JP2882048B2 - 検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置 - Google Patents
検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、医療用Ｘ線診断装置、骨密度定量装置、非
破壊検査装置、Ｘ線分析装置におけるＸ線等の検出素子
の感度補正方法とＸ線検出装置に関する。
破壊検査装置、Ｘ線分析装置におけるＸ線等の検出素子
の感度補正方法とＸ線検出装置に関する。
従来の技術 複数のＸ線検出素子を用いたＸ線検出装置において
は、一般に計測開始前に素子間の感度ばらつきを知るた
めに、一度計測を行い、演算装置により素子間の補正係
数を得る。その後、実際の計測を行い、そこで得た各素
子のＸ線強度を示す値に補正係数を乗算して測定結果と
する。
は、一般に計測開始前に素子間の感度ばらつきを知るた
めに、一度計測を行い、演算装置により素子間の補正係
数を得る。その後、実際の計測を行い、そこで得た各素
子のＸ線強度を示す値に補正係数を乗算して測定結果と
する。
また、異常を示すＸ線検出素子については、あらかじ
めその素子について記憶させておき、両隣の素子の計測
結果の平均をとり、補間している。
めその素子について記憶させておき、両隣の素子の計測
結果の平均をとり、補間している。
発明が解決しようとする課題 従来の方法によれば、Ｘ線検出素子に異常が発生して
も測定を行い、測定結果が表示されるまでまたは測定者
が知るまで異常素子を検出できない。また、異常な素子
を含むままに補正係数を算出するための測定を行い、補
正係数を求めると、各素子の感度に対する正しい補正係
数を得ることができず、その結果、補正の効果を十分に
発揮できない。さらに異常検出素子について、補間等に
よりデータの修正を行なうにしても、操作者が異常検出
素子がいずれかを認識したのち、この処理を行なうよう
に演算装置に指令を送らなければならない。
も測定を行い、測定結果が表示されるまでまたは測定者
が知るまで異常素子を検出できない。また、異常な素子
を含むままに補正係数を算出するための測定を行い、補
正係数を求めると、各素子の感度に対する正しい補正係
数を得ることができず、その結果、補正の効果を十分に
発揮できない。さらに異常検出素子について、補間等に
よりデータの修正を行なうにしても、操作者が異常検出
素子がいずれかを認識したのち、この処理を行なうよう
に演算装置に指令を送らなければならない。
本発明は上記課題を解決するもので、異常検出素子を
早期に発見し、その異常検出素子を除いた補正係数の算
出と補間処理を効率的に行うことができる検出素子の感
度補正方法とＸ線検出装置を提供することを目的として
いる。
早期に発見し、その異常検出素子を除いた補正係数の算
出と補間処理を効率的に行うことができる検出素子の感
度補正方法とＸ線検出装置を提供することを目的として
いる。
課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、複数の検出素子
からなる検出部のデータを転送部で転送して、演算部の
感度補正係数を予め求めて記憶部で記憶させその記憶さ
せた感度補正係数と新しく測定開始前に計測した感度補
正係数とを前記演算部で比較して検出素子の異常部を検
出し、自動的にその異常の検出素子の補間修正を行う構
成よりなる。
からなる検出部のデータを転送部で転送して、演算部の
感度補正係数を予め求めて記憶部で記憶させその記憶さ
せた感度補正係数と新しく測定開始前に計測した感度補
正係数とを前記演算部で比較して検出素子の異常部を検
出し、自動的にその異常の検出素子の補間修正を行う構
成よりなる。
作用 本発明は上記構成により、予め測定記憶させた感度補
正係数と測定開始前に計測した感度補正係数とを比較し
て検出素子の異常を前もって知ることができ、再度異常
検出素子を除いて感度補正係数が求められているので、
自動的に測定精度が向上する。
正係数と測定開始前に計測した感度補正係数とを比較し
て検出素子の異常を前もって知ることができ、再度異常
検出素子を除いて感度補正係数が求められているので、
自動的に測定精度が向上する。
実施例 以下に、本発明の一実施例について第１図を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
第１図に本発明の一実施例のＸ線検出装置の構成図を
示す。Ｘ線検出部１は512個の検出素子からなるCdTeセ
ンサアレイ２である。このCdTeセンサアレイ２は、Ｘ線
ファンビームを放射するＸ線発生装置３と連動し移動す
る。これによりＸ線強度の２次元情報を得ることができ
る。測定された情報は、データ転送部４により演算部５
および記憶部６に転送される。７は表示部である。
示す。Ｘ線検出部１は512個の検出素子からなるCdTeセ
