JP2924284B2 - ワイヤボンダ - Google Patents

ワイヤボンダ

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JP2924284B2 JP3123632A JP12363291A JP2924284B2 JP 2924284 B2 JP2924284 B2 JP 2924284B2 JP 3123632 A JP3123632 A JP 3123632A JP 12363291 A JP12363291 A JP 12363291A JP 2924284 B2 JP2924284 B2 JP 2924284B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンダに係り、キ
ャピラリツールが移動する際に、キャピラリツールから
導出されたワイヤが風圧により屈曲変形しないようにし
たものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、半導体チップとリードフレーム
をワイヤにより接続する従来のワイヤボンダを示すもの
である。１００はアーム部、１０１はトーチロッド、１
０２はワイヤ１０３をリードフレーム１０４に搭載され
た半導体チップ１０５へ向って導出するキャピラリツー
ル、１０６はワイヤ１０３のクランプ部材である。トー
チロッド１０１は、アーム部１００の先端部のヒンジ部
１０７に垂設された揺動部材１０８に片持ち支持されて
いる。１０９はこの揺動部材１０８を左右に揺動させる
ためのソレノイドである。次にその動作を説明する。
【０００３】ソレノイド１０９が作動することにより、
トーチロッド１０１はヒンジ部１０７を中心に左右に揺
動し、その先端部１０１ａはキャピラリツール１０２か
ら導出されたワイヤ１０３の下端部の下方に移動する。
次いでトーチロッド１０１に高電圧（一般には数ＫＶ程
度）が印加されることにより、この先端部１０１ａとワ
イヤ１０３の下端部の間に高電圧スパークが生じ、ワイ
ヤ１０３の下端部に溶融ボール１１０が形成される。次
いでソレノイド１０９が逆方向に作動することにより、
トーチロッド１０１はキャピラリツール１０２の側方に
退去し、次いでキャピラリツール１０２は下降して、ボ
ール１１０を半導体チップ１０５の上面電極部にボンデ
ィングする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記ボール１１０の形
成は、サイクルタイムの短縮のために、キャピラリツー
ル１０２を目標位置へ高速移動させる際中に行われる。
このため、図４に示すように、ワイヤ１０３は移動中に
風圧を受けて屈曲変形しやすく、このように屈曲変形す
ると、ボール１１０を所定のポイントに着地させにくい
問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消するワイヤボンダを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、キ
ャピラリツールがＸＹ方向に移動している最中に、キャ
ピラリツールの下端部から導出されたワイヤを覆うフー
ドを設け、このフードの内周面にリング状の電極を設け
たものである。
【０００７】
【作用】上記構成において、キャピラリツールを目標位
置へ高速移動させながら、電極に高電圧を印加し、電気
的スパークを発生させて、ワイヤの下端部にボールを形
成するが、この場合、キャピラリツールから導出された
ワイヤはフードにより覆われているので、ワイヤが移動
時に風圧を受けて屈曲変形することはない。
【０００８】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
【０００９】図１はワイヤボンダの斜視図である。１は
垂直なキャピラリツールであって、ワイヤ４が挿通され
ている。２はリードフレームであり、半導体チップ３が
搭載されている。５はワイヤ４のクランプ部材である。
【００１０】６はキャピラリツール１の側方に位置する
アーム部であり、その先端部にはトーチロッド７が装着
されている。トーチロッド７はアーム部６に固設されて
おり、またその先端部は、上記キャピラリツール１の下
方まで延出している。
【００１１】１０はトーチロッド７の先端部に設けられ
た円筒形のフードであり、キャピラリツール１の下部を
覆っている。
【００１２】図２は、フード１０の詳細な構造を示して
いる。このフード１０は、キャピラリツール１の下端部
から導出されたワイヤ４を覆っており、その内周面に
は、電極１１がリング状に設けられている。この電極１
１に電圧印加手段（図外）により高電圧が印加される
と、ワイヤ４の下端部との間に電気的スパークが生じ、
ボール８が形成される。またフード１０の上部には、赤
外線ヒータのような加熱手段１２が設けられている。こ
の加熱手段１２によりキャピラリツール１の下部を加熱
することにより、キャピラリツール１の下面によりボー
ル８をチップ３に押し付けてボンディングする際の接着
性を良くする。勿論、加熱手段によりキャピラリツール
全体を加熱するようにしてもよい。
【００１３】本装置は上記のような構成より成り、次に
動作の説明を行う。キャピラリツール１がＸＹ方向に移
動する最中に、電極１１に高電圧が印加され、ワイヤ４
の下端部にボール８が形成される。次いでキャピラリツ
ール１が目標位置に到達すると、ＸＹ方向の移動を停止
し、キャピラリツール１はフード１０内を下降して、ボ
ール８をチップ３にボンディングする（図２鎖線参
照）。この時、キャピラリツール１の下部は、加熱手段
１２により加熱されているので、ボール８を良好にボン
ディングできる。またボール８は、キャピラリツール１
がＸＹ方向に移動している最中に形成されるが、ワイヤ
４はフード１０に覆われているので、この移動中に風圧
を受けて屈曲変形することもなく、ボール８を所定ポイ
ントに確実に着地させてボンディングできる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ワイヤを
挿通するキャピラリツールと、このキャピラリツールが
ＸＹ方向に移動している最中に、このキャピラリツール
の下端部から導出されたワイヤを覆うフードと、このフ
ードの内周面に設けられたリング状の電極とからワイヤ
ボンダを構成しているので、風圧によるワイヤの屈曲変
形を防止して、ボールを所定ポイントに確実にボンディ
ングできる。また本発明は、フードの内周面にリング状
の電極を設けているので、ワイヤの下端部と電極の間に
電気的スパークを安定的に発生させて、ボールの下端部
にボールを確実に形成することができる。またキャピラ
リの下部を加熱することにより、ボールを良好にボンデ
ィングできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るワイヤボンダの斜視図
【図２】本発明に係るボンディング中の要部断面図
【図３】従来手段に係るワイヤボンダの斜視図
【図４】従来手段に係る作業中の正面図
【符号の説明】
１ キャピラリツール ４ ワイヤ １０ フード １１ 電極 １２ 加熱手段

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ワイヤを挿通するキャピラリツールと、こ
    のキャピラリツールがＸＹ方向に移動している最中に、
    このキャピラリツールの下端部から導出されたワイヤを
    覆うフードと、このフードの内周面に設けられたリング
    状の電極とから成ることを特徴とするワイヤボンダ。
  2. 【請求項２】上記フードに、上記キャピラリツールの下
    部を加熱する加熱手段を設けたことを特徴とする請求項
    １記載のワイヤボンダ。
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