JP2950069B2 - 半導体回路 - Google Patents

半導体回路

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JP2950069B2
JP2950069B2 JP4326369A JP32636992A JP2950069B2 JP 2950069 B2 JP2950069 B2 JP 2950069B2 JP 4326369 A JP4326369 A JP 4326369A JP 32636992 A JP32636992 A JP 32636992A JP 2950069 B2 JP2950069 B2 JP 2950069B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基準電圧発生回路に関
し、特にフードバック電圧微調整用抵抗を有する基準電
圧発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の電源電圧は年々低くな
る方向にある。現在のところ、半導体集積回路の電源電
圧は5vが主体であるが、次期の電源電圧は3.3vが
主流であると考えられている。
【0003】ところが、時代を先行する半導体集積回路
は3.3v電源に対応した回路構成および製造プロセス
によって設計される。しかし、同一システム上に両者が
混在した場合の電源電圧は5vになり、信頼性を維持し
たまま電源電圧を5vとするには、回路外部電源を降圧
して内部電源を3.3vに変更して使用する必要があ
る。
【0004】すなわち、安定した内部電源電圧を保証す
るための基準電圧を発生する回路が必要である。
【0005】従来の技術の基準電圧発生回路の構成を示
す図3を参照すると、この基準電圧発生回路は、p−c
hMOSFETQ1およびQ2と、抵抗RC,R31,
R32およびR33と、差動増幅回路Dif.Amp.
(Differrential Amplifier)
と、出力端子Vrefと、フューズFとで構成される。
抵抗R31,R32およびR33のそれぞれ寄生容量を
C31,C32およびC33とする。微調整用抵抗R3
1および寄生容量C31の値はほこの成分に比べかなり
小さいので本質的な説明の中では省いてある。フューズ
Fは抵抗R31をショートし、この抵抗値はR31と比
較すると無視できるほどの小さい。最初は、出力端子V
refとnode5の間の抵抗値は0Ωに近いが、ヒュ
ーズFを切ることにより抵抗値はR31と成る。
【0006】次に、基準電圧発生回路の動作を説明をす
る。
【0007】この差動増幅回路Dif.Ampは入力ハ
イインピーダンスであり、出力は出力端子Vrefを充
分に駆動可能である。抵抗Rcを通った電流がダイオー
ド接続されたトランジスタQ1およびQ2に流れる。差
動増幅回路Dif.Amp.の入力ハイインピーダンス
のため、+入力端子(node2)には定常電流は流れ
ない。抵抗Rcの値を所望の値に設定すると、ダイオー
ド接続のトランジスタQ1の、ソース・ドレイン間電圧
はスレショルド電圧Vtpになる。このときのソース・
ドレイン電流Icは、トランジスタの飽和電流に等し
い。同様に、トランジスタQ2のソース・ドレイン間電
圧もスレショルド電圧に等しい。従って、node2お
よびnode6の電圧V(node2),V(node
6) V(node2)=Vtp(1式) V(node6)=2・Vtp(2式) となる。ここで拡散層を電源レベルとせずにソースレベ
ルとするのは、電圧変動しにくいVtpを安定に得るた
めである。
【0008】差動増幅器回路Dif.Amp.は抵抗と
組み合わせて乗算器を構成している。フューズFが切れ
ていないときの出力端子Vrefの電圧V1(Vre
