JP2883130B2 - 位置補正方法 - Google Patents
位置補正方法Info
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- JP2883130B2 JP2883130B2 JP29718289A JP29718289A JP2883130B2 JP 2883130 B2 JP2883130 B2 JP 2883130B2 JP 29718289 A JP29718289 A JP 29718289A JP 29718289 A JP29718289 A JP 29718289A JP 2883130 B2 JP2883130 B2 JP 2883130B2
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- lines
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、放電加工機等における位置補正方法に関す
る。
る。
［従来の技術］ 工作機械等の所定の軸方向に移動する軸移動装置であ
って、ボールネジを介して、送りモータによって、テー
ブルやサドル等の軸移動装置を駆動する装置が知られて
いる。従来のこの種の装置は、その構成上、やむを得ず
各軸移動装置の軸送り方向には送り誤差（位置決め誤
差）が生じる。たとえば、従来の放電加工機において位
置補正する場合、各軸についてそれぞれの軸にそれぞれ
平行な所定の１つの線上で所定間隔ごとにピッチ誤差を
測定し、この測定値に基づく補正値をNC部に入力し、こ
れによって各軸の位置補正を行う。
って、ボールネジを介して、送りモータによって、テー
ブルやサドル等の軸移動装置を駆動する装置が知られて
いる。従来のこの種の装置は、その構成上、やむを得ず
各軸移動装置の軸送り方向には送り誤差（位置決め誤
差）が生じる。たとえば、従来の放電加工機において位
置補正する場合、各軸についてそれぞれの軸にそれぞれ
平行な所定の１つの線上で所定間隔ごとにピッチ誤差を
測定し、この測定値に基づく補正値をNC部に入力し、こ
れによって各軸の位置補正を行う。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来方法において、ヨーイング運動等の影響を受
けた場合、ピッチ誤差を測定した軸移動装置の軸線付近
の線上の位置から離れた位置で、この補正値を使用する
と、位置決め精度が低下するという欠点がある。つま
り、平面全域にわたって位置決め精度を安定して得るこ
とができないという欠点がある。
けた場合、ピッチ誤差を測定した軸移動装置の軸線付近
の線上の位置から離れた位置で、この補正値を使用する
と、位置決め精度が低下するという欠点がある。つま
り、平面全域にわたって位置決め精度を安定して得るこ
とができないという欠点がある。
この欠点を解消するには、たとえば放電加工機におい
て、Ｘ−Ｙ軸の直交２軸平面内に４辺形を設定し、この
４辺形の中に、その４辺形の１つの辺と平行な線を等間
隔に引き、この１つの辺と隣接する４辺形の別の辺と平
行な線を等間隔に引く。このようにして引かれた平行線
同志によって、多数の交点（以下、格子点という）が生
じ、これら格子点ごとに１つずつピッチ誤差を実際に測
定し、この測定されたピッチ誤差を補正する方法が考え
られる。
て、Ｘ−Ｙ軸の直交２軸平面内に４辺形を設定し、この
４辺形の中に、その４辺形の１つの辺と平行な線を等間
隔に引き、この１つの辺と隣接する４辺形の別の辺と平
行な線を等間隔に引く。このようにして引かれた平行線
同志によって、多数の交点（以下、格子点という）が生
じ、これら格子点ごとに１つずつピッチ誤差を実際に測
定し、この測定されたピッチ誤差を補正する方法が考え
られる。
しかし、このように多数の格子点の１つ１つについて
ピッチ誤差を実際に測定する場合、ピッチ誤差を精度よ
く補正しようとすればする程、ピッチ誤差を測定する格
子点が多くなり、その測定に長時間を要するという問題
