unlackierte Karosserieteile für Kraftfahrzeuge zu prüfen.
  • DE 103 45 586 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen der Struktur einer spiegelnden Oberfläche, wobei mehrere flächige Muster mit voneinander verschiedenen Abmessungen auf der Oberfläche erzeugt werden. Die Auswertung entspricht hier eher einem Streifenprojektionsverfahren, da anhand der geometrischen Beziehungen zwischen dem Mustererzeuger und dem aufgenommenen Bild eine Höheninformation der Oberfläche bestimmt wird. Zur Untersuchung von schwach oder nicht spiegelnden Oberflächen schlägt DE 103 45 586 A1 ebenfalls die Verwendung von Infrarotstrahlung vor.
  • DE 199 44 354 B4 offenbart ebenfalls ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Inspektion von spiegelnden Oberflächen unter Verwendung eines Streifenmusters mit einem sinusförmigen Intensitätsverlauf. Diese Druckschrift schlägt aufgrund von theoretischen Überlegungen eine Formel vor, anhand der die optimale Periode des Intensitätsverlaufs in Abhängigkeit von der Wellenlänge des verwendeten Lichts und in Abhängigkeit von dem Abstand zwischen dem Streifenmuster und der Oberfläche bestimmt werden kann.
  • In einer Veröffentlichung von Pérard und Beyerer mit dem Titel „Three-dimensional measurement of specular free-form surfaces with a structured-lighting reflection technique", erschienen in SPIE, Band 3204, Seiten 74–80 ist ein Verfahren beschrieben, um die dreidimensionale Struktur einer spiegelnden Oberfläche durch so genanntes inverses ray tracing zu bestimmen. Hiernach wird ein mathematisches Modell der Oberfläche so lange verformt, bis die mathematisch berechneten Verzerrungen eines sich an der Oberfläche spiegelnden Streifenmusters mit dem tatsächlich aufgenommenen Bild eines gespiegelten Streifenmusters übereinstimmen.
  • Keines der bisher vorgeschlagenen Verfahren hat sich in der industriellen Praxis zur automatischen Inspektion von Oberflächen voll durchsetzen können. Bis heute werden viele Oberflächen mit Hilfe des menschlichen Auges inspiziert, selbst wenn dabei zum Teil technische Verfahren der vorgenannten Art zum Aufbereiten der Bilder zum Einsatz kommen. Ein Grund hierfür könnten die vielen verschiedenen Oberflächen und Oberflächendefekte sein, die in der Realität auftreten können und deren Eigenschaften sich erheblich unterscheiden können. Keines der bislang bekannten Verfahren scheint in der Lage zu sein, verschiedene Oberflächen auf unterschiedliche Defekte hin zuverlässig zu inspizieren.
  • Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die eine zumindest weitgehend automatisierte Inspektion einer Oberfläche ermöglichen. Vorteilhafterweise sollen das Verfahren und die Vorrichtung für eine Vielzahl unterschiedlicher Oberflächen einsetzbar sein, wie zum Beispiel zur Inspektion von Lackoberflächen bei Kraftfahrzeugen, zur Inspektion von Kunststoffteilen oder zur Inspektion von feinbearbeiteten metallischen Oberflächen.
  • Die Aufgabe wird nach einem Aspekt der Erfindung durch ein Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, bei dem zumindest ein weiterer räumlicher Intensitätsverlauf mit einer weiteren räumlichen Periode bereitgestellt wird, wobei die erste und die weitere räumliche Periode verschieden voneinander sind, wobei eine Anzahl von weiteren Primärbildern aufgenommen wird, die die Oberfläche mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf zeigen, und wobei in Abhängigkeit von den ersten und weiteren Primärbildern zumindest eine Kenngröße bestimmt wird, die für eine Streucharakteristik der Oberfläche repräsentativ ist.
  • Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, mit zumindest einem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf mit einer weiteren räumlichen Periode, wobei die erste und die weitere räumliche Periode verschieden voneinander sind, und mit einer Steuereinheit, die dazu ausgebildet ist, mit Hilfe der zumindest einen Bildaufnahmeeinheit eine Anzahl von weiteren Primärbildern aufzunehmen, wobei die weiteren Primärbilder die Oberfläche mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf zeigen, und wobei die Auswerteeinheit dazu ausgebildet ist, in Abhängigkeit von den ersten und den weiteren Primärbildern zumindest eine Kenngröße zu bestimmen, die für eine Streucharakteristik der Oberfläche repräsentativ ist.
  • Besonders vorteilhaft lässt sich die Aufgabe mit einem Computerprogramm mit Programmcode lösen, der auf einem Datenträger gespeichert ist und der dazu ausgebildet ist, ein solches Verfahren auszuführen, wenn der Programmcode auf einem Computer ausgeführt wird, insbesondere auf einer als Computer ausgebildeten Steuer- und Auswerteeinheit für eine Vorrichtung der zuvor genannten Art.
  • Das neue Verfahren und die neue Vorrichtung basieren auf der an sich bekannten Idee, die Oberfläche eines Gegenstandes mit Hilfe eines Streifenmusters zu untersuchen. Erstmals geht es jedoch darum, die Streucharakteristik der Oberfläche anhand verschiedener Streifenmuster zu vermessen. Infolge dieser Vermessung ermöglichen das neue Verfahren und die neue Vorrichtung eine automatisierte Aussage darüber, ob es sich um eine stark glänzende, spiegelnde Oberfläche, um eine matte, diffus streuende Oberfläche oder um eine Misch- oder Zwischenform zwischen diesen beiden Extremen handelt. Dabei wird in bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung nicht nur ein qualitativer Wert bestimmt, anhand dessen eine spiegelnde Oberfläche von einer nicht spiegelnden Oberfläche unterschieden werden kann. Bevorzugt ermöglichen das neue Verfahren und die neue Vorrichtung, die Lage, Breite und Richtung der so genannten Streukeule einzelner Oberflächenpunkte oder Oberflächenbereiche der zu inspizierenden Oberfläche zu bestimmen.
  • Bei einer stark glänzenden, spiegelnden Oberfläche reflektiert die Oberfläche auftreffendes Licht im Wesentlichen nach dem Gesetz Einfallswinkel = Ausfallswinkel. Ein auftreffender Lichtstrahl wird also in eine definierte Richtung bzw. in einen eng begrenzten Raumbereich reflektiert. Die Strahlungskeule ist dementsprechend schmal und in Ausfallsrichtung geneigt. Demgegenüber besitzt eine diffus reflektierende Oberfläche zumindest im Idealfall eine weitgehend kugelförmige Strahlungskeule (Lambert-Strahler). Eine solche Oberfläche erscheint gleich hell, egal von welcher Richtung man darauf schaut.
