JP2976256B2 - 測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は測定装置に関し、特に
たとえば、準マイクロ波までの高周波デバイスの開発，
量産における電気特性評価を行うための測定装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図４は高周波デバイスの量産時における
電気特性評価を行うための従来の測定装置を示す斜視図
である。測定装置１は導電材料で形成された基板２を含
む。基板２の一方主面上には、基板２本体と絶縁するた
めの溝３ａ，３ｂを隔てて、電極４ａ，４ｂが形成され
る。

【０００３】電極４ａ，４ｂには、それぞれ信号コンタ
クトピン５ａ，５ｂが接続される。また、信号コンタク
トピン５ａ，５ｂ間には、２つのグラウンドコンタクト
ピン６ａ，６ｂが形成される。同様に、電極４ａ，４ｂ
と向かい合う位置にも、２つの信号コンタクトピン５
ｃ，５ｄおよび２つのグラウンドコンタクトピン６ｃ，
６ｄが形成される。信号コンタクトピン５ａ，５ｂ，５
ｃ，５ｄおよびグラウンドコンタクトピン６ａ，６ｂ，
６ｃ，６ｄはばね性を有し、それぞれ１枚の板を２箇所
で折り曲げた形状に形成される。

【０００４】電極４ａ，４ｂには、それぞれセミリジッ
ドケーブル７ａ，７ｂの内部導体８ａ，８ｂが、はんだ
９ａ，９ｂによってはんだ付けされ、接続される。セミ
リジッドケーブル７ａ，７ｂの外部導体は、それぞれは
んだ１０ａ，１０ｂによって基板２にはんだ付けされ
る。

【０００５】この測定装置１には、被測定デバイス１１
が上方から挿入される。被測定デバイス１１の長手方向
の側面には、４つの側面電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，
１２ｄが等間隔に形成される。さらに、側面電極１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが形成された面の向かい側
の面にも、４つの側面電極１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１
２ｈが等間隔に形成される。なお、側面電極１２ａは入
力用であり、側面電極１２ｄは出力用である。また、側
面電極１２ｅ，１２ｈはダミー用であり、側面電極１２
ｂ，１２ｃ，１２ｆ，１２ｇは接地用である。

【０００６】側面電極１２ａ，１２ｄは、それぞれ信号
コンタクトピン５ａ，５ｂによって、それぞれ押さえつ
けられる。同様に、側面電極１２ｂ，１２ｃも、グラウ
ンドコンタクトピン６ａ，６ｂによって、それぞれ押さ
えつけられる。さらに、側面電極１２ｅ，１２ｈも、信
号コンタクトピン５ｃ，５ｄによって、それぞれ押さえ
つけられる。また、側面電極１２ｆ，１２ｇも、グラウ
ンドコンタクトピン６ｃ，６ｄによって、それぞれ押さ
えつけられる。

【０００７】この測定装置１では、入力用の側面電極１
２ａへ入力信号を送ったときの出力用の側面電極１２ｄ
からの出力信号を測定し、被測定デバイス１１の電気特
性評価を行っていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定装置１では、たとえば特性インピーダンスが５０Ω
となるように設定されるが、電極４ａ，４ｂと信号コン
タクトピン５ａ，５ｂと内部導体８ａ，８ｂとが露出し
ている。そのため、この露出している部分でインダクタ
ンスが発生してしまう。また、電極４ａ，４ｂと基板２
との間で、浮遊容量が発生する。すなわち、セミリジッ
ドケーブル７ａ，７ｂから信号コンタクトピン５ａ，５
ｂにいたる部分で発生する電気的不連続要因を定量的に
把握することが難しく、被測定デバイス１１の特性を正
確に測定することが困難であった。

【０００９】また、被測定デバイス１１の挿入の方向に
よって、信号コンタクトピン５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄお
よびグラウンドコンタクトピン６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ
が大きく撓んでしまう場合がある。信号コンタクトピン
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄおよびグラウンドコンタクトピ
ン６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの撓み許容量は微少であり、
信号コンタクトピン５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄおよびグラ
ウンドコンタクトピン６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄとその固
定部分にかかるストレスによる破損が発生しやすかっ
た。さらに、各コンタクトピンが変形すると、コンタク
ト不良の原因ともなり、被測定デバイス１１の特性を正
確に測定できなくなってしまう。

