JP3160838B2 - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検査体の表面欠
陥、例えば、自動車ボディの塗装面を検査するのに利用
される表面欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の表面欠陥検査装置としては、例え
ば、特開平２−７３１３９号公報などに示されたものが
ある。

【０００３】この表面欠陥検査装置では、被検査面に所
定の明暗縞（ストライプ）模様を映し出し、被検査面上
に凹凸等の欠陥があった場合、それによる明度（輝度）
差や明度（輝度）変化をもった受光画像を微分すること
により、被検査面の表面の欠陥を検出するという方法を
用いたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のごとき
従来の表面欠陥検査装置においては、次のような問題が
あった。

【０００５】例えば、自動車ボディの塗装において、通
常、表面欠陥と呼ばれるものは、ゴミ等が付着した上に
塗装が行われた結果生じる塗装表面の凸部であり、例え
ば、直径が０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度で厚さが数十μｍ程
度のものである。そして、この程度の凸部は直径が小さ
いのに比べて高さ（厚さ）が比較的大きいため、光の乱
反射角が大きくなり、目につきやすい。

【０００６】これに対して、欠陥とはならない凹凸も存
在する。すなわち、塗料溶剤の蒸発する過程において発
生する渦対流により、塗料の濃度が厳密には一定でなく
なるので、塗膜の厚さには極めて薄い（低い）凹凸が周
期的に発生する。この凹凸は、例えば、山と山の間隔が
１〜１０ｍｍ程度で、凹凸の高さが数μｍ程度である。
このような極めて薄い凹凸は通常では気がつかない程度
のものであり、欠陥とはならない。

【０００７】しかし、光の加減等では、“ゆず”や“オ
レンジ”の表面のように見えることがあるので、いわゆ
る“ゆず肌”もしくは“オレンジ肌”と呼ばれるもので
ある。

【０００８】上記のごとき従来例においては、輝度変化
を強調して検出するため、上記の“ゆず肌”のような本
来欠陥とはならない極めて薄い凹凸をも検出して、これ
を欠陥と誤判断するおそれがある。

【０００９】したがって、従来技術においては、いわゆ
る“ゆず肌”のような本来欠陥とはならない極めて薄い
凹凸をも欠陥として誤検出するおそれがあるという問題
があった。

【００１０】

【発明の目的】本発明は、上記のごとき従来技術の問題
を解決するためになされたものであり、いわゆる“ゆず
肌”のような本来欠陥とはならない極めて薄い凹凸を欠
陥として誤検出することがなく、より精度の高い欠陥検
出を行うことの出来る表面欠陥検査装置を提供すること
を目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる表面欠陥
検査装置は、請求項１に記載しているように、被検査体
の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づ
いて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査
面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検
査面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検
査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像デー
タに変換する撮像手段と、画像データにおける空間周波
数成分のうち高い周波数成分でかつレベルが所定値以上
の成分のみを欠陥の候補として抽出する画像処理手段
と、被検査面もしくは照明手段および撮像手段の少なく
ともいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記
画像処理手段により所定の処理を実行してそこで得られ
る時系列に処理された連続した２つの画像のそれぞれに
存在する欠陥候補の座標値から算出した移動画素数ｄ１
および移動方向が、上記２つの画像間の時間差ｔと上記
移動の速度ｖと上記移動方向の撮像手段の視野Ｓと上記
移動方向の画像の大きさ（画素数）Ｌとに基づいて算出
される移動画素数ｄ２および上記２つの画像間における
欠陥候補の移動方向に対して、所定の比較条件で適合す
るか否かを判定して適合した際にはその欠陥候補領域を
欠陥と判断する追跡処理手段と、上記被検査面もしくは
照明手段および撮像手段の移動に関する物理量を検出す
る移動検出手段と、上記追跡処理手段において撮像手段
から被検査面までの撮影距離に基づいて上記移動画素数
ｄ２を補正する構成としたことを特徴としている。

【００１２】そして、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項２に記載しているよう
に、追跡処理における比較条件が、移動画素数ｄ２の大
きさに基づいて変化する構成のものとすることができ、
請求項３に記載しているように、追跡処理手段におい
て、撮像手段から被検査面までの距離に関する物理量を
測定する距離測定手段を備え、距離測定手段の測定結果
を用いて移動画素数ｄ２を補正する構成のものとするこ
とができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明による表面欠陥検
査装置の一実施形態を示す機能ブロック図であって、１
は被検査体、例えば、自動車ボディであり、１ａは被検
査面、例えば、塗装面である。