  • Wie sich gezeigt hat, kann man die Streucharakteristik einer Oberfläche als ein Tiefpassfilter interpretieren, über das eine Bildaufnahmeeinheit ein Streifenmuster mit einem räumlichen Intensitätsverlauf beobachtet. Besitzt das Streifenmuster eine sehr lange Periode (d. h. eine geringe Ortsfrequenz), lässt sich diese Periode in dem reflektierten Bild relativ gut auflösen, selbst wenn die Oberfläche diffus streut. Hohe Ortsfrequenzen eines Streifenmusters werden demgegenüber „ausgefiltert", d. h. die Bildaufnahmeeinheit sieht nur ein verwaschenes Graubild.
  • Das neue Verfahren und die neue Vorrichtung machen sich diese Eigenschaft zunutze, indem sie das Tiefpassverhalten der Oberfläche messtechnisch anhand von Streifenmustern mit verschiedenen Perioden (und damit verschiedenen Ortsfrequenzen) vermessen. In bevorzugten Ausführungsbeispielen wird der Frequenzgang des Tiefpassfilters anhand einer Vielzahl von Streifenmustern mit unterschiedlichen Perioden ausgemessen. In Abhängigkeit von den Messergebnissen lässt sich die Streucharakteristik in Form der Streukeule anhand des gemessenen Frequenzgangs bestimmen. Damit erhält man eine Kenngröße, die das Streuverhalten der Oberfläche sehr genau charakterisiert. In Abhängigkeit davon kann die Oberfläche klassifiziert werden, beispielsweise wenn ein bestimmter Glanzgrad ein Qualitätskriterium der zu inspizierenden Oberfläche darstellt. In anderen Ausführungsbeispielen kann die Kenngröße dazu dienen, ein optimales Streifenmuster und/oder Messverfahren für eine weitere automatisierte Inspektion der Oberfläche auszuwählen.
  • Das neue Verfahren und die neue Vorrichtung ermöglichen eine automatisierte Inspektion einer Oberfläche, ohne dass a priori bereits genau bekannt sein muss, ob es sich um eine stark glänzende, spiegelnde oder um eine matte, diffus streuende Oberfläche handelt. Darüber hinaus lassen sich mit dem neuen Verfahren und der neuen Vorrichtung Misch- und Zwischenformen zwischen diesen beiden Extrembeispielen messtechnisch bestimmen. Beispielsweise kann bestimmt werden, an welchen Stellen eine teilweise spiegelnde und teilweise diffus streuende Oberfläche spiegelt oder nicht spiegelt. Des Weiteren können lokale Glanzgrade der Oberfläche bestimmt werden.
  • Aufgrund dieser Eigenschaften eignen sich das neue Verfahren und die neue Vorrichtung zur automatisierten Inspektion einer Vielzahl von unterschiedlichen Oberflächen. Besonders vorteilhaft lassen sich das neue Verfahren und die neue Vorrichtung bei technischen Oberflächen, wie etwa feinbearbeiteten Metalloberflächen, verwenden. Darüber hinaus eignen sich das neue Verfahren und die neue Vorrichtung auch sehr gut zur Inspektion von Lackoberflächen bei Kraftfahrzeugen oder dergleichen. Die oben genannte Aufgabe ist daher vollständig gelöst.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung weisen der erste und der weitere Intensitätsverlauf eine sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernde Lichtintensität auf. Besonders bevorzugt wird ein sinusförmiger Intensitätsverlauf verwendet, wenngleich dies nicht die einzige Möglichkeit darstellt. Es könnte beispielsweise auch ein sagezahn- oder dreieckförmiger Intensitätsverlauf verwendet werden.
  • Im Gegensatz zu dieser bevorzugten Ausgestaltung verwenden manche Verfahren aus dem Stand der Technik binäre Streifenmuster, d. h. Streifenmuster mit gleichmäßig hellen und gleichmäßig dunklen Streifen. Der Intensitätsverlauf eines solchen Streifenmusters springt zwischen hell und dunkel. Prinzipiell erscheint es möglich, auch mit einem solchen Intensitätsverlauf die Streucharakteristik der Oberfläche zu vermessen. Vorzugsweise wird jedoch ein sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernder Intensitätsverlauf verwendet, weil ein solcher Intensitätsverlauf eine Phaseninformation beinhaltet, anhand der sich die Position des Intensitätsverlaufs relativ zu der Oberfläche exakter bestimmen lässt. Ein sinusförmiger Intensitätsverlauf ermöglicht daher eine sehr genaue Auswertung.
  • In einer weiteren Ausgestaltung werden für den ersten und für den weiteren Intensitätsverlauf jeweils zumindest drei Primärbilder aufgenommen, wobei die Oberfläche in jedem der zumindest drei Primärbilder eine andere Position relativ zu dem jeweiligen Intensitätsverlauf besitzt. Vorzugsweise werden jeweils vier Primärbilder aufgenommen, wobei der Intensitätsverlauf jeweils um 90° verschoben ist.
  • Diese Ausgestaltung ermöglicht eine sehr einfache und schnelle Auswertung der Primärbilder nach der so genannten 4-Bucket-Methode. Infolge dessen lassen sich auch die lokalen Oberflächenneigungen anhand der Primärbilder bestimmen, so dass zusätzlich zum Glanzgrad auch eine dimensionelle Eigenschaft der Oberfläche bestimmt wird. Diese Ausgestaltung ermöglicht daher eine sehr effiziente Inspektion einer Oberfläche.
  • In einer weiteren Ausgestaltung werden die zumindest drei Primärbilder mit gleicher Blickrichtung relativ zu den zu inspizierenden Oberflächenpunkten aufgenommen. Vorzugsweise werden die zumindest drei Primärbilder unter gleichen optischen Bedingungen aufgenommen, also auch mit gleicher Fokuseinstellung etc.
  • Diese Ausgestaltung vereinfacht das neue Verfahren und die neue Vorrichtung noch weiter. Die einzelnen Primärbilder lassen sich direkt miteinander vergleichen und rechnerisch miteinander verknüpfen, um den Frequenzgang und eventuell weitere Eigenschaften der Oberfläche zu bestimmen.
  • In einer weiteren Ausgestaltung besitzt die Oberfläche eine Vielzahl von Oberflächenpunkten, an denen durch die jeweils andere Position ein lokaler zeitlicher Intensitätsverlauf mit einem lokalen Amplitudenwert entsteht, wobei in Abhängigkeit von den lokalen Amplitudenwerten lokale Streucharakteristiken für die Vielzahl der Oberflächenpunkte bestimmt werden.