f)は V1(Vref)=2・(Vtp)・(R32+R3
3)/R33(3式) となる。
【0009】フューズFが切れているときの出力端子V
refの電圧V2(Vref)はV 2(Vref)=2・(Vtp)・(R31+R32+
R33)/R33(4式) と表される。帰還回路は乗算器の係数値を決める。
【0010】V(Vref)=3.3V、かつVtp=
0.825Vならば、係数値は2倍である。つまり、 (R32+R33)/R33=2(3.1式) である。
【0011】ところが、Vtpの値が半導体プロセス上
の問題により変動した場合に備えて図3のようなフュー
ズFを用いて係数Kを変化させることができる。フュー
ズFを切ると、 (R31+R32+R33)/R33=K(4.1式) となり、R31/R33だけ係数が増加する。フューズ
Fの付け方、本数により、係数Kを自在に調整可能であ
る。
【0012】また、差動増幅回路Dif.Amp.の+
入力端子にnode1のVtpレベルを直接入力しても
よいが、node2の二倍のVtpレベルを入力してい
る。これは、Dif.Amp.を構成しているトランジ
スタのスレショルド電圧の値も|Vtp|の値にはほぼ
等しい。Vtpの値付近での動作はそれらのトランジス
タの増幅領域を充分に活かしきれない。従って、Vtp
より大きな値が必要であり、図3の場合は2・Vtpで
ある。
【0013】以上述べたように、出力端子Vrefの電
圧値はスレショルド電圧Vtpと抵抗R31〜R33に
より決定し、外部電源の値によらない。出力端子Vre
fの電圧値V(Vref)が内部電源の基準値になる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】ところが、半導体回路
の内部での抵抗体には寄生容量がついてしまう。半導体
構造自体が、薄膜・微細であり隣接するものとの距離が
マイクロメートルオーダーであり、容量は無視できな
い。以下、シリコン半導体の実例により問題点をしめ
す。
【0015】抵抗を大きくすると、それに比例して寄生
容量は大きくなる。寄生容量が無視できないと単純な乗
算器では無く、微分器(微分乗算器)として働く。こう
なると、フィードバック回路(抵抗と容量)の時定数が
問題である。
【0016】寄生容量が大きくなるのは、次の理由によ
る。半導体薄膜のシート抵抗をρとした場合、幅がW、
長さがLを有する薄膜の抵抗値ROは RO=ρ・(L/W)(6式) であらわされる。
【0017】ところが、出力端子Vrefのドライバー
(図3では差動アンプそれ自体がドライバー)の電流能
力から見積もった現実的な抵抗値(R32+R33)、
シート抵抗ρの値(ここではポリシリコンの値を用い
た)、および抵抗幅Wの製造上の限界値をしめすと、 R32+R33=1MΩ(7式) ρ=200Ω/□(8式) W=1μm(9式) であり、(6式)に代入すると、 L=5mm(10式) となる。一般的な半導体集積回路のチップ面積は15m
mX8mm程度なので、抵抗の長さLはかなり大きい値
であることが解る。しかも、この抵抗は、この長さをた
たむ(つづら折りする)ために隣合う抵抗との分離が必
要で、この抵抗の 占有面積は抵抗占有面積=L・(W+0.5μm)=7
500μm2 (11式) ポリシリコン抵抗占有面積=S=LxW=5000μm
2 (12式) となる。
【0018】寄生容量Cpの値は簡便には単なる平行平
板の容量として求められる。しかし、限られた面積を有
効に使う集積回路は電源配線領域に抵抗を形成している
ために、ポリシリコン抵抗基板と電源配線アルミニュウ
ムに挟まれている。そのため、寄生容量Cpは、C32
+C33=Cpとして、(C31は考えないとして) Cp=ε0 ・εs ・S・(1/t1+1/t2)=0.
