JP2925430B2 - 摺動部材 - Google Patents

摺動部材

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JP2925430B2 JP13762493A JP13762493A JP2925430B2 JP 2925430 B2 JP2925430 B2 JP 2925430B2 JP 13762493 A JP13762493 A JP 13762493A JP 13762493 A JP13762493 A JP 13762493A JP 2925430 B2 JP2925430 B2 JP 2925430B2
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、摺動部に硬質皮膜を有
する、自動車部品やコンプレッサー部品などの機械部品
に用いられる摺動部材に関し、更に詳しく述べるなら
ば、クロムを主たる金属成分としさらに1種または2種
以上の金属元素と窒素及び酸素からなる皮膜を被覆した
摺動部材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】自動車の内燃機関やコンプレッサーなど
の高回転化、高出力化等により機械部品などの摺動部
は、益々過酷な条件下での耐摩耗性、耐焼付性といった
摺動特性の向上が期待されている。また切削工具におい
ても切削速度増大により同様に摺動特性の向上が期待さ
れている。従来より摺動特性改善策として、硬質クロム
めっきによる耐摩耗性の改善、窒化またはモリブデン溶
射による耐焼付性の向上などの表面処理が挙げられる。
【0003】しかしながら、これらの方法では摺動材料
としての十分な摺動特性が得られず、最近物理的気相蒸
着(PVD)法あるいは化学気相析出(CVD)法によ
り化学的にも比較的安定なCr−N系、Ti−N系硬質
皮膜を作製する方法が検討されている。ところがCr−
N系皮膜は、皮膜硬さが比較的低いため、皮膜の摩耗が
起こりやすく、この点の改良は試みられているもののい
まだ十分な摺動特性は得られていない。
【0004】そこで、さらに皮膜硬さが高く、摺動特性
に優れた皮膜の開発が望まれ、Ti−N系皮膜が注目さ
れている。しかしながらTi−N系皮膜は、機械部品な
どの摺動部材として利用する場合には皮膜硬さが高すぎ
て相手材を摩耗させてしまうという欠点があり、また皮
膜と接する相手材との「初期なじみ」が悪い欠点もあ
る。ここで「初期なじみ」とは、機械加工または成膜自
体に起因する粗さをもつ摺動部材の表面が摺動開始後の
短時間の内に相手材と摺動接触し表面が微小且つ平滑に
摩耗する結果、接触面積を増加させることにより接触面
圧を低減させて、潤滑油膜切れを起こし難くし、以って
摩耗や焼き付きの発生を防ぐ性能である。Ti−N系皮
膜のような皮膜硬さの高すぎる皮膜を被覆した摺動部材
は、初期なじみが悪いことにより、摺動初期において摩
耗や焼付現象を起こしやすいという問題があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の点に
鑑みて、Crを主たる金属成分とする皮膜を被覆した摺
動材料において、耐摩耗性および耐焼付性等の摺動特性
に優れ、初期なじみが良好な硬質皮膜を被覆することに
より上記の問題を解決することを目的とする。さらに、
本出願人は上記の問題点を解決するために特願平5−1
20062号において、クロム、M群(M;チタン、バ
ナジウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニ
ウム、タンタル、タングステン及びアルミニウムから選
択された1種または2種以上の金属元素)、及び窒素か
らなり、金属元素の組成比が原子%比でM/(Cr+
M)=1〜55%である皮膜を被覆した摺動部材を提案
したが、この発明においてはさらに上記の耐摩耗性を改
良するとともに相手材の摩耗を少なくすることを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係わ
る摺動部材は、クロム、M群(M;チタン、バナジウ
ム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニウム、
タンタル、タングステン及びアルミニウムから選択され
た1種または2種以上の金属元素)、窒素及び酸素から
なり、金属元素の組成比が原子%比でM/(Cr+M)
=1〜55%であり、かつガス元素の組成比が原子%比
でO/(N+O)=5〜80%である皮膜を基体に被覆
したことを特徴とする。この皮膜は、CrNあるいはC
r2 NにM群の元素及び酸素を添加することにより、皮
膜の硬さ自体はCrNあるいはCr2 N皮膜よりも高
く、耐摩耗性及び耐焼付性並びに初期なじみ性をCrN
あるいはCr2 NG皮膜よりも良好にしたものである。
M群の元素及び酸素の作用について述べると、(イ)何
