JP2919265B2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2919265B2
JP2919265B2 JP6090367A JP9036794A JP2919265B2 JP 2919265 B2 JP2919265 B2 JP 2919265B2 JP 6090367 A JP6090367 A JP 6090367A JP 9036794 A JP9036794 A JP 9036794A JP 2919265 B2 JP2919265 B2 JP 2919265B2
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義明 江本
栄一 村田
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特に樹脂封止形LSI
パッケージを用いたLOC(Lead On Chip)構造を有す
る半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電源電圧供給用および基準電圧供給用の
バスバーリードを備えたLOC構造を有する半導体装置
については、特開昭61−241959号公報、特開平
4−114438号公報および特開平4−287356
号公報等に詳しく説明されている。上記特開昭61−2
41959号公報、特開平4−114438号公報およ
び特開平4−287356号公報等に開示された半導体
装置では、半導体チップに形成される電気回路に電源電
圧を供給するバスバーリードと基準電圧を供給するバス
バーリードとがそれぞれ設けられ、これら各々のバスバ
ーリードによって電源電圧と基準電圧とが電気回路にそ
れぞれ供給される構造になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、DR
AM(Dynamic Random Access Memory)は、記憶するデ
ータのビット数が8ビットから16ビットへ、更には3
2ビットへと増えており、これに従って、メモリ回路か
ら読みだされたデータをDRAMの外部へ出力する出力
バッファの数が8個から16個へ、更には32個へと増
大している。そして、これら多数の出力バッファが同時
に動作した場合、メモリ回路に電源電圧あるいは基準電
圧を供給するバスバーリードに出力バッファの数に比例
した大きな電流が流れるため、電源電圧および基準電圧
に電圧変動が生じ、この出力バッファの電圧変動が入力
回路の誤動作を引き起こすという問題がある。
【0004】本発明は上述する問題点に鑑みてなされた
もので、バスバーリードを入力回路用と出力回路用とに
それぞれ設け、出力回路の動作による電源電圧あるいは
基準電圧の変動が、入力回路の誤動作を引き起こさない
半導体装置の提供を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半導体装
置は、上記問題を解決するために、外部からの信号を受
け入れる入力回路と外部へ信号を出力する出力回路が少
なくとも形成された半導体チップ上に、インナーリード
とバスバーリードを配置し、前記インナーリードとバス
バーリードとをボンディングワイヤにより、半導体チッ
プ上のボンディングパッドに結線したリード・オン・チ
ップ構造を有する半導体装置であって、電源電圧供給用
のバスバーリードと基準電圧供給用のバスバーリードの
うち、少なくとも一方が前記出力回路に接続されたもの
と前記入力回路に接続されたものとに分離されており、
この分離された各バスバーリードは、互いに平行かつボ
ンディングパッドの配列方向と平行に延びる部分を有す
ことを特徴とする。
【0006】請求項2記載の半導体装置は、分離されて
いるバスバーは、電気的に分離されていることを特徴と
する。
【0007】
【作用】請求項1および請求項2記載の半導体装置によ
れば、入力回路と出力回路との電源電圧インピーダンス
あるいは基準電圧インピーダンスに占める共通インピー
ダンスがそれぞれ低減される。これにより、出力回路の
動作によって入力回路が誤動作することが防止できる。
【0008】
【実施例】図1から図5を参照して、記憶するデータの
ビット数が8ビットのDRAMを例に取り、本発明によ
る半導体装置について説明する。
【0009】〔実施例1〕図1は本実施例による半導体
装置1の平面図、また図2は半導体装置1のX−X’面
の断面図である。図において、2は半導体チップであ
る。半導体チップ2は、シリコン等の単結晶からなる平
板な長方形状のチップであり、内部に微細なメモリ回路
が形成されている。また、このメモリ回路は、記憶する
データを入力する回路と記憶されたデータを読み出して
出力する出力バッファ回路、およびこれらの入力回路と
出力バッファ回路の動作を制御する制御回路等によって
構成されている。
【0010】3はボンディングパッドである。ボンディ
ングパッド3は、半導体チップ2の主面中央部に、長辺
に平行して一列に多数形成されている。ボンディングパ
ッド3は、半導体チップ2に形成されたメモリ回路を半
導体装置1の外部回路と接続する接続端子であり、メモ
リ回路を構成する上記出力バッファ回路や入力回路等の
各回路は、ボンディングパッド3を通して電源電圧およ
び基準電圧を供給されている。
【0011】また、10は絶縁テープである。半導体チ
ップ2の主面上には、例えば2枚の絶縁テープ10が、
一列に形成されたボンディングパッド3を挟んでそれぞ
れ接着されている。4はLSIリードである。LSIリ
ード4は、半導体チップ2の長辺に沿って2列に多数配
置されており、半導体チップ2に形成されたメモリ回路
を半導体装置1の外部回路と接続する。また、各々のL
SIリード4は、LSIパッケージ12によって封止さ
れるインナーリード4aと、外部に露出するアウターリ
ード4bとに分けられ、インナーリード4aの先端部