【００１４】また、２は被検査面１ａに所定の明暗パタ
ーンを映し出す照明手段であり、例えば、後記図３に示
す照明手段である。

【００１５】さらに、３は被検査面１ａを撮像して上記
明暗パターンを電気信号の画像データに変換する撮像手
段であり、例えば、ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ等の
ビデオカメラである。

【００１６】さらにまた、４は上記撮像手段３によって
得られた画像データにおける空間周波数成分のうち高い
周波数成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥
の候補として抽出する画像処理手段である。

【００１７】さらにまた、５は上記被検査面１ａもしく
は照明手段２および撮像手段３の少なくともいずれか一
方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段４
により所定の処理を実行してそこで得られる時系列に処
理された連続した２つの画像のそれぞれに存在する欠陥
候補の座標値から算出した移動画素数ｄ１および移動方
向が、上記２つの画像間の時間差ｔと上記移動の速度ｖ
と上記移動方向の撮像手段の視野Ｓと上記移動方向の画
像の大きさ（画素数）Ｌとに基づいて算出される移動画
素数ｄ２および上記２つの画像間における欠陥候補の移
動方向に対して、所定の比較条件で適合するか否かを判
定して適合した際にはその欠陥候補を欠陥と判断する追
跡処理手段であり、これら画像処理手段４および追跡処
理手段５の部分は、例えば、コンピュータで構成され
る。

【００１８】また、６は上記被検査面１ａもしくは照明
手段２および撮像手段３の移動に関する物理量を検出す
る移動検出手段であり、例えば、速度検出センサ等で構
成される。

【００１９】さらにまた、上記追跡処理手段５における
視野Ｓは、撮像手段３から被検査面１ａまでの撮影距離
に応じて変化するため、上記視野Ｓより算出される移動
画素数ｄ２も変化する。

【００２０】上記の構成は、例えば、後記図２〜図９で
説明する実施例に相当する。

【００２１】また、請求項２に記載のように、上記追跡
処理における比較条件が、上記移動画素数ｄ２の大きさ
に基づいて変化するものである。

【００２２】上記の構成は、例えば、後記図１０で説明
する実施例に相当する。

【００２３】さらに、請求項３に記載のように、上記追
跡処理手段５において上記移動画素数ｄ２が、撮像手段
３から被検査面１ａまでの距離に関する物理量を測定す
る距離測定手段による測定結果を用いて補正されるもの
である。

【００２４】

【発明の作用】上記のように、請求項１に記載の発明に
おいては、照明手段２によって被検査面１ａに所定の明
暗パターンを映し出し、それを撮像手段３で撮像して上
記明暗パターンを電気信号の画像データに変換する。

【００２５】次に、画像処理手段４では、上記明暗パタ
ーンの画像データにおける空間周波数成分のうち高い周
波数成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを抽出す
る。ここで、上記の画像データにおける高周波数成分と
は、凹凸状の欠陥などといった輝度変化のある部分であ
り、上記のようにレベルが所定値以上の成分のみを抽出
することにより、欠陥と思われる候補となる領域を抽出
することが出来る。

【００２６】次に、追跡処理手段５では、上記被検査面
１ａもしくは照明手段２および撮像手段３の少なくとも
いずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像
処理手段４により所定の処理を実行してそこで得られる
時系列に処理された連続した２つの画像のそれぞれに存
在する欠陥候補の座標値から算出した移動画素数ｄ１お
よび移動方向が、上記移動検出手段６で検出した移動に
関する物理量から算出した移動速度ｖと上記２つの画像
間の時間差ｔと上記移動方向の撮像手段３の視野Ｓと上
記移動方向の画像の大きさ（画素数）Ｌとに基づいて算
出される移動画素数ｄ２および上記２つの画像間におけ
る欠陥候補の移動方向に対して、所定の比較条件で適合
するか否かを判定して適合した際にはその欠陥候補を欠
陥と判断する。

【００２７】上記移動速度ｖは、移動検出手段６によっ
て検出した移動に関する物理量から算出する。そして、
被検査面１ａもしくは照明手段２および撮像手段３のい
ずれか一方を移動とし、つまりもう一方を固定とするこ
とにより、被検査面１ａ上の欠陥は上記処理画像中を上
記移動と同期して移動する。よって、画像における欠陥
候補が上記移動と同期しているならば、それを欠陥と判
断することができ、“ゆず肌”などの画像中を移動しな
い輝度変化領域と区別することができる。

