JP3206430B2

JP3206430B2 - 表面欠陥検査装置

Info

Publication number: JP3206430B2
Application number: JP13908696A
Authority: JP
Inventors: 田清吉; 西正則今; 木裕鈴
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 2001-09-10
Anticipated expiration: 2016-05-31
Also published as: JPH09318338A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、自動車の
ボディの塗装面における凹凸等の表面欠陥を検出するの
に用いる表面欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の表面欠陥検査装置としては、例え
ば、特開昭６４−３８６３８号公報などに記載されたも
のがある。

【０００３】同公報に記載された装置では、被検査体の
被検査面上に光の帯を形成し、この光の帯をカメラによ
り撮像すると共に、この光の帯を移動させてその反射像
を連続且つ段階的に記録し、最終的にこれらの部分的な
像の記録を全体像に編集して、被検査面上の欠陥および
この欠陥の座標情報を出力するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の表面欠陥検査装置にあっては、例えば、
自動車のボディのように複雑な曲面を有する被検査体を
対象とした場合、曲面部分では光の帯の反射方向が曲率
に応じて変化するため、その反射像を常にカメラのイメ
ージセンタに映し出すための制御が必要になり、さら
に、自動車のボディの曲面は部位や車種毎に異なるた
め、制御がより複雑になるという問題があり、このよう
な問題を解決することが課題であった。

【０００５】また、欠陥の検出は、光の帯の反射像にお
いて暗部または光の帯における像の輪郭変化として現れ
ることを利用するものであるが、それを自動的にかつ安
定的に検出する方法や装置については何んら考慮がなさ
れていないという問題があり、このような問題を解決す
ることが課題であった。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、上記従来の課題に着目して成
されたもので、被検査面が複雑な曲面であっても、簡単
な制御で表面欠陥を自動的に且つ精度良く高速に処理し
て検出することができ、同時に、本物欠陥（要修正欠
陥）であるか偽物欠陥（無修正欠陥）であるかを正確に
判定することが可能であって検出信頼性（精度）の大幅
な向上と検出作業時間の大幅な短縮化を図ることが可能
である表面欠陥検査装置を提供することを目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる表面欠陥
検査装置は、請求項１に記載しているように、被検査体
の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づ
いて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査
面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検
査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗
パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形
状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像
を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固
定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて
被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処
理手段と、検査処理手段により得られた欠陥検出結果か
ら要修正欠陥である本物欠陥であるか穴，ほこり等の無
修正欠陥である偽物欠陥であるかを判定する欠陥判定手
段を備え、照明手段は、白色の背景板に、ほぼ等間隔に
配置された複数の光源を備えると共に、光源の被検査面
側に、光透過部と艶消し黒色部を交互に配置した光拡散
シートを備え、光源からの光を光拡散シートの光透過部
に通すことにより被検査面上に明暗パターンを形成する
手段であり、照明手段の光拡散シートは、被検査体を囲
む門型形状を成す艶消し黒色のシートガイドに張ってあ
り、シートガイドは、光源および背景板から移動可能で
あり、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被
検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を行う構成とし
たことを特徴としており、このような構成を上記課題を
解決するための手段としている。

【０００８】本発明に係わる表面欠陥検査装置の実施態
様においては、請求項２に記載しているように、照明手
段の門型形状は、被検査体の移動方向の正面輪郭にほぼ
適合した形状である構成のものとすることができる。

【０００９】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項３に記載しているよう
に、撮像装置固定手段の門型形状は、被検査体の移動方
向の正面輪郭にほぼ適合した形状である構成のものとす
ることができ、請求項４に記載しているように、撮像装
置はＣＣＤカメラであって、各ＣＣＤカメラによる全体
の視野が被検査体の移動方向の正面輪郭に沿った連続し
た帯状を成すと共に、隣接するＣＣＤカメラ同士の視野
が所定の領域でオーバーラップしており、且つ被検査体
の移動方向とＣＣＤカメラの受光画像における水平もし
くは垂直方向とを一致させた構成のものとすることがで
き、請求項５に記載しているように、明暗パターンは、
ＣＣＤカメラに映る明暗パターン数に基づいて明暗パタ
ーンの間隔が変化する構成のものとすることができる。

【００１０】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項６に記載しているよう
に、ＣＣＤカメラの視野調整、ピント調整およびオーバ
ーラップ量調整は、被検査体の移動方向の正面輪郭にほ
ぼ適合した形状を成し且つその表面に所定間隔の線（格
子線等をも含む）もしくは点の図形が描かれた参照モデ
ルを用いて行う構成のものとすることができ、請求項７
に記載しているように、参照モデルは、被検査体の移動
方向に対する横断面のうちの最大の横断面輪郭にほぼ適
合した形状である構成のものとすることができ、請求項
８に記載しているように、参照モデルの図形の線以外の
部分の色が被検査体の被検査面の塗装色で最も明度の高
い色であって、上記参照モデルの表面を撮像しながらＣ
ＣＤカメラのレンズ絞りおよびシャッタースピードを調
整する構成のものとすることができ、請求項９に記載し
ているように、被検査面の塗装色で塗装され且つカメラ
視野より大きいテストピースを参照モデルの表面に接し
て設け、テストピースを撮像しながらＣＣＤカメラのレ
ンズ絞りおよびシャッタースピードを調整する構成のも
のとすることができる。

【００１１】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項１０に記載しているよう
に、検査処理手段は、複数の撮像装置で得られた受光画
像の画像データにおける空間周波数成分のうち高い周波
数領域で且つレベルが所定値以上の成分のみを抽出する
画像強調処理手段と、画像強調処理手段からの時間的に
異なる画像データにおいて被検査体の移動量および移動
方向が所定の条件で一致する目標部分を検出する追跡処
理手段を備えている構成のものとすることができ、請求
項１１に記載しているように、検査処理手段は、検査開
始および検査終了を判断する検査開始終了判定手段と、
検査開始から被検査体の移動量を測定する移動量測定手
段を備え、これらの手段から得た情報に基づいて追跡処
理手段で検出した目標部分の被検査面上の位置を算出
し、その結果を被検査体の展開図上に表示する手段を備
えている構成のものとすることができ、請求項１２に記
載しているように、被検査体の展開図は、被検査体に対
する撮像装置の取付角度および画角に基づいて描かれて
いる構成のものとすることができ、請求項１３に記載し
ているように、被検査体が照明手段および撮像装置固定
手段の門型内部を通過し且つ被検査面の検査を行ってい
る際に被検査体とこの被検査体を移動させる搬送コンベ
アの速度とを一致させる速度一致手段を備えた構成のも
のとすることができる。

【００１２】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項１４に記載しているよう
に、欠陥判定手段は、検査処理手段により得られた欠陥
検出結果から欠陥の面積が所定値以上である場合にはモ
ール，スポイラー等の穴（無修正欠陥）であると判定
し、欠陥の面積が所定値以下である場合にはほこり（無
修正欠陥）であると判定する構成のものとすることがで
き、請求項１５に記載しているように、欠陥判定手段
は、追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその
追跡処理（移動）中の面積変化が所定値以上である場合
には本物欠陥（要修正欠陥）であると判定し、面積変化
が所定値以下である場合にはモール，スポイラー等の穴
およびほこり（黒ゴミ）などの偽物欠陥（無修正欠陥）
であると判定する構成のものとすることができる。

【００１３】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項１６に記載しているよう
に、欠陥判定手段は、追跡処理手段により得られた欠陥
検出結果からその追跡処理（移動）中の欠陥の面積が所
定値以上でかつ追跡処理（移動）中の面積変化が所定値
以上である場合には本物欠陥（要修正欠陥）であると判
定し、面積変化が所定値以下である場合にはモール，ス
ポイラー等の穴からなる偽物欠陥（無修正欠陥）である
と判定する構成のものとすることができ、請求項１７に
記載しているように、欠陥判定手段は、追跡処理手段に
より得られた欠陥検出結果からその追跡処理（移動）中
の欠陥の面積が所定値以下でかつ追跡処理（移動）中の
面積変化が所定値以上である場合には本物欠陥（要修正
欠陥）であると判定し、面積変化が所定値以下である場
合にはほこり（黒ゴミ）等の偽物欠陥（無修正欠陥）で
あると判定する構成のものとすることができる。