  • Diese Ausgestaltung besitzt den Vorteil, dass die Streucharakteristik der Oberfläche in Bezug auf die einzelnen Oberflächenpunkte bestimmt wird. Daher lassen sich glänzende und weniger glänzende Bereiche einer Oberfläche voneinander unterscheiden und automatisiert voneinander abgrenzen. Mit anderen Worten ermöglicht diese Ausgestaltung eine ortsaufgelöste, detaillierte „Glanzanalyse" einer Oberfläche. Es ist leicht nachvollziehbar, dass eine solche Information für eine automatisierte Inspektion einer Oberfläche von großem Vorteil ist.
  • In einer weiteren Ausgestaltung wird die Kenngröße in Abhängigkeit von den lokalen Streucharakteristiken bestimmt.
  • In dieser Ausgestaltung wird eine globale Kenngröße in Abhängigkeit von den lokalen Streucharakteristiken bestimmt. In einem sehr einfachen Ausführungsbeispiel repräsentiert die Kenngröße eine qualitative Aussage über den Glanzgrad der Oberfläche, wie etwa „hochglänzend" oder „matt". Eine solch globale Kenngröße ermöglicht eine einfache Klassifizierung und insbesondere eine weitere Inspektion der Oberfläche mit Hilfe von gezielt ausgewählten Verfahren aus dem Stand der Technik. Beispielsweise kann eine Oberfläche, die als matt bzw. diffus streuend klassifiziert wurde, mit einem bekannten Streifenprojektionsverfahren inspiziert werden, während eine als glänzend klassifizierte Oberfläche mit einem deflektometrischen Verfahren weiter inspiziert wird.
  • In einer weiteren Ausgestaltung werden anhand der Primärbilder außerdem lokale Oberflächenneigungen für die Vielzahl der Oberflächenpunkte bestimmt.
  • Diese Ausgestaltung nutzt die Informationen aus den einzelnen Primärbildern in einer sehr vorteilhaften und effizienten Weise. Die bereits vorhandenen Primärbilder eignen sich sehr gut, um Kratzer, Splitter, kleine Beulen oder andere dimensionelle und lokal begrenzte Oberflächendefekte zu erkennen.
  • In einer weiteren Ausgestaltung wird in Abhängigkeit von der Kenngröße ein definierter räumlicher Intensitätsverlauf bestimmt, um die lokalen Oberflächenneigungen zu bestimmen.
  • In dieser Ausgestaltung wird zunächst die Streucharakteristik der Oberfläche mit Hilfe von mehreren Intensitätsverläufen vermessen. Anschließend wird ein optimaler Intensitätsverlauf ausgewählt, um insbesondere die lokalen Oberflächenneigungen anhand eines deflektometrischen Verfahrens zu bestimmen. Die zuvor bestimmte Streucharakteristik ersetzt ein a priori-Wissen über die Glanzeigenschaften der Oberfläche. Der optimale Intensitätsverlauf ermöglicht eine besonders hohe Messgenauigkeit und Messgeschwindigkeit für die weiteren Untersuchungen der Oberfläche.
  • In einer weiteren Ausgestaltung werden die räumlichen Intensitätsverläufe räumlich stationär gehalten, wobei der Gegenstand mit der Oberfläche relativ zu den räumlichen Intensitätsverläufen verschoben wird, um die zumindest drei Primärbilder aufzunehmen.
  • Diese Ausgestaltung ermöglicht eine sehr schnelle und effiziente Inspektion von großen Oberflächen, wie etwa Lackoberflächen von Kraftfahrzeugen.
  • Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine vereinfachte Darstellung eines Ausführungsbeispiels der neuen Vorrichtung mit einem Inspektionstunnel zum Inspizieren von Lackoberflächen bei Kraftfahrzeugen,
  • 2 den Inspektionstunnel aus 1 mit einem weiteren Streifenmuster,
  • 3 den Inspektionstunnel aus 1 und 2 in einem Querschnitt von vorne,
  • 4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Verfahrens,
  • 5 ein vereinfachtes Flussdiagramm zur Erläuterung eines Ausführungsbeispiels des neuen Verfahrens, und
  • 6 verschiedene Streukeulen in Relation zu verschiedenen Streifenmustern.
  • In 1 und 2 ist ein Ausführungsbeispiel der neuen Vorrichtung in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet.
  • Die Vorrichtung 10 beinhaltet hier einen Tunnel 12 mit einem vorderen Ende und einem hinteren Ende. Der Tunnel 12 hat eine Längsachse 14, entlang der ein Auto 16 mit einer zu inspizierenden Lackoberfläche 17 in Richtung des Pfeils 18 bewegt wird. Das Auto 16 ist hier auf einem Transportwagen 20 angeordnet, der beispielsweise mit Hilfe eines elektrischen Antriebes (nicht dargestellt) durch den Tunnel 12 gezogen wird. Alternativ kann das Auto 16 auf einem Förderband angeordnet sein, oder das Auto 16 kann ohne Transportwagen 20 durch den Tunnel gezogen oder gefahren werden. In jedem Fall bildet der Tunnelboden, ggf. zusammen mit dem Transportwagen oder dem Förderband, eine Aufnahme für den zu inspizierenden Gegenstand.
  • Wie man in 3 erkennen kann, besitzt der Tunnel 12 hier einen weitgehend kreisförmigen Querschnitt, der einen Kreiswinkel von etwa 270° abdeckt. Prinzipiell sind auch andere Tunnelquerschnitte möglich, beispielsweise in Form eines Polygons oder ein rechteckiger Tunnelquerschnitt. Ein kreisförmiger Tunnelquerschnitt oder ein anderer knickfreier Tunnelquerschnitt ist aus heutiger Sicht bevorzugt, weil die nachfolgend erläuterten Muster dann weitgehend stetig und ohne Stoßstellen realisiert werden können, was die Inspektion der Lackoberfläche vereinfacht. Der Tunnel 12 kann auch mit Hilfe von Spiegeln (hier nicht dargestellt) realisiert sein, mit denen sich der Abdeckungsgrad auf einfache Weise erhöhen lässt. Das neue Verfahren und die neue Vorrichtung sind allerdings nicht auf die Verwendung eines Tunnels beschränkt. In einfachen Fällen können Streifenmuster der nachfolgend beschriebenen Art auch über einen flachen Schirm oder an einer einfachen Wand bereitgestellt werden.
  • Der Tunnel 12 besitzt eine Innenwand 24, an der hier zwei Streifenmuster 26, 28 angeordnet sind. Das Streifenmuster 26 besteht aus helleren Streifen 30 und dunkleren Streifen 31, die abwechselnd nebeneinander und parallel zueinander verlaufen. Das Streifenmuster 28 enthält hellere Streifen 32 und dunklere Streifen 33, die ebenfalls parallel zueinander und nebeneinander angeordnet sind. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die dunkleren Streifen 31, 33 spektral unterschiedlich ausgebildet, was in 1 anhand von unterschiedlichen „Punktdichten" dargestellt ist. Beispielsweise sind die dunkleren Streifen 31, 33 in verschiedenen Farben realisiert, vorzugsweise in Blau und in Rot. Dies wird vorteilhaft dazu verwendet, die unterschiedlichen Streifenmuster spektral zu unterscheiden.