ンサアレイ２である。このCdTeセンサアレイ２は、Ｘ線
ファンビームを放射するＸ線発生装置３と連動し移動す
る。これによりＸ線強度の２次元情報を得ることができ
る。測定された情報は、データ転送部４により演算部５
および記憶部６に転送される。７は表示部である。
CdTeセンサアレイ２の素子間のばらつきを補正するた
め、測定前に補正係数算出のための測定を行う。Ｘ線の
透過率が一定になるよう均一な材質、厚さの吸収体、例
えば厚さ15cmのアクリル板を設置し、Ｘ線発生装置３と
センサアレイ２を走査して各検出素子について、512個
のデータを得る。これにより得られた512×512全データ
の平均値AVを求める。ｎ番目の検出素子のｍラインのカ
ウント数データをCn（ｍ）とする。Cn（１）からCn（51
2）までの512個のデータの平均値Cnavを計算し、各検出
素子ごとに補正係数CnHを CnH＝AV/Cnav （ｎ＝１から512） として求めた。
め、測定前に補正係数算出のための測定を行う。Ｘ線の
透過率が一定になるよう均一な材質、厚さの吸収体、例
えば厚さ15cmのアクリル板を設置し、Ｘ線発生装置３と
センサアレイ２を走査して各検出素子について、512個
のデータを得る。これにより得られた512×512全データ
の平均値AVを求める。ｎ番目の検出素子のｍラインのカ
ウント数データをCn（ｍ）とする。Cn（１）からCn（51
2）までの512個のデータの平均値Cnavを計算し、各検出
素子ごとに補正係数CnHを CnH＝AV/Cnav （ｎ＝１から512） として求めた。
このようにして算出する補正係数CnHを検出素子がす
べて正常に動作している時にあらかじめ求めておき、記
憶部６に保存しておいた。
べて正常に動作している時にあらかじめ求めておき、記
憶部６に保存しておいた。
この後、検査対象を測定前に補正係数を同じ方法で求
めた。この際の各検出素子の補正係数を、記憶部６に保
存してある値と演算部５により比較し、10％の差が見ら
れる検出素子の異常が発生したものとする。25番目の検
出素子のあらかじめ保管してある補正係数が0.975であ
ったのに対し、計測した結果が0.867であった。これを
異常検出素子とした。同時に、表示部７に異常が発生し
たことを表示し、また異常検出素子の番号を示し、操作
者に異常検出素子の発生を認識させた。これにより、操
作者は測定を行なう前に検出素子の異常を知ることがで
き、測定精度を損なうことがなくなった。
めた。この際の各検出素子の補正係数を、記憶部６に保
存してある値と演算部５により比較し、10％の差が見ら
れる検出素子の異常が発生したものとする。25番目の検
出素子のあらかじめ保管してある補正係数が0.975であ
ったのに対し、計測した結果が0.867であった。これを
異常検出素子とした。同時に、表示部７に異常が発生し
たことを表示し、また異常検出素子の番号を示し、操作
者に異常検出素子の発生を認識させた。これにより、操
作者は測定を行なう前に検出素子の異常を知ることがで
き、測定精度を損なうことがなくなった。
さらに、演算部５に次の補正方法を自動的に実行させ
た。異常検出素子がある場合、これを含めて補正係数を
算出すると、異常検出素子だけでなく、全体の補正係数
が素子間の感度ばらつきを正確に表わしたものでなくな
る。したがって、記憶部６に保管されていた補正係数と
大きく異なり、異常検出素子として認識された素子を除
いて、平均値AVsを再計算した。このAVsにより、さきほ
どと同様に各検出素子の補正係数CnHsを算出した。
た。異常検出素子がある場合、これを含めて補正係数を
算出すると、異常検出素子だけでなく、全体の補正係数
が素子間の感度ばらつきを正確に表わしたものでなくな
る。したがって、記憶部６に保管されていた補正係数と
大きく異なり、異常検出素子として認識された素子を除
いて、平均値AVsを再計算した。このAVsにより、さきほ
どと同様に各検出素子の補正係数CnHsを算出した。
この補正係数を記憶させておき、検出物体を設置し、
測定を行なった。各検出素子で得た測定データDn（ｍ）
（n,m＝１〜512）に対し、さきに求めた補正係数CnHsを
乗算し、 Drn（ｍ）＝Dn（ｍ）xCnHs （ｍ＝１〜512） を検出素子間のばらつきを補正した測定データとした。
測定を行なった。各検出素子で得た測定データDn（ｍ）
（n,m＝１〜512）に対し、さきに求めた補正係数CnHsを
乗算し、 Drn（ｍ）＝Dn（ｍ）xCnHs （ｍ＝１〜512） を検出素子間のばらつきを補正した測定データとした。
また、25番目の検出素子が異常であったので、この場
合、各ラインについて、24番目と26番目のデータの平均
をとり、 Dr25（ｍ）＝｛Dr24（ｍ）＋Dr26（ｍ）｝/2 を25番目の検出素子のデータとした。