がある。
ピッチ誤差を実際に測定する場合、ピッチ誤差を精度よ
く補正しようとすればする程、ピッチ誤差を測定する格
子点が多くなり、その測定に長時間を要するという問題
がある。
本発明は、平面全域にわたって安定した位置決め精度
を得る場合、その誤差測定時間を短くすることができる
位置補正方法を提供することを目的とするものである。
を得る場合、その誤差測定時間を短くすることができる
位置補正方法を提供することを目的とするものである。
［課題を解決する手段］ 本発明は、直線運動する２つの軸移動装置の直交２軸
平面内に、上記２軸の一方の軸に平行な１つの所定の線
と、上記２軸の他方の軸に平行であり、しかも上記所定
の線に直交する２つの線とを設定する３線設定段階と、
上記１つの所定の線上と上記２つの線上とにおいて、そ
れぞれ所定の間隔ごとにピッチ誤差を測定し、また、上
記１つの所定の線と上記２つの線とのうちの少なくとも
１つの線の線上において、所定の間隔ごとに真直度誤差
を測定する誤差測定段階と、上記誤差測定段階で得られ
た測定データに基づいて、上記１つの所定の線に平行で
等間隔の複数の平行線と上記２つの線に平行で等間隔の
複数の平行線とによって形成される各格子点における位
置補正データを演算する位置補正データ演算段階と、上
記位置補正データに基づいて、上記２つの軸移動装置の
位置決め誤差を補正する位置決め誤差補正段階とを有す
る位置補正方法である。
平面内に、上記２軸の一方の軸に平行な１つの所定の線
と、上記２軸の他方の軸に平行であり、しかも上記所定
の線に直交する２つの線とを設定する３線設定段階と、
上記１つの所定の線上と上記２つの線上とにおいて、そ
れぞれ所定の間隔ごとにピッチ誤差を測定し、また、上
記１つの所定の線と上記２つの線とのうちの少なくとも
１つの線の線上において、所定の間隔ごとに真直度誤差
を測定する誤差測定段階と、上記誤差測定段階で得られ
た測定データに基づいて、上記１つの所定の線に平行で
等間隔の複数の平行線と上記２つの線に平行で等間隔の
複数の平行線とによって形成される各格子点における位
置補正データを演算する位置補正データ演算段階と、上
記位置補正データに基づいて、上記２つの軸移動装置の
位置決め誤差を補正する位置決め誤差補正段階とを有す
る位置補正方法である。
また、本発明は、好ましくは、上記１つの所定の線
は、Ｙ軸機械座標０の位置に設定されている線であり、
上記２つの線は、Ｘ軸の（−）ストロークエンドに設定
されている線と、上記Ｘ軸の（＋）ストロークエンドに
設定されている線とである位置補正方法である。
は、Ｙ軸機械座標０の位置に設定されている線であり、
上記２つの線は、Ｘ軸の（−）ストロークエンドに設定
されている線と、上記Ｘ軸の（＋）ストロークエンドに
設定されている線とである位置補正方法である。
［作用］ 本発明は、直線運動する２つの軸移動装置の直交２軸
平面内の上記２軸の一方の軸に平行な所定の線と、上記
２軸の他方の軸に平行であって、かつ上記所定の線に直
交する２つの線との、少なくとも３つの線上におけるピ
ッチ誤差と、上記所定の線とこれに直交する２つの線と
のうちの少なくとも１つの線の真直度誤差のみを測定
し、この測定によって得られた測定データに基づいて、
それらの線に平行に等間隔に設けられた各線の格子点で
形成される平面内の他の位置の誤差を演算して位置決め
誤差を求めるので、平面全域にわたって安定した位置決
め精度を得ることができ、しかも、その誤差を測定する
時間が短縮される。
平面内の上記２軸の一方の軸に平行な所定の線と、上記
２軸の他方の軸に平行であって、かつ上記所定の線に直
交する２つの線との、少なくとも３つの線上におけるピ
ッチ誤差と、上記所定の線とこれに直交する２つの線と
のうちの少なくとも１つの線の真直度誤差のみを測定
し、この測定によって得られた測定データに基づいて、
それらの線に平行に等間隔に設けられた各線の格子点で
形成される平面内の他の位置の誤差を演算して位置決め