  • In bevorzugten Ausführungsbeispielen verlaufen die Streifen spiralartig an der Innenwand 24 des Tunnel entlang. In einem Ausführungsbeispiel sind die Streifenmuster 26, 28 auf die Innenwand 24 des Tunnels 12 aufgemalt. In einem anderen Ausführungsbeispiel ist die Innenwand 24 des Tunnels 12 mit einer Folie beklebt, auf der die unterschiedlichen Streifen aufgedruckt sind. In einem weiteren Ausführungsbeispiel sind an der Innenwand 24 eine Vielzahl von Leuchtdioden hinter einem semitransparenten Schirm angeordnet. In einem weiteren Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine „Tapete" aus organischen Leuchtdioden. Vorteilhaft ist es, wenn die Leuchtdioden individuell steuerbar sind. In einem Ausführungsbeispiel sind die Leuchtdioden farblich umschaltbar. In einem weiteren Ausführungsbeispiel können die Streifenmuster auf die Innenwand des Tunnels 12 projiziert sein, und zwar entweder vom Innenraum 24 des Tunnels her oder durch eine Projektion von außen, wobei die Außenwand des Tunnels im zuletzt genannten Fall einen semitransparenten Schirm darstellt. In einem weiteren Ausführungsbeispiel sind die Tunnelwände aus einem teilweise transparenten Material, das mattierte Bereiche aufweist. Das transparente Material dient zur Lichtleitung über Totalreflexion. Die mattierten Bereiche leuchten in diesem Fall.
  • Jedes Muster 26, 28 bildet einen räumlichen Intensitätsverlauf 34, der im dargestellten Ausführungsbeispiel sinusförmig ist. Prinzipiell sind jedoch auch andere Helligkeitsverläufe möglich, wie z. B. Sägezahn- oder Dreiecksverlauf. Gemeinsam ist allen Intensitätsverläufen, dass sie eine Amplitude 35 und eine Periode 36 besitzen.
  • Mit den Bezugsziffern 38 und 40 sind zwei Kameraköpfe bezeichnet, wobei der Kamerakopf 38 am vorderen Ende des Tunnels 12 angeordnet ist, während der Kamerakopf 40 am hinteren Ende angeordnet ist. Jeder Kamerakopf 38, 40 besitzt hier vier Bildaufnahmeeinheiten 42, 44, 46, 48, die mit einem definierten Abstand zueinander gestaffelt sind (siehe 4 und nachfolgende Erläuterungen). Die Blickrichtungen 50 der Bildaufnahmeeinheiten 42, 44, 46, 48 verlaufen parallel zueinander, wie dies in 1 und 2 schematisch dargestellt ist. In einem Ausführungsbeispiel besitzt jeder Kamerakopf 38, 40 ein variables Farbfilter 51, mit dessen Hilfe wahlweise das eine oder das andere Streifenmuster 26, 28 für die Bildaufnahme selektiert werden kann.
  • Wie in 3 zu erkennen ist, besitzt die Vorrichtung 10 hier jeweils drei Kameraköpfe 38a, 38b, 38c am vorderen Ende des Tunnels sowie drei entsprechende Kameraköpfe 40a, 40b, 40c am hinteren Ende (nicht dargestellt). Die drei Kameraköpfe 38a, 38b, 38c sind entlang der Querschnittsfläche des Tunnels 12 so verteilt, dass sie das Auto 16 vollständig aufnehmen können. Jede Bildaufnahmeeinheit 42, 44, 46, 48 ist hier als Zeilenkamera realisiert, d. h. die Bildaufnahmeeinheiten, 42, 44, 46, 48 besitzen jeweils einen Bildsensor mit einer linienförmigen Anordnung von Bildpunkten. Innerhalb jedes Kamerakopfes 38 sind die Zeilensensoren so hintereinander gestaffelt, dass sich die in 1 dargestellten Blickrichtungen 50 mit den definierten Abständen sowie die in 3 schematisch dargestellten Sehfächer 54 ergeben. Zur Erhöhung der Lichtstärke werden bevorzugt so genannte TDI-Zeilensensoren eingesetzt.
  • Alternativ können die Bildaufnahmeeinheiten 42 bis 48 aber auch als Flächenkameras realisiert sein. In einem Ausführungsbeispiel ist jede Bildaufnahmeeinheit 42 bis 48 eine Flächenkamera mit einer matrixartigen Anordnung von Bildpunkten (nicht dargestellt), wobei von dieser matrixartigen Anordnung jeweils nur einzelne Zeilen oder Spalten ausgelesen werden, so dass die matrixartige Anordnung mit einer gestaffelten Anordnung von Zeilensensoren vergleichbar ist. In einem anderen Ausführungsbeispiel werden die matrixartigen Anordnungen der Bildpunkte flächig ausgelesen, um auf diese Weise einen größeren Ausschnitt auf der Oberfläche 17 des Autos 16 zu erfassen. Vorzugsweise werden Abweichungen der Vorschubbewegung von der idealen Vorschubbewegung anhand der Kamerabilder rechnerisch kompensiert. Zu diesem Zweck ist es vorteilhaft, wenn an dem Transportwagen 20 Markierungen (hier nicht dargestellt) angeordnet sind, mit deren Hilfe Abweichungen von der idealen Vorschubbewegung detektiert werden können.
  • In einem weiteren, hier nicht dargestellten Ausführungsbeispiel sind mehrere Bildaufnahmeeinheiten an Haltern angeordnet, die fest mit dem Transportwagen 20 gekoppelt sind. In diesem Fall werden die Bildaufnahmeeinheiten zusammen mit dem Auto 16 relativ zu dem Muster 26, 28 bewegt.
  • Mit der Bezugsziffer 60 ist eine Auswerte- und Steuereinheit bezeichnet, die einerseits dazu ausgebildet ist, die Vorschubbewegung 18 des Autos 16 und die Bildaufnahme zu steuern. In bevorzugten Ausführungsbeispielen wird das Auto 16 kontinuierlich durch den Tunnel 12 bewegt. In anderen Ausführungsbeispielen erfolgt der Vorschub schrittweise, wobei nach jeweils einem Vorschubschritt eine Bildaufnahme mit den Bildaufnahmeeinheiten 42 bis 48 erfolgt.
  • 4 zeigt die Oberfläche 17 an insgesamt vier verschiedenen Positionen P0, P1, P2, P3. Außerdem sind die vier Bildaufnahmeeinheiten 42 bis 48 eines der Kameraköpfe 38, 40 dargestellt. Mit der Bezugsziffer 62 ist der relative Abstand von einer Bildaufnahmeeinheit 42 zur nächsten Bildaufnahmeeinheit 44 bezeichnet, wobei der Abstand parallel zur Vorschubrichtung 18 der Oberfläche 17 bemessen ist. Mit der Bezugsziffer 64 sind die Distanzen bezeichnet, über die die Oberfläche 17 von einer Position Po zur nächsten Position P1 usw. verschoben wird. Mit der Bezugsziffer 66 ist ein Musterbild bezeichnet, d. h. ein Abbild des Streifenmusters 26 oder 28, das von der Oberfläche 17 reflektiert wird oder anderweitig auf der Oberfläche 17 detektiert werden kann. Bezugsziffer 66' zeigt das Musterbild 66 auf der Oberfläche 17' nach einem Vorschub um die Distanz 64.