れもCrNあるいはCr2 N皮膜の硬度を増加させる
が、前者の方が硬度増加の割合が大であり、(ロ)前者
はCrNあるいはCr2 N皮膜の摩擦係数をやや増加さ
せるものの、後者はこれを大幅に減少させ、(ハ)何れ
もCrNあるいはCr2 N皮膜のオイル中での腐食によ
る減量を抑制するが、前者の方が抑制程度が大である。
このような物性に対する影響でM群の元素と酸素では異
なるので、それぞれ別の群に分け、またTi,V,Z
r,Nb,Mo,Hf,Ta,W,Alはいずれも上記
の点で共通であるので、一つの群に含めることとした。
【0007】ここでM/(Cr+M)の金属元素組成比
が1%未満であると耐摩耗性向上の効果が少なく、一方
55%を超えると耐焼付性及び初期なじみの向上が図れ
ないために、金属元素組成比は1〜55%の範囲とし
た。ガス元素の組成比O/(N+O)が5%未満である
と相手材の摩耗が多くなり、一方80%を越えると皮膜
自体の摩耗が多くなり摺動特性の向上は図れなかった。
【0008】基体としてはFe系、Al系、Ti系等の
各種材料を使用することができる。Cr−M−N−O系
皮膜の厚さは特に制限が無いが、1〜50μmの範囲内
であることが好ましい。同じく皮膜粗さはRaで1μm
以下であることが好ましい。
【0009】さらに、相手材としては特に制限がなく鋳
鉄もしくは鋼材、Crめっきを施したこれらの材料、溶
射皮膜付材料などが使用可能である。また、本発明の皮
膜は十分に清浄化された基体上にPVD又はCVD好ま
しくはPVDで成膜されるものである。
【0010】
【作用】CrN系皮膜は耐摩耗性が低く、一方TiN系
皮膜は初期なじみ性が悪いために、いずれも焼き付きを
起こしやすいが、Crと他の金属元素M、N及びOを共
存させたCr−M−N−O系皮膜とすることにより焼付
が発生し難くなった。また耐摩耗性が良好になることに
よりなじみが実現した以降の摩耗は少なくなり、さらに
相手材の摩耗も減少した。以下、金属元素(M)として
Vを選んだ実施例により本発明を詳しく説明する。
【0011】
【実施例】本実施例で使用した皮膜形成の基体は高クロ
ム鋼(JIS規格SUJ−2)である。基体はあらかじ
めフロン液中で超音波洗浄を行い、鏡面仕上げされた基
体表面に以下に説明する手順で陰極アークプラズマ式イ
オンプレーティングによりCr−N系硬質皮膜(比較
例)、Cr−V−N系硬質皮膜(比較例)及びCr−V
−N−O系硬質皮膜(実施例)を形成した。
【0012】超音波洗浄された基体をイオンプレーティ
ング装置の真空容器(チャンバ)内に取り付け、続いて
チャンバ内圧力が1.3×10-3Pa(パスカル)とな
るまで真空引きを行った。この真空度が達成された時点
から、チャンバ内に内蔵されているヒーターにより基体
を300〜600℃まで加熱して、基体表面に付着ある
いは吸着しているガス成分を放出させ、その後200℃
まで冷却した。
【0013】チャンバ内圧力が4×10-3Pa以下とな
った時点で、陰極とした各種組成のCr−V合金ターゲ
ットの表面でアーク放電を発生させ、CrおよびVの大
部分がイオン化された状態でターゲット表面から飛出さ
せた。
【0014】この時基体を装着した治具には−700〜
−1000Vのバイアス電圧を印加しておき、ターゲッ
トから飛び出すイオン化したCrおよびVを基体と治具
の表面に吸引し、さらにこれらのイオンを高速で被処理
面に衝突させた。このようなイオン化した金属の衝突に
より被処理面の酸化物などを削るいわゆるスパッタクリ
ーニングにより基体表面の活性化処理を行った。
【0015】その後、アーク放電が起こっているチャン
バ中に少量の窒素ガスを導入することにより一部のイオ
ン化したCrおよびVは、窒素ガスと結合し基体表面に
窒化物皮膜となって析出した。その後、さらに窒素ガス
流量を増やし所定のガス元素ガス元素の組成比となる流
量の酸素ガスを導入して0.7〜4.0Pa程度の圧力
とし、また0〜−100Vのバイアス電圧を基体に印加
して基体表面にCr−V−N−O系硬質皮膜を1〜50
μmの厚さに形成させた。なお、比較例のCr−V−N
系皮膜形成の場合は酸素ガスの導入をせずに同様に成膜
を行った。所定膜厚形成後、チャンバ内温度が150℃
以下になるまで冷却してから、膜被覆された基体をチャ
ンバ外に取り出した。皮膜の硬度はHv=1000〜2
500の範囲であった。
【0016】上記方法により得られた皮膜を用いて、摺
動試験を行った。 実施例2 ねずみ鋳鉄(FC25)を相手材としてピンオンディス
ク型摩擦試験機によりスカッフ試験を行った。スカッフ
試験条件は、以下の通りであった。 潤滑方法:モーターオイル#30、油温80℃、油量4
cc/sec 摩擦速度:8m/sec 接触荷重:初期2MPaから1MPaごとに焼付まで増
加させる。 摩擦時間:各荷重で180sec保持 表1にスカッフ試験結果を示す。
【0017】