【００１４】同じく、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項１８に記載しているよう
に、欠陥判定手段は、追跡処理手段により得られた欠陥
検出結果から平均面積を算出する平均面積処理手段を有
し、その平均面積処理手段からの欠陥の面積が所定値以
下である場合には追跡処理（移動）中の欠陥の面積変化
が所定値以上であっても無修正欠陥と判定し、その欠陥
の面積が所定値以上である場合にはモール，スポイラー
等の穴からなる偽物欠陥（無修正欠陥）であると判定す
る構成のものとすることができ、請求項１９に記載して
いるように、欠陥判定手段は、追跡処理手段により得ら
れた欠陥検出結果からその追跡処理（移動）中の欠陥の
輝度変化（明暗パターン輝度と欠陥部輝度との差）が同
符号である場合にはモール，スポイラー等の穴からなる
偽物欠陥（無修正欠陥）であると判定する構成のものと
することができ、請求項２０に記載しているように、欠
陥判定手段は、追跡処理手段により得られた欠陥検出結
果からその追跡処理（移動）中の欠陥の輝度変化（明暗
パターン輝度と欠陥部輝度との差）が異符号でかつ追跡
処理（移動）中の面積変化が所定値以上である場合には
本物欠陥（要修正欠陥）であると判定する構成のものと
することができる。また、本発明に係わる表面欠陥検査
装置は、請求項２１に記載しているように、被検査体の
被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づい
て受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面
上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査
体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パ
ターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状
を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を
作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定
手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被
検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理
手段と、検査処理手段により得られた欠陥検出結果から
要修正欠陥である本物欠陥であるか穴，ほこり等の無修
正欠陥である偽物欠陥であるかを判定する欠陥判定手段
を備え、欠陥判定手段は、追跡処理手段により得られた
欠陥検出結果からその追跡処理中の面積変化が所定値以
上である場合には本物欠陥であると判定し、面積変化が
所定値以下である場合にはモール，スポイラー等の穴お
よびほこりなどの偽物欠陥であると判定する手段であ
り、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検
査体を通過させて被検査面の欠陥検査を行うことを特徴
としている。また、本発明に係わる表面欠陥検査装置
は、請求項２２に記載しているように、被検査体の被検
査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受
光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の
欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査体を
囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成
し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成
する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段
と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査
面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理手段
と、検査処理手段により得られた欠陥検出結果から要修
正欠陥である本物欠陥であるか穴，ほこり等の無修正欠
陥である偽物欠陥であるかを判定する欠陥判定手段を備
え、欠陥判定手段は、追跡処理手段により得られた欠陥
検出結果からその追跡処理中の欠陥の面積が所定値以上
でかつ追跡処理中の面積変化が所定値以上である場合に
は本物欠陥であると判定し、面積変化が所定値以下であ
る場合にはモール，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥
であると判定する手段であり、照明手段および撮像装置
固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の
欠陥検査を行うことを特徴としている。さらに、本発明
に係わる表面欠陥検査装置は、請求項２３に記載してい
るように、被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面
からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画
像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査
装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検
査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被
検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光
に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付
けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結
果を出力する検査処理手段と、検査処理手段により得ら
れた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥である
か穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であるかを
判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、追跡処
理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡処理中
の欠陥の面積が所定値以下でかつ追跡処理中の面積変化
が所定値以上である場合には本物欠陥であると判定し、
面積変化が所定値以下である場合にはほこり等の偽物欠
陥であると判定する手段であり、照明手段および撮像装
置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面
の欠陥検査を行うことを特徴としている。さらに、本発
明に係わる表面欠陥検査装置は、請求項２４に記載して
いるように、被検査体の被検査面に光を照射し、被検査
面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光
画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検
査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被
検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、
被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射
光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り
付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られ
た受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその
結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段により得
られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥であ
るか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であるか
を判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、追跡
処理手段により得られた欠陥検出結果から平均面積を算
出する平均面積処理手段を有し、その平均面積処理手段
からの欠陥の面積が所定値以下である場合には追跡処理
中の欠陥の面積変化が所定値以上であっても無修正欠陥
と判定し、その欠陥の面積が所定値以上である場合には
モール，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥であると判
定する手段であり、照明手段および撮像装置固定手段の
門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を
行うことを特徴としている。さらに、本発明に係わる表
面欠陥検査装置は、請求項２５に記載しているように、
被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射
光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づい
て被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置におい
て、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所
定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲
む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて
受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮
像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に
基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力す
る検査処理手段と、検査処理手段により得られた欠陥検
出結果から要修正欠陥である本物欠陥であるか穴，ほこ
り等の無修正欠陥である偽物欠陥であるかを判定する欠
陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、追跡処理手段によ
り得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の欠陥の輝
度変化が同符号である場合にはモール，スポイラー等の
穴からなる偽物欠陥であると判定する手段であり、照明
手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通
過させて被検査面の欠陥検査を行うことを特徴としてい
る。さらに、本発明に係わる表面欠陥検査装置は、請求
項２６に記載しているように、被検査体の被検査面に光
を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を
作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検
出する表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型
形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成
する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数
の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像
装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠
陥を検出してその結果を出力する検査処理手段と、検査
処理手段により得られた欠陥検出結果から要修正欠陥で
ある本物欠陥であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である
偽物欠陥であるかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥
判定手段は、追跡処理手段により得られた欠陥検出結果
からその追跡処理中の欠陥の輝度変化が異符号でかつ追
跡処理中の面積変化が所定値以上である場合には本物欠
陥であると判定する手段であり、照明手段および撮像装
置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面
の欠陥検査を行うことを特徴としている。

【００１５】

【発明の効果】本発明の請求項１に係わる表面欠陥検査
装置によれば、被検査体を囲む門型形状を成す照明手
段、および同じく被検査体を囲む門型形状を成し且つ撮
像装置を備えた撮像装置固定手段を採用し、被検査面上
に光の明暗パターンを形成すると共に、撮像装置により
得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出し
てその結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段に
より得られた欠陥検出結果から本物欠陥（要修正欠陥）
であるか偽物欠陥（無修正欠陥）であるかを判定する欠
陥判定手段を備えたものとして、照明手段および撮像装
置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面
の欠陥検査を行うようにしたから、被検査面に複雑な曲
面がある場合であっても、被検査面全体に対する照明お
よび撮像の条件をほぼ均等にすることができ、照明手段
や撮像装置さらには被検査体に対して何ら複雑な制御を
行うことなく、簡単な制御で表面欠陥を自動的に且つ精
度良くしかも高速に検出することができると共に、本物
欠陥（要修正欠陥）であるか偽物欠陥（無修正欠陥）で
あるかを正確に判定することが可能となって検出の信頼
性（精度）を大幅に向上させることが可能であり、かつ
また検出作業時間の大幅な短縮を実現することが可能で
あるという著しく優れた効果がもたらされる。また、光
拡散シートを備えた照明手段を採用したことにより、明
暗パターンをより正確に形成することができ、表面欠陥
の検出のさらなる容易化および精度向上に貢献し得ると
共に、光拡散シートを張ったシートガイドの移動によ
り、当該シートガイド、光源および背景板のメンテナン
スにも容易に対処することができる。

【００１６】本発明の請求項２に係わる表面欠陥検査装
置によれば、照明手段の門型形状は被検査体の移動方向
の正面輪郭にほぼ適合した形状にしたので、請求項１の
効果に加えて、被検査面全体に対する照明条件をより一
層均一なものにすることができ、表面欠陥の検出をより
容易に且つより精度よく行うことができる。

【００１７】

【００１８】

【００１９】本発明の請求項３に係わる表面欠陥検査装
置によれば、撮像装置固定手段の門型形状を被検査物体
の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状にしたので、
請求項１の効果に加えて、被検査面全体に対する撮像条
件をより一層均一なものにすることができ、表面欠陥の
検出をより容易に且つより精度よく行うことができる。

【００２０】本発明の請求項４に係わる表面欠陥検査装
置によれば、請求項１および３の効果に加えて、被検査
面全体を隙間なく検査することができ、検査のさらなる
精度の向上を実現することができる。

