JP2883263B2 - 半田付け装置における排煙装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線基板等の
配線基板の半田付けを低酸素濃度雰囲気中で行うフロー
型の半田付け装置やリフロー型半田付け装置等におい
て、雰囲気中のフラックスヒューム(FLUX FUME) や半田
蒸気等の異物を捕集する排煙装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】不活性ガス等をチャンバや配線基板の搬
送トンネル路に供給・導入し、低酸素濃度雰囲気中で半
田付けを行う装置が注目を浴びている。すなわち、この
ような半田付け装置においては、固形分の少ないフラッ
クスを使用して半田付けを行っても良好な半田付け性を
得ることが可能となるからであり、それに伴って配線基
板の無洗浄化が可能となるからである。

【０００３】他方、このような半田付け装置において
は、半田付けプロセスの大気に対する封止性が高いため
に、チャンバ内やトンネル路にフラックスヒュームや蒸
発する半田等の異物が雰囲気中に滞留する問題がある。
そこで、これらを捕集するための装置が提案されてい
る。

【０００４】実公平３−１５２５３号公報に開示される
技術は、粒子状のフラックスヒュームを循環の外部導路
であるパイプの壁面に衝突させて捕獲したり、循環途中
で一部凝縮したものはパイプに落下させて捕獲したり、
それでも除去が不十分な場合には、されらをフィルタに
よって除去する構成である。

【０００５】特開平４−１３４７４号公報に開示される
技術は、冷却フィンに揮発成分からなる不純物を凝縮し
て除去する技術であり、リフロー炉の外部に設けた循環
通路に冷却フィンで構成した不純物除去手段を配置する
構成である。

【０００６】特開平４−２５８３６８号公報に開示され
る技術は、リフロー装置の加熱室から排出された雰囲気
を、液体チッソガスボンベから供給されるチッソガスで
冷却し、雰囲気中の溶剤ガスを液化させることによって
除去する技術であり、雰囲気循環路に冷却用のコンデン
サや混合器を配設する構成である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
の技術には、次のような問題がある。

【０００８】実公平３−１５２５３号公報に開示される
技術では、粒子状のフラックスヒュームは除去できる。
しかし、雰囲気中のフラックスヒュームは気体状態にあ
り、リフロー内の雰囲気を冷却しないでフィルタを通し
ているために、フィルタを通しただけでは気体状である
フラックスヒュームの十分な捕集を行うことができな
い。

【０００９】特開平４−１３４７４号公報に開示される
技術では、ジグザグ通路を形成する冷却フィンの表面に
フラックスヒューム等の溶剤成分を冷却・凝縮して捕集
する構成であり、大部分のフラックスヒュームは冷却フ
ィン２４の間を通過してしまうので、やはり十分な捕集
を行うことができない。また、冷却フィン２４の表面に
フラックスが付着して堆積していくと急激に冷却効果が
低下し、捕集作用の効率も低下してしまうため、フラッ
クスヒューム等の十分な捕集を行うことができない。ま
た、筒状カートリッジ２３自体に冷却ファン２４をジグ
ザグ通路を形成するように設けることで構造が複雑にな
り、コスト高を招くことになる。

【００１０】特開平４−２５８３６８号公報に開示され
る技術では、リフロー装置に供給するチッソガスの流量
によって雰囲気の冷却状態が変化する短所がある。すな
わち、チッソガスの供給流量を少なくすると循環する雰
囲気の十分な冷却を行うことができなくなる。すなわ
ち、雰囲気中の溶剤ガスを液化させることができなくな
り、溶剤ガスの除去もできなくなる。

【００１１】ちなみに、リフロー装置内の酸素濃度によ
ってチッソガスの供給流量を可変する技術は、一般的に
行われている技術である。なお、チッソガスの供給流量
を、十分な冷却に必要とされる流量以下にならないよう
にあらかじめ大きい値にしておくことも可能であるが、
それではチッソガス消費量が増大し、半田付けに伴うラ
ンニングコストが高くなる。