【００２８】さらに、上記移動画素数ｄ２を撮像手段３
から被検査面１ａまでの撮影距離に基づいて補正するも
のであり、被検査体１の形状などによって上記撮影距離
が時間とともに変化することで画像における欠陥の見か
けの速度が変化しても、欠陥を見逃すことのない精度の
良い追跡処理が実現されることとなる。

【００２９】上記のように、請求項１に記載の発明にお
いて被検査面１ａの全体を検査するには、被検査体１も
しくは照明手段２と撮像手段３を順次移動させ、カメラ
の視野が被検査面１ａの全体を走査するように構成す
る。

【００３０】次に、請求項２に記載の発明においては、
上記追跡処理における比較条件が、移動画素数ｄ２の大
きさに基づいて変化する構成としたものであり、例え
ば、上記２つの画像間の時間差ｔもしくは上記移動速度
ｖが大きく移動画素数ｄ１およびｄ２が大きくなって
も、それに追従して上記比較範囲も大きくなるため、欠
陥を見逃すことはないものとなる。

【００３１】次に、請求項３に記載の発明においては、
撮像手段３から被検査面１ａまでの距離に関する物理量
を測定する距離測定手段の測定結果を用いて上記移動画
素数ｄ２を補正して上記追跡処理を行う構成としたた
め、カメラの視野が変化しても欠陥を見逃すことなく検
出しうることとなる。

【００３２】

【発明の効果】本発明に係わる請求項１に記載の表面欠
陥検査装置では、上記の構成としたから、“ゆず肌”の
ような本来欠陥とはならない極めて薄い凹凸が例えば平
面でない被検査面に形成されていたときにおいても、従
来のようにこのような“ゆず肌”を欠陥として検出する
ことがなく、欠陥のみを精度良く検出することが可能で
あるという著しく優れた効果がもたらされる。

【００３３】また、本発明に係わる請求項２に記載の表
面欠陥検査装置では、上記の構成としたから、例えば、
２つの画像間の時間差もしくは移動速度が大きく移動画
素数が大きくなっても、それに追従して追跡処理におけ
る比較範囲が大きくなるため、欠陥を見逃すことがない
ものとすることができるという著しく優れた効果がもた
らされる。

【００３４】さらに、本発明に係わる請求項３に記載の
表面欠陥検査装置では、上記の構成としたから、例え
ば、撮像手段から被検査面までの距離が変化して、撮像
手段のカメラの視野が変化したとしても、欠陥を見逃す
ことなく検出することが可能であるという著しく優れた
効果がもたらされる。

【００３５】

【実施例】以下、本発明による表面欠陥検査装置の実施
例を図面に基づいて説明する。

【００３６】図２〜図９は、本発明の表面欠陥検査装置
の一実施例を示すものである。

【００３７】本実施例では、被検査体１として自動車の
ボディの塗装面を被検査面１ａとして説明する。

【００３８】図２において、２は被検査面１ａの所定の
明暗パターンを映し出す照明手段である。また、３は被
検査面１ａを撮像して上記明暗パターンを電気信号の画
像データに変換する撮像手段であり、例えば、ＣＣＤカ
メラ等のビデオカメラである。ここで、被検査面１ａの
移動方向のカメラ視野の大きさをＳとする。

【００３９】さら、４は上記カメラ３によって得られた
画像データを処理する画像処理手段である。

【００４０】さらにまた、５は画像処理手段４で処理さ
れた時系列に連続した画像から欠陥７を検出する追跡処
理手段であり、パソコン等のコンピュータである。

【００４１】さらにまた、６は、上記被検査面１ａもし
くは照明手段２およびカメラ３の移動に関する物理量を
検出する移動検出手段としての速度検出センサである。

【００４２】本実施例では、照明手段２およびカメラ３
が固定され、被検査面１ａが搬送コンベアのようなもの
（図示せず）で図２の矢印Ａの方向に速度ｖで移動して
いるものとする。

【００４３】したがって、この場合に、速度検出センサ
６はコンベア駆動装置の回転情報を検出する例えばパル
スジェネレータであり、コンピュータ（追跡処理手段）
５は得られた上記回転情報から上記速度ｖを算出する。
それゆえ、コンピュータ（追跡処理手段）５は、追跡処
理以外の計算等をも行うものであり、装置全体のホスト
コンピュータ的な役割を果たすものである。