合、各ラインについて、24番目と26番目のデータの平均
をとり、 Dr25（ｍ）＝｛Dr24（ｍ）＋Dr26（ｍ）｝/2 を25番目の検出素子のデータとした。
異常検出素子が、１番目の場合には、２番目と３番目
の平均を、512番目の場合には、510番目と511番目の平
均をとり、補間処理した。
の平均を、512番目の場合には、510番目と511番目の平
均をとり、補間処理した。
以上により、検出素子に異常がある場合も、正確な測
定が行えた。
定が行えた。
なお、あらかじめ保管してある補正係数との差は、Ｘ
線検出部１により任意に設定することができるようにし
た。５〜20％が好適である。
線検出部１により任意に設定することができるようにし
た。５〜20％が好適である。
また、記憶部６に保存してある補正係数を得た時の計
測条件と、必ずしも同条件で行なう必要はないが、同条
件で行なうのが最適である。各種計測条件下での補正係
数を検出素子が正常なときに記憶させておき、測定条件
ごとに比較する補正係数を変えてもよい。
測条件と、必ずしも同条件で行なう必要はないが、同条
件で行なうのが最適である。各種計測条件下での補正係
数を検出素子が正常なときに記憶させておき、測定条件
ごとに比較する補正係数を変えてもよい。
上記の方法は、CdTeセンサアレイのほかにCdSセンサ
アレイ、CdSeセンサアレイ、HgI2センサアレイ、GaAsセ
ンサアレイなどの半導体Ｘ線検出部１でも行えた。
アレイ、CdSeセンサアレイ、HgI2センサアレイ、GaAsセ
ンサアレイなどの半導体Ｘ線検出部１でも行えた。
なお、本実施例ではＸ線検出素子として記述したか、
それ以外の波長の光検出素子等、検出素子全般に適用で
きる。
それ以外の波長の光検出素子等、検出素子全般に適用で
きる。
発明の効果 以上の実施例から明らかなように本発明によれば、複
数の検出素子からなる検出部のデータを転送部で転送し
て、演算部で感度補正係数を予め求めて記憶部で記憶さ
せ、その記憶させた感度補正係数と新しく測定開始前に
計測した感度補正係数とを前記演算部で比較して前記検
出素子の異常部を検出し、自動的にその異常の検出素子
の補間修正を行う構成によるので、測定者は検査対象物
の測定前の補正係数を求める段階で、異常検出素子を知
ることができ、異常を従来より早期に発見し対処でき
る。
数の検出素子からなる検出部のデータを転送部で転送し
て、演算部で感度補正係数を予め求めて記憶部で記憶さ
せ、その記憶させた感度補正係数と新しく測定開始前に
計測した感度補正係数とを前記演算部で比較して前記検
出素子の異常部を検出し、自動的にその異常の検出素子
の補間修正を行う構成によるので、測定者は検査対象物
の測定前の補正係数を求める段階で、異常検出素子を知
ることができ、異常を従来より早期に発見し対処でき
る。
また異常検出素子を除いた補正係数の算出や補間処理
が、１度の補正係数算出のための測定のみで行え、再度
の測定が不要になり、測定が効率的に行える検出素子の
感度補正方法とＸ線検出装置を提供できる。
が、１度の補正係数算出のための測定のみで行え、再度
の測定が不要になり、測定が効率的に行える検出素子の
感度補正方法とＸ線検出装置を提供できる。
第１図は本発明の一実施例の検出素子の感度補正方法を
説明するためのブロック図である。 １……Ｘ線検出部（検出部）、２……CdTeセンサアレイ
（複数の検出素子）、４……データ転送部、５……演算
部、６……記憶部、７……表示部。
説明するためのブロック図である。 １……Ｘ線検出部（検出部）、２……CdTeセンサアレイ
（複数の検出素子）、４……データ転送部、５……演算
部、６……記憶部、７……表示部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 筒井 博司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−138325（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01T 1/00 - 7/12 A61B 6/03 G01N 23/00 - 23/227
Claims (4)
- 【請求項１】複数の検出素子からなる検出部のデータを
転送部で転送して、演算部で感度補正係数を予め求めて
記憶部で記憶させ、その記憶させた感度補正係数と新し
く測定開始前に計測した感度補正係数と前記演算部で比
較して前記検出素子の異常部を検出し、自動的にその異
常の検出素子の補間修正を行うことを特徴とする検出素
子の感度補正方法。 - 【請求項２】複数の検出素子が、CdTeセンサアレイ、Cd
Sセンサアレイ、CdSeセンサアレイ、HgI2センサアレイ
またはGaAsセンサアレイであることを特徴とする請求項
１記載の検出素子の感度補正方法。 - 【請求項３】複数の検出素子が、複数のＸ線検出素子で