【００１２】その他、これらの公報に開示される技術に
は、雰囲気中のフラックスヒューム等を効率良くフィル
タに導く技術に関しては何ら開示されていない。

【００１３】本発明の目的は、従来の排煙装置における
以上のような問題を解消し、フラックスヒューム等の捕
集能力が高く、かつメンテナンス性に優れた排煙装置を
実現することによって、半田付け環境のクリーン度を高
めて雰囲気信頼性の高い半田付けプロセスを実現するこ
とにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、雰囲気を冷却
して気体状態のフラックスヒュームを液化させて霧滴化
させる冷却部とこの霧滴化した浮遊物を捕獲するフィル
タ部とを至近に隣接して設けるように構成したところに
特徴がある。また、雰囲気を循環させるための吸い込み
口筺と吐出口筺の配置構成を最適化したところに特徴が
ある。

【００１５】すなわち、本発明にかかる第１の発明は、
チャンバ内で半田付けを行うはんだ付装置のチャンバ内
雰囲気をパイプとファンとからなる循環手段により捕集
装置に導いて、半田付けの際に発生するフラックスヒュ
ームや半田蒸気等の異物を該捕集装置で捕獲して除去す
る排煙装置であって、前記排煙装置の捕集装置は、該捕
集装置に入ってくる雰囲気を予め決めた目的とする温度
以下に冷却する冷却部と浮遊粒子を捕獲するフィルタ部
とを１つの筐体に配置して成ると共に、前記雰囲気が循
環する順に前記冷却部と前記フィルタ部とを配置し、か
つ、前記冷却部をフィルタ部に面して至近に隣接配置し
て該１つの筐体に一体に形成して成り、かつ、前記冷却
部と前記フィルタ部とは着脱自在に設けられてなるもの
であることを特徴としたものである。

【００１６】また、第２の発明は、第１の発明におい
て、冷却部における雰囲気の冷却温度は、フラックスヒ
ュームの液化温度以下になるよう構成したことを特徴と
したものである。

【００１７】さらに、第３の発明は、第１又は第２の発
明の、半田付けを行う配線基板の搬送用コンベアを備え
たフロー型の半田付け装置に用いる排煙装置において、
半田付け雰囲気を冷却部とフィルタ部とに循環させるた
めの吸い込み口筐と吐出口筐とが、半田層の溶融半田と
配線基板とが接触する位置の上方で、循環雰囲気が水平
方向かつ前記配線基板搬送用コンベアの搬送方向と直交
する方向へ流れるように配置されていることを特徴とし
たしたことを特徴としたものである。

【００１８】また、第４の発明は、第１又は第２の発明
の、半田付けを行う配線基板の搬送用コンベアを備えた
フロー型の半田付け装置に用いる排煙装置において、半
田付け雰囲気を冷却部とフィルタ部とに循環させるため
の吸い込み口筐が、半田槽の溶融半田と配線基板とが接
続する位置の上方で、かつ配線基板を挟持する爪に沿っ
てその吸い込み口を配線基板へ向けて配置され、吐出口
筐が前記吸い込み口筐の近傍でその上方に配置されてい
ることを特徴としたものである。

【００１９】

【作用】第１の発明においては、雰囲気が循環する順に
冷却部とフィルタ部を至近に接続配置して構成している
ので、気体状態であったフラックスヒュームは予め決め
た目的の温度に冷却されて霧滴化し、フィルタ部で直ち
に捕獲することができる。また冷却して固形化した半田
も、フィルタ部で捕獲することができる。

【００２０】また、冷却部をフィルタ部に面して至近に
隣接配置して構成しているので、霧滴化したフラックス
ヒュームや固形化した半田はその直後にフィルタ部で捕
獲される。そのため、それらが循環路を形成するパイプ
やダクト等に付着することもない。すなわち、フィルタ
部で効率よく捕獲することができる。

【００２１】また、冷却部とフィルタ部とは筐体に対し
て着脱自在に設けられているので、フィルタ部の交換作
業や冷却部の清掃も容易に行うことができ、メンテナン
スも容易に行うことができる。