誤差を求めるので、平面全域にわたって安定した位置決
め精度を得ることができ、しかも、その誤差を測定する
時間が短縮される。
［実施例］ 第１図（１）は、本発明の一実施例の平面図であり、
同図（２）は、その正面図である。
同図（２）は、その正面図である。
この実施例は、ワイヤカット放電加工機であり、まず
ピッチ誤差を測定し、この測定されたピッチ誤差を補正
し、その後に、真直度誤差を測定し、この測定された真
直度誤差を補正し、全面の位置決め誤差を補正するもの
である。
ピッチ誤差を測定し、この測定されたピッチ誤差を補正
し、その後に、真直度誤差を測定し、この測定された真
直度誤差を補正し、全面の位置決め誤差を補正するもの
である。
また、以下の実施例の説明において、Ｘ−Ｙ軸平面の
位置補正について説明し、Ｘ軸の軸移動装置がサドル上
に、Ｙ軸の軸移動装置がサドル上にそれぞれ搭載されて
いるテーブルで構成されている周知の機械について説明
する。Ｘ軸の軸移動装置がテーブルで構成され、Ｙ軸の
軸移動装置がサドルで構成される装置については、Ｘ軸
とＹ軸とを置き換えて考えればよい。
位置補正について説明し、Ｘ軸の軸移動装置がサドル上
に、Ｙ軸の軸移動装置がサドル上にそれぞれ搭載されて
いるテーブルで構成されている周知の機械について説明
する。Ｘ軸の軸移動装置がテーブルで構成され、Ｙ軸の
軸移動装置がサドルで構成される装置については、Ｘ軸
とＹ軸とを置き換えて考えればよい。
第１図に示すように、Ｘ軸に平行な１つの所定の線上
のみで各ピッチ誤差を測定する。この場合、Ｙ軸機械座
標０の位置でＸ軸のピッチ誤差を測定する。また、Ｙ軸
に平行な２つの線上で各ピッチ誤差をそれぞれ測定す
る。この場合、Ｘ軸の（−）ストロークエンドと、
（＋）ストロークエンドとにおいて、Ｙ軸のピッチ誤差
を測定する。
のみで各ピッチ誤差を測定する。この場合、Ｙ軸機械座
標０の位置でＸ軸のピッチ誤差を測定する。また、Ｙ軸
に平行な２つの線上で各ピッチ誤差をそれぞれ測定す
る。この場合、Ｘ軸の（−）ストロークエンドと、
（＋）ストロークエンドとにおいて、Ｙ軸のピッチ誤差
を測定する。
ピッチ誤差を測定する場合、Ｙ軸については２つの線
上でピッチ誤差を測定するのに、Ｘ軸については１つの
線上でのみピッチ誤差を測定すれば足りるのは次の理由
による。上記実施例では、Ｙ軸がサドル上に設けられた
テーブルで位置決めされる構成を採用し、かつ、ベッド
と工具電極との位置関係が変わらない構成であるので、
テーブルがサドル上をＹ軸方向に動いた場合でも、Ｘ軸
の位置決めはＸ軸の軸線上で行われ、Ｘ軸のヨーイング
の影響を受けず、したがって、工具電極がＹ軸上のどこ
にあっても、Ｘ軸のピッチ誤差が同じである。このため
に、Ｘ軸については、Ｘ軸の１つの線上でのみ所定間隔
ごとに各ピッチ誤差を測定すれば足りる。
上でピッチ誤差を測定するのに、Ｘ軸については１つの
線上でのみピッチ誤差を測定すれば足りるのは次の理由
による。上記実施例では、Ｙ軸がサドル上に設けられた
テーブルで位置決めされる構成を採用し、かつ、ベッド
と工具電極との位置関係が変わらない構成であるので、
テーブルがサドル上をＹ軸方向に動いた場合でも、Ｘ軸
の位置決めはＸ軸の軸線上で行われ、Ｘ軸のヨーイング
の影響を受けず、したがって、工具電極がＹ軸上のどこ
にあっても、Ｘ軸のピッチ誤差が同じである。このため
に、Ｘ軸については、Ｘ軸の１つの線上でのみ所定間隔
ごとに各ピッチ誤差を測定すれば足りる。
具体的には、テーブル本体１の上に定盤10を置き、そ
の上にワークスタンド21、22、23を設置し、その上に補
助定盤24を置き、この補助定盤24の上にピッチマスター
31、32、33を設置する。一方、上側ワイヤガイド支持ア
ーム40に上側ワイヤガイド41の腕43とが取付けられ、腕
43を介して、ダイヤルゲージ42が取付けられている。ま
た、上側ワイヤガイド41に対応して下側ワイヤガイド51
が設けられている。
の上にワークスタンド21、22、23を設置し、その上に補