は、絶縁テープ10を挟んで半導体チップ2の主面上
に、それぞれ載置されている。
【0012】また、各々のLSIリード4は、その機能
から以下のように分類される。5a〜5hは記憶するデ
ータを入力し、また記憶されたデータを読み出して出力
するデータ入出力用リードである。6a〜6dは半導体
装置1の動作を制御する制御用リードである。7a〜7
lは記憶するデータのアドレス、あるいは記憶されたデ
ータを読み出すアドレスを指定するアドレス用リードで
ある。8a、8bは電源電圧を半導体装置1に供給する
電源電圧供給用リードである。9a、9bは基準電圧を
半導体装置1に供給する基準電圧供給用リードである。
【0013】また、13a、13bは電源電圧供給用バ
スバーリード、また13c、13dは基準電圧供給用バ
スバーリードである。電源電圧供給用バスバーリード1
3a、13bは、電源電圧供給用リード8a、8bのイ
ンナーリード4a、4aをボンディングパッド3に沿っ
て引き伸ばした形状であり、ボンディングパッド3とイ
ンナーリード4aの先端部との間にそれぞれ配置されて
いる。また、基準電圧供給用バスバーリード13c、1
3dは、基準電圧供給用リード9a、9bのインナーリ
ード4a、4aを半導体チップ2に主面上のボンディン
グパッド3に沿って引き伸ばした形状であり、ボンディ
ングパッド3とインナーリード4aの先端部との間にそ
れぞれ配置されている。また、電源電圧供給用バスバー
リード13aと基準電圧供給用バスバーリード13cと
は、半導体チップ2に形成されたメモリ回路のうち出力
バッファ回路に接続され、電源電圧供給用バスバーリー
ド13bと基準電圧供給用バスバーリード13dとは、
上記メモリ回路の入力回路に接続されている。また、各
々のバスバーリード13a〜13cには、ボンディング
ワイヤ11を接続する突出部が多数形成されている。
【0014】ボンディングワイヤ11は、バスバーリー
ド13a〜13cとボンディングパッド3、および各イ
ンナーリード4aとボンディングパッド3とを電気的に
接続する貴金属製のワイヤである。12はLSIパッケ
ージである。LSIパッケージ12は、エポキシ系樹脂
からなり、半導体装置1が置かれる周囲環境に対して、
半導体装置1を構成する上記各部材を樹脂内に封止して
いる。
【0015】このような構成において、制御用リード6
a〜6dに半導体チップ2に形成されたメモリ回路に記
憶されているデータを読み出す指示信号が加えられ、ア
ドレス用リード7a〜7lにアドレスを指定する信号が
加えられると、各々のデータ入出力用リード5a〜5h
には、8ビットデータの各ビットに相当するデータがそ
れぞれ同時に読み出される。このとき、半導体チップ2
に形成された前記出力バッファ回路が同時に動作し、電
源電圧供給用バスバーリード13aと基準電圧供給用バ
スバーリード13cには過渡的に大きな電流が流れる。
そして、この電流によって電源電圧あるいは基準電圧が
変動する。
【0016】しかし、本実施例による半導体装置によれ
ば、電源電圧あるいは基準電圧を供給するバスバーリー
ドは、出力バッファ回路用と入力回路用とに分離されて
おり、出力バッファ回路は、出力バッファ回路用の電源
電圧供給用バスバーリードと基準電圧供給用バスバーリ
ードとに接続され、入力回路は、入力回路用の電源電圧
供給用バスバーリードと基準電圧供給用バスバーリード
とに接続されている。したがって、出力バッファ回路の
電源電圧および基準電圧が変動しても、入力回路にその
の電圧変動が伝搬せず、入力回路の誤動作が防止でき
る。
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【発明の効果】請求項1および請求項2記載の半導体装
置によれば、出力回路および入力回路の電源電圧インピ
ーダンスあるいは基準電圧インピーダンスに占める共通
インピーダンスがそれぞれ低減されるため、出力回路が
動作することによって生じる入力回路の誤動作が防止で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による実施例1の半導体装置の平面図
である。
【図2】 図1に示す本発明による半導体装置における
X−X’面の断面図である。
【符号の説明】
1 半導体装置 2 半導体チップ 3 ボンディングパッド 4a インナーリード 11 ボンディングワイヤ 13a〜13d バスバーリード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−21320(JP,A) 特開 平5−218281(JP,A) 特開 平6−69407(JP,A) 特開 平5−251495(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 23/50 H01L 21/60 H01L 27/04

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部からの信号を受け入れる入力回路と
    外部へ信号を出力する出力回路が少なくとも形成された
    半導体チップ上に、インナーリードとバスバーリードを
    配置し、前記インナーリードとバスバーリードとをボン
    ディングワイヤにより、半導体チップ上のボンディング
    パッドに結線したリード・オン・チップ構造を有する半
    導体装置であって、 電源電圧供給用のバスバーリードと基準電圧供給用のバ
    スバーリードのうち、少なくとも一方が前記出力回路に
    接続されたものと前記入力回路に接続されたものとに分
    離されており、この分離された各バスバーリードは、互
    いに平行かつボンディングパッドの配列方向と平行に延
    びる部分を有することを特徴とする半導体装置。
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