【００２２】第２の発明においては、雰囲気温度がフラ
ックスヒュームの液化温度以下になると、雰囲気中の気
体化したフラックスヒュームが液化して霧滴化する。し
たがって、フラックスヒュームを効率よく捕獲すること
ができるようになる。

【００２３】第３の発明においては、溶融半田と配線基
板との接触によって生ずるフラックスヒュームは、対流
によってその上方へ流動する。また同様に、半田蒸気も
上方へ流動する。したがって、吸い込み口筺と吐出口筺
とを半田槽の溶融半田と配線基板とが接触する位置の上
方で、循環雰囲気が略水平方向かつ搬送用コンベアの搬
送方向と直交する方向へ流れるように配置することで、
それらを効率よく吸い込むことができる。また、フラッ
クスヒューム等の流動状態に逆らわないで吸い込むの
で、チャンバやトンネル路内の雰囲気の流動状態を乱す
ことも少ない。

【００２４】第４の発明においては、半田槽の溶融半田
と配線基板とが接触する位置の上方で、かつ配線基板を
挟持する爪に沿ってその吸い込み口を配線基板側へ向け
て吸い込み口筺を配置することで、フラックスヒューム
はその発生後直ちに吸い込み口筺に吸い込むことができ
る。したがって、配線基板を挟持する爪にフラックスヒ
ューム等が露滴化して付着することもなく、効率よく吸
い込むことができる。また、吸い込み口筺の近傍でその
上方に吐出口筺を配置しているので、吐出した雰囲気は
下降して直ちに吸い込み口筺に吸引される。すなわち、
チャンバやトンネル路内の雰囲気の流動状態を乱すこと
が少ない。

【００２５】

【実施例】次に、本発明の排煙装置の一実施例について
説明する。図１は、本発明の排煙装置をフロー型半田付
け装置に設けた実施例を示す図である。

【００２６】すなわち、低酸素濃度雰囲気での半田付け
を行うために、配線基板１の配線基板搬送用コンベア
（以下、単に搬送コンベアという）２に沿ってトンネル
路３を設け、このトンネル路３内にチッソガス（Ｎ₂ ）
を供給・導入する構成である。また、トンネル路３中に
は搬送コンベア２に沿ってプリヒータ４と半田槽５を設
け、配線基板１のプリヒートと半田付けを行う構成であ
る。ちなみに、同図では、溶融半田６を噴出して配線基
板１と接触させて半田付けを行う例を示している。

【００２７】他方、トンネル路３内の雰囲気はファン１
１で吸引して循環させる構成であり、吸い込み口筺７か
ら吸い込んだ雰囲気はパイプやダクト等の循環路を通
り、冷却部８とフィルタ部９とからなる捕集装置１０を
経て、ファン１１で吸引・吐出し、最終的には吐出口筺
１２からトンネル路３内に還流する構成である。なお、
捕集装置１０の冷却部８とフィルタ部９とは相互に面し
て至近に隣接して設けている。以下、図２〜図４により
捕集装置１０の詳細について説明する。

【００２８】図２は、捕集装置１０の詳細構造を示す図
で、（ａ）は立方体形状の捕集装置１０を雰囲気が通過
する方向に対して側面から見た図で、部分的に切除して
内部を示してある。（ｂ）は、捕集装置１０から取り外
した冷却部８を示した図で、図示方向は（ａ）と同一で
あり、強制冷却用のファンを設備した例を示した図であ
る。

【００２９】また、図３は、冷却部８の詳細を説明する
図で、（ａ）は冷却路の形状を説明する斜視図、（ｂ）
は冷却路の蓋を説明する斜視図である。

【００３０】図４は、フィルタ部９の詳細を説明する図
で、（ａ）は冷却部８と蓋１８とを取り外し、部分的に
切除して内部の様子を示した斜視図、（ｂ）は主フィル
タ１５の斜視図である。

【００３１】まず、図２（ａ）により排煙装置の概略構
成を動作とともに説明する。すなわち、捕獲装置１０は
一つの筐体２０に冷却部８とフィルタ部９とが設けら
れ、かつ冷却部８はフィルタ部９に面して至近に隣接配
置して該筐体２０に一体に形成してある。そして、吸い
込み口筐７とパイプやダクト等を通って吸い込み口１３
から入った雰囲気は冷却部８を通して冷却された後、直
ちに透過間隙の相対的に大きい荒取りフィルタ１４と透
過間隙の小さい主フィルタ１５とからなるフィルタ部９
を通って吸い出し口１６から出る構成である。なお、蓋
１７の中央位置には吸い込み口１３を設け、該蓋１７を
冷却部８の冷却／放熱用の部材と兼用した構成としてあ
る。また、他方の蓋１８は、荒取りフィルタ１４と主フ
ィルタ１５の交換用の蓋である。なお、蓋１７，１８は
固定具１９で筺体２０（図４（ａ）参照）に気密に取り
付ける構成とし、両フィルタ部１４，１５の交換を容易
に行うことができるようにしてある。

【００３２】ここで、図３および図２（ｂ）を参照して
冷却部８について詳述する。すなわち、吸い込み口１３
を冷却／放熱用の部材と兼用した蓋１７の中央位置に設
けている。この実施例では中心から放射状、かつ蛇行す
る形状の雰囲気通路を形成するように構成している。ち
なみに、図中の破線で示した矢印が、雰囲気の流路を示
している。

【００３３】そして、最も外側に配置した冷却路形成板
２１には孔２２を設け、該孔２２から雰囲気を放出す
る。なお、冷却路形成板２１には図３（ｂ）に示す冷却
路用の蓋２３を被せ、雰囲気が通過する冷却路を吸い込
み口１３から孔２２までに渡って封止してある。蓋１７
および冷却路形成板２１は素材として熱抵抗の低い、例
えばアルミニュウムを用いている。

【００３４】また、吸い込み口１３から入る雰囲気の温
度が高い場合や、循環させる雰囲気流量が多く、冷却路
形成板２１の孔２２から放出する雰囲気の温度が目標と
する温度（例えば、摂氏７０度）以下に低下しない場合
は、ファン２６ａ，２６ｂを蓋１７に設け、強制空冷と
することで目標とする温度以下になるよう冷却する構成
とする。もちろん、水冷や油冷等の液冷手段や低温のガ
ス体による冷却手段を用いても良い。

【００３５】次に、図４を参照してフィルタ部９につい
て詳述する。すなわち、フィルタ部９は、荒取りフィル
タ１４と主フィルタ１５の２段階構成のフィルタであ
り、荒取りフィルタ１４で相対的に大きい浮遊粒子を捕
獲し、小さい浮遊粒子を主フィルタ１５で捕獲する構成
としてある。なお、ここで言う浮遊粒子とは、霧滴化し
たフラックスヒュームや固形化した半田蒸気、その他の
純粋雰囲気以外の異物のことを指す。

【００３６】具体的には、グラスファイバを素材として
綿状に成形して（図示しない）枠体に収めて荒取りフィ
ルタ１４を構成する。また、波状に成形して表面積の拡
大を図った濾紙２４を枠体２５に収めて主フィルタを構
成する。なお、図４中の白抜き矢印記号は、雰囲気の流
れる方向を示している。

【００３７】ちなみに、このような捕集装置をリフロー
型の半田付け装置の雰囲気循環路に設けて排煙装置とす
る場合には、フロー型の半田付け装置に比べて雰囲気温
度が高いので、冷却熱量を考慮して放熱部を設計する必
要がある。

【００３８】図５は、吸い込み口筐７ａと吐出口筐１２
ａの第１の構成例を説明する図で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は（ａ）をＡ−Ａ′断面から見た図である。な
お、図中白抜き矢印記号は雰囲気の流れる方向を示し、
破線の矢印記号はフラックスヒューム等の流れる方向を
示している。また、（ａ）の左上の矢印（←）は、搬送
コンベア２の搬送方向を示している。

【００３９】すなわち、放射状形状とした吐出口筐１２
ａと吸い込み口筐７ａとを、配線基板搬送用コンベア２
の上方に設けた構成で、半田槽５は該口筐１２ａ，７ａ
および該搬送コンベア２の下方にあり、溶融半田６が噴
出する半田２７となって基板を挟持する爪２８に挟持・
保持された配線基板１と接触する構成である。