助定盤24を置き、この補助定盤24の上にピッチマスター
31、32、33を設置する。一方、上側ワイヤガイド支持ア
ーム40に上側ワイヤガイド41の腕43とが取付けられ、腕
43を介して、ダイヤルゲージ42が取付けられている。ま
た、上側ワイヤガイド41に対応して下側ワイヤガイド51
が設けられている。
そして、ピッチマスター31、32、33の測定部がワイヤ
ガイドの下にくるようにセットし、ダイヤルゲージ42の
先が、ワイヤガイドの下に位置するようにセットする。
この場合、その誤差は±5mm程度でよい。この実施例で
は、第３図（１）、（２）で示されているように、20mm
間隔ごとのピッチ誤差を測定しているのに対して、測定
データ列は10mm間隔で取られているが、これは、実測し
た20mm間隔ごとに２つの測定値の中間値をとって測定デ
ータとしているためである。なお、第３図（１）、
（２）に示されている測定値は、パルス数を示したもの
である。
ガイドの下にくるようにセットし、ダイヤルゲージ42の
先が、ワイヤガイドの下に位置するようにセットする。
この場合、その誤差は±5mm程度でよい。この実施例で
は、第３図（１）、（２）で示されているように、20mm
間隔ごとのピッチ誤差を測定しているのに対して、測定
データ列は10mm間隔で取られているが、これは、実測し
た20mm間隔ごとに２つの測定値の中間値をとって測定デ
ータとしているためである。なお、第３図（１）、
（２）に示されている測定値は、パルス数を示したもの
である。
次に、上記実施例におけるピッチ誤差の補正値を計算
する。
する。
この場合、上記理由によって、Ｘ軸の補正データにつ
いては、所定の線上において測定した各ピッチ誤差と同
じ値を、各格子点におけるＸ軸方向の補正データとして
NC部に入力する。一方、Ｙ軸ついては、２つの線上で測
定しているので、Ｘ軸の（−）ストロークエンドから
（＋）ストロークエンドまでの間の格子点におけるＹ軸
方法の補正データとして、２つの線上のそれぞれ対応す
る測定点の各ピッチ誤差を比較配分し、それぞれNC部に
入力する。
いては、所定の線上において測定した各ピッチ誤差と同
じ値を、各格子点におけるＸ軸方向の補正データとして
NC部に入力する。一方、Ｙ軸ついては、２つの線上で測
定しているので、Ｘ軸の（−）ストロークエンドから
（＋）ストロークエンドまでの間の格子点におけるＹ軸
方法の補正データとして、２つの線上のそれぞれ対応す
る測定点の各ピッチ誤差を比較配分し、それぞれNC部に
入力する。
次に、上記実施例をより具体的に説明する。
第３図（１）は、測定によって得られたＸ軸と平行な
所定の線上のピッチ誤差の測定データ列を示す図であ
り、図３（２）は、Ｙ軸と平行な２つの線上のピッチ誤
差の測定データ列を示す図である。なお、ｍは、Ｘ軸の
ストロークを示し、ｎは、Ｙ軸のストロークを示すもの
である。
所定の線上のピッチ誤差の測定データ列を示す図であ
り、図３（２）は、Ｙ軸と平行な２つの線上のピッチ誤
差の測定データ列を示す図である。なお、ｍは、Ｘ軸の
ストロークを示し、ｎは、Ｙ軸のストロークを示すもの
である。
これら測定データ列に基づいて、Ｘ軸の補正値XPa
（x,y）、Ｙ軸の補正値YPa（x,y）を、次の式、で
求める。
（x,y）、Ｙ軸の補正値YPa（x,y）を、次の式、で
求める。
XPa（i,j）＝XPi … YPa（i,j）＝Y1Pj−（Y1Pj−Y2Pj）×i/m … ここで、ダイヤルゲージの（＋）値は、（＋）の補正
値としてNC部に入力し、ダイヤルゲージの（−）値は、
（−）の補正値としてNC部に入力する。
値としてNC部に入力し、ダイヤルゲージの（−）値は、
（−）の補正値としてNC部に入力する。
第４図と第５図とは、上記式、式によって得られ
たＸ軸の補正データとＹ軸の補正データとを見やすくま
とめた図である。
たＸ軸の補正データとＹ軸の補正データとを見やすくま
とめた図である。
次に、上記実施例における真直度の測定について説明
する。
する。
図示しない直角マスターの測定面を、Ｘ軸の線上と、