52pF(13式) ε0 :真空誘電率=8.854X10-12 F/m(14
式) εs :SiO2 の比誘電率=3.9(15式) t1:基板とポリシリコンの距離=0.9μm(16
式) t2:ポリシリコンとALの距離=0.4μm(17
式) で表される。
【0019】帰還回路の時定数τは、簡単には抵抗値と
容量値の積できまる。
【0020】(7式)と(13式)より、 τ=1MΩx0.52pF=520(ns)(18式) となる。
【0021】いま、電源変動があり、差動増幅器(およ
びVrefドライバー)を通して出力端子Vrefの電
圧が△Vだけ変動したとする。Vref+△Vは速やか
に、Vrefに戻らねばならない。しかし、(18式)
により、 Vref+△V/e=Vref+0.36△V(19
式) にまで復帰するのに、τ=520nsかかる。
【0022】一般的なシリコン半導体メモリ装置のサイ
クルタイムは、100〜200nsである。変動が36
%にまで復帰するのに5〜3サイクルを過ぎて半導体メ
モリ装置が動作してし安定した動作を保証しがたい。
【0023】すなわち、従来の回路は電位変動△Vを補
正するためのフィードバックが遅いという欠点があっ
た。
【0024】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体回路は、
電源より高抵抗手段の第1の接点に接続され、前記高抵
抗手段の第2の接点は差動増幅器の正入力端子および第
1のp型メタル・オキサイド・セミコンダクター・フィ
ールド・エフェクト・トランジスタ(以下p−chTと
略す)のソースに接続され、前記第1のp−chTのゲ
ートおよびドレインはそれぞれ第2のp−chTのソー
スおよび第3のp−chTのゲートに接続され、前記第
2のp−chTのゲートおよびドレインおよび第4のp
−chTのゲートおよびドレインはそれぞれ接地され、
前記第4のp−chTのソースは前記第3のp−chT
のドレインに接続され、前記差動増幅器の出力を受ける
出力端子は第1の抵抗の第1の端子とヒューズの第1の
端子に接続され、前記第1の抵抗の第2の端子は前記ヒ
ューズの第2の端子と第3の抵抗の第1の端子と前記差
動増幅器の負の入力端子に接続され、前記第3の抵抗の
第2の端子は前記第3のp−chTのソースに接続され
る構成である。
【0025】また、電源より高抵抗手段の第1の接点に
接続され、前記高抵抗手段の第2の接点は差動増幅器の
正入力端子および第1のn型メタル・オキサイド・セミ
コンダクター・フィールド・エフェクト・トランジスタ
(以下n−chTと略す)のソースに接続され、前記第
1のn−chTのゲートおよびドレインはそれぞれ第2
のn−chTのソースおよび第3のn−chTのゲート
に接続され、前記第2のn−chTのゲートおよびドレ
インおよび第4のn−chTのゲートおよびドレインは
それぞれ接地され、前記第4のn−chTのソースは前
記第3のn−chTのドレインに接続され、前記差動増
幅器の出力を受ける出力端子は第1の抵抗の第1の端子
とヒューズの第1の端子に接続され、前記第1の抵抗の
第2の端子は前記ヒューズの第2の端子と第3の抵抗の
第1の端子と前記差動増幅器の負の入力端子に接続さ
れ、前記第3の抵抗の第2の端子は前記第3のn−ch
Tのソースに接続される構成とすることもできる。
【0026】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【0027】図1は本発明の第1の実施例の半導体回路
である。簡単に図面の説明を従来例と比較しつつ行う。
【0028】本発明の第1の実施例の半導体回路の抵抗
Rc、トランジスタQ1およびQ2、差動増幅回路Di
f.AmpならびにフューズFの構成要素は従来の例の
構成要素と同じである。抵抗R11、R12およびR1
3ならびに容量C11、C12およびC13はそれぞ
れ、抵抗R31、R32およびR33ならびに容量C3
1、C32およびC33に対応するが、その値は小さく
なっている。微調整用抵抗R11および寄生容量C11
の値はほかの成分に比べかなり小さいので本質的な説明
の中では省いてある。トランジスタQ3およびQ4はそ
れぞれトランジスタQ1およびQ2とコモンゲートのト
ランジスタである。
【0029】コモンゲート(node1およびnode
2)レベルが等しいので、それらは電流ミラーアンプに
なる。トランジスタQ1を流れる電流(先に示した飽和
電流)IcおよびトランジスタQ3を流れる電流Irな
らびに電流増幅率βの関係は Ir=β・Ic(21式) である。このときIrの確保またはVrefレベル確保
のために差動増幅回路Dif.Amp.にたいして出力
ドライバーを設けることもできる。
【0030】トランジスタQ1,Q2とトランジスタQ
3、Q4が同一構造のトランジスタならば、両者のサイ
ズ比がβと考えてよい。
【0031】トランジスタQ3,Q4のソースドレイン
電流が飽和値に達するならば、node6とnode3
の電位は等しく、 node6=2・Vtp(2式) node3=2・Vtp(22式) である。また、電流の条件は Ir≧(Vref−2・Vtp)/(R12+R13)
(23式) である。消費電流を最小にする抵抗値は、 (R12+R13)=(Vref−2Vtp)/Ir
(24式) となる。(21式)を(24式)に代入して、 (R12+R13)=(Vref−2Vtp)/β・I
c(25式) となる。(25式)が成り立てば、node3のレベル
に2・Vtpで安定し、従ってフィードバック回路は安
定する。
【0032】次に、乗算器の抵抗値の設定を示す。乗算
器の係数値は、tode4のレベルV4として、 A=Vref/A4(26式) V4=(Vref−2Vtp)xR13/(R12+R
13)+2・Vtp(27式) となる。(25式)と(27式)と(26式)の連立方
程式をR12,R13について解いて、 R12=(1−1/A)Vref/(β・Ic)(28
式) R13=(Vref/A−2Vtp)/(β・Ic)
(29式) を得る。
【0033】なお、フューズFを切ったときは、(28
式)は、 R11+R12=(1−1/A)・Vref/(β・I
c)(28.1式) である。
【0034】次に、本発明の第1の実施例のフィードバ
ック回路時定数に関して計算の実例を示す。
【0035】従来の実施例と比較するために、Vref
のフィードバック回路の電流を等しくする。(21
式)、(7式)より、 Ir=β・Ic=Vref/(R32+R33)=3.