【００４０】なお、吐出口筐１２ａと吸い込み口筐７ａ
は、その開口部が対峙する向きで略水平方向で搬送コン
ベア２の搬送方向と直行する方向へ循環雰囲気が流れる
ように配置してあり、それらをトンネル路３の上壁に設
けた構成である。

【００４１】図６は、吸い込み口筐７ｂ，７ｃと吐出口
筐１２ｂの第２の構成例を説明する図で、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は（ａ）をＢ−Ｂ′断面から見た図、であ
る。なお、図中の白抜き矢印記号は雰囲気の流れる方向
を示し、破線の矢印記号はフラックスヒューム等の流れ
る方向を示している。

【００４２】すなわち、１対で構成される配線基板搬送
用コンベア２のそれぞれに、爪２８に沿ってその吸い込
み開口部を配線基板１側へ向けてノズル形状の吸い込み
口筐７ｂ，７ｃを設け、他方の放射状形状の吐出口筐１
２ｂを、前記吸い込み口筐７ｂ，７ｃの近傍でその上方
に設けた構成である。

【００４３】この例では、吐出口筐１２ｂをトンネル路
３の上壁に設け、また、両吸い込み口筐７ｂ，７ｃは配
線基板搬送用コンベア２に取り付け、両吸い込み口筐７
ｂ，７ｃ相互を伸縮可能なパイプ２９で合流接続して配
管する構成である。このように構成することで、配線基
板１の幅が変わって配線基板搬送用コンベア２の間隔が
変化しても、吸い込み口筐７ｂ，７ｃの基板を挟持する
爪２８に対する相対位置を一定に保つことができる。

【００４４】なお、半田槽５は吸い込み口筐７ｂ，７ｃ
および搬送コンベア２の下方にあり、溶融半田６が噴出
する半田２７となって基板を挟持する爪２８に挟持され
た配線基板１と接触する構成である。なお、３０，３１
は開口を示す。

【００４５】次に動作について説明する。図１に示すよ
うに、トンネル路３内の雰囲気は、パイプやダクト等を
通って、吸い込み口筐７→捕集装置１０の冷却部８→捕
集装置１０のフィルタ部９→ファン１１→吐出口筐１２
の順で循環する。その際に、気体状態のフラックスヒュ
ームや蒸発した半田等の異物は捕集装置１０で除去さ
れ、トンネル路３内の雰囲気をクリーン状態に保つこと
ができる。

【００４６】冷却部８の至近後方に荒取りフィルタ１４
と主フィルタ１５を相互に面して配設する構造であるの
で、冷却されて霧滴化したフラックスヒュームや固形化
した半田を直ちにフィルタで捕獲することができる。し
たがって、雰囲気を循環させるための配管部分等にフラ
ックスヒューム等が露滴化して付着したりして、捕集装
置１０以外の部分に不要な汚れを発生することがない。
また、半田付けの際に剥離浮遊化した半田粒子等も前記
両フィルタ１４，１５に捕獲することができる。

【００４７】なお、配線基板１に塗布したフラックスが
溶融半田６と接触した際に発生するフラックスヒュー
ム、すなわち気体化したフラックスは、その温度が摂氏
７０度以下になると液化して霧滴化することを実験で確
かめた。したがって、両フィルタ１４，１５で確実にフ
ラックスヒュームを捕獲することができる。この実験結
果は、固形分５％の無洗浄タイプのフラックスを使用し
て求めた。

【００４８】冷却部８は、蓋１７の中央位置から周辺の
端縁部へ向かって気体化したフラックスを蛇行させなが
ら流し、その間に冷却路形成板２１および蓋１７により
熱を奪って冷却する。したがって、蓋１７の中心部は温
度が高く、端縁部は温度が低くなる温度勾配分布を示
す。すなわち、放熱表面積が拡大するとともに雰囲気温
度も低下する。そのため、冷却効率も良い。また、冷却
部の中心部では該冷却部の温度が高く端縁部では温度が
低くなり、冷却部の端縁部はその表面積が拡大するので
冷却手段としては理想的な温度勾配を呈する。