Ｙ軸の線上とに置き、ダイヤルゲージの先がワイヤガイ
ドの下に位置するようにする。この場合、その誤差は±
5mm程度である。なお、測定開始の位置は、Ｘ軸、Ｙ軸
の各（−）ストロークエンドに設定するのが望ましい。
そして、Ｘ軸の平行を合わせ、Ｘ軸の所定の線の真直度
とＹ軸の１つの線の真直度（すなわち、Ｘ軸に対するＹ
軸の直角度）をそれぞれ、10mm間隔で測定する。
Ｙ軸の線上とに置き、ダイヤルゲージの先がワイヤガイ
ドの下に位置するようにする。この場合、その誤差は±
5mm程度である。なお、測定開始の位置は、Ｘ軸、Ｙ軸
の各（−）ストロークエンドに設定するのが望ましい。
そして、Ｘ軸の平行を合わせ、Ｘ軸の所定の線の真直度
とＹ軸の１つの線の真直度（すなわち、Ｘ軸に対するＹ
軸の直角度）をそれぞれ、10mm間隔で測定する。
第６図、第７図は、上記のようにして得られた測定デ
ータを示す図であり、第６図は、Ｘ軸の線上の真直度誤
差の測定データ列を示す図表であり、第７図は、Ｙ軸の
１つの線上の真直度（Ｘ軸の所定の線上に対する直角度
誤差）の測定データ列を示す図表である。
ータを示す図であり、第６図は、Ｘ軸の線上の真直度誤
差の測定データ列を示す図表であり、第７図は、Ｙ軸の
１つの線上の真直度（Ｘ軸の所定の線上に対する直角度
誤差）の測定データ列を示す図表である。
次に、上記実施例において、真直度の補正によって位
置決め誤差の補正を行なう。
置決め誤差の補正を行なう。
概略説明すれば、Ｘ軸については、Ｘ軸のピッチ誤差
の補正値に、Ｙ軸の１つの線上の真直度誤差の測定値YS
jを加算し、Ｙ軸については、Ｙ軸のピッチ誤差の補正
値にＸ軸の真直度誤差の測定値XSjを加算する。
の補正値に、Ｙ軸の１つの線上の真直度誤差の測定値YS
jを加算し、Ｙ軸については、Ｙ軸のピッチ誤差の補正
値にＸ軸の真直度誤差の測定値XSjを加算する。
より具体的には、Ｘ軸の補正値（ピッチ誤差＋真直度
誤差）XPb（x,y）が次の式で示され、Ｙ軸の補正値
（ピッチ誤差＋真直度誤差）YPb（x,y）が次の式で示
される。
誤差）XPb（x,y）が次の式で示され、Ｙ軸の補正値
（ピッチ誤差＋真直度誤差）YPb（x,y）が次の式で示
される。
XPb（i,j）＝XPa（i,j）＋YSj … YPb（i,j）＝YPa（i,j）＋XSi … 上記式、式で求めたデータを使って、各格子点の
ピッチ誤差と真直度誤差とを加算した誤差、すなわち位
置決め誤差が補正される。
ピッチ誤差と真直度誤差とを加算した誤差、すなわち位
置決め誤差が補正される。
なお、ダイヤルゲージの（＋）値を、（＋）の補正値
として採用し、ダイヤルゲージの（−）値を、（−）の
補正値として採用する。
として採用し、ダイヤルゲージの（−）値を、（−）の
補正値として採用する。
第８図は、上記実施例において、式、式で得られ
た補正値を整理したＸ軸の位置決め補正データを示す図
表である。
た補正値を整理したＸ軸の位置決め補正データを示す図
表である。
第９図は、上記実施例において、上記式、式によ
って得られた補正値を整理したＹ軸の位置決め補正デー
タを示す図表である。
って得られた補正値を整理したＹ軸の位置決め補正デー
タを示す図表である。
上記実施例を別の観点から見ると、上記実施例は、第
２図に示すようにＸ−Ｙ軸平面における位置決め補正を
行なうものであり、Ｘ−Ｙ軸平面上で、第２図に示す
ａ、ｂ、ｃ、ｄの４点を設定し、これら４点で囲まれる
４辺形を想定したものである。なお、ａ点、ｄ点を含む
直線と、ｂ点、ｃ点を含む直線とをＸ軸と平行に設定
し、ａ点、ｂ点を含む直線と、ｃ点、ｄ点を含む直線と
をＹ軸と平行に設定する。
２図に示すようにＸ−Ｙ軸平面における位置決め補正を
行なうものであり、Ｘ−Ｙ軸平面上で、第２図に示す
ａ、ｂ、ｃ、ｄの４点を設定し、これら４点で囲まれる
４辺形を想定したものである。なお、ａ点、ｄ点を含む
直線と、ｂ点、ｃ点を含む直線とをＸ軸と平行に設定
し、ａ点、ｂ点を含む直線と、ｃ点、ｄ点を含む直線と