ある請求項（１）または（２）記載の検出素子の感度補
正方法。 - 【請求項４】複数のＸ線検出素子を搭載したＸ線検出部
と、そのＸ線検出部による計測結果を転送するデータ転
送部と、その転送されたデータ等を演算比較補正処理す
る演算部と、その補正処理されたデータを記憶する記憶
部と、その記憶部で記憶された前記各Ｘ線検出素子の補
正係数と新しく転送されてきたデータの補正係数とを前
記演算部で比較し、異常のＸ線検出素子を表示する表示
部とを有するＸ線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333955A JP2882048B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333955A JP2882048B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203995A JPH04203995A (ja) | 1992-07-24 |
| JP2882048B2 true JP2882048B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=18271856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2333955A Expired - Fee Related JP2882048B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882048B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008302067A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Aloka Co Ltd | Ｘ線撮像装置 |
| JP2008302068A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Aloka Co Ltd | Ｘ線撮像装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3744041B2 (ja) * | 1995-12-28 | 2006-02-08 | 株式会社島津製作所 | 放射線撮像装置 |
| JPH11253439A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US6327329B1 (en) * | 1998-08-25 | 2001-12-04 | General Electric Company | Methods and apparatus for monitoring detector image quality |
| ATE279145T1 (de) * | 1999-04-20 | 2004-10-15 | Sectra Pronosco As | Vorrichtung zur abschätzung der knochenmineraldichte mittels röntgenbildmessungen |
| JP2001099720A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Yokogawa Electric Corp | 端子台の温度補償装置 |
| JP6387647B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2018-09-12 | 株式会社島津製作所 | 感度補正係数算出システム及びｘ線分析装置 |
| JP6979185B2 (ja) * | 2016-12-12 | 2021-12-08 | 株式会社 システムスクエア | Ｘ線検査装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2333955A patent/JP2882048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008302067A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Aloka Co Ltd | Ｘ線撮像装置 |
| JP2008302068A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Aloka Co Ltd | Ｘ線撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04203995A (ja) | 1992-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |