JP2975047B2 - 研磨具 - Google Patents
研磨具Info
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Description
ド、磁気ディスク等の電子部品の精密研磨に適する研磨
テープに関する。
が、それにつれて研磨具に使用される研磨材粉末の粒子
寸法は益々微小なものが求められる。研磨材粒子が微小
になるにつれて、その表面エネルギーが増大するため、
研磨材粒子は凝集し易くなり、もし凝集した研磨材粒子
が支持フィルムに塗布されて研磨テープ等の研磨具が構
成された場合、被研磨物の表面に損傷を与える原因とな
る。
な低分子の分散剤が使用されているが、研磨テープを長
期保存した場合、添加された界面活性剤が表面に滲出
(ブリード)して被研磨物の表面に吸着し、表面の汚染
の原因となったり、塗膜を可塑化する原因となる。
良い研磨層を構成した研磨具を提供することを目的とす
る。本発明の他の目的は滲出の問題を有しない研磨具を
提供することを目的とする。
び結合剤を含む研磨塗料を塗布し乾燥してなる研磨層を
形成した研磨具において、表面官能基を有するポリマー
グラフト化超微粒マイクロゲルを添加したことを特徴と
する研磨具により、発明の目的を達成する。
ト化超微粒マイクロゲルは非常に微粒であるため、表面
積が大きく粘弾性の制御がし易い。この超微粒マイクロ
ゲルは研磨材粉末及びバインダー樹脂のいずれに対して
も親和性及び相溶性が高く、研磨材粉末塗料の分散が均
一になり、従って支持体に塗布乾燥した塗膜における微
粒研磨材粉末の凝集が防止され平滑性が向上する。又ゲ
ル及びバインダー樹脂相は塗膜中で連続層になり、機械
的及び物理的特性、耐熱性、及び耐摩耗性が向上するた
め、研磨性能及び研磨具の耐久性も向上する。又界面活
性材等の分散剤や潤滑剤を使用しないから、長期保存の
後にも滲出の問題がなく、被研磨物の表面を汚染した
り、塗膜を可塑化したりすることがない。
ステル樹脂、アクリル−ポリエステル共重合体より選択
される。又マイクロゲルの粒子径は0.02〜0.5μmであ
る。粒子径がこれよりも大きいと分散性が阻害される。
粒子径がこれよりも小さいと最早ゲルではなく、本発明
の意図した効果は得られない。
は極性基から選択された表面官能基が結合されている。
これらの基は、これらの基を有するモノマーをアクリル
樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル−ポリエステル共重
合体にグラフトと重合することにより製造することが出
来る。このようなモノマーの例にはアクリル酸、メタク
リル酸等の酸性基を有するもの、マレイン酸等の2塩基
性酸には低級アルコールを反応させたもの等の水酸基を
有するもの、アミンのような塩基性基を有するもの等が
ある。これらの官能基は研磨材粉末に対して親和性を有
する。一方ゲルの本体を構成する樹脂はバインダー樹脂
に対して親和性で且つ相溶性である。
〜20重量%、好ましくは1〜10重量%である。この範囲
よりも少ないと分散性が低下する。一方この範囲を超え
るとゲル化する。
鉄等の従来公知の研磨材粉末が使用でき、その平均粒子
径は目的研磨精度に応じて1μm以下のものが使用出来
る。又バインダーとしては熱可塑性、熱硬化性、電子線
硬化性樹脂等の公知のものが使用出来る。
調べた。研磨材塗料の配合は次の通りであった。
粉末の沈降体積を測定した。比較のためマイクロゲルを
添加しないものを使用して同様に沈降を測定した。その
結果を第1図に示す。
安定性が著しく向上した。
度及び表面性状を測定した。
リエステルフィルム支持体に塗布した。溶剤を乾燥除去
した。
てフロッピーディスク用の磁気ヘッドの最終研磨をテー
プ速度40m/分の速度で行ない、仕上がり面を500倍の光
学顕微鏡で観察し、傷発生率とテープの耐久性を評価し
た。その結果通常0.3%程度発生する面傷(粒子径で規
定される通常の研磨筋より大きいスクラッチ傷)は全く
発生せず。研磨テープ1ロールから研磨されるヘッド数
は約30%向上した。
らマイクロゲルの添加量が多いほど塗膜強度が向上する
こと、約10%を超えると効果が次第に飽和することが分
かる。従って、約20重量%以上で使用しても意味がな
い。
度及び表面性状を測定した。
ライトヘッドを10秒間仕上研磨し、ヘッド研磨面を500
倍の光学顕微鏡で観察し、ヘッド仕上り面とテープの耐
久性を評価した。その結果、1ロールから研磨されるヘ
ッドの個数は無添加のものと比較した約30%向上した。
又塗膜強度を測定したところ第3図の結果を得た。塗膜
強度はマイクロゲルの添加量が10%を超えるとし第に飽
和することが分かった。
と無添加の塗料の分散安定性を示すグラフ、第2図はア
ルミナ粉末を使用した塗膜におけるマイクロゲルの添加
量と研磨テープの塗膜強度を示すグラフ、及び第3図は
α酸化鉄粉末を使用した塗膜におけるマイクロゲルの添
加量と研磨テープの塗膜強度を示すグラフである。
Claims (4)
- 【請求項1】可撓性を有する支持体上に研磨材粉末及び
結合剤を含む研磨塗料を塗布し乾燥してなる研磨層を形
成した研磨具において、表面官能基を有するポリマーグ
ラフト化超微粒マイクロゲルを添加したことを特徴とす
る研磨具。 - 【請求項2】マイクロゲルの粒子径が0.02〜0.5μmで
あることを特徴とする前記第1項記載の研磨具。 - 【請求項3】マイクロゲルを構成する樹脂がアクリル樹
脂、ポリエステル樹脂、アクリル−ポリエステル共重合
体より選択される前記第1項又は第2項記載の研磨具。 - 【請求項4】表面官能基が酸性基、塩基性基、及び極性
基から選択されている前記第1項ないし3項のいずれか
に記載の研磨具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2117515A JP2975047B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 研磨具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2117515A JP2975047B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 研磨具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0419075A JPH0419075A (ja) | 1992-01-23 |
JP2975047B2 true JP2975047B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=14713675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2117515A Expired - Lifetime JP2975047B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 研磨具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2975047B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP2117515A patent/JP2975047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0419075A (ja) | 1992-01-23 |
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