をＹ軸と平行に設定する。
そして、軸移動装置が直線運動した場合における上記
４辺形の各辺についてピッチ誤差（送り誤差）を測定
し、図２に示すａ−ｂ間をワイヤガイドが相対的に移動
した場合における軌跡と、図２に示すａ−ｄ間をワイヤ
ガイドが相対的に移動した場合における軌跡との真直度
誤差を測定し、ａ−ｄ（基準線とする）間をワイヤガイ
ドが相対的に移動した場合における軌跡の真直度誤差を
測定する。
４辺形の各辺についてピッチ誤差（送り誤差）を測定
し、図２に示すａ−ｂ間をワイヤガイドが相対的に移動
した場合における軌跡と、図２に示すａ−ｄ間をワイヤ
ガイドが相対的に移動した場合における軌跡との真直度
誤差を測定し、ａ−ｄ（基準線とする）間をワイヤガイ
ドが相対的に移動した場合における軌跡の真直度誤差を
測定する。
なお、X1Piは、ａ−ｄ間のピッチ誤差（直線運動の送
り誤差）のうち、ｉ番目のピッチ誤差の値であり、X2Pi
は、ｂ−ｃ間のピッチ誤差のうちｉ番目の値である。Y1
Pjは、ａ−ｂ間のピッチ誤差のうち、ｊ番目の値であ
り、Y2Pjは、ｄ−ｃ間のピッチ誤差のうち、ｊ番目の値
である。また、XSiは、基準線（ａ−ｄ間）に対するａ
−ｂ間の直角度誤差のうちで、ｉ番目の値であり、YSj
は、ａ−ｄ間の真直度誤差のうちで、ｊ番目の値であ
る。また、XE（i,j）、YE（i,j）は、格子点（i,j）の
位置決め誤差のＸ、Ｙ軸成分の値である。格子点（i,
j）は、Ｘ軸を所定間隔で分割した分割点ごとにＹ軸と
平行に線を引き、Ｙ軸を所定間隔で分割した分割点ごと
にＹ軸と平行に線を引き、これらの線が交差した点であ
る。
り誤差）のうち、ｉ番目のピッチ誤差の値であり、X2Pi
は、ｂ−ｃ間のピッチ誤差のうちｉ番目の値である。Y1
Pjは、ａ−ｂ間のピッチ誤差のうち、ｊ番目の値であ
り、Y2Pjは、ｄ−ｃ間のピッチ誤差のうち、ｊ番目の値
である。また、XSiは、基準線（ａ−ｄ間）に対するａ
−ｂ間の直角度誤差のうちで、ｉ番目の値であり、YSj
は、ａ−ｄ間の真直度誤差のうちで、ｊ番目の値であ
る。また、XE（i,j）、YE（i,j）は、格子点（i,j）の
位置決め誤差のＸ、Ｙ軸成分の値である。格子点（i,
j）は、Ｘ軸を所定間隔で分割した分割点ごとにＹ軸と
平行に線を引き、Ｙ軸を所定間隔で分割した分割点ごと
にＹ軸と平行に線を引き、これらの線が交差した点であ
る。
上記のように、直線運動する２つの軸移動装置の直交
２軸平面内の上記２軸の一方の軸に平行な所定の線と、
上記２軸の他方の軸に平行であってしかも上記所定の線
の（−）、（＋）のそれぞれのストロークエンドにそれ
ぞれ直交する２つの線との、それぞれの線上におけるピ
ッチ誤差と、上記所定の線とこれに直交する２つの線と
のうちの少なくとも１つの線の真直度誤差とを測定し、
この測定によって得られた測定データに基づいて、それ
らの線に平行に等間隔に設けられた各線の格子点で形成
される平面内の他の位置の誤差を演算して求めるので、
平面全域にわたって安定した位置決め精度を得ることが
でき、しかも、その誤差を測定する時間が短縮される。
２軸平面内の上記２軸の一方の軸に平行な所定の線と、
上記２軸の他方の軸に平行であってしかも上記所定の線
の（−）、（＋）のそれぞれのストロークエンドにそれ
ぞれ直交する２つの線との、それぞれの線上におけるピ
ッチ誤差と、上記所定の線とこれに直交する２つの線と
のうちの少なくとも１つの線の真直度誤差とを測定し、
この測定によって得られた測定データに基づいて、それ
らの線に平行に等間隔に設けられた各線の格子点で形成
される平面内の他の位置の誤差を演算して求めるので、
平面全域にわたって安定した位置決め精度を得ることが
でき、しかも、その誤差を測定する時間が短縮される。
上記実施例は、ａ、ｂ、ｃ、ｄを頂点とする４辺形の
内側に格子点を作り、これらの格子点における位置決め
補正データを求めるものであるが、上記４辺形の外側に
おける点の位置決め補正データを求めるようにしてもよ
い。また、上記実施例においては、ａ、ｂ、ｃ、ｄを頂
