JPH03161247A

JPH03161247A - 位置補正方法

Info

Publication number: JPH03161247A
Application number: JP29718289A
Authority: JP
Inventors: Akio Hosaka; 昭夫保坂; Fumitaka Tsujimura; 文孝辻村
Original assignee: Sodick Co Ltd
Current assignee: Sodick Co Ltd
Priority date: 1989-11-15
Filing date: 1989-11-15
Publication date: 1991-07-11
Anticipated expiration: 2014-04-19
Also published as: JP2883130B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野】本発明は、放電加工機等における位置補正方法に関する
．［従来の技術］従来，たとえば放電加工機において位置補正する場合、
各軸について所定の一箇所の位置で送り誤差（位置決め
誤差）を測定し、この測定誤差に対する補正値をＮＣ側
に入力し，所定軸の位置補正を行なっている．［発明が解決しようとする課題］上記従来方法において、ヨーイング運動等の影響を受け
た場合であって、ピッチ誤差を測定した位置から離れた
位置で使用すると、位置決め精度が低下するという欠点
がある．つまり，平面全域にわたって安定したピッチ枯
度を得られないという欠点がある．この欠点を解消するには，たとえばＸ−Ｙ軸平面内に４
辺形を設定し、この４辺形の中に、その１つの辺と平行
な線を等間隔に引くとともに，その辺と隣接する辺と平
行な線を等間隔に引く．このようにして引いた平行線同
志で多数の交点ができたら、その交点ごとに１つづつ実
際にピッチ誤差を測定し、そのピッチ誤差を袖正する方
法が考えられる．しかし、このように多数の交点の１つ１つについてピッ
チ票差を実際に測定するようにすると、その゜測定に長
蒔間を要するという問題がある．本発明は、平面全域に
わたって安定したピッチ精度を得る場合、その票差測定
時間を短くすることができる位置補正方法を提供するこ
とを目的とするものである．［課題を解決する千段］本発明は、所定の直交２軸平面内に４辺形を設定し、そ
の４辺形の辺を所定間隔で分割して分割点を求め、その
４辺形の辺上で直線ＪＪ！動したときの位置決め誤差と
，４辺形の辺上で直線］！！動じたときの真直誤差と、
その４辺形の４辺のうちの１つの辺とその隣接辺との直
交説差とを，上記分割点毎に測定し、この測定した誤差
に基づいて、上記平面内での誤差量を補正するものであ
る．この場合、４辺形の辺の代りに，その平行線を使用
してもよい．［作用］本発明は、４辺形の辺の位置決め誤差と、その辺の真直
誤差と、ある辺とその隣接辺との直交誤差とを測定し，
これらの誤差に基づいて平面内の他の位置の誤差を演算
して求めるので、平面全域にわたって安定したピッチ精
度を得ることができ、しかも，４辺形の辺の位置決め誤
差と、その辺の真直誤差と、ある辺とその隣接辺との直
交誤差とのみを実測するので、その誤差測定時間が短い
．［実施例］第１図（１）は，本発明の一実施例の平面図であり、同
図（２）は，その正面図であり、この実施例においては
ワイヤカット放電加工機について示してある．この実施例において，ピッチ測定し、このピッチ誤差を
補正し、その後に、直角度、真直度を測定し、その直角
度、真直度を補正する．また、この実施例では、Ｘ−Ｙ
軸平面の位置補正について説明し、ピッチ測定する場合
、Ｘ軸がサドルで駆動され、Ｙ軸がテーブルで駆動され
る機械について測定する場合を説明する．Ｘ軸がテーブ
ルで駆動され，Ｙ軸がサドルで駆動される場合は．Ｘ，