【００４９】また、雰囲気温度をフラックスヒュームの
液化温度、例えば摂氏７０度以下に冷却できない場合
は、ファン２６ａ，２６ｂ等により強制冷却を行い、当
該温度以下に冷却することができる。

【００５０】他方、荒取りフィルタ１４および主フィル
タ１５は枠体２５に形成してカートリッジ状としている
ので、固定具１９のスナップ操作で蓋１８を開けてその
交換作業を容易に行うことができる。

【００５１】ちなみに、冷却部８を通過する雰囲気は冷
却されながら進行するので、冷却路形成板２１等の表面
にも、若干ではあるがフラックスヒュームや半田蒸気等
の異物が液状あるいは固形状となって付着する。しか
し、それらの殆どはフィルタ部９で捕獲される。また、
固定具１９のスナップ操作で、冷却部８を筐体２０に取
り付けたり外したりできるので、冷却路形成板２１等に
付着した異物等の清掃作業も容易に行うことができる。
すなわち、メンテナンス性にも優れている。

【００５２】図５に示す第１の構成例では、（ｂ）に示
すように、噴出半田２７と配線基板１とが接触して発生
し上昇するフラックスヒューム（破線矢印）は、トンネ
ル路３の上方を吐出口筐１２ａから吸い込み口筐７ａへ
向かって水平方向かつ搬送コンベア２の搬送方向と直交
する方向に流れる雰囲気の流れに誘われ、該吸い込み口
筐７ａに吸い込むことができる。したがって、効率良く
フラックスヒュームや半田蒸気等を吸い込むことができ
ると共に、トンネル路３内の雰囲気の流動状態を乱し難
い。

【００５３】ちなみに、チッソガス等を供給・導入して
低酸素濃度を実現するトンネル路３やチャンバにあって
は、雰囲気の流動状態を乱すことが酸素濃度の制御性を
乱すことになり易いので、この点は重要である。

【００５４】次に、図６に示す第２の構成例では、
（ｂ）に示すように、噴出半田２７と配線基板１とが接
触して発生し上昇するフラックスヒューム（破線矢印）
は、配線基板１の基板を挟持する爪２８に接触すること
なく直ちに吸い込み口筐７ｂ，７ｃに吸い込むことがで
きる。そのため、フラックスヒューム等が爪２８に露滴
化して付着することがない。したがって、爪２８の清掃
作業が極めて容易になると共に、トンネル路３内の雰囲
気もクリーンに保つことができる。

【００５５】なお、吐出口筐１２ｂは吸い込み口筐７
ｂ，７ｃの近傍上方に位置しているので、吐出した雰囲
気は下降して吸い込み口筐７ｂ，７ｃに達し、フラック
スヒュームを該吸い込み口筐７ｂ，７ｃに誘い込む。そ
のため、第１の構成例と同様に、トンネル路３内の雰囲
気の流動状態を乱し難い。

【００５６】〔他の実施例〕 吸い込み口筐と吐出口筐の構成においては、図６の構成
例と図５の構成例とを組み合わせた構成としても良い。
すなわち、図６の吸い込み口筐７ｂ，７ｃの上方に、図
５に示す吸い込み口筐７ａと吐出口筐１２ａとを配設す
る構成である。なお、この場合、図６に示す吐出口筐１
２ｂは配設せず、吐出口筐１２ａに兼用させる。

【００５７】このような構成においては、吸い込み口筐
７ｂ，７ｃに吸い込まれなかったフラックスヒューム等
は、その上方の吸い込み口筐７ａに吸い込まれる。すな
わち、前記第１の構成例と第２の構成例の特徴を併せ持
つことができる。