点とする４辺形の各辺上でピッチ誤差等を測定している
が、上記辺と平行の直線に基づいて、ピッチ誤差等を測
定するようにしてもよい。
内側に格子点を作り、これらの格子点における位置決め
補正データを求めるものであるが、上記４辺形の外側に
おける点の位置決め補正データを求めるようにしてもよ
い。また、上記実施例においては、ａ、ｂ、ｃ、ｄを頂
点とする４辺形の各辺上でピッチ誤差等を測定している
が、上記辺と平行の直線に基づいて、ピッチ誤差等を測
定するようにしてもよい。
さらに、上記実施例は、Ｘ−Ｙ軸平面における位置決
め補正データを求める方法であるが、この他にＸ−Ｙ軸
平面、Ｙ−Ｚ軸平面においても、上記と同様に位置補正
データを求めるようにしてもよい。
め補正データを求める方法であるが、この他にＸ−Ｙ軸
平面、Ｙ−Ｚ軸平面においても、上記と同様に位置補正
データを求めるようにしてもよい。
上記実施例は、ワイヤカット放電加工機についてのも
のであるが、型彫放電加工機についても上記実施例を適
用することができ、放電加工機以外にも、同様の装置構
成を有するマシニングセンターや測定器についても、上
記実施例を適用することができる。上記測定器の例とし
ては、三次元測定器、工具顕微鏡等が挙げられる。
のであるが、型彫放電加工機についても上記実施例を適
用することができ、放電加工機以外にも、同様の装置構
成を有するマシニングセンターや測定器についても、上
記実施例を適用することができる。上記測定器の例とし
ては、三次元測定器、工具顕微鏡等が挙げられる。
［発明の効果］ 本発明によれば、平面全域にわたって安定した位置決
め精度を得ることができるとともに、そのための誤差測
定時間を短縮することができるという効果を奏する。
め精度を得ることができるとともに、そのための誤差測
定時間を短縮することができるという効果を奏する。
第１図（１）は、本発明の一実施例の平面図であり、同
図（２）は、その正面図である。 第２図は、上記実施例の説明図である。 第３図（１）、（２）は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸
のピッチ誤差の測定データ列を示す図表である。 第４図、第５図は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸ピッチ
誤差補正データを示す図表である。 第６図、第７図は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸の真直
度誤差データ列を示す図表である。 第８図、第９図は、Ｘ、Ｙ軸の位置決め補正データをま
とめた図表である。 10……定盤 21、22、23……ワークスタンド、 31、32、33……ピッチマスター、 42……ダイヤルゲージ。
図（２）は、その正面図である。 第２図は、上記実施例の説明図である。 第３図（１）、（２）は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸
のピッチ誤差の測定データ列を示す図表である。 第４図、第５図は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸ピッチ
誤差補正データを示す図表である。 第６図、第７図は、上記実施例におけるＸ、Ｙ軸の真直
度誤差データ列を示す図表である。 第８図、第９図は、Ｘ、Ｙ軸の位置決め補正データをま
とめた図表である。 10……定盤 21、22、23……ワークスタンド、 31、32、33……ピッチマスター、 42……ダイヤルゲージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 15/24 B23H 7/26 B05B 19/18 B23H 7/02
Claims (2)
- 【請求項１】直線運動する２つの軸移動装置の直交２軸
平面内に、上記２軸の一方の軸に平行な１つの所定の線
と、上記２軸の他方の軸に平行であり、しかも上記所定