Ｙ軸を逆に考えればよい．第１図に示すように、Ｘ軸について１箇所のみピッチ誤
差を測定する．この場合，Ｙ機械座標Ｏの位置でピッチ
誤差を測定する．また、Ｙ軸については、２箇所でピー
７チ誤差を測定する．この場合，　Ｘｉｄ＋の（一）ス
トロークエンドと、（＋）ストロークエンドとにおいて
、Ｙ軸のピッチ誤差を測定する．ピッチ誤差を測定する場合、Ｙ軸について２箇所測定す
るのに、Ｘ軸については１箇所のみ測定すれば足りるの
は次の理由による．上記実施例においては、Ｙ軸送リモ
ータを動かすと、テーブルが移動するが、ベッドと電極
との関係が同じであり，したがって、電極がＹ軸のどこ
にあっても、Ｘ軸のピッチ誤差が同じである．このため
に、Ｙ軸上の１箇所のみで、Ｘ軸のピッチ誤差を測定す
れば足りる．具体的には、テーブル本体ｌの上に定盤１０を置き，そ
の上にワークスタンド２ｌ、２２、２３を設定し、その
上に補助定盤２４を置き、この補助定＠２４の上にピッ
チマスター３１、３２、３３を設置する．一方、上側ワ
イヤガイド支持アーム４０に上側ワイヤガイド４１と腕
４３とが取付けられ、腕４３を介してダイヤルゲージ４
２が取付けられている．また、上側ワイヤガイド４１に
対応して下側ワイヤガイド５１が設けられている．そして、ピッチマスター３１、３２、３３の測定部がワ
イヤガイドの移動線上にくるようにセッッし、ダイヤル
ゲージ４２の先が、ワイヤガイド上に位置するようにセ
ットする．この場合、その誤差は±５１鳳程度でよい．
これによって得られたデータは，２０■間隔のものであ
るが、その補正値は、中間値をとって１０ｍｍ間隔にす
る．なお，補正値は、パルス数を示す．次に、ビッーチ誤差の補正値を計算する．この場合，Ｘ
軸については、測定したピッチ誤差と同じ値を補正デー
タとしてＮＣ部に入力する．しかし、Ｙ軸ついては、Ｘ
軸の（一）ストロークエンドから（＋）ストロークエン
ドの間の補正データとして、Ｙ軸で測定した対応する２
箇所ピッチ誤差データを比例配分して求める．そして，
得られたＸ軸のピッチ誤差データ列を第３図（１）に示
し、Ｙ軸のピッチ誤差データ列を同図（２）に示す．こ
こで，ｍは，Ｘ軸のストロークを示し，ｎは、Ｙ軸のス
トロークを示している．したがッテ、Ｘ軸の補正ｍＸＰａ　（ｘ　．ｙ）．Ｙ軸
の補正値ＹＰａ　（ｘ　，ｙ）は、次の式■、■で示さ
れる．ＸＰａ（ｉ，ｊ）＝　ＸＰｉ　　　　　　　　　　　　
　−（ＤＹＰａ（ｉ，ｊ）＝Ｙ＋Ｐｊ−（Ｙ＋Ｐｊ−Ｙ
ｚＰｊ）Ｘｉ／ｍ　　・・−■なお、ここで、ダイヤル
ゲージの（＋）値は、（＋）の補正値としてＮＧ部に入
力し、（−）値は、（一）の補正値として入力する．上
記■式、■式によって得られるデータを見やすいように
まとめると、第４図に示すＸ軸補正データ、第５図に示
すＹ軸補正データになる．次に、蓮角度、真直度の測定について説明する．図示しない直角マスターの測定面を、Ｘ軸，Ｙ軸の移動
軸上に置き、ダイヤルゲージの先がワイヤガイド上に位
置するようにする．この場合、その誤差は±５ｍ＋ｍ程
度である．なお、ワイヤガイドの位置は、Ｘ軸、Ｙ軸の
各（一）ストロークエンドに設定するのが望ましい．そ
して、Ｘ軸の平行を合わせ、Ｙ軸の真直◆直角度と、Ｘ
軸の真直度とを１０ｍｍ間隔で測定する．これらの測定
は、Ｘ軸，Ｙ軸それぞれ１箇所でよい．このようにして得られたエラーデータを、第６図、第７
図に示す．なお、第６図は、Ｘ軸真直度エラーデータ列
を示す図表であり、第７図は、Ｙ軸真直・直角度エラー
データ列を示す図表である．次に、直角度、真直度についての補正を行なフ．それには、Ｘ軸のピッチ補正データに．Ｙ＠ｈの真直●
直角度補正データを加算し、Ｙ軸のピッチ補正データに
Ｘ軸の真直度補正データを加算する．このようにして求めたＸ軸の（ピッチ誤差＋真直・直角
度誤差）補正値ＸＰｂ　（ｘ　．ｙ）が次の■式で示さ
れ，Ｙ軸の（ピッチ誤差＋真直度誤差）補正値ＹＰｂ（