  • Wie in 4 zu erkennen ist, wird ein Oberflächenpunkt 68 mit der Bildaufnahmeeinheit 42 an der Position Po der Oberfläche 17 aufgenommen. Es sei angenommen, dass zum Zeitpunkt der Bildaufnahme ein dunkler Streifenbereich auf den Oberflächenpunkt 68 fällt, was in 3 anhand der Blickrichtung der Bildaufnahmeeinheit 42 in Bezug auf das Musterbild 66 dargestellt ist.
  • Aufgrund der gewählten Abstände 62 und Distanzen 64 wird derselbe Oberflächenpunkt 68 unter gleichen optischen Bedingungen wie zuvor mit der Bildaufnahmeeinheit 44 aufgenommen. Allerdings fällt zu diesem Zeitpunkt ein anderer Teil des räumlich stationären Musters 26 auf den Oberflächenpunkt 68, was bei der Bezugsziffer 66' dargestellt ist. Ursache für die Veränderung des Musterbildes ist die relative Bewegung der Oberfläche 17 in Bezug auf das Muster 26.
  • Wie anhand der Darstellung in 4 nachzuvollziehen ist, wird derselbe Oberflächenpunkt 68 anschließend auch mit den weiteren Bildaufnahmeeinheiten 46, 48 aufgenommen. Durch die räumliche Verschiebung des Autos 16 relativ zu dem Muster 26, 28 entsteht an jedem Oberflächenpunkt ein zeitlicher Intensitätsverlauf 70, der die relative Position des Oberflächenpunktes 68 in Bezug auf den räumlichen Intensitätsverlauf 34 widerspiegelt. Mit den vier Bildaufnahmeeinheiten 42, 44, 46, 48 erhält man zu jedem Oberflächenpunkt 68 vier Primärbilder, die Momentanbilder des zeitlichen Intensitätsverlaufs 70 darstellen.
  • Wie man anhand der 1 und 2 erkennen kann, besitzt die neue Vorrichtung 10 die Möglichkeit, verschiedene Muster 26, 28 mit verschiedenen räumlichen Perioden 36a, 36b und dementsprechend verschiedenen Ortsfrequenzen zu erzeugen. In einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel, in dem die Muster 26, 28 mit Hilfe von (organischen) Leuchtdioden erzeugt werden, werden diese Leuchtdioden entsprechend unterschiedlich angesteuert. Es ist jedoch auch denkbar, dass der Tunnel 12 so lang ist, dass die Muster mit den verschiedenen Perioden 36a, 36b entlang der Vorschubrichtung 18 hintereinander angeordnet sind. In einem weiteren Ausführungsbeispiel, das hier in den Figuren nicht dargestellt ist, sind die Intensitätsverläufe 34a, 34b mit den verschiedenen Perioden 36a, 36b übereinander und/oder ineinander verschachtelt angeordnet, wobei die verschiedenen Intensitätsverläufe 34a, 34b dann vorteilhafterweise in unterschiedlichen Farben realisiert sind. Ein solches Ausführungsbeispiel ermöglicht es, die Primärbilder mit mehreren Mustern aufzunehmen.
  • Die verschiedenen Intensitätsverläufe 34a, 34b werden nach dem neuen Verfahren vorteilhaft dazu verwendet, um die Streucharakteristik der Oberfläche 17 des Autos 16 zu vermessen. Ein Ausführungsbeispiel des neuen Verfahrens wird nachfolgend anhand 5 erläutert.
  • Im Schritt 72 wird zunächst die Anfangsposition x der Oberfläche entlang der Vorschubrichtung 18 bestimmt. Dies kann in bekannter Weise mit Hilfe von Positionsgebern erfolgen, die entlang der Tunnelachse 15 angeordnet sind. Anschließend wird im Schritt 74 eine Zählvariable n auf Null gesetzt. Im nächsten Schritt 76 wird die Zählvariable um 1 inkrementiert. Gemäß Schritt 78 wird ein erster Intensitätsverlauf 34a mit einer ersten räumlichen Periode 36a an der Innenwand 24 des Tunnels erzeugt. Anschließend werden gemäß Schritt 80 Primärbilder #1a.n/#2a.n/#3a.n/#4a.n mit den vier Bildaufnahmeeinheiten 42 bis 48 aufgenommen. Bild #1a.n bezeichnet hier ein Primärbild, das mit der ersten Bildaufnahmeeinheit 42 im Iterationsschritt n aufgenommen wurde, wobei der erste Intensitätsverlauf 34a mit der ersten Periode 36a auf die zu inspizierende Oberfläche 17 fällt. Bild #2a.n bezeichnet dementsprechend ein Primärbild, das im Iterationsschritt n mit der zweiten Bildaufnahmeeinheit 44 aufgenommen wurde etc.
  • Gemäß Schritt 82 wird anschließend ein weiterer Intensitätsverlauf 34b mit einer weiteren Periode 36b an den Innenwänden des Tunnels erzeugt. Gemäß Schritt 84 wird eine weitere Bilderserie #1b.n/#2b.n/#3b.n/#4b.n aufgenommen. Entsprechend der Schleife 86 können weitere Bilderserien mit weiteren Intensitätsverläufen aufgenommen werden. In bevorzugten Ausführungsbeispielen werden zumindest vier Bilderserien mit jeweils unterschiedlichen Intensitätsverläufen aufgenommen. Je mehr Intensitätsverläufe mit verschiedene Perioden/Ortsfrequenzen aufgenommen werden, desto genauer lässt sich das Tiefpassverhalten der Oberfläche 17 bestimmen.
  • Gemäß Schritt 88 wird das Auto 16 mit der Oberfläche 17 anschließend um die Distanz 64 vorgeschoben (Position P1 in 4). Anschließend erfolgt im Schritt 90 eine Abfrage, ob genügend Iterationsschritte durchgeführt wurden, so dass vorteilhaft zumindest vier Primärbilder für jeden zu inspizierenden Oberflächenpunkt 68 zur Verfügung stehen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel wird geprüft, ob der Iterationszähler n = 4 s ist, wobei s im einfachsten Fall = 1 ist. Wenn die Überprüfung im Schritt 90 ergibt, dass noch nicht genügend Iterationsschritte durchlaufen wurden, kehrt das Verfahren gemäß Schleife 92 zum Schritt 76 zurück, und es werden weitere Bilderserien mit den vier Bildaufnahmeeinheiten aufgenommen.
  • Nachdem die benötigte Anzahl der Schleifendurchläufe 90 erreicht ist, stehen genügend Bilder zur Auswertung zur Verfügung. Gemäß Schritt 94 werden zunächst die lokalen Amplituden a(x, y) des zeitlichen Intensitätsverlaufs bestimmt, der sich aufgrund der Verschiebung des ersten Intensitätsverlaufs 34a relativ zu der Oberfläche 17 an den Oberflächenpunkten 68 ergibt. Für den hier bevorzugten Fall, bei dem ein sinusförmiger Intensitätsverlauf 34a verwendet wird und bei dem vier Primärbilder im Abstand von jeweils 90° aufgenommen werden, lassen sich die lokalen Amplituden a(x, y) nach folgender Formel berechnen:
    Figure 00190001