【００２１】本発明の請求項５に係わる表面欠陥検査装
置によれば、請求項４の効果に加えて、検査精度をより
一層向上させることができる。

【００２２】本発明の請求項６〜９に係わる表面欠陥検
査装置によれば、請求項４および５の効果に加えて、参
照モデルの採用によって、撮像装置の調整をより容易に
且つより迅速に行うことができるとともに、検査精度を
より一層向上させることができる。

【００２３】本発明の請求項１０に係わる表面欠陥検査
装置によれば、請求項１の効果に加えて、表面欠陥をよ
り迅速に且つより正確に検出することができ、また、本
発明の請求項１１に係わる表面欠陥検査装置によれば、
請求項１０の効果に加えて、被検査体の展開図上におい
て表面欠陥を容易に認識することができ、後の修正作業
などに活用することが容易であり、さらに、本発明の請
求項１２に係わる表面欠陥検査装置によれば、請求項１
１の効果に加えて、被検査体の展開図上における表面欠
陥の位置をより正確に表示することができる。

【００２４】さらに、本発明の請求項１３に係わる表面
欠陥検査装置によれば、請求項１、１０および１１の効
果に加えて、被検査体と搬送コンベアの速度を確実に一
致させることができ、検査精度ならびに展開図上におけ
る表面欠陥の表示の精度をより一層高めることができ
る。

【００２５】さらにまた、本発明の請求項１４〜２０に
係わる表面欠陥検査装置によれば、欠陥判定手段は、検
査処理手段や追跡処理手段により得られた欠陥検出結果
から、欠陥の面積や、追跡処理中の面積変化や、平均面
積や、輝度変化などから、表面欠陥が本物欠陥（要修正
欠陥）であるか偽物欠陥（無修正欠陥）であるかの判定
を行うことが可能であり、欠陥検出の大幅な精度向上と
作業時間の大幅な短縮を実現することが可能である。さ
らにまた、本発明の請求項２１〜２６に係わる表面欠陥
検査装置によれば、被検査体を囲む門型形状を成す照明
手段、および同じく被検査体を囲む門型形状を成し且つ
撮像装置を備えた撮像装置固定手段を採用し、被検査面
上に光の明暗パターンを形成すると共に、撮像装置によ
り得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出
してその結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段
により得られた欠陥検出結果から本物欠陥（要修正欠
陥）であるか偽物欠陥（無修正欠陥）であるかを判定す
る欠陥判定手段を備えたものとして、照明手段および撮
像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検
査面の欠陥検査を行うようにしたから、被検査面に複雑
な曲面がある場合であっても、被検査面全体に対する照
明および撮像の条件をほぼ均等にすることができ、照明
手段や撮像装置さらには被検査体に対して何ら複雑な制
御を行うことなく、簡単な制御で表面欠陥を自動的に且
つ精度良くしかも高速に検出することができると共に、
本物欠陥（要修正欠陥）であるか偽物欠陥（無修正欠
陥）であるかを正確に判定することが可能となって検出
の信頼性（精度）を大幅に向上させることが可能であ
り、かつまた検出作業時間の大幅な短縮を実現すること
が可能であるという著しく優れた効果がもたらされる。
また、欠陥判定手段は、検査処理手段や追跡処理手段に
より得られた欠陥検出結果から、欠陥の面積や、追跡処
理中の面積変化や、平均面積や、輝度変化などから、表
面欠陥が本物欠陥（要修正欠陥）であるか偽物欠陥（無
修正欠陥）であるかの判定を行うことが可能であり、欠
陥検出の大幅な精度向上と作業時間の大幅な短縮を実現
することが可能である。

【００２６】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明に係わる表面
欠陥検査装置の一実施例を説明する。この実施例では、
被検査体である自動車のボディにおいて、被検査面であ
る塗装面の欠陥を検査する場合を示している。

【００２７】この実施例による表面欠陥検査装置は、図
１〜図３に示すように、照明手段１と、撮像装置固定手
段２と、撮像装置固定手段２に取り付けられた複数の撮
像装置３と、検査処理手段４を備えている。

【００２８】このうち、照明手段１は、ボディ５の移動
方向の正面輪郭にほぼ適合した門型（アーチ）形状を成
し、被検査面上に所定の明暗パターンを映し出すように
構成されている。

【００２９】また、撮像装置固定手段２は、照明手段１
とほぼ同一形状で照明手段１に並設されている。

【００３０】さらに、撮像装置３は、ＣＣＤカメラ（以
下「カメラ３」と記す）であって、明暗パターンの映る
被検査面を撮像するように、撮像装置固定手段２の所定
の位置に各々取付け固定してある。

【００３１】さらにまた、検査処理手段４は、主に、画
像強調処理手段４１、追跡処理手段４２、ホストコンピ
ュータ４３、プリンター４４、欠陥判定手段４５等で構
成してある。

【００３２】そして、撮像装置固定手段２により得られ
る明暗パターンのある受光画像を明暗パターンに平行の
走査線によりエッジ（孤立点）抽出処理する。また、欠
陥判定手段４５では、検査処理手段４により得られた欠
陥検出結果から、本物欠陥（要修正欠陥）であるか穴，
ほこり等の偽物欠陥（無修正欠陥）であるかを判定す
る。そして、検査結果出力手段であるプリンター４４に
おいては、欠陥判定手段４５で判定された判定結果（修
正欠陥）を表示出力する。

【００３３】さらにまた、ボディ５は、台車６に載せら
れると共に、レール７および搬送コンベア８によって照
明手段１および撮像装置固定手段２の門型内部を移動
し、その間に検査処理手段４で所定の処理が行われ、被
検査面であるボディ５の塗装面の検査が行われる。

【００３４】照明手段１および撮像装置固定手段２は、
ボディ５の搬送方向（図２中の矢印Ａの方向）に対して
直交方向に設置されている。また、カメラ３は、調整固
定治具３ａによって撮像装置固定手段２の所定の位置お
よび角度に調整された状態で固定してある。

【００３５】照明手段１は、図１に示すようにボディ５
の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状とすることに
より、光照射面からボディ５の表面までの距離が部位に
かかわらずほぼ一定となり、これによって照明手段１か
らの光をボディ５の表面にむらなくほぼ均一に照射する
ことができるようにしている。

【００３６】また、照明手段１は、図４および図５に示
すように、光源１０１の光を被検査面にむだなく且つむ
らなく照射するために、白色に着色処理されもしくは光
を拡散反射するように表面処理された複数の背景板１０
２を備え、この背景板１０２に複数の光源１０１がほぼ
等間隔に取り付けられた構造となっている。

【００３７】光源１０１は、Ｕ字管タイプの蛍光灯であ
って、１つの背景板１０２の被検査体側に２列で合計４
本取り付けられ、その裏側に光源１０１を高周波点灯さ
せる電源１０７（図７参照）が取り付けてある。そし
て、光源１０１、背景板１０２および電源１０７を１つ
の照明ユニット１０４とし、この照明ユニット１０４を
図５に示すように門型形状をした支柱１０３に隙間無く
取り付けることにより、照明手段１を構成している。

【００３８】図６に示す光拡散シート１０５は、ボディ
５の正面輪郭形状に合わせて容易に変形できるような可
撓性を有し且つ透光性を有する材料から成るものであっ
て、例えば、艶消し黒色のマスキングテープを等間隔に
貼ることにより、光透過部１０５ａと艶消し黒色部１０
５ｂを交互に配置したものである。ここで、光を拡散す
る理由は、ボディ塗装色がメタリック塗装などといった
場合にメタリックの光輝材の影響を抑えるためである。

【００３９】また、光拡散シート１０５がしわの生じ易
い材質で、このしわによって陰や照明むらが発生する場
合には、図６に示すように、シートガイド１０６により
光拡散シート１０５を下方から支えると共に、この光拡
散シート１０５をボディ５の正面輪郭形状に合わせて張
ることにより、しわの発生を抑える。

【００４０】さらに、シートガイド１０６は、艶消し黒
色に塗装されており、支柱１０３は、光拡散シート１０
５の艶消し黒色部１０５ｂに重なる間隔となっている。
そして、光拡散シート１０５とシートガイド１０６と
は、この支柱１０３において艶消し黒色のボルト、ナッ
トおよびワッシャ（図示せず）により固定してある。