Ｘ．Ｙ）が次の■式で示される．ＸＰｂ（ｉ，ｊ）＝　ＸＰａ（ｉ，ｊ）＋ＹＳｊ　　　
　　　　　　・−・■ＹＰｂ（ｔ，ｊ）＝ＹＰａ（ｉ，
ｊ）＋ＸＳｉ　　　　　　　　　・−・■上記■、■式
で求めたデータを使ってピッチ誤差と真直度誤差、直角
度誤差が補正される．なお、ダイヤルゲージの（＋）値
は（＋）の補正値として採用し、（一）値は（−）の補
正値として採用する．第８図は、■式，■式によって得られたデータを整理し
たＸ軸補正データを示す図表である．第９図は，上記■
式、■式によって得られたデータを整理したＹ軸補正デ
ータを示す図表である．換言すれば，上記実施例は、第２図に示すようにＸ−Ｙ
軸平面における位置補正を行なうものであり、Ｘ−Ｙ軸
平面上で、ａ，ｂ，ｃ，ｄの４点を設定し，これら４点
で囲まれる４辺形を想定する．なお、ａ点、ｄ点を含む
直線と、ｂ点，Ｃ点を含む直線とをＸ軸と平行に設定し
、ａ点、ｂ点を含む直線と，Ｃ点、ｄ点を含む直線とを
Ｙ軸と平行に設定する．そして、上記４辺形の各辺について直線運動したときの
ピッチ誤差（送り誤差）を測定し、ａ−ｂ間をワイヤガ
イドが移動したときの軌跡と，ａ−ｄ間をワイヤガイド
が移動したときの軌跡との直角誤差を測定し、ａ−ｄ間
をワイヤガイドが移動したときの軌Ｉ２Ａ．（基準軸）
の真直誤差を測定する．なお、Ｘ　Ｉ　Ｐ　ｉほ、ａ−ｄ間のピッチ誤差（直線
２Ｉ！動の送り誤差）のうち、ｉ番目のピッチ誤差の値
であり、Ｘ　２　Ｐ　ｉは、ｂ−ｃ間のピッチ誤差のう
ちｉ番目の値である，ＹＩＰｊは、ａ　−　ｂ　１１１
１のピッチ誤差のうち、ｊ番目の値であり、Ｙ２Ｐｊは
、ｄ−ｃ間のピッチ誤差のうち、１番目の偵である．ま
た、ＸＳｔは、基準軸（ａ−ｄの軸）に対するａ−ｂ間
のμ角誤差のうち、ｉ番目の値であり、ＹＳｊは、ａ−
ｂ間の真直誤差のうち、ｊＺ目ノｆ直である．マタ、Ｘ
Ｅ　（ｉ　，　ｊ）　，　ＹＥ（ｉ　．　ｊ）は、格子
点（Ｌ　．　ｊ）の位置決め誤差のＸ，Ｙ軸成分の値で
ある．格子点（ｉ　．　ｊ）は，Ｘ軸を所定間隔で分姻
した分割点ごとにＹ軸と平行に線を引き，Ｙ軸を所定間
隔で分割した分期点ごとにＹ軸と平行に線を引き、これ
らの線が交差した点である．上記実施例によれば，４辺形の辺の位置決め誤差と，そ
の辺の真直誤差と、ある辺とその隣接辺との腹交誤差と
を測定し，これらの誤差に基づいて平面内の他の２位置
の誤差を演算して求めるので、平面全域にわたって安定
したピッチ精度を得ることができ，しかも，４辺形の辺
の位置決め誤差と、その辺の真直誂差と、ある辺とその
隣接辺との直交誂差とのみを実測するので、その誤差測
定時間が短い．したがって、平面全域にわたって安定し
たピッチ精度を得る場合、その誤差Ａｗ定侍間を短くす
ることができる．上記実施例は，ａ，ｂ，ｃ．ｄを頂点とする４辺形の内
側に格子点を作り，これらの格子点における位置補正デ
ータをもとめるものであるが，上記４辺形の外側におけ
る点の位置補正を求めるようにしてもよい．また、上記実施例においては、ａ，ｂ，ｃ，ｄを頂点と
する４辺形の各辺上でピッチ誤差等を求めているが、上
記辺と平行の直線に基づいて、ピッチ誤差等の誤差デー
タを求めるようにしてもよい．さらに、上記実施例は、Ｘ−Ｙ軸平面における位置補正
を求める方法であるが、この他にｘ−Ｚ軸平面、Ｙ−Ｚ
軸平面においても、上記と同様に位置補正データを求め
るようにしてもよい．上記実施例は、ワイヤカット放電
加工機についてのものであるが、型彫放電加工機につい
ても本発明を適用でき，裁電加工機以外にも，マシニン
グセンター、測定奏についても本発明を適用するするこ
とができる．上記測定器の例としては三次元測定器、工
具顕微鏡等がある．［発明の効果］本発明によれば，平面全域にわたって安定したビッチ枯
度を得る場合、その誤差測定峙間を短くすることができ
るという効果を奏する．