  • Dabei bezeichnen I1, I2, I3 und I4 die lokalen Intensitätswerte, die sich an den einzelnen Oberflächenpunkten 68 mit den Koordinaten x, y in den vier Primärbildern der Bilderserie ergeben.
  • Gemäß Schritt 96 werden anschließend die lokalen Amplituden b(x, y) des zeitlichen Intensitätsverlaufs bestimmt, der sich bei Verwendung des oder der weiteren räumlichen Intensitätsverläufe 34b ergibt.
  • Gemäß Schritt 98 werden anhand der verschiedenen lokalen Amplituden a, b lokale Ortsfrequenzgänge F(x, y) bestimmt. Mit anderen Worten wird eine Charakteristik bestimmt, die für jeden zu inspizierenden Oberflächenpunkt die lokale Amplitude in Abhängigkeit von der räumlichen Periode des jeweils verwendeten Intensitätsverlaufs angibt. Gemäß Schritt 100 wird anschließend eine Fourier-Transformation der lokalen Frequenzgänge F(x, y) durchgeführt. Mit Hilfe der Fourier-Transformation erhält man die lokalen Streucharakteristiken der Oberfläche an den einzelnen Oberflächenpunkten x, y.
  • Im Schritt 102 wird dann eine Kenngröße bestimmt, die für eine globale Streucharakteristik der Oberfläche repräsentativ ist. Die Kenngröße kann beispielsweise ein Mittelwert aus den lokalen Streucharakteristiken sein. In anderen Ausführungsbeispielen ist die Kenngröße eine ortsabhängige, d. h. von den Oberflächenpunkten der Oberfläche abhängige Funktion, die die lokalen Streucharakteristiken angibt.
  • Gemäß Schritt 104 wird anschließend ein optimaler Intensitätsverlauf 34 ausgewählt. „Optimal" bedeutet beispielsweise, dass ein Intensitätsverlauf mit der kleinstmöglichen Periode ausgewählt wird (maximal Ortsfrequenz), bei dem die einzelnen Perioden in den aufgenommenen Primärbildern noch voneinander unterschieden werden können. Mit anderen Worten wird ein Intensitätsverlauf mit der maximal möglichen Ortsfrequenz ausgewählt, bei der die diffuse Streuung noch unterdrückt ist.
  • Gemäß Schritt 106 werden anschließend weitere lokale Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Dies beinhaltet insbesondere die lokalen Phasenlagen φ(x, y) der zeitlichen Intensitätsverläufe relativ zu der Phasenlage des ausgewählten, optimalen Intensitätsverlaufs 34. Die lokalen Phasenlagen φ(x, y) sind für die lokalen Neigungen der Oberflächenpunkte repräsentativ. Sie lassen sich nach folgender Formel bestimmen: φ(x, y) = atan2[–(I2 – I4), (I1 – I3)]mit
    arctan x / y für x > 0
    arctan y / x + π für x < 0, y ≥ 0
    arctan y / x – π für x < 0, y < 0
    atan2(y, x): =
    +π/2 für x = 0, y > 0
    –π/2 für x = 0, y < 0
    0 für x = 0, y = 0.
  • Des Weiteren wird in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ein lokaler Mittelwert Iavg(x, y) der Intensitätswerte bestimmt. Die entsprechende Formel dazu lautet: Iavg(x, y) = ¼(I1 + I2 + I3 + I4).
  • Dieser lokale Mittelwert ist für den Grauwert der Oberfläche an den einzelnen Oberflächenpunkten und damit für die lokale Reflektanz repräsentativ.
  • 6 verdeutlicht das Konzept des neuen Verfahrens und der neuen Vorrichtung. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen dieselben Elemente wie zuvor.
  • In 6 sind verschiedene Intensitätsverläufe 34a, 34b, 34c, 34d mit verschiedenen Perioden/Ortsfrequenzen symbolisch dargestellt. Die mehreren Intensitätsverläufe können farblich kodiert sein, so dass sie voneinander unterschieden werden können. Alternativ hierzu werden die verschiedenen Intensitätsverläufe zeitlich nacheinander über der Oberfläche 17 erzeugt.
  • Bei der Bezugsziffer 68 ist ein Oberflächenpunkt der Oberfläche 17 mit zwei verschiedenen Strahlungskeulen 110, 112 dargestellt. Die Strahlungskeule 110 zeigt die Streucharakteristik des Oberflächenpunktes 68, wenn der Oberflächenpunkt 68 ein diffus streuender Punkt (Lambert-Strahler) ist. Die Strahlungskeule 112 zeigt demgegenüber den Fall, dass der Oberflächenpunkt 68 stark spiegelt. Mit der Bezugsziffer 114 ist symbolisch der Winkelbereich dargestellt, aus dem Lichtstrahlen, die auf den Oberflächenpunkt 68 fallen, zu der Bildaufnahmeeinheit 38 reflektiert werden. Bei der Bezugsziffer 116 ist der entsprechende Winkelbereich für die schmale Strahlungskeule 112 dargestellt. Wie man anhand der Blickwinkel 114, 116 erkennen kann, reflektiert ein Oberflächenpunkt 68 mit einem Lambertschen Verhalten Licht aus einem wesentlich größeren Winkelbereich zu der Bildaufnahmeeinheit 38 als ein Oberflächenpunkt mit einer schmalen Strahlungskeule 112. Daher kann ein Intensitätsverlauf 34b, 34c, 34d mit höheren Ortsfrequenzen bei einer Betrachtung über den diffus streuenden Oberflächenpunkt 68 nicht mehr in helle und dunkle Bereiche aufgelöst werden. Mit anderen Worten sieht die Bildaufnahmeeinheit 38 nur ein verwaschenes Graubild von den Intensitätsverläufen mit höheren Ortsfrequenzen. Demgegenüber können die hellen und dunklen Streifen voneinander unterschieden werden, wenn die Intensitätsverläufe 34a bis 34d über einen spiegelnden Oberflächenpunkt 68 mit einer schmalen Strahlungskeule 112 betrachtet werden. Der Frequenzgang der spiegelnden Oberfläche besitzt eine wesentlich höhere Durchlassfrequenz als der Frequenzgang der diffus streuenden Oberfläche. Indem man nun die Oberfläche mit mehreren Intensitätsverläufen verschiedener Perioden/Ortsfrequenzen untersucht, lässt sich die Strahlungskeule 110, 112 messtechnisch bestimmen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 19821059 A1 [0003, 0008]
    • - US 6239436 B1 [0009]
    • - DE 10345586 A1 [0010, 0010]
    • - DE 19944354 B4 [0011]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - Markus Knauer, „Vermessung spiegelnder Oberflächen – Eine Aufgabe der optischen 3D-Sensorik", erschienen in der DE-Zeitschrift Photonik, Ausgabe 4/2004, Seiten 62–64 [0007]
    • - Sören Kammel, „Deflektometrie zur Qualitätsprüfung spiegelnd reflektierender Oberflächen", erschienen in der DE-Zeitschrift tm – Technisches Messen, Ausgabe 4/2003, Seiten 193–198 [0007]
    • - Pérard und Beyerer mit dem Titel „Three-dimensional measurement of specular free-form surfaces with a structured-lighting reflection technique", erschienen in SPIE, Band 3204, Seiten 74–80 [0012]