【００４１】さらに、シートガイド１０６には、キャス
ター１０６ａが取り付けてあって、光拡散シート１０５
を張った状態でボディ５の前後方向に移動できる構造と
なっている。したがって、図８に示すようにシートガイ
ド１０６を矢印Ｂ方向に移動させることにより、例え
ば、光源１０１の交換などを容易に行えるものとなる。

【００４２】撮像装置固定手段２は、図９に示すよう
に、ボディ５の移動方向の正面輪郭形状にほぼ合った形
状をなすものである。これは、各カメラ３からボディ５
の表面までの距離をほぼ一定にするためであり、その結
果、全てのカメラ３での視野の大きさがほぼ同一とな
る。ボディ５の形状に応じた距離の細かい調整やカメラ
３の向きの調整は、撮像装置固定手段２の所定位置に固
定された調整固定治具３ａで行われる。そして、調整固
定治具３ａでも調整できないような場合、例えば、ボデ
ィ５のフード（ボンネット）とルーフ（天井）といった
ように高さが大きく異なる面では、レンズの焦点距離を
変えてカメラ３の視野の大きさを調整してもよい。

【００４３】さらに、図１０に示すように、各々隣接す
るカメラ３同士の視野は、所定の大きさ以上でオーバー
ラップした帯状となるように調整されている。上記のよ
うに、フード部とルーフ部とでは高さが大きく異なる
が、図１０からも明らかのように、これらの部位は、同
一のカメラで同時に検査されることはないので、図９に
示すように、フード用のカメラ（３）Ｈ１〜Ｈ８とルー
フ用のカメラ（３）Ｒ１〜Ｒ７とを切り換えて各々調整
してもよい。

【００４４】カメラ３の切り換え位置は、図２１に示す
ように、検査の必要のない前後ウィンドウ部の位置（符
号Ｃで示す）とするのが適当である。このとき、ルーフ
用カメラ（３）Ｒ１〜Ｒ７の視野は、左右の側面用カメ
ラ（３）ＳＬ１〜ＳＬ５、ＳＲ１〜ＳＲ５およびフード
用カメラ（３）Ｈ１〜Ｈ８と同様に、図１０に示すごと
くルーフ部で帯状となる。

【００４５】また、上記カメラ視野のオーバーラップ
は、図１０の斜線部で示すような領域である。ただし、
オーバーラップ量が大きいほどカメラ３の台数が増加し
てしまうので、検出したい欠陥の最小の大きさから画像
の分解能、つまり、カメラ１台あたりの視野の大きさを
決定し、その視野の大きさから被検査面全面を検査する
のに必要なおおよそのカメラ台数を決定し、最終的にオ
ーバーラップ量を設定すればよい。さらに、図１０に示
すように、長方形で表した各々のカメラ視野は、カメラ
受光画像中をボディ５が水平もしくは垂直方向に移動す
るような向きに、斜めになることなく固定される。

【００４６】図１８は検査ラインの概略を示すものであ
って、ボディ５を載せた台車６は、搬送コンベア８によ
って移動する。この搬送コンベア８は、チェーン８１、
駆動装置８２およびフック８４を備えており、駆動装置
８２には回転量情報を検出するパルスジェネレータ８３
が設けてある。そして、台車６の下部の爪６１にフック
８４がひっかかっており、駆動装置８２が矢印Ｄの方向
に回転することによりチェーン８１が駆動され、ボディ
５を矢印Ａの方向に搬送する。

【００４７】このとき、爪６１とフック８４との間にが
たつきがあると、チェーン８１の移動量とボディ５を載
せた台車６の移動量とが厳密には一致しなくなるため、
後述するパルスジェネレータ８３から得られる駆動装置
８２の回転量情報を用いてボディ５の移動量を算出する
時点で誤差が発生し、検出精度が低下してしまう恐れが
ある。そこで、図１８に示すように、フック８４が爪６
１をボディ５の搬送方向の前後から隙間なく常に接触す
るように挟み込む構造としている。さらに、チェーン８
１に余分なたるみがないように調整すれば、ボディ５と
搬送コンベア８の速度とをより一致させることができ
る。

【００４８】また、他の例として、搬送コンベア８およ
びレール７等の全体が搬送方向に対して上り坂となって
いれば、ボディ５の自重で爪６１とフック８４とが常に
接触することとなるため、がたつきは発生しない。この
ような速度一致手段は、この実施例のみに限定されるも
のではない。

【００４９】上記の速度一致手段により、搬送コンベア
８の移動量と一致した台車６に載ったボディ５は、先述
した位置に配置された照明手段１およびカメラ３が取り
付けられた撮像装置固定手段２の門型内部を、レール７
に沿って低速度且つ振動することなくスムーズに移動
し、それと同時に検査処理手段４が以下に説明する手順
でボディ塗装面上の欠陥を自動的に検査する。

【００５０】図１９は、検査処理手段４を構成する画像
強調処理手段４１における画像例および処理フローを示
すものである。

【００５１】照明手段１によって明暗パターンが映し出
された被検査面をカメラ３で撮像すると図１９（ａ）に
示すような原画像ａとなる。そして、図１９の（ｄ）に
示すステップＳ１で画像入力された原画像ａにおいて、
凹凸状の欠陥部Ｅでは光が乱反射するため、図１９の
（ａ）に示すように明パターンでは暗部となって現れ、
欠陥Ｅが暗パターンにある場合は明部となって現れる。

【００５２】この原画像ａに対してステップＳ２で微分
等のエッジ検出処理を行ない、ステップＳ３において所
定のしきい値で２値化すると、図１９の（ｂ）に示すよ
うな画像において輝度変化のあった領域、つまり、空間
周波数の高い領域が白、それ以外の部分が黒となった２
値画像ｂが得られる。この２値画像ｂの白画素に対して
ステップＳ４においてラベリング（番号付け）を行い、
さらにステップＳ５において面積／重心計算を行なう。
この２値画像ｂの白画素において欠陥Ｅは孤立点であ
り、明暗パターンの境界線は画面の上下を横切るような
大きな物体となることから、ステップＳ６において、所
定の判定値で面積判定を行ない、面積の小さい孤立点の
みを抽出すると図１９の（ｃ）に示すような画像とな
る。ここで、ゆず肌といった欠陥にはならない塗装面上
の凹凸があると、これらは図１９の（ｃ）に示すように
欠陥とともに孤立点（以下、これをノイズＮと称す）と
なり、抽出される場合がある。

【００５３】また、上記の２値画像ｂの白画素に対して
ラベリング（番号付け）を行う際に、図３３に示すよう
に、明暗パターンのある受光画像の明暗パターンに平行
の走査線により順次ラベリング（番号付け）を行うこと
により、ラベリング（番号付け）処理時間すなわち孤立
点抽出時間を短縮する。ラベリング（番号付け）づけは
明暗のラン（エッジ長の始点終点数）とその近接性を見
ることにより孤立点を番号付けする。また、図３４はラ
ベリング（番号付け）処理の走査線が明暗パターンに平
行となるようにカメラ３の向きを変更（明暗パターンと
直角に変更）した場合であり、同様の効果がある。

【００５４】このような画像から欠陥Ｅのみを抽出する
ための追跡処理手段４２の作用について図１９および図
２０を用いて説明する。画像強調処理手段４１において
孤立点を抽出する処理を時間的に連続して行なうと、面
積判定結果の画像は図２０の（ａ）〜（ｆ）に示すよう
なものとなり、これらを重ね合わせると図２０の（ｇ）
に示すようになる。

【００５５】つまり、カメラ３および照明手段１は固定
され、ボディ５は移動するので、カメラ画像においてボ
ディ表面にある欠陥Ｅはボディ５の移動に応じて図２０
の（ｇ）において矢印Ｇの方向に移動するが、ノイズＮ
はボディ５の移動とは無関係にランダムに発生する。し
たがって、これによって、時間的に異なる連続した面積
判定結果の画像から、ボディ５の移動量および移動方向
が所定の条件で一致するものが最終的に欠陥Ｅと判断で
きる。