【００４４】図３は、照明手段２の一例を示すものであ
り、筐体９に蛍光灯１０が複数取り付けらている。そし
て、１１は、明暗パターン照明板であり、例えば、乳白
色のアクリル板といった拡散板につや消し黒色の遮光部
を施すことにより明暗パターン光を形成する。本実施例
では、図３に示すようなストライプパターンの照明を用
いるものとする。

【００４５】次に、画像処理手段４における欠陥候補領
域の抽出手順の一例を説明する。

【００４６】図２に示すように、ストライプパターンの
映し出された被検査面１ａをモノクロのカメラ３で撮像
すると、図４の（ａ）に示すような濃淡画像（原画像）
が得られる。このとき、カメラ３の視野内の被検査面１
ａ上に凹凸状の欠陥７があると、この欠陥７で光が乱反
射するため、画像において欠陥７は周囲とは異なる明る
さ（輝度）の領域として映し出される。例えば、図４の
（ａ）に示す原画像のように、明ストライプの中に欠陥
７がある場合、暗い領域となって映し出される。

【００４７】また、塗装面である被検査面１ａに前述し
た“ゆず肌”が形成されていると、原画像においてスト
ライプパターンの境界線が“ゆず肌”の影響で乱れ、上
記欠陥７と同様に周囲とは異なる明るさを持った孤立点
となって現れる。

【００４８】図５に示すステップＳ１において上記の原
画像を入力したあと、図５のステップＳ２においてこの
原画像に対して微分等のエッジ検出処理を行い、図５の
ステップＳ３において所定の輝度レベルのしきい値で２
値化すると、図４の（ｂ）に示すような輝度変化のある
領域が白、それ以外が黒となる２値画像が得られる。

【００４９】続いて、図５のステップＳ４において画像
の白領域に対してラベリング（ラベル付け）を行い、ス
テップＳ５において面積および重心座標の算出を行う。
ここで、２値画像において、欠陥７は面積の小さい孤立
点であり、ストライプパターンの境界線は画面を縦に横
切る面積の大きな領域であることから、２値画像におい
て所定の面積値より大きい領域を除去する面積判定処理
を図５のステップＳ６で行うと、図４の（ｃ）に示すよ
うな面積の小さな孤立点のみが残る面積判定結果画像が
得られる。このとき、欠陥７の他に“ゆず肌”により発
生した面積の小さい孤立点もノイズとして残る。

【００５０】次に、コンピュータ（追跡処理手段）５に
おける追跡処理および欠陥検出手順の一例を説明する。

【００５１】図６は、ある時刻ＴからＴ＋５ｔまでの時
系列に連続して処理した面積判定結果画像の一例を示す
ものであり、画像の横方向にｘ軸、縦方向にｙ軸をと
る。また、図７は、理解し易くするために図６の画像を
重ねあわせたものである。

【００５２】本実施例では、画像中を欠陥７が図６およ
び図７に示すようにｘ軸方向に右から左（図７の矢印Ｂ
の方向）へ移動するものとし、この移動方向における画
像サイズ（画素数）をＬとする。よって、例えば、時刻
ＴおよびＴ＋ｔの画像において、欠陥７が真横に移動し
ｙ方向の座標変化がなければ、欠陥７のｘ方向の重心座
標の差が移動画素数ｄ１であり、符号の移動方向を表わ
す。つまり、移動画素数ｄ１は、画像において欠陥候補
が実際に移動した量＝実移動量である。

【００５３】次に、移動画素数ｄ２について説明する。

【００５４】移動画素数ｄ２は、画像における被検査面
１ａの移動量の計算値であり、ｙ方向の座標変化なしで
移動するならば、次式（１）により算出できる。

【００５５】 移動画素数ｄ２＝ （画像間時間ｔ×移動速度ｖ×画像サイズＬ）／カメラ視野Ｓ・・・（１） 画像間時間ｔ：比較する２つの時間的に異なる画像間の
時間差。

【００５６】移動速度ｖ：速度検出センサ６の検出結果
よりコンピユータ５が算出する。

【００５７】画像サイズＬ：画像におけるボディ移動方
向の画素数。例えば、ｘ×ｙ＝５１２×４８０画素の画
素数でボディ１がｘ方向に移動するならば、Ｌ＝５１２
となる。

【００５８】カメラ視野Ｓ：被検査面１ａの移動方向に
おけるカメラ視野の大きさ。例えば、ｔ＝０．１
［Ｓ］、ｖ＝１００［ｍｍ／ｓ］、Ｌ＝５１２［画
素］、Ｓ＝１２０［ｍｍ］とすると、ｄ２＝４２．７
［画素］となる。