Claims (11)

  1. Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16), mit den Schritten: – Bereitstellen eines Musters (26, 28), das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) mit einer ersten räumlichen Periode (36a) bildet, – Positionieren des Gegenstandes (16) mit der Oberfläche (17) relativ zu dem Muster (26, 28) derart, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf (34a) auf die Oberfläche (17) fällt, – Aufnehmen (80) einer Anzahl von ersten Primärbildern (66, 66'), die die Oberfläche (17) mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) zeigen, und – Bestimmen (94102) von Eigenschaften der Oberfläche (17) in Abhängigkeit von den Primärbildern (66, 66'), dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein weiterer räumlicher Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) mit zumindest einer weiteren räumlichen Periode (36b) bereitgestellt wird, wobei die erste und die weitere räumliche Periode (36a, 36b) verschieden voneinander sind, wobei eine Anzahl von weiteren Primärbildern (66, 66') aufgenommen wird, die die Oberfläche (17) mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) zeigen, und wobei in Abhängigkeit von den ersten und weiteren Primärbildern (66, 66') zumindest eine Kenngröße bestimmt (102) wird, die für eine Streucharakteristik (110, 112) der Oberfläche (17) repräsentativ ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der weitere Intensitätsverlauf (34a34d) eine sich räumlich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernde Lichtintensität aufweisen.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass für den ersten und für den weiteren Intensitätsverlauf (34a34d) jeweils zumindest drei Primärbilder (66, 66') aufgenommen werden, wobei die Oberfläche (17) in jedem der zumindest drei Primärbilder (66, 66') eine andere Position relativ zu dem jeweiligen Intensitätsverlauf (34a34d) besitzt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest drei Primärbilder (66, 66') mit gleicher Blickrichtung (50) relativ zu der zu inspizierenden Oberfläche (17) aufgenommen werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (17) eine Vielzahl von Oberflächenpunkten (68) besitzt, an denen durch die jeweils andere Position ein lokaler zeitlicher Intensitätsverlauf (70) mit einem lokalen Amplitudenwert entsteht, wobei in Abhängigkeit von den lokalen Amplitudenwerten lokale Streucharakteristiken (110, 112) für die Vielzahl der Oberflächenpunkte (68) bestimmt (94100) werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kenngröße in Abhängigkeit von den lokalen Streucharakteristiken (110, 112) bestimmt (102) wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass anhand der Primärbilder (66) außerdem lokale Oberflächenneigungen für die Vielzahl der Oberflächenpunkte bestimmt (106) werden.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass in Abhängigkeit von der Kenngröße ein definierter räumlicher Intensitätsverlauf (34) bestimmt (104) wird, um die lokalen Oberflächenneigungen zu bestimmen.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die räumlichen Intensitätsverläufe (34) räumlich stationär gehalten werden, wobei der Gegenstand (16) mit der Oberfläche (17) relativ zu den räumlichen Intensitätsverläufen (34) verschoben wird, um die zumindest drei Primärbilder (66) aufzunehmen.
  10. Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16), mit – einem Muster (26, 28), das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) mit einer ersten räumlichen Periode (36a) bildet, – einer Aufnahme (20) zum Positionieren des Gegenstandes (16) mit der Oberfläche (17) relativ zu dem Muster (26, 28) derart, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf (34a) auf die Oberfläche (17) fällt, – zumindest einer Bildaufnahmeeinheit (38, 40) zum Aufnehmen einer Anzahl von ersten Primärbildern (66, 66'), die die Oberfläche (17) mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) zeigen, und – einer Auswerteeinheit (60) zum Bestimmen von Eigenschaften der Oberfläche (17) in Abhängigkeit von den Primärbildern (66, 66'), gekennzeichnet durch zumindest einen weiteren räumlichen Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) mit einer weiteren räumlichen Periode (36b), wobei die erste und die weitere räumliche Periode (36a, 36b) verschieden voneinander sind, und eine Steuereinheit (60), die dazu ausgebildet ist, mit Hilfe der zu mindest einen Bildaufnahmeeinheit (38, 40) eine Anzahl von weitere Primärbildern (66, 66') aufzunehmen, wobei die weiteren Primärbilder (66, 66') die Oberfläche (17) mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) zeigen, und wobei die Auswerteeinheit (60) dazu ausgebildet ist, in Abhängigkeit von den ersten und weiteren Primärbildern (66) zumindest eine Kenngröße zu bestimmen (94102), die für eine Streucharakteristik (110, 112) der Oberfläche (17) repräsentativ ist.
  11. Computerprogramm mit Programmcode, der auf einem Datenträger gespeichert ist und der dazu ausgebildet ist, ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 auszuführen, wenn der Programmcode auf einem Computer ausgeführt wird.
DE200710063529 2007-12-27 2007-12-27 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand Ceased DE102007063529A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710063529 DE102007063529A1 (de) 2007-12-27 2007-12-27 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
PCT/EP2008/011127 WO2009083251A1 (de) 2007-12-27 2008-12-29 Verfahren und vorrichtung zum optischen inspizieren einer oberfläche an einem gegenstand

