JP5995029B2 - 工具用硬質被膜、その製造方法、および硬質被膜被覆金属加工工具 - Google Patents
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Description
続いて、酸素の導入により100nm以下の微細結晶を有する結晶相CPとアモルファス相APとを含む複相組織を有し、X1−a−bZaObの酸窒化物、酸炭化物、酸炭窒化物から成る硬質被膜30の硬さ・摩擦係数・粒径を検証するために本発明者等が行なった硬さ・摩擦係数・粒径評価試験1について以下に説明する。本発明者等は、原子組成および膜厚の異なる複数種類の硬質被膜30を超硬合金製のテストピースTP(φ25×3.5mm)の一面に10μmの厚みの単層でコーティングした試験品(実施例1〜39、比較例1〜6)を、複数種類の酸素ガスの流量比GRを用いて作成し、硬質被膜30の硬さ、摩擦係数、粒径を以下の測定条件を用いて測定した。
・測定装置:株式会社フィッシャー・インストルメンツ製のPICODENTOR HM500
・測定方法:ナノインデンテーション法に従って、先端がダイヤモンドチップからなる三角錐型(バーコビッチ型)の圧子を、テストピースTPの一面に固着された硬質被膜30の表面に荷重Pで押し込み、圧子の下の射影面積Aを算出し、硬さH(=P/A)を算出する。この硬さHの単位はGPaである。
・測定装置:RHESCA CO.,LTD製のFPR-2100型摩耗摩擦試験機
・測定方法:上記摩耗摩擦試験機(フリクションプレーヤ)は、図5に示すように構成されており、回転ステージ70の中央部に固定されたテストピースTPの一面に固着された硬質被膜30の回転中心からずらした位置に、負荷ウエイト74の印加荷重W(本測定では100g)が付加される摺動ボール76を押し付け、線速度が100mm/secとなるようにその状態で回転ステージ70を回転させたときに摺動ボール76が受ける引張り力Fを応力センサ78を用いて検出し、その引張り力Fを印加荷重Wで割ることにより摩擦係数μ(=W/F)を算出する。
・測定装置:TEM(透過型電子顕微鏡)
・測定方法:テストピースTPの表面に形成された硬質被膜30の結晶相組織を構成する微細結晶粒は母材の表面に対して垂直方向に伸びた形状を呈することが多い。そのため、テストピースTPの表面に形成された硬質被膜30の断面をTEMを用いて撮像し、その垂直方向に伸びた結晶の母材表面に平行な幅の寸法を10点測定し、それから算出された平均値を、各テストピースTPの硬質被膜30の結晶相の結晶粒径D(単位:nm)として測定する。
次に、酸素の導入により100nm以下の微細結晶を有する結晶相CPとアモルファス相APとを含む複相組織を有し、(X1−cYc)1−a−bZaObの酸窒化物、酸炭化物、酸炭窒化物から成る硬質被膜30の硬さ・摩擦係数・粒径を検証するために本発明者等が行なった硬さ・摩擦係数・粒径評価試験2について以下に説明する。本発明者等は、原子組成および膜厚の異なる複数種類の硬質被膜30を超硬合金製のテストピースTP(φ25×3.5mm)の一面に10μmの厚みの単層でコーティングした試験品(実施例1〜39、比較例1〜6)を、複数種類の酸素ガスの流量比GRを用いて作成し、硬質被膜30の硬さ、摩擦係数、粒径は前述と同様の測定条件を用いて測定した。
18:工具母材
30:硬質被膜(工具用硬質被膜)
Claims (4)
- 工具の表面に被覆して設けられる工具用硬質被膜であって、
(X1−cYc)1−a−bZaOb(但し、XはMo、V、Wの中から選択された少なくとも1種の金属元素を示し、YはTi、Crの中から選択された少なくとも1種の金属元素を示し、ZはN、Cの中から選ばれた少なくとも1種の非金属元素を示す)から成り、
前記(X1−cYc)1−a−bZaObは、原子比で、aおよびbは、0.3≦a+b≦0.6、0<b<0.3、0.1≦c≦0.4であり、
前記工具用硬質被膜は、微細な結晶から成る微細結晶相と非結晶のアモルファス相とを有する微細な複相組織構造を備え、
前記工具用硬質被膜は、工具母材の表面を0.2乃至10.0μmの厚みの単層で被覆したものである
ことを特徴とする工具用硬質被膜。 - 前記工具用硬質被膜は、100nm以下の結晶相粒径を有する
ことを特徴とする請求項1の工具用硬質被膜。 - 請求項1または2の工具用硬質被膜の製造方法であって、
チャンバー内において前記工具用硬質被膜を構成する金属元素を飛散させて母材に被着させるに際して、該チャンバー内に酸素ガスを含む反応ガスを供給し、該反応ガスに対する該酸素ガスの流量比GRは、0.005≦GR≦0.45の範囲内とする
ことを特徴とする工具用硬質被膜の製造方法。 - 請求項1または2に記載の工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた
ことを特徴とする硬質被膜被覆金属加工工具。
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