【図面の簡単な説明】

第１図（１）は、本発明の一実施例の平面図であり、同
図（２）は、その正面図である．第２図は、上記実施例
の説明図である．第３図（１）、（２）は、上記実施例
におけるｘ，Ｙ軸データ列を示す図表である．第４図、第５図は，上記実施例におけるＸ，　Ｙ軸ピッ
チ誤差補正データを示す図表である．第６図、第７図は
、上記実施例におけるＸ，　Ｙ軸真直度エラーデータ列
を示す図表である．第８図，第９図は，Ｘ．Ｙ軸補正デ
ータをまとめた図表である．１０・・・定盤２ｌ、２２、２３・・・ワークスタンド、３１．３２、
３３・・・ピッチマスター４２・・・ダイヤルゲージ．

Claims

【特許請求の範囲】

（１）所定の直交２軸平面内に４辺形を設定し、上記４
辺形の辺またはその平行線を所定間隔で分割して分割点
を求め、上記４辺形の辺上またはその平行線上で直線運
動したときの位置決め誤差と、上記４辺形の辺上または
その平行線上で直線運動したときの真直誤差と、上記４
辺形の４辺のうちの１辺とその隣接辺との直交誤差とを
、上記分割点毎に測定し、この測定した誤差に基づいて
、上記直交２軸平面内での誤差量を補正することを特徴
とする位置補正方法。
（２）請求項（１）において、上記直交２軸平面は、Ｘ−Ｙ軸平面、Ｙ−Ｚ軸平面また
はＸ−Ｚ軸平面であることを特徴とする位置補正方法。
（３）請求項（１）において、上記直交２軸平面内での誤差量の補正は、上記４辺形内
または上記４辺形外で行なわれるものであることを特徴
とする位置補正方法。
（４）請求項（１）において、上記位置補正方法は、放電加工機における方法であるこ
とを特徴とする位置補正方法。