の線に直交する２つの線とを設定する３線設定段階と； 上記１つの所定の線上と上記２つの線上とにおいて、そ
れぞれ所定の間隔ごとにピッチ誤差を測定し、また、上
記１つの所定の線と上記２つの線とのうちの少なくとも
１つの線の線上において、所定の間隔ごとに真直度誤差
を測定する誤差測定段階と； 上記誤差測定段階で得られた測定データに基づいて、上
記１つの所定の線に平行で等間隔の複数の平行線と上記
２つの線に平行で等間隔の複数の平行線とによって形成
される各格子点における位置補正データを演算する位置
補正データ演算段階と； 上記位置補正データに基づいて、上記２つの軸移動装置
の位置決め誤差を補正する位置決め誤差補正段階と； を有することを特徴とする位置補正方法。 - 【請求項２】請求項（１）において、 上記１つの所定の線は、Ｙ軸機械座標０の位置に設定さ
れている線であり、 上記２つの線は、Ｘ軸の（−）ストロークエンドに設定
されている線と、上記Ｘ軸の（＋）ストロークエンドに
設定されている線とであることを特徴とする位置補正方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29718289A JP2883130B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 位置補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29718289A JP2883130B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 位置補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03161247A JPH03161247A (ja) | 1991-07-11 |
| JP2883130B2 true JP2883130B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=17843235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29718289A Expired - Lifetime JP2883130B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 位置補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2883130B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432906A (ja) * | 1990-05-23 | 1992-02-04 | Makino Milling Mach Co Ltd | 多軸数値制御機械のピッチ誤差補正方法 |
| JP5030653B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2012-09-19 | 株式会社牧野フライス製作所 | 数値制御工作機械及び数値制御装置 |
| JP5226839B2 (ja) | 2011-08-17 | 2013-07-03 | ファナック株式会社 | 位置決め精度補正機能を備えたワイヤ放電加工機 |
| CN102642060A (zh) * | 2012-05-04 | 2012-08-22 | 太仓市弧螺机电有限公司 | 一种电极夹具调节装置 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP29718289A patent/JP2883130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03161247A (ja) | 1991-07-11 |
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