【００５６】画像における欠陥Ｅの移動方向は、カメラ
３に対してボディ５がどのような方向で通過するかによ
って決定するため、本実施例のようにカメラ３の位置が
固定でボディ５の搬送方向が常に同じであるならば、各
カメラ３毎に決定できる。さらに、カメラ３の視野が、
前述したようにボディ５の搬送方向に平行に設定されて
いれば、欠陥Ｅは画像中の水平もしくは垂直方向に移動
することになる。本実施例では、欠陥Ｅが図２０の
（ｇ）に示すように画像中を真横方向（矢印Ｇ方向）に
移動するような向きにカメラ３が固定されているものと
して説明している。

【００５７】このようにして得られた２つの時間的に異
なる連続した画像において、まず初めに、各画像の各白
画素におけるｙ方向（画面の縦方向）の重心座標の比較
を行なう。上記のように、欠陥Ｅは画像中を真横方向に
移動するため、２つの画像間でｙ方向重心座標がほぼ同
じ白画素があれば、その白画素が欠陥Ｅである可能性が
高いと判断できるため、欠陥候補としてメモリに記憶す
る。

【００５８】次に、ｘ方向の比較であるが、上記欠陥候
補中の白画素において、２つの画像間のｘ方向重心座標
の差が画像における移動画素数、符号が移動方向を表す
ので、図１９の（ｄ）に示すステップＳ７におけるボデ
ィ５の移動量から算出した実移動画素数および画像にお
けるボディ５の移動方向とをステップＳ８で比較し、こ
れらが所定の範囲で一致していれば、その白画素が欠陥
Ｅである可能性がさらに高いと判断できるので、その白
画素の時間的に新しいｘ，ｙ重心座標を記憶する。

【００５９】上記のような一連の処理を繰り返し行な
い、１つの白画素において上記比較の一致回数が所定の
回数以上になったならば、ステップＳ９においてその白
画素を欠陥Ｅと判定し、ステップＳ１０において欠陥リ
ストに最終的な重心座標および面積を書き込んで記憶す
る。そして、追跡処理手段４２では、上記のような処理
をボディ５がカメラ視野に映っている間に連続して行な
い、ボディ５の通過に後、上記欠陥リストをホストコン
ピュータ４３に送る。

【００６０】ここで、上記実移動画素数は、式（１）よ
り算出できる。

【００６１】実移動画素数Ｘ＝（画像間時間ｔ×ボディ移動速度ｖ×画像サイズＬ）／カメラ視野Ａ）・・・（１）ここで、画像間時間ｔは、比較する２つの時間的に異な
る画像間の時間差であって、本実施例では画像強調処理
の処理時間に相当する。これは、追跡処置手段４２が画
像強調処理手段４１からデータ（面積判定後の面積／重
心座標データ）を受け取る間隔を計数すれば測定可能で
ある。（例えば、０．１［ｓ］）また、ボディ移動速度ｖは、パルスジェネレータ８３に
よる駆動装置８２の回転量情報からホストコンピュータ
４３が算出し、追跡処理手段４２に随時送られる。（例
えば、１００［ｍｍ／ｓ］）さらに、画像サイズＬは、画像におけるボディ移動方向
の画素数であって、例えば、ｘ×ｙ＝５１２×４８０画
素の画像でボディ５がｘ方向に移動するならば、Ｌ＝５
１２となる。

【００６２】さらにまた、カメラ視野Ａは、被検査面に
おけるカメラ視野のボディ移動方向の寸法であって、例
えば、被検査面において１つのカメラ視野（図１０の長
方形）がｘ×ｙ＝１２０×１００［ｍｍ］でボディ５が
ｘ方向に移動するならば、Ａ＝１２０［ｍｍ］となる。

【００６３】次に、上記画像間時間ｔ、ボディ移動速度
ｖおよびカメラ視野Ａの関係について説明する。

【００６４】本実施例では、画像間時間ｔが画像強調処
理時間に相当するが、時間ｔの間に視野Ａを通過してし
まうほど速度ｖが速すぎると、欠陥があった場合、同一
の欠陥が画像中に２回以上出現しないために上記追跡処
理が成立しない。よって、欠陥が画像中を少なくとも２
回以上映るように時間ｔ、速度ｖおよび視野Ａを設定す
る。

【００６５】また、所定の時間間隔毎にタイマー割り込
みをかけて上記画像強調処理を実行すれば時間ｔが一定
となるため、各種調整や演算が容易となる。なお、画像
強調処理手段４１および追跡処理手段４２は、本実施例
の構成に限定されるものではない。

【００６６】上記のような検査処理手段４でボディ１台
分の検査が終了すると、その欠陥検査結果に基づいて、
ボディ表面上の欠陥位置に相当するにボディ展開図上の
位置にマーク（例えば、●印）を表示するが、この手順
について以下に説明する。

【００６７】まず、検査処理手段４は、検査開始終了判
定手段と、移動量測定手段を備えている。

【００６８】検査開始終了判定手段は、ボディ５の移動
を検出して各種検査処理の開始および終了のタイミング
を判断するもので、例えば、透過型光電スイッチをボデ
ィ搬送方向に対して垂直方向に、且つボディ５の先端お
よび後端が光電スイッチの光りを遮るような高さに、そ
してまた、カメラ視野にボディ先端が映る直前にボディ
５が光電スイッチを遮るような位置に取付ることによっ
て実現できる。このとき、ボディ５および台車６の相対
位置関係が既知であれば、上記光電スイッチを台車６に
合わせて取り付けても良い。

【００６９】また、他の例としては、カメラ視野内にボ
ディ５が入っていてカメラ画像にボディ５が映っている
ときと、ボディ５がなく背景のみが映っているときと
の、画像の輝度の違いを利用して検査の開始および終了
のタイミングを判断してもよい。なお、上記検査開始終
了判定手段は、本実施例に限定されるものではない。

【００７０】移動量測定手段は、検査開始終了判定手段
で検出された検査開始地点を基準としてボディ５の移動
量を測定するものである。本実施例では、上記移動量が
パルスジェネレータ８３から得られる駆動装置８２の回
転情報とホストコンピュータ４３の内部クロック等の時
間情報から移動量を算出する。つまり、検査処理手段４
は常にボディ５の検査位置が把握でき、先の追跡処理手
段４２で検出された欠陥Ｅのボディ上の位置が算出でき
るので、最終的にホストコンピュータ４３では欠陥の面
積／重心座標およびボディ５上での位置情報がリストに
記憶される。

【００７１】上記一連の処理が各カメラ画像に対して実
行され、検出した欠陥のリスト情報に基づいて、例え
ば、図２１に示すようなボディ５の展開図における表示
位置を算出してマークする。

【００７２】この場合、図２１中のｙ方向における欠陥
表示位置は、各々のカメラ視野の大きさおよびカメラ位
置は既知であり、上記のように画像中を移動する欠陥の
ｙ方向重心座標はほとんど変化しないため、展開図の縮
尺度が決まれば容易に算出できる。同様に、ｘ方向の欠
陥表示位置は、上記のように図２１に示す検査開始地点
Ｐを基準としてボディ移動量から算出できる。このよう
に欠陥位置にマークを表示した展開図は、例えば、モニ
ターやプリンターなどの出力装置に出力される。

【００７３】次に、欠陥判定手段４５について説明す
る。図１に示したように、欠陥判定手段４５では、欠陥
検査処理手段４により得られた欠陥検出結果から本物欠
陥（要修正欠陥）であるか穴，ほこり等の偽物欠陥（無
修正欠陥）であるかを判定する。

【００７４】この場合、図２７のソフトフローに示すよ
うに、追跡処理手段４２により得られた欠陥検出結果か
らその追跡処理（移動）中の面積変化が所定値以上であ
る場合には本物欠陥（要修正欠陥）であると判定し、面
積変化が所定値以下である場合にはモール，スポイラー
等の穴およびほこり（黒ゴミ）等よりなる偽物欠陥（無
修正欠陥）であると判定する。