【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、電
子部品の特性を正確に測定でき、コンタクト不良を大幅
に改善でき、破損しにくい測定装置を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、電子部品を
載置するための固定台と、固定台の近傍において固定台
に向かって延びるように配置され、固定台の厚み方向に
撓むばね性を有するコンタクトピンと、固定台の一方主
面側およびコンタクトピンの固定台側の端部を除く部分
を覆うようにして導電材料で形成されるケースと、コン
タクトピンに接続されるコネクタとを含み、コンタクト
ピンの固定台側の端部は、固定台の一方主面より高い位
置に配置される、測定装置である。

【００１２】

【作用】コンタクトピンの大部分が導体で覆われる。そ
のため、コンタクトピンを電子部品に接触させたとき、
コンタクトピンは、理想的なエアーストリップラインと
して働く。すなわち、コンタクトピンの先端部分のみが
露出するので、特性インピーダンスの乱れが小さくな
る。また、コンタクトピンの固定台側の端部の位置と固
定台の一方主面の位置で、電子部品を挿入したときのコ
ンタクトピンの撓み量が決定される。

【００１３】

【発明の効果】この発明によれば、特性インピーダンス
が良好なため、電子部品の特性を正確に測定できる。コ
ンタクトピンの撓み量が一定なため、コンタクトピンの
変形，破損が少なく、コンタクト不良を大幅に改善でき
る。

【００１４】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１５】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す分解斜視図
である。測定装置２０は、第１の測定プレート２２を含
む。第１の測定プレート２２は、たとえば無酸銅に金メ
ッキを施したもので、ほぼ矩形に形成され、鏡面仕上げ
をするのが好ましい。

【００１６】図２に示すように、第１の測定プレート２
２の中央部には、薄板状の固定台２４が形成される。固
定台２４はたとえばゴムなどの絶縁体によって形成され
る。さらに、第１の測定プレート２２の中央部には、固
定台２４の周囲に４つの孔２６が形成される。また、第
１の測定プレート２２の幅方向における両端部には、そ
れぞれ２つずつのＵ字形の凹部２８ａ，２８ｂおよび凹
部３０ａ，３０ｂが形成される。さらに、第１の測定プ
レート２２における４つの孔２６の周囲には、８つの孔
３２が形成される。

【００１７】第１の測定プレート２２の４つの孔２６の
下部には、４つのＳＭＡコネクタ３４がそれぞれ取り付
けられる。ＳＭＡコネクタ３４の内部導体３８は、第１
の測定プレート２２の孔２６から突き出る。そして、Ｓ
ＭＡコネクタ３４の内部導体３８の先端には、それぞれ
信号コンタクトピン４２が、内部導体３８と取り付けら
れる。信号コンタクトピン４２は、４つの内部導体３８
にそれぞれ１つずつ計４つ取り付けられ、固定台２４に
向かって延びるように配置される。また、信号コンタク
トピン４２は、やや上向きとなるようにセットされ、そ
の先端がやや下向きに折り曲げられる。そして、信号コ
ンタクトピン４２は、固定台２４の厚み方向に撓むばね
性を有する。そして、信号コンタクトピン４２の端部
は、固定台２４の一方主面より高い位置となるように配
置される。

【００１８】固定台２４の両側には、４つの信号コンタ
クトピン４２の間に、２つのグラウンドコンタクトピン
４４が形成され、固定台２４に向かって延びるように配
置される。グラウンドコンタクトピン４４は、やや上向
きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに折
り曲げられる。そして、グラウンドコンタクトピン４４
は、固定台２４の厚み方向に撓むばね性を有する。な
お、信号コンタクトピン４２およびグラウンドコンタク
トピン４４には、たとえばりん青銅に金メッキを施した
板ばねが使用される。

【００１９】第１の測定プレート２２の上部には、第２
の測定プレート４６が形成される。第２の測定プレート
４６は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。

【００２０】第２の測定プレート４６の中央部には、ほ
ぼ矩形の開口部４８が形成される。開口部４８は、第２
の測定プレート４６が第１の測定プレート２２の４つの
孔２６を覆わない大きさに形成される。すなわち、測定
装置２０を組み立てたとき、信号コンタクトピン４２お
よびグラウンドコンタクトピン４４が開口部４８内に位
置する。

【００２１】また、第２の測定プレート４６の幅方向に
おける両端部には、それぞれ２つずつのＵ字形の凹部５
０ａ，５０ｂおよび凹部５２ａ，５２ｂが形成される。
さらに、第２の測定プレート４６における開口部４８の
周囲には、８つの孔５４が形成される。