【００５８】また、図６の構成例において、吸い込み口
筐７ｂ，７ｃの吸い込み口は配線基板１側にのみ設けた
構成となっているが、図６（ａ）の破線で示すように、
吸い込み口筐７ｂ，７ｃの側面に吸い込み用の開口（３
０）（３１）を併せて設けても良い。この場合、トンネ
ル路３の上方へ上昇して滞留したフラックスヒューム等
は開口（３０）（３１）から吸い込まれる。すなわち、
このような構成においても、前記第１の構成例と第２の
構成例の特徴を併せ持つことができる。

【００５９】また、図３に示す冷却部８の構成におい
て、雰囲気通路、すなわち冷却路が渦巻き状になるよう
に構成しても同様の作用が得られる。

【００６０】

【発明の効果】以上のように、本発明による半田付け装
置における排煙装置に係る第１の発明においては、雰囲
気が循環する順に冷却部とフィルタ部を至近に隣接配置
して構成しているので、気体状態であったフラックスヒ
ュームは予め決めた目的の温度に冷却して霧滴化し、フ
ィルタ部で直ちに捕獲することができる。また冷却して
固形化した半田も、フィルタ部で捕獲することができ
る。

【００６１】また、冷却部をフィルタ部に面して至近に
隣接配置して一体構成しているので、霧滴化したフラッ
クスヒュームや固形化した半田はその直後にフィルタ部
で捕獲される。そのため、それらが循環路を形成するパ
イプやダクト等に露滴化して付着することもない。すな
わち、フィルタで効率よく捕獲することができる。

【００６２】また、冷却部とフィルタ部とは筐体に対し
て着脱自在に設けられているので、フィルタ部の交換作
業や冷却部の清掃も容易に行うことができ、メンテナン
スも容易に行なうことができる。

【００６３】第２の発明においては、雰囲気温度がフラ
ックスヒュームの液化温度以下になると、雰囲気中の気
体化したフラックスヒュームが液化して霧滴化する。し
たがって、フラックスヒュームを効率よく確実に捕獲す
ることができるようになる。

【００６４】第３の発明においては、溶融半田と配線基
板との接触によって生ずるフラックスヒュームは、対流
によってその上方へ流動する。また同様に、半田蒸気も
上方へ流動する。したがって、吸い込み口筺と吐出口筺
とを半田槽の溶融半田と配線基板とが接触する位置の上
方で、循環雰囲気が略水平方向かつ搬送用コンベアの搬
送方向と直交する方向へ流れるように配置することで、
それらを効率よく吸い込むことができる。また、フラッ
クスヒューム等の流動状態に逆らわないで吸い込むの
で、チャンバやトンネル路内の雰囲気の流動状態を乱す
ことも少ない。

【００６５】第４の発明においては、半田槽の溶融半田
と配線基板とが接触する位置の上方で、かつ配線基板を
挟持する爪に沿ってその吸い込み口を配線基板側へ向け
て吸い込み口筺を配置することで、フラックスヒューム
をその発生後直ちに吸い込み口筺に吸い込むことができ
る。したがって、配線基板を挟持する爪にフラックスヒ
ューム等が露滴化して付着することもなく、効率よく吸
い込むことができる。また、吸い込み口筺の近傍でその
上方に吐出口筺を配置しているので、吐出した雰囲気は
下降して直ちに吸い込み口筺に吸引される。すなわち、
チャンバやトンネル路内の雰囲気の流動状態を乱すこと
が少ない。

【００６６】かように、本発明によれば、気体化したフ
ラックスヒューム等を効率良く吸い込み、効率良く確実
に捕集することができる。また、不必要な箇所へフラッ
クスヒューム等が露滴化して付着することも少なく、フ
ィルタの交換作業も容易に行うことができる。

【００６７】したがって、半田付け環境のクリーン度が
高く雰囲気信頼性の高い半田付けプロセスを実現するこ
とができる。また、メンテナンス性に優れた半田付け作
業環境を実現することができる。さらに、チッソガス等
をチャンバ内に供給するものにあっては、酸素濃度の制
御性を乱すこともなく安定した雰囲気を維持することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の排煙装置をフロー型半田付け装置に設
けた例を説明する図である。

【図２】捕集装置を説明する図で、（ａ）は立方体形状
の捕集装置を雰囲気が通過する方向に対して側面から見
た図で、部分的に切除して内部を示した図、（ｂ）は捕
集装置から冷却部を取り外して示した図である。