【００５９】なお、上記移動画素数ｄ２の算出方法は、
本実施例に限定されるものではない。

【００６０】次に、追跡処理による欠陥判定方法につい
て説明する。

【００６１】本実施例の追跡処理とは、時系列に処理さ
れた２つの画像から被検査面１ａの移動に同期した移動
物体を検出するものであり、被検査面１ａと同じ動きを
するものは欠陥と判定し、上記“ゆず肌”により発生す
るノイズは被検査面１ａの移動とは無関係に発生するの
で欠陥とは判定されない。

【００６２】図９の（ａ）において、ある時刻の欠陥７
を●で表わし、ｔ秒後の欠陥を○で表わし、上記速度検
出センサ６の検出結果から式（１）で算出したｔ秒間の
移動画素数ｄ２より予想されるｔ秒後の欠陥位置を×で
表わす。なお、この時点での●および○は欠陥候補であ
り、下記のような手順で欠陥か否かを判定する。

【００６３】ここで、欠陥●およびｔ秒後の欠陥○の重
心座標差、つまり、移動画素数ｄ１のｘおよびｙ方向の
重心座標差をｄｘ１およびｄｙ１、ｘ方向における欠陥
●の重心座標と上記ｔ秒後の欠陥予想位置の重心座標と
の差をｄｘ２とする。ｔ秒後の欠陥○の位置が、被検査
面１ａの移動量より算出した欠陥予想位置×と一致すれ
ば、欠陥である確率が高いと判断できる。よって、上記
処理を時系列に得られる画像に対してくり返し行い、１
つの欠陥候補において上記一致回数が所定の回数以上で
あったならば、その欠陥候補を欠陥と判定する。例え
ば、図６に示すように、欠陥７が画面に現れてから通過
するまで６回映るものとすると、上記一致回数の判定値
は６回以下となるわけであり、判定値の設定は実験的に
行えばよい。

【００６４】しかし、被検査面１ａの振動等の影響によ
り欠陥が画像中を直線的に移動しない場合、図９に示す
ようにｔ秒後の欠陥○の位置は、欠陥予想位置×と一致
しない。このような場合においても欠陥を確実に検出す
るために、欠陥予想位置を基準とした追跡範囲を設定す
る。この追跡範囲は、例えば、図９の（ｂ）に示すよう
な欠陥予想位置×を中心とした幅ｈｘ，ｈｙの長方形の
領域８である。この追跡範囲の領域８内にｔ秒後の欠陥
○があったならば、つまり、 ｜ｄｘ１−ｄｘ２｜＜ｈｘ／２、および、｜ｄｙ１−ｄ
ｙ２｜＜ｈｙ／２ （ただし、本実施例では、ｄｙ２＝０）が成り立つなら
ば、この欠陥候補が本物の欠陥である確率が高いと判断
する。以下、上記と同様に欠陥判定処理を行う。

【００６５】なお、上記欠陥判定方法や追跡範囲（の領
域）は本実施例に限定されるものではない。

【００６６】ここまで述べてきたような構成、手順で欠
陥を検出することができるが、被検査面１ａが図８に示
すような平面でない場合もあっても、平面の場合と同様
に精度よく欠陥検出を行う方法を以下に述べる。

【００６７】図８に示すように、被検査面１ａが単純な
平面でなく、被検査面１ａ−１および１ａ−２のように
変化すると、カメラ３の撮影距離ＤもＤ１、Ｄ２と変化
するので、それぞれの視野の大きさＳもＳ１、Ｓ２と変
化する。よって、上記式（１）による移動画素数ｄ２の
計算結果に誤差が生じてしまう。このような被検査面１
ａの形状の影響を防ぐために、カメラ３の撮影距離に応
じた視野Ｓを用いて式（１）を計算して移動画素数ｄ２
を算出すればよい。これは、例えば、被検査面１ａ−
１、１ａ−２の形状が既知であれば、所定のタイミング
で視野Ｓ１、Ｓ２を切り替えて式（１）の計算を行うこ
とで実現できる。

【００６８】次に、請求項２の実施例を説明する。

【００６９】本発明は、ある時刻の画像から次の時刻ま
での移動画素数ｄ２の大きさに応じて、上記追跡範囲の
大きさが変化するものである。例えば、図１０に示すよ
うに、ある時刻の欠陥候補●を基準とした扇状に接する
長方形の領域８を追跡範囲とすれば、画像における次の
時刻の欠陥候補までの距離が大きく、それに比例して誤
差が大きい場合でも欠陥を見逃すことがなく追跡でき
る。