【００７５】また、その追跡処理（移動）中の欠陥の面
積が所定値以上でかつ追跡処理（移動）中の面積変化が
所定値以上である場合には本物欠陥すなわち要修正欠陥
であると判定し、また、その面積変化が所定値以下であ
る場合にはモール，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥
（無修正欠陥）であると判定する。

【００７６】さらに、その追跡処理（移動）中の欠陥の
面積が所定値以下でかつ追跡処理（移動）中の面積変化
が所定値以上である場合には本物欠陥（要修正欠陥）で
あると判定し、その面積変化が所定値以下である場合に
はほこり（黒ゴミ）等の偽物欠陥（無修正欠陥）である
と判定する。

【００７７】さらにまた、前記追跡処理手段４２により
得られた欠陥面積情報から平均面積を算出する平均面積
処理手段を有するものとして、その平均面積処理手段か
らの欠陥の面積が所定値以下である場合には追跡処理
（移動）中の欠陥の面積変化が所定値以上であっても無
修正欠陥と判定し、その欠陥の面積が所定値以上である
場合にはモール，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥
（無修正欠陥）であると判定する。

【００７８】図１１は、ドア面およびフード／トランク
面調整用参照モデル９１の概略正面図、平面図および側
面図であってドア面９１ｄおよびフード／トランク面９
１ｆ／ｔに相当するものである。また、図１２は、ピラ
ー面およびルーフ面調整用参照モデル９２の概略正面
図、平面図および側面図であって、ピラー面９２ｐおよ
びリーフ面９２ｒに相当するものである。

【００７９】これらの参照モデル９１，９２の形状は、
図からも明らかであるように、ボディ５の移動方向の正
面輪郭とほぼ適合している。本実施例では、ボディ５の
フード面とルーフ面の高さの差が大きく、それぞれ別の
カメラで検査する構成であるため、２種類の参照モデル
９１，９２を用意しているが、参照モデルの種類はボデ
ィ（被検査体）５の形状に応じて用意すれば良い。ま
た、参照モデル９１，９２の平面および側面には所定の
間隔の格子線が描かれており、各カメラ３でこの格子線
を撮影してモニターで確認しながらカメラ視野を図１０
に示すように調整する。

【００８０】つまり、この格子線は、カメラ視野の大き
さが確認できればよいので、図１４の（ａ）に示すよう
な所定の間隔の点からなるものや、図１４の（ｂ）に示
すようなあらかじめ決定しておいた視野の大きさとほぼ
同じ四角形などの図形からなるものであっても良い。こ
のとき、モニターに映し出された参照モデル９１，９２
の図形を見ながらピント調整も同時に行なう。

【００８１】図１３は、上記調整時における照明手段１
とカメラ３と参照モデル９１（９２）との位置関係を示
す概略平面図である。この場合、ボディ５は搬送コンベ
ア８によりレール７に沿って移動するため、参照モデル
９１（９２）は移動時のボディ５と同じ位置、つまり、
レールに対して９０°でその両端がボディ５の側面と一
致する位置に設置される。

【００８２】図１６は、フード／トランク面およびドア
面調整時における照明手段１とカメラ３と参照モデル９
１との位置関係を示す概略正面図であり、同様に図１７
はルーフ面およびピラー面調整時の概略正面図である。

【００８３】そして、上記と同様に、搬送時のボディ位
置と参照モデル９１，９２の位置を一致させるために、
調整用台９３，９４に参照モデル９１，９２をそれぞれ
載せてカメラ３の各種調整を行なう。

【００８４】図１１，１２に示すように参照モデル９
１，９２の形状は、ボディ５の移動方向の正面輪郭にほ
ぼ適合した形状であるとともに、ボディ５の移動方向に
対する横断面のうちの最大の横断面輪郭に適合していな
ければならない。そして、最も大きい輪郭であるという
ことは、カメラ３からの距離が最も小さいということで
あり、この状態でカメラの視野調整を行なえばそれ以外
の部位ではカメラ３からの距離が遠くなるので隣合うカ
メラ３，３のオーバーラップはかならず存在することと
なる。

【００８５】言いかえると、横断面の輪郭が最大でない
状態でオーバーラップ量を調整すると、図９に示すよう
に、カメラ視野断面は三角形なので、カメラ３とボディ
５との距離が小さくなるほど視野は小さくなるため、調
整時以上の大きさの横断面輪郭を持つ部位では、所定の
オーバーラップ量が確保できない。このためには、参照
モデル９１，９２が最も大きい横断面輪郭に適合した形
状であればよく、自動車のボディ５に関して言えば、例
えば、側面ではドア部、ルーフ部ではルーフ中央部、フ
ード／トランク部では最も高い部位がそれぞれ参照モデ
ルの形状に適している。

【００８６】図１５は、ボディの形状が異なる場合の例
を示すものである。このうち、図１５の（ａ）に示すよ
うに、ボディ５Ａにおける移動方向の正面輪郭がボディ
５Ｂにおける移動方向の正面輪郭に比べて全ての部位で
大きい２種類のボディ５Ａ，５Ｂの場合には、参照モデ
ル９１，９２は、ボディ５Ａの正面輪郭に対応させた図
中の太線のようになる。また、図１５（ｂ）に示すよう
に、ボディ５Ａ，５Ｂの輪郭の大きさが部位によって異
なる場合には、ボディ５Ａ，５Ｂのうち正面輪郭の大き
い方を選んでこれらを滑らかに結ぶ図中の太線のような
形状となる。

【００８７】次に、カメラ３の調整方法について説明す
る。

【００８８】ボディ５の形状や種類によってカメラ３か
ら被検査面までの距離つまり撮影距離が変化するので、
すべての場合でピントが合うようにするためには、カメ
ラ３の被写界深度（ピントの合う範囲）を撮影距離の変
化に対して十分大きくとる必要がある。この被写界深度
は、レンズ絞り値、レンズ焦点距離および撮影距離から
計算することができるので、カメラ視野の大きさ等から
レンズ仕様や撮影距離、および必要な被写界深度を予め
決めれば、およそのレンズ絞り値を決定することができ
る。

【００８９】さらに、カメラ３のシャッタースピード
は、本実施例のようにボディ５が移動している場合、カ
メラ受光画像がブレないような値である必要があるの
で、移動速度も考慮した上でおよその絞りおよびシャッ
タースピードを微調整して決定すれば良い。

【００９０】次に、レンズ絞りおよびシャッタースピー
ドは、被検査面の光反射特性において最も反射率の高い
状態で、カメラ３の出力信号レベルが飽和しないように
オシロスコープ等を用いて調整する。そして、本実施
例のごとく自動車のボディ５の場合は、白やシルバーメ
タリックといった最も明度の高い塗装色で調整を行なえ
ば良い。また、上記光の反射量は、照明およびカメラ３
と被検査面までの距離で近いほど大きいので、例えば、
本実施例のように照明およびカメラ位置が固定であれ
ば、ボディの５の最大の正面輪郭より作成された先に示
した参照モデル９１，９２の表面で調整を行なえば良
い。

【００９１】上記調整の目安としては、明るさ（輝度）
方向のダイナミックレンジを無駄なく使用するため、カ
メラ３の出力信号レベルがホワイトレベルをオーバーす
る少し手前であればよい。さらに、調整を効率よく行な
うためには、参照モデル９１，９２の視野調整用の図形
が描かれている面の図形以外の背景の部分が、上記のよ
うに白やシルバーメタリックといった反射率の最も高い
状態となっていれば、カメラ３の視野調整とともに調整
を行なうことができる。

【００９２】また、上記のように参照モデル９１，９２
の調整面を塗装することが困難なときは、白やシルバー
メタリックに塗装したカメラ視野より大きいテストピー
スを用意し、調整したいカメラ視野に対応する参照モデ
ル表面に接して置き、それをカメラ３で撮像しながら調
整を行なえば良い。

【００９３】次に、明暗パターンについて説明する。

【００９４】先に説明した画像強調処理手段４１におい
て微分によるエッジ検出を用いた場合、画像中の輝度変
化を抽出するので図１９の（ｂ）に示すように、明暗パ
ターンの境界線も白画素として抽出される。したがっ
て、欠陥Ｅが明暗パターンの境界線付近にあると、欠陥
Ｅと境界線とが一体化してしまい、欠陥Ｅが孤立点とし
て現れない場合がある。