【図３】冷却部の詳細を説明する図で、（ａ）は冷却路
の形状を説明する斜視図、（ｂ）は冷却路の蓋を説明す
る斜視図である。

【図４】フィルタ部の詳細を説明する図で、（ａ）は冷
却部と蓋とを取り外し、部分的に切除して内部の様子を
示した斜視図、（ｂ）は主フィルタの斜視図である。

【図５】吸い込み口筐と吐出口筐の第１の構成例を説明
する図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）をＡ−Ａ′
断面から見た図である。

【図６】吸い込み口筐と吐出口筐の第２の構成例を説明
する図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）をＢ−Ｂ′
断面から見た図である。

【符号の説明】 １ 配線基板 ２ 配線基板搬送用コンベア ３ トンネル路（チャンバ） ７ 吸い込み口筐 ８ 冷却部 ９ フィルタ部 １０ 捕集装置 １１ ファン １２ 吐出口筐 １４ 荒取りフィルタ １５ 主フィルタ ２０ 筐体 ２１ 冷却路形成板 ２４ 濾紙 ２６ａ ファン ２６ｂ ファン ２８ 配線基板を挟持する爪 ２９ 伸縮可能なパイプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０６ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０６Ｋ (72)発明者 野末 正仁 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電 気工業株式会社内 (72)発明者 中村 公彦 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電 気工業株式会社内 (72)発明者 安岡 敏一 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電 気工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−13474（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−180267（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−92259（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−42174（ＪＰ，Ａ) 実公 平３−15253（ＪＰ，Ｙ２) 特表 平５−503664（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23K 1/08 320 B23K 1/00 B23K 31/02 310 H05K 3/34 506 F24F 7/08 B01D 46/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チャンバ内で半田付けを行うはんだ付装
   置のチャンバ内雰囲気をパイプとファンとからなる循環
   手段により捕集装置に導いて、半田付けの際に発生する
   フラックスヒュームや半田蒸気等の異物を該捕集装置で
   捕獲して除去する排煙装置であって、 前記排煙装置の捕集装置は、該捕集装置に入ってくる雰
   囲気を予め決めた目的とする温度以下に冷却する冷却部
   と浮遊粒子を捕獲するフィルタ部とを１つの筐体に配置
   して成ると共に、前記雰囲気が循環する順に前記冷却部
   と前記フィルタ部とを配置し、かつ、前記冷却部をフィ
   ルタ部に面して至近に隣接配置して該１つの筐体に一体
   に形成して成り、かつ、前記冷却部と前記フィルタ部と
   は着脱自在に設けられてなるものであることを特徴とす
   る半田付け装置における排煙装置。
2. 【請求項２】 冷却部における雰囲気冷却温度は、フラ
   ックスヒュームの液化温度以下にする構成としたことを
   特徴とする請求項１に記載の半田付け装置における排煙
   装置。
3. 【請求項３】 半田付けを行う配線基板の搬送用コンベ
   アを備えたフロー型の半田付け装置に用いる排煙装置に
   おいて、半田付け雰囲気を冷却部とフィルタ部とに循環
   させるための吸い込み口筐と吐出口筐とが、半田層の溶
   融半田と配線基板とが接触する位置の上方で、循環雰囲
   気が水平方向かつ前記配線基板搬送用コンベアの搬送方
   向と直交する方向へ流れるように配置されていることを
   特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半田付け装置
   における排煙装置。
4. 【請求項４】 半田付けを行う配線基板の搬送用コンベ
   アを備えたフロー型の半田付け装置に用いる排煙装置に
   おいて、半田付け雰囲気を冷却部とフィルタ部とに循環
   させるための吸い込み口筐が、半田槽の溶融半田と配線
   基板とが接続する位置の上方で、かつ配線基板を挟持す
   る爪に沿ってその吸い込み口を配線基板へ向けて配置さ
   れ、吐出口筐が前記吸い込み口筐の近傍でその上方に配
   置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に
   記載の半田付け装置における排煙装置。