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710063529 DE102007063529A1 (de) 2007-12-27 2007-12-27 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007063529A1 true DE102007063529A1 (de) 2009-07-23

Family

ID=40525221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200710063529 Ceased DE102007063529A1 (de) 2007-12-27 2007-12-27 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007063529A1 (de)
WO (1) WO2009083251A1 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008064562A1 (de) * 2008-12-29 2010-07-08 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden Oberfläche an einem Gegenstand
DE102009002569A1 (de) * 2009-04-22 2010-10-28 Manroland Ag Verfahren zur Bestimmung der Qualität eines Druckprodukts
DE102009038965A1 (de) * 2009-08-20 2011-03-03 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102010007396A1 (de) 2010-02-03 2011-08-04 Carl Zeiss OIM GmbH, 73117 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren eines Prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche
DE102010001715A1 (de) * 2010-02-09 2011-08-11 Robert Bosch GmbH, 70469 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
FR2975776A1 (fr) * 2011-05-24 2012-11-30 Visuol Technologies Installation pour le controle de la qualite d'une surface d'un objet
GB2582397A (en) * 2019-10-04 2020-09-23 Degould Ltd Vehicle imaging station

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11560730B2 (en) 2017-01-04 2023-01-24 Thomas Williams System and method for finding dents on an automobile using a booth
US11021885B2 (en) 2017-01-04 2021-06-01 Thomas Williams System and method for finding dents on an automobile using a booth

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19821059A1 (de) 1998-05-11 1999-12-02 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten
US6239436B1 (en) 1996-04-22 2001-05-29 Perceptron, Inc. Method and system for inspecting a low gloss surface of an object at a vision station
DE10345586A1 (de) 2003-09-29 2005-05-12 Bias Bremer Inst Fuer Angewand Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Struktur einer Oberfläche
DE19944354B4 (de) 1999-09-16 2005-11-24 Häusler, Gerd, Prof. Dr. Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von spiegelnden oder transparenten Prüflingen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2976869B2 (ja) * 1995-12-28 1999-11-10 日産自動車株式会社 表面欠陥検査装置
JP3271549B2 (ja) * 1997-05-20 2002-04-02 日産自動車株式会社 表面検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6239436B1 (en) 1996-04-22 2001-05-29 Perceptron, Inc. Method and system for inspecting a low gloss surface of an object at a vision station
DE19821059A1 (de) 1998-05-11 1999-12-02 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten
DE19944354B4 (de) 1999-09-16 2005-11-24 Häusler, Gerd, Prof. Dr. Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von spiegelnden oder transparenten Prüflingen
DE10345586A1 (de) 2003-09-29 2005-05-12 Bias Bremer Inst Fuer Angewand Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Struktur einer Oberfläche

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Markus Knauer, "Vermessung spiegelnder Oberflächen - Eine Aufgabe der optischen 3D-Sensorik", erschienen in der DE-Zeitschrift Photonik, Ausgabe 4/2004, Seiten 62-64
Pérard und Beyerer mit dem Titel "Three-dimensional measurement of specular free-form surfaces with a structured-lighting reflection technique", erschienen in SPIE, Band 3204, Seiten 74-80
Sören Kammel, "Deflektometrie zur Qualitätsprüfung spiegelnd reflektierender Oberflächen", erschienen in der DE-Zeitschrift tm - Technisches Messen, Ausgabe 4/2003, Seiten 193-198

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008064562A1 (de) * 2008-12-29 2010-07-08 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden Oberfläche an einem Gegenstand
DE102009002569A1 (de) * 2009-04-22 2010-10-28 Manroland Ag Verfahren zur Bestimmung der Qualität eines Druckprodukts
DE102009038965A1 (de) * 2009-08-20 2011-03-03 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102009038965A8 (de) * 2009-08-20 2011-06-01 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
WO2011095322A1 (de) 2010-02-03 2011-08-11 Carl Zeiss Oim Gmbh Verfahren und vorrichtung zum optischen inspizieren eines prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden oberfläche
DE102010007396A1 (de) 2010-02-03 2011-08-04 Carl Zeiss OIM GmbH, 73117 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren eines Prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche
DE102010007396B4 (de) * 2010-02-03 2013-10-02 Carl Zeiss Oim Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren eines Prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche
US8823869B2 (en) 2010-02-03 2014-09-02 Carl Zeiss Oim Gmbh Method and apparatus for optically inspecting a test specimen having an at least partly reflective surface
DE102010001715A1 (de) * 2010-02-09 2011-08-11 Robert Bosch GmbH, 70469 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
DE102010001715B4 (de) 2010-02-09 2023-08-24 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
FR2975776A1 (fr) * 2011-05-24 2012-11-30 Visuol Technologies Installation pour le controle de la qualite d'une surface d'un objet
GB2582397A (en) * 2019-10-04 2020-09-23 Degould Ltd Vehicle imaging station
GB2582397B (en) * 2019-10-04 2022-05-18 Degould Ltd Vehicle imaging station

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009083251A1 (de) 2009-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102007034689B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102007063529A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102017210558B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Karosserieschäden
DE3587482T2 (de) Fehlerinspektion fuer plattenoberflaechen.
EP3017273B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen formerfassung und/oder prüfung eines gegenstandes
EP2105701B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der 3D-Koordinaten eines Objekts
EP1567827B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen formvermessung und/oder beurteilung
DE102010007396B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren eines Prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche
DE102009058215B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung eines Lagerbauteils
DE102013216566A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erfassung einer zumindest teilweise spiegelnden oberfläche
DE102013212827B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Formerfassung und/oder Prüfen eines Gegenstandes
EP2287593B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102007063530A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
DE102010001715B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
EP2669622A1 (de) Prüfverfahren und hierzu geeigneter Prüfkopf
DE10258130A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Formerfassung von Gegenständen und Oberflächen
DE102020109945A1 (de) Verfahren und Inspektionseinrichtung zur optischen Inspektion einer Oberfläche
DE102006061712A1 (de) Erstellung eines Abstandsbildes
DE3919893A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung von gestaltsabweichungen an oberflaechen
DE102022116099B3 (de) Oberflächeninspektionssystem und Verfahren zur Erfassung von Oberflächendefekten
DE10156431B4 (de) Verfahren zur Lagebestimmung von Meßpunkten auf einem Objekt
DE102018101995B3 (de) 6Vorrichtung zur Messung nach dem Lichtschnitt-Triangulationsverfahren
DE102022115880A1 (de) Deflektometrie-Sensorsystem zur Vermessung und Erfassung von Oberflächendefekten spiegelnder Flächen
DE102010060852B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Oberflächenstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks
DE20101052U1 (de) Vorrichtung zur Erfassung von Grenzflächenstrukturen

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8181 Inventor (new situation)

Inventor name: BECK, ROLF, 73728 ESSLINGEN, DE

Inventor name: KIMMIG, WOLFGANG, DR., 73430 AALEN, DE

Inventor name: KNUPFER, KLAUS, DR., 73457 ESSINGEN, DE

Inventor name: SPRUCK, BERND, 73563 MOEGGLINGEN, DE

R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final

Effective date: 20120221