【００９５】さらに、１画面当たりに映る境界線の数が
多くなるほど欠陥Ｅが消える頻度が高くなるため、欠陥
検出精度が低下してしまうことになる。例えば、ボディ
５のフロントフェンダーの先端部は、凸状の曲面をなす
ので、凸レンズの作用をすることから、明暗パターンの
ピッチが部位によらず一定ならば、カメラ画像には平面
部のときよりも多く上記境界線が映ることになり、欠陥
検出精度が低下することとなる。

【００９６】そこで、上記問題点を解決する一例を図２
４および図２５に基づいて説明する。

【００９７】図２４および図２５において、点線は光拡
散シート１０５を通過してボディ５の表面で反射し、さ
らにカメラ３の視野に映る明暗パターンを示すもので、
図面に各画像例を示す。例えば、画像中に明暗パターン
境界線が４本現れるようにするためには、明暗パターン
のピッチをボディ５の形状を考慮して設計すれば良い。
ここでは、明暗パターンの境界線の本数が問題であり、
画像における明暗パターンの映り方、つまり、明／暗の
順序は、欠陥での乱反射を利用した検出原理とは無関係
なので何等制限はない。

【００９８】また、図２４および図２５に示すように、
ボディ５の側面と水平面とにおける明暗パターンのピッ
チが異なる場合は、明暗パターンシートにおける側面か
ら水平面に移行する位置、例えば、門型形状のＲ部にお
いて、明暗パターンが不連続とならないように艶消しの
黒色テープを貼れば、前後のフェンダー面からフード／
トランク面までの間のＲ部でも明暗パターンが極端に歪
むことなく映し出すことができる。

【００９９】なお、図２４および２５に示す例は、画像
中の境界線を４本としたが、境界線の本数は各カメラ３
において同じである必要はない。また、境界線が少ない
ほど画面中に欠陥の現れる頻度は高くなるが、境界線を
少なくするために明暗パターンのピッチを広げすぎると
欠陥での凹凸による乱反射を利用して欠陥を検出する場
合に、小さい欠陥の検出精度が低下してしまうので、こ
れらを考慮にいれて実験的に明暗パターンを設計すれば
良い。

【０１００】次に、被検査体の展開図について説明す
る。

【０１０１】本実施例では、ボディ５の形状にかかわら
ずカメラ３の視野に映るボディ表面には照明手段１の明
暗パターンを形成するような構成となっている。つま
り、図２３に示すように、カメラ３がボディ５に対して
斜め前方から撮像するような構成であり、このときのカ
メラ取付角度をθ２、カメラの画角をθ１としている。

【０１０２】このようなカメラ位置で上記の検査処理を
行ない、図２１に示すような通常の展開図に欠陥位置を
表示した場合、実際のボディ上の欠陥位置と一致しない
場合がある。これは、カメラ３が図２３に示すように斜
め前方からの視点で撮像しているのに対して、展開図は
ボディ５の真横（側面図）および真上（水平面）からの
視点で見た図であって、それぞれ視点が異なるためであ
る。このような欠陥の表示ずれを防ぐには、図２２に示
すように、図２２の（ａ）に示す回転なしの状態から、
図２２の（ｂ）に示す回転ありの状態、すなわち、ボデ
ィ５を実際のカメラ３のように斜め前方から見たような
展開図を用いれば良い。そして、このときの展開図の回
転角度は、上記角度θ１，θ２を実験的に決定すれば良
い。

【０１０３】次に、他の実施例について説明する。図３
０ないし図３２には、画像上での欠陥の輝度出力例を示
すが、図３１に示すように、穴等の無修正欠陥は輝度レ
ベルが小さいため、明暗パターン上では常時明暗パター
ン輝度レベルの下側に存在する。したがって、本発明の
他の実施例では、図２８および図２９に示すように、前
記追跡処理手段４２において面積情報と欠陥の微分処理
時の符号（明暗パターン輝度と欠陥部輝度との差の符
号）情報を同時に出す構成とすることにより、この追跡
処理手段４２により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理（移動）中の欠陥の微分処理時の符号（明暗パター
ン輝度と欠陥部輝度との差の符号）が同符号の場合には
モール，スポイラー等の穴またはほこり等の偽物欠陥す
なわち無修正欠陥であると判定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置の概
略正面説明図である。

【図２】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置の概
略平面説明図である。

【図３】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置の概
略側面説明図である。

【図４】本発明の一実施例における照明手段の一部を示
す概略説明図である。

【図５】図１の実施例における照明手段とボディとの位
置関係を示す正面説明図である。

【図６】照明手段の光拡散シートおよびシートガイドの
一例を示す概略斜視説明図である。

【図７】照明手段、撮像装置およびボディの位置関係を
表す概略平面説明図である。

【図８】光拡散シートの移動を示す平面説明図である。

【図９】カメラの取付位置の一例を示す概略正面説明図
である。

【図１０】カメラ視野の説明図である。

【図１１】フード／トランク面およびドア面用参照モデ
ルの一例を示す正面図（ａ）、平面図（ｂ）および側面
図（ｃ）である。

【図１２】ルーフ面およびピラー面用参照モデルの一例
を示す正面図（ａ）、平面図（ｂ）および側面図（ｃ）
である。

【図１３】照明手段、カメラおよび参照モデルの位置関
係を示す概略平面説明図である。

【図１４】参照モデル表面のカメラ視野調整用図形の二
例（ａ）（ｂ）を示す説明図である。

【図１５】参照モデルの異なる形状の二例（ａ）（ｂ）
を説明するための各々概略正面説明図である。

【図１６】図１１に示す参照モデルを用いたカメラ視野
調整の一例を示す概略正面説明図である。

【図１７】図１２に示す参照モデルを用いたカメラ視野
調整の一例を示す概略正面説明図である。

【図１８】コンベアを一部拡大して示す概略側面説明図
である。

【図１９】画像強調処理手段および追跡処理手段におけ
る画像（ａ）〜（ｃ）および処理フロー（ｄ）の一例を
示す説明図である。

【図２０】時間的に異なる画像における欠陥の移動を
（ａ）〜（ｇ）に別けて示す説明図である。

【図２１】カメラ視野および展開図を示す説明図であ
る。

【図２２】ボディを回転させない状態（ａ）およびボデ
ィを回転させた状態（ｂ）を示す説明図である。

【図２３】ボディに対するカメラ取付角度および画角を
示す概略平面説明図である。

【図２４】ボディの側面における明暗パターンを示す概
略平面説明図である。

【図２５】ボディの水平面における明暗パターンを示す
概略側面説明図である。

【図２６】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置の
欠陥検出全体フローを示す説明図である。

【図２７】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置の
欠陥判定フローを示す説明図である。

【図２８】本発明の他の実施例による表面欠陥検査装置
の欠陥検出全体フローを示す説明図である。

【図２９】本発明の他の実施例による表面欠陥検査装置
の欠陥判定フローを示す説明図である。

【図３０】画面上でのゴミブツ欠陥の輝度出力を例示す
る説明図である。

【図３１】画面上での穴／黒ゴミ欠陥の輝度出力を例示
する説明図である。

【図３２】画面上での濃色時（白ブツ欠陥）の輝度出力
を例示する説明図である。

【図３３】明暗ストライプの処理手順を示す説明図であ
る。

【図３４】カメラ向き変更による処理手順と効果を示す
説明図である。

【符号の説明】

１照明手段２撮像装置固定手段３ＣＣＤカメラ（撮像装置）４検査処理手段５ボディ（被検査体）４１画像強調処理手段４２追跡処理手段４３ホストコンピュータ４４プリンター４５欠陥判定手段９１，９２参照モデル１０１光源１０２背景板１０５光拡散シート１０５ａ光透過部１０５ｂ艶消し黒色部１０６シートガイド