3μA(30式) である。さらに、諸条件 A=2、Vtp=0.825V を(28式)(29式)に代入して、 R12=500kΩ(31式) R13=0Ω(32式) となる。((32式)からも解るように、この値が極限
値で抵抗は0Ωである。フューズFによるVref値の
微調整のためには、R13が数+kΩの値を持つ方がよ
い。)トランジスタQ3およびQ4のON抵抗Ron
は、 Ron=2・Vtp/Ir=500KΩ(33式) 抵抗の寄生容量Cpは、 Cp=C12+C13=0.26pF+0pF=0.2
6pF(33式) トランジスタQ3およびQ4のソース・ドレイン容量は
数fF以下のオーダーである。ゲート容量は数+fFで
あるため、トランジスタの寄生容量は、ほとんど無視で
きる。
【0036】従って、フィードバック回路の時定数τ
は、(31式),(32式),(33式)および(33
式)から、 τ=RC=260ns(34式) 従来の時定数は520nsであるから、半分の時間で同
じ安定を得る。サイクルタイムは、100〜200ns
である。変動が36%にまで復帰するのに3〜1サイク
ルであり、従来の実施例より安定した動作となる。
【0037】実際にはnode3よりGND側のトラン
ジスタQ3、Q4に容量がほとんど無いため、差動増幅
回路Dif.Amp.のマイナス端子の変動は速やかに
2・Vtpになるので、電源変動に対してこの時定数よ
りもVrefは安定している。つまり、定性的に従来例
の半導体回路の電位変動△Vと△V’の定量的な値の比
較はDif.Amp.の特性などが問題となる。
【0038】微調整用抵抗R12の値も小さくなること
が、(28.1式)から推察できる。これにより、微調
整抵抗をたくさん付けても寄生容量C12の値が十分に
無視できる。
【0039】トランジスタQ1〜Q4はここではp−c
hMOSFETを示したがn−chMOSFETでもか
まわない。また、p、nの組み合わせでもかまわない。
半導体プロセス製造のばらつきを考えると、組み合わせ
る方が有効である。さらにダイオード接続のトランジス
タQ1,Q2はダイオードでもよい。
【0040】次に、図2を参照して本発明の第2の実施
例の半導体回路を説明する。
【0041】この第2の実施例はトランジスタQ5、Q
6が挿入されている。これは乗算器の係数を2以上にし
た場合である。トランジスタQ5のミラートランジスタ
がトランジスタQ6である。
【0042】(28式)および(29式)からVtpが
小さくても係数を大きくして対応できる。また、抵抗値
を小さくできるため寄生容量も少ない。従って、フィー
ドバック回路の対応速度はさらに速くすることが可能で
ある。
【0043】
【発明の効果】以上のように、本発明の効果は、電源電
圧変動時の基準電圧回復応答速度が速く基準電圧の微調
整も容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の半導体回路の回路図で
ある。
【図2】本発明の第2の実施例の半導体回路の回路図で
ある。
【図3】従来技術の半導体回路の回路図である。
【符号の説明】
1 差動増幅回路 2 出力端子 11,12,13,14,15,16,21,22,2
3,24,25,26,27,28,32,34,3
5,36 node Dif.Amp. 差動増幅回路 RC,R11,R12,R13,R22,R23,R2
4,R31,R32,R33 抵抗 C11,C12,C13,C21,C22,C23,C
31,C32,C33寄生容量 F フューズ

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電源より高抵抗手段の第1の接点に接続
    され、前記高抵抗手段の第2の接点は差動増幅器の正入
    力端子および第1のp型メタル・オキサイド・セミコン