【００７０】次に、請求項３の実施例を説明する。

【００７１】上記請求項１の実施例では被検査面１ａの
形状が既知である場合について記載したが、本実施例で
は、被検査面１ａの形状が既知でない場合にカメラ３か
ら被検査面１ａまでの距離に関する物理量を距離測定手
段例えば測距センサ等で測定し、その測定結果に基づい
て移動画素数ｄ２に補正を加えるものである。

【００７２】例えば、図８に示すように、被検査面１ａ
に対してカメラ３とほぼ同じ高さに固定された距離測定
手段としての測距センサ１２によりカメラ視野Ｓ１，Ｓ
２近辺の被検査面１ａまでの距離Ｋを測定する。上記距
離Ｋは、撮影距離Ｄに比例するので、図１１に示すよう
な距離Ｋとカメラ視野Ｓとの関係をあらかじめ求めてお
き、これに基づいて移動画素数ｄ２を算出すればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による表面欠陥検査装置の一実施形態を
示す機能ブロック図である。

【図２】本発明の一実施例による表面欠陥検査装置を機
能ブロック図と共に示す要部説明図である。

【図３】照明手段の一例を示す概略斜視説明図である。

【図４】画像処理手段による処理過程における画像の変
化を（ａ）〜（ｃ）に分けて示す説明図である。

【図５】画像処理手段および追跡処理手段による処理過
程における処理フローを示す説明図である。

【図６】追跡処理手段による処理過程における面積判定
結果画像の変化を（ａ）〜（ｆ）に分けて示す説明図で
ある。

【図７】追跡処理手段による追跡処理の説明図である。

【図８】本発明の実施例において被検査面が単純な平面
でなく、被検査面とカメラとの距離が変化するときの処
理要領を示す説明図である。

【図９】追跡処理の際の比較範囲を（ａ）（ｂ）に分け
て示す説明図である。

【図１０】追跡処理の際の比較範囲の時刻による変化を
示す説明図である。

【図１１】あらかじめ求めた距離Ｋと視野Ｓとの関係の
一例を表す説明図である。

【符号の説明】

１ 被検査体（自動車ボディ） １ａ，１ａ−１，１ａ−２ 被検査面 ２ 照明手段 ３ 撮像手段（カメラ） ４ 画像処理手段（コンピュータ） ５ 追跡処理手段（コンピュータ） ６ 移動検出手段（速度検出センサ） ７ 欠陥 ８ 追跡範囲の領域 １０ 蛍光灯 １１ 明暗パターン照明板 １２ 距離測定手段（測距センサ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−145906（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−86633（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−86634（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−73139（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G01B 11/00 - 21/30

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査体の被検査面に光を照射し、被検
   査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受
   光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥
   検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを形
   成する照明手段と、被検査面を撮像して得られる受光画
   像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、画像
   データにおける空間周波数成分のうち高い周波数成分で
   かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として
   抽出する画像処理手段と、被検査面もしくは照明手段お
   よび撮像手段の少なくともいずれか一方を移動させなが
   ら任意の時刻毎に上記画像処理手段により所定の処理を
   実行してそこで得られる時系列に処理された連続した２
   つの画像のそれぞれに存在する欠陥候補の座標値から算
   出した移動画素数ｄ１および移動方向が、上記２つの画
   像間の時間差ｔと上記移動の速度ｖと上記移動方向の撮
   像手段の視野Ｓと上記移動方向の画像の大きさ（画素
   数）Ｌとに基づいて算出される移動画素数ｄ２および上
   記２つの画像間における欠陥候補の移動方向に対して、
   所定の比較条件で適合するか否かを判定して適合した際
   にはその欠陥候補領域を欠陥と判断する追跡処理手段
   と、上記被検査面もしくは照明手段および撮像手段の移
   動に関する物理量を検出する移動検出手段と、上記追跡
   処理手段において撮像手段から被検査面までの撮影距離
   に基づいて上記移動画素数ｄ２を補正する構成としたこ
   とを特徴とする表面欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 追跡処理における比較条件が、移動画素
   数ｄ２の大きさに基づいて変化する構成としたことを特
   徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 追跡処理手段において、撮像手段から被
   検査面までの距離に関する物理量を測定する距離測定手
   段を備え、距離測定手段の測定結果を用いて移動画素数
   ｄ２を補正する構成としたことを特徴とする請求項１に
   記載の表面欠陥検査装置。