【表1】 No V(Cr +V)-1 O(N +O )-1 スカッフ値 本 1 Cr−V −N −O 15 20 2.1 発 2 Cr−V −N −O 50 20 2.3 明 3 Cr−V −N −O 50 70 2.4 比 1 Cr−V −N 50 0 2.0 較 2 Cr−N 0 0 1.0 スカッフ値は、比較対象であるCr−Nを1.0とした時の値である。
【0018】本発明によるNo.1,2および3のCr
−V−N−O系皮膜は、皮膜中の金属元素に対するV原
子%(以後、単に「V原子%」と称す)がそれぞれ1
5、50および50%であり、皮膜中の窒素原子と酸素
原子の和に対する酸素原子%(以後、単に「酸素原子
%」と称する)がそれぞれ、20、20および70%で
ある。金属原子とガス原子の割合(比率)はほぼ(2〜
1):1とすることが望ましいが、この限りではない。
【0019】皮膜中のV原子%と酸素原子%が皮膜の特
性に及ぼす影響を調べた。比較例としてVを含まないC
r−N系皮膜について同じ条件でスカッフ試験を行い得
られたスカッフ値(焼付面圧)1.0に対して、本発明
のNo.1、2及び3のCr−V−N−O系皮膜ではス
カッフ値が約2倍以上向上した。さらに、No.2とN
o.3のCr−V−N−O系皮膜を比較すると、酸素原
子%大きいNo.3が高いスカッフ値を示した。
【0020】実施例3 ピン−ドラム式摩耗試験機により、ドラムにねずみ鋳鉄
(FC25)を用いて摩耗試験を行った。摩耗試験条件
は以下の通りであった。 潤滑方法:モーターオイル#30、油温80℃、油量8
cc/sec ドラム回転速度:5m/sec 接触荷重:1.5MPa 試験時間:30ksec 表2に摩耗試験結果を示す。
【0021】
【表2】 ピン ドラム No V(Cr +V)-1 O(N +O )-1 摩耗量 摩耗量 本 1 Cr−V −N −O 15 20 0.5 0.7 発 2 Cr−V −N −O 50 20 0.4 0.6 明 3 Cr−V −N −O 50 70 0.4 0.6 比 1 Cr−V −N 50 0 0.6 0.8 較 2 Cr−N 0 0 1.0 1.0 スカッフ値は、比較対象であるCr−Nを1.0とした時の値である。
【0022】比較対象として、V及び酸素を含まないC
r−N系皮膜及び酸素を含まないCr−V−N皮膜につ
いてCr−V−N−O皮膜と同じ条件で摩耗試験を行っ
た。ここで、皮膜を被覆したピンの摩耗量は摩耗した接
触面のドラム回転方向の幅、ドラムの摩耗量はドラムの
摩耗深さより求めた。Cr−N系皮膜の場合のピン摩耗
量及びドラム摩耗量をそれぞれ1.0としてそれぞれの
特性を表2に示す。
【0023】本発明によるCr−V−N−0系皮膜は、
ドラム摩耗量が比較例に比べてやや低減しており、一方
ピンの摩耗量は比較例に比べ著しく低減している。特
に、No.2,No.3のCr−V−N−O系皮膜で
は、Cr−N系皮膜の約1/2,Cr−V−N系皮膜の
2/3の摩耗量に抑えられている。
【0024】以上のスカッフ試験および摩耗試験の結果
から、Cr−N系皮膜及びCr−V−N皮膜に比べCr
−V−N−O系皮膜は、耐焼付性に優れ、初期なじみが
良好で、摺動部相手材の摩耗を抑えられる皮膜であるこ
とがわかった。
【0025】
【発明の効果】以上のように、摺動面に主たる金属成分
であるCr,他の金属元素、窒素及び酸素からなる皮膜
を被覆することにより、従来のCr−N系又はCr−V
−N皮膜を被覆するよりも相手材を摩耗させることがな
く、初期なじみが良好で、耐摩耗性および耐焼付性等の
摺動特性に優れた摺動部材が得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI F16C 33/12 F16C 33/12 A // C10N 10:06 10:08 10:10 10:12 30:06 30:08 40:02 50:08 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C10M 103/00 - 103/06 C23C 24/00 - 26/00 F02F 5/00 F16C 33/12 C10N 10:06 - 10:12 C10N 40:02 C10N 50:08 WPI/L(QUESTEL)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クロム、M群(M;チタン、バナジウ
    ム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニウム、
    タンタル、タングステン及びアルミニウムから選択され
    た1種または2種以上の金属元素)、窒素及び酸素から
    なり、金属元素の組成比が原子%比でM/(Cr+M)
    =1〜55%であり、かつガス元素の組成比が原子%比
    O/(N+O)=5〜80%である皮膜を基体に被覆し
    たことを特徴とする摺動部材。
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