フロントページの続き (56)参考文献特開平８−86634（ＪＰ，Ａ) 特開平８−68765（ＪＰ，Ａ) 特開平４−142414（ＪＰ，Ａ) 特開平８−79904（ＪＰ，Ａ) 特開平７−234113（ＪＰ，Ａ) 特開平８−94333（ＪＰ，Ａ) 特開平７−113626（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−110108（ＪＰ，Ａ) 実開平２−78468（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 G06T 7/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の被検査面に光を照射し、被検
査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受
光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥
検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ
被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、照明手段は、白色
の背景板に、ほぼ等間隔に配置された複数の光源を備え
ると共に、光源の被検査面側に、光透過部と艶消し黒色
部を交互に配置した光拡散シートを備え、光源からの光
を光拡散シートの光透過部に通すことにより被検査面上
に明暗パターンを形成する手段であり、照明手段の光拡
散シートは、被検査体を囲む門型形状を成す艶消し黒色
のシートガイドに張ってあり、シートガイドは、光源お
よび背景板から移動可能であり、照明手段および撮像装
置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面
の欠陥検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２】照明手段の門型形状は、被検査体の移動
方向の正面輪郭にほぼ適合した形状であることを特徴と
する請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項３】撮像装置固定手段の門型形状は、被検査
体の移動方向の正面輪郭にほぼ適合した形状であること
を特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項４】撮像装置はＣＣＤカメラであって、各Ｃ
ＣＤカメラによる全体の視野が被検査体の移動方向の正
面輪郭に沿った連続した帯状を成すと共に、隣接するＣ
ＣＤカメラ同士の視野が所定の領域でオーバーラップし
ており、且つ被検査体の移動方向とＣＣＤカメラの受光
画像における水平もしくは垂直方向とを一致させたこと
を特徴とする請求項１または３に記載の表面欠陥検査装
置。
【請求項５】明暗パターンは、ＣＣＤカメラに映る明
暗パターン数に基づいて明暗パターンの間隔が変化する
ことを特徴とする請求項４に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項６】ＣＣＤカメラの視野調整、ピント調整お
よびオーバーラップ量調整は、被検査体の移動方向の正
面輪郭にほぼ適合した形状を成し且つその表面に所定間
隔の線もしくは点の図形が描かれた参照モデルを用いて
行うことを特徴とする請求項４または５に記載の表面欠
陥検査装置。
【請求項７】参照モデルは、被検査体の移動方向に対
する横断面のうちの最大の横断面輪郭にほぼ適合した形
状であることを特徴とする請求項６に記載の表面欠陥検
査装置。
【請求項８】参照モデルの図形の線以外の部分の色が
被検査体の被検査面の塗装色で最も明度の高い色であっ
て、上記参照モデルの表面を撮像しながらＣＣＤカメラ
のレンズ絞りおよびシャッタースピードを調整すること
を特徴とする請求項６または７に記載の表面欠陥検査装
置。
【請求項９】被検査面の塗装色で塗装され且つカメラ
視野より大きいテストピースを参照モデルの表面に接し
て設け、テストピースを撮像しながらＣＣＤカメラのレ
ンズ絞りおよびシャッタースピードを調整することを特
徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の表面欠陥
検査装置。
【請求項１０】検査処理手段は、複数の撮像装置で得
られた受光画像の画像データにおける空間周波数成分の
うち高い周波数領域で且つレベルが所定値以上の成分の
みを抽出する画像強調処理手段と、画像強調処理手段か
らの時間的に異なる画像データにおいて被検査体の移動
量および移動方向が所定の条件で一致する目標部分を検
出する追跡処理手段を備えていることを特徴とする請求
項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項１１】検査処理手段は、検査開始および検査
終了を判断する検査開始終了判定手段と、検査開始から
被検査体の移動量を測定する移動量測定手段を備え、こ
れらの手段から得た情報に基づいて追跡処理手段で検出
した目標部分の被検査面上の位置を算出し、その結果を
被検査体の展開図上に表示する手段を備えていることを
特徴とする請求項１０に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項１２】被検査体の展開図は、被検査体に対す
る撮像装置の取付角度および画角に基づいて描かれてい
ることを特徴とする請求項１１に記載の表面欠陥検査装
置。
【請求項１３】被検査体が照明手段および撮像装置固
定手段の門型内部を通過し且つ被検査面の検査を行って
いる際に被検査体とこの被検査体を移動させる搬送コン
ベアの速度とを一致させる速度一致手段を備えたことを
特徴とする請求項１，１０および１１のいずれかに記載
の表面欠陥検査装置。
【請求項１４】欠陥判定手段は、検査処理手段により
得られた欠陥検出結果から欠陥の面積が所定値以上であ
る場合にはモール，スポイラー等の穴であると判定し、
欠陥の面積が所定値以下である場合にはほこりであると
判定することを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検
査装置。
【請求項１５】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の面積変化が
所定値以上である場合には本物欠陥であると判定し、面
積変化が所定値以下である場合にはモール，スポイラー
等の穴およびほこりなどの偽物欠陥であると判定するこ
とを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項１６】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の欠陥の面積
が所定値以上でかつ追跡処理中の面積変化が所定値以上
である場合には本物欠陥であると判定し、面積変化が所
定値以下である場合にはモール，スポイラー等の穴から
なる偽物欠陥であると判定することを特徴とする請求項
１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項１７】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の欠陥の面積
が所定値以下でかつ追跡処理中の面積変化が所定値以上
である場合には本物欠陥であると判定し、面積変化が所
定値以下である場合にはほこり等の偽物欠陥であると判
定することを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査
装置。
【請求項１８】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果から平均面積を算出する平均面積
処理手段を有し、その平均面積処理手段からの欠陥の面
積が所定値以下である場合には追跡処理中の欠陥の面積
変化が所定値以上であっても無修正欠陥と判定し、その
欠陥の面積が所定値以上である場合にはモール，スポイ
ラー等の穴からなる偽物欠陥であると判定することを特
徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項１９】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の欠陥の輝度
変化が同符号である場合にはモール，スポイラー等の穴
からなる偽物欠陥であると判定することを特徴とする請
求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項２０】欠陥判定手段は、追跡処理手段により
得られた欠陥検出結果からその追跡処理中の欠陥の輝度
変化が異符号でかつ追跡処理中の面積変化が所定値以上
である場合には本物欠陥であると判定することを特徴と
する請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項２１】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理中の面積変化が所定値以上である場合には本物欠陥
であると判定し、面積変化が所定値以下である場合には
モール，スポイラー等の穴およびほこりなどの偽物欠陥
であると判定する手段であり、照明手段および撮像装置
固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の
欠陥検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２２】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理中の欠陥の面積が所定値以上でかつ追跡処理中の面
積変化が所定値以上である場合には本物欠陥であると判
定し、面積変化が所定値以下である場合にはモール，ス
ポイラー等の穴からなる偽物欠陥であると判定する手段
であり、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に
被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を行うことを
特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２３】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理中の欠陥の面積が所定値以下でかつ追跡処理中の面
積変化が所定値以上である場合には本物欠陥であると判
定し、面積変化が所定値以下である場合にはほこり等の
偽物欠陥であると判定する手段であり、照明手段および
撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被
検査面の欠陥検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査
装置。
【請求項２４】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果から平均面積
を算出する平均面積処理手段を有し、その平均面積処理
手段からの欠陥の面積が所定値以下である場合には追跡
処理中の欠陥の面積変化が所定値以上であっても無修正
欠陥と判定し、その欠陥の面積が所定値以上である場合
にはモール，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥である
と判定する手段であり、照明手段および撮像装置固定手
段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検
査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２５】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理中の欠陥の輝度変化が同符号である場合にはモー
ル，スポイラー等の穴からなる偽物欠陥であると判定す
る手段であり、照明手段および撮像装置固定手段の門型
内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を行う
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２６】被検査体の被検査面に光を照射し、被
検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この
受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠
陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且
つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの
反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が
取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得
られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出して
その結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段によ
り得られた欠陥検出結果から要修正欠陥である本物欠陥
であるか穴，ほこり等の無修正欠陥である偽物欠陥であ
るかを判定する欠陥判定手段を備え、欠陥判定手段は、
追跡処理手段により得られた欠陥検出結果からその追跡
処理中の欠陥の輝度変化が異符号でかつ追跡処理中の面
積変化が所定値以上である場合には本物欠陥であると判
定する手段であり、照明手段および撮像装置固定手段の
門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を
行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。