【００２２】第２の測定プレート４６の上部には、第３
の測定プレート５６が形成される。第３の測定プレート
５６は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。

【００２３】第３の測定プレート５６の中央部には、ほ
ぼ矩形の開口部５８が形成される。開口部５８は、測定
装置２０を組み立てたとき、信号コンタクトピン４２の
先端が露出する大きさに形成される。また、第３の測定
プレート５６の幅方向における両端部には、それぞれ２
つずつのＵ字形の凹部６０ａ，６０ｂおよび凹部６２
ａ，６２ｂが形成される。さらに、第３の測定プレート
５６における開口部５８の周囲には、８つの孔６４が形
成される。

【００２４】それぞれ８つずつの孔３２，５４，６４
は、対応する位置に形成される。そして、８つずつの孔
３２，５４，６４に８つのビス６６が挿通され、測定プ
レート２２，４６，５６が固定され、測定装置２０が組
み立てられる。

【００２５】そして、測定装置２０の特性インピーダン
スが５０Ωとなるように、第１の測定プレート２２の孔
２６の寸法，信号コンタクトピン４２の幅および厚み，
第２の測定プレート４６の厚みは決定される。

【００２６】ＳＭＡコネクタ３４には、セミリジッドケ
ーブル（図示せず）が接続される。そして、図３に示す
ように、測定装置２０に被測定デバイス６８が挿入さ
れ、固定台２４の上に載置される。このとき、被測定デ
バイス６８は、第３の測定プレート５６の開口部５８か
ら挿入される。すなわち、第３の測定プレート５６の開
口部５８は、被測定デバイス６８がちょうど収まる寸法
となるように形成される。そして、第３の測定プレート
５６の開口部５８は、被測定デバイス６８の位置決めを
する役割を果たす。

【００２７】被測定デバイス６８の側面には、４つずつ
計８つの側面電極７０が形成される。８つの側面電極７
０のうち、たとえば、１つは入力用であり、１つは出力
用であり、２つはダミー用であり、４つは接地用であ
る。そして、入力用，出力用およびダミー用の側面電極
７０には、信号コンタクトピン４２が接続され、接地用
の側面電極７０には、グラウンドコンタクトピン４４が
接続される。このとき、信号コンタクトピン４２および
グラウンドコンタクトピン４４はばね性を有し、やや上
向きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに
折り曲げられるので、側面電極７０が接触しやすい。

【００２８】この実施例によれば、信号コンタクトピン
４２の大部分が導体で覆われるので、信号コンタクトピ
ン４２は、理想的なエアーストリップラインとなる。そ
のため、特性インピーダンスが良好であり、電子部品の
特性を正確に測定できる。また、コンタクトピンの撓み
量が、信号コンタクトピン４２の端部と固定台２４の一
方主面との距離で決定され一定なため、コンタクトピン
の変形，破損が少なくなる。実験では、従来の測定装置
では約１０％発生したコンタクト不良を１％以下にする
ことができ、コンタクト不良を大幅に改善できた。さら
に、板ばねの撓み量を十分に確保できるために長寿命で
あり、１万回以上の接触でも破損しない。

【００２９】なお、被測定デバイスの側面電極の数は任
意に変更可能であり、信号コンタクトピンおよびグラウ
ンドコンタクトピンの数は、側面電極の数に応じて変更
すればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。

【図２】測定装置の要部を示す図解図である。

【図３】測定装置に被測定デバイスを挿入した状態を示
す図解図である。

【図４】高周波デバイスの量産時における電気特性評価
を行うための従来の測定装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

２０ 測定装置 ２２ 第１の測定プレート ２４ 固定台 ２６ 孔 ３４ ＳＭＡコネクタ ４２ 信号コンタクトピン ４４ グラウンドコンタクトピン ４６ 第２の測定プレート ４８，５８ 開口部 ５６ 第３の測定プレート ６８ 被測定デバイス

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品を載置するための固定台、 前記固定台の近傍において前記固定台に向かって延びる
   ように配置され、前記固定台の厚み方向に撓むばね性を
   有するコンタクトピン、 前記固定台の一方主面側および前記コンタクトピンの前
   記固定台側の端部を除く部分を覆うようにして導電材料
   で形成されるケース、および前記コンタクトピンに接続
   されるコネクタを含み、 前記コンタクトピンの前記固定台側の端部は、前記固定
   台の一方主面より高い位置に配置される、測定装置。