    ダクター・フィールド・エフェクト・トランジスタ(以
    下p−chTと略す)のソースに接続され、前記第1の
    p−chTのゲートおよびドレインはそれぞれ第2のp
    −chTのソースおよび第3のp−chTのゲートに接
    続され、前記第2のp−chTのゲートおよびドレイン
    および第4のp−chTのゲートおよびドレインはそれ
    ぞれ接地され、前記第4のp−chTのソースは前記第
    3のp−chTのドレインに接続され、前記差動増幅器
    の出力を受ける出力端子は第1の抵抗の第1の端子とヒ
    ューズの第1の端子に接続され、前記第1の抵抗の第2
    の端子は前記ヒューズの第2の端子と第3の抵抗の第1
    の端子と前記差動増幅器の負の入力端子に接続され、前
    記第3の抵抗の第2の端子は前記第3のp−chTのソ
    ースに接続されること特徴とする半導体回路。
  2. 【請求項2】 前記第1乃至第4のp−chTの拡散層
    は各々のソースに接続されることを特徴とする請求項1
    記載の半導体回路。
  3. 【請求項3】 電源より高抵抗手段の第1の接点に接続
    され、前記高抵抗手段の第2の接点は差動増幅器の正入
    力端子および第1のn型メタル・オキサイド・セミコン
    ダクター・フィールド・エフェクト・トランジスタ(以
    下n−chTと略す)のソースに接続され、前記第1の
    n−chTのゲートおよびドレインはそれぞれ第2のn
    −chTのソースおよび第3のn−chTのゲートに接
    続され、前記第2のn−chTのゲートおよびドレイン
    および第4のn−chTのゲートおよびドレインはそれ
    ぞれ接地され、前記第4のn−chTのソースは前記第
    3のn−chTのドレインに接続され、前記差動増幅器
    の出力を受ける出力端子は第1の抵抗の第1の端子とヒ
    ューズの第1の端子に接続され、前記第1の抵抗の第2
    の端子は前記ヒューズの第2の端子と第3の抵抗の第1
    の端子と前記差動増幅器の負の入力端子に接続され、前
    記第3の抵抗の第2の端子は前記第3のn−chTのソ
    ースに接続されること特徴とする半導体回路。
  4. 【請求項4】 前記第1の抵抗と前記フューズの並列接
    続する組み合わせを複数個直列に接続する請求項1また
    は3記載の半導体回路。
  5. 【請求項5】 前記第1の抵抗と前記フューズの並列接
    続する組み合わせを複数個直列に接続し、さらに前記第
    3の抵抗の第1または第2の端子に接続される請求項1
    または3記載の半導体回路。
  6. 【請求項6】 第1乃至第4のP−chTを複数個のP
    −chTのソース・ドレイン間の直列接続するトランジ
    スタに置き換えてまたは第1乃至第4のn−chTを複
    数個のn−chTのソース・ドレイン間の直列接続する
    トランジスタに置き換えて構成する請求項1または3記
    載の半導体回路。
  7. 【請求項7】 前記第1および第2のP−chTならび
    に前記第1および第2のn−chTはダイオード順方向
    接続である請求項5記載の半導体回路。
  8. 【請求項8】 前記差動増幅器の出力を出力ドライバー
    でさらに増幅する請求項1または3記載の半導体回路。
  9. 【請求項9】 前記差動増幅器の出力を出力ドライバー
    を通して電位を出力する半導体回路の前記出力端子から
    前記第1、第2および第3の抵抗の帰還回路を備える請
    求項8記載の半導体回路。
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