JP2877304B2 - 光プリンタヘッド素子 - Google Patents
光プリンタヘッド素子Info
- Publication number
- JP2877304B2 JP2877304B2 JP15737687A JP15737687A JP2877304B2 JP 2877304 B2 JP2877304 B2 JP 2877304B2 JP 15737687 A JP15737687 A JP 15737687A JP 15737687 A JP15737687 A JP 15737687A JP 2877304 B2 JP2877304 B2 JP 2877304B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- light
- shielding
- printer head
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ）産業上の利用分野
本発明はいわゆるPLZTのような光学セラミツクを用い
た光プリンタヘツド素子に関する。 ロ）従来の技術 従来よりKDP,PZT、PLZT等をシヤツタ素子として利用
することが研究されてきたが近年の光プリンタの開発に
よってPLZTのような光学セラミツクを光プリンタヘツド
素子（シヤツタ素子）として利用する研究が活発になっ
てきた。この時光学セラミツク表面に対向電極を設ける
が、この電極材料として透明電極材料を用いると、充
分低い抵抗値が得られない配線手段（例えばワイヤボ
ンド）の接続性が悪いという欠点を有する。 そこで特開昭62−42120号公報では透明電極と金属電
極とを積層することで解決しているが、対向電極間隔
が印写ドツトの大きさに依存し広いままであり、それゆ
え印加電圧が100V以上と高い電界が電極対向部のみな
らずその周囲にも広がるので、マスク板を用いないと印
写ドツトの形が略楕円状になって印字品位が低下する
が、マスト板を用いる時電極に近接させるとリーク等の
事故を生じやすく、離して設けると輪郭ボケして所望の
大きさ・形状の印写ドツトとならない等の不都合が生じ
た。 ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明は上述の点を考慮してなされたもので、印写品
位が高い低電圧駆動の出来る光プリンタヘツド素子を提
供するものである。 ニ）問題点を解決するための手段 本発明は遮光性電極により対向電極を形成し、その対
向領域内に櫛歯状等の透明電極を複数近接配置するもの
である。 ホ）作用） これにより対向電極の実質的な相対距離は短かくなる
ので駆動電圧を低下でき、それにより周囲に広がる電界
の広がり量を比較的小さく、また近接された遮光電極は
マスクとしても作用するので印写ドツトの輪郭の大部分
が規定される。 ヘ）実施例 第１図は本発明実施例の光プリンタヘツド素子の要部
平面図で、第２図はその断面図である。図において
（１）は（PbLa）（ZrTi）O3 9/65/35等いわゆるPLZTか
らなる光学セラミツクで、例えば厚さ0.3mm巾1.5mm長さ
8.0mmの直方体状をなしている。（20）（30）（30）…
は光学セラミツク（１）の表面に設けられ対向配置され
た遮光性電極で、厚み0.6〜2.0μｍのアルミニウム、金
等又はこれらの合金からなり、遮光性電極（20）は多数
の凹部を有した共通電極、遮光性電極（30）（30）…は
個別電極となっている。（21）（31）（31）…は遮光性
電極（20）（30）（30）…の対向領域である共通電極の
凹部内に設けられた櫛歯状の透明電極で、酸化インジウ
ム、酸化スズ等からなり遮光性電極（20）（30）（30）
…と電気的に接続され、その接続部では互いに連結され
ていてもよいが、対向領域内では共通電極側透明電極
（21）と個別電極側透明電極（31）とが互いに近接配置
された複数の電極（図の例では各対向領域内で３本づ
つ）となっていなければならない。 より具体的に説明すると、光プリンタの解像度が８ド
ツト/mmの時１辺75μｍの正方形の印写ドツトを125μｍ
間隔で設ける。この時遮光電極（20）の凹部は深さ55μ
ｍ巾70μｍで125μｍピツチで設けられ透明電極（21）
はその略中央部に巾８μｍ長さ55μｍで設けられる。一
方遮光電極（30）（30）…は遮光電極（20）の凹部底面
から70μｍ離れた所に巾80μｍで設けられ、これによっ
て遮光電極（20）（30）（30）…により２隅は開放され
ているものの４辺が規定された１辺70μｍの正方形のド
ツト部が形成されたことになる。このような効果を得る
ためには遮光電極として、より好ましくは共通電極の役
目をする遮光電極として 記号状もしくは蛇行させる事により複数の凹部を設ける
とよい。一方透明電極（31）は巾11μｍで、透明電極
（21）と共に互いに平行で等しい間隔（ａ）となるよう
に設けてある。 従来であれば印写用のドツト部における対向電極間隔
（上述の例では70μｍ）に対し、それよりも近接する部
分が存在すると、その部分で電界が集中し、シヤツタ効
果に影響して、例えば１ドツト内の濃度差としてあらわ
れる。しかし本発明実施例ではドツト部以外での電極近
接距離（ｂ）をｂ＞ａ（上記例ではｂ＝15μm a＝10μ
ｍ）となる様に設けられ、これによってドツト内の電界
分布は均一に保たれる。 上述の例において、電極は表面に設けたが裏面にも設
けてもよい。また遮光電極と透明電極のオーミツク特性
が悪い場合には高速駆動時にシヤツタ効果の遅れ等不都
合を生じることがあるので、この場合、接合部にクロム
などの介在層（32）を設けるとよい。さらに透明電極
（21）（31）（31）…の上に遮光電極（20）（30）（3
0）…を設けると、その厚みで遮光電極端縁に凹凸が生
じ、直線状の印写ドツト輪郭が得られないこともある
が、この場合には遮光電極（20）（30）（30）…の下方
に選択的に絶縁膜を設けておけば容易に平坦化できる。 ト）発明の効果 以上の如くにより、光学セラミツクに電界を印加する
のは実質的にドツト内の透明電極であり、これは互いに
充分近接しかつ短いので低い電圧で均一電界を与えるこ
とができる。またこの透明電極に電圧を与えるのは金属
等の遮光性電極であるから、その抵抗値は低く保て、ま
た良ワイヤボンド特性など配線も行いやすい。そして遮
光性電極で印写ドツトの輪郭を規定し、ドツト部の透明
電極は印写ドツトに影を落とさないので、上記均一電界
と相まって良好な印写ドツトとなり印写品位が劣悪化し
ない。
た光プリンタヘツド素子に関する。 ロ）従来の技術 従来よりKDP,PZT、PLZT等をシヤツタ素子として利用
することが研究されてきたが近年の光プリンタの開発に
よってPLZTのような光学セラミツクを光プリンタヘツド
素子（シヤツタ素子）として利用する研究が活発になっ
てきた。この時光学セラミツク表面に対向電極を設ける
が、この電極材料として透明電極材料を用いると、充
分低い抵抗値が得られない配線手段（例えばワイヤボ
ンド）の接続性が悪いという欠点を有する。 そこで特開昭62−42120号公報では透明電極と金属電
極とを積層することで解決しているが、対向電極間隔
が印写ドツトの大きさに依存し広いままであり、それゆ
え印加電圧が100V以上と高い電界が電極対向部のみな
らずその周囲にも広がるので、マスク板を用いないと印
写ドツトの形が略楕円状になって印字品位が低下する
が、マスト板を用いる時電極に近接させるとリーク等の
事故を生じやすく、離して設けると輪郭ボケして所望の
大きさ・形状の印写ドツトとならない等の不都合が生じ
た。 ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明は上述の点を考慮してなされたもので、印写品
位が高い低電圧駆動の出来る光プリンタヘツド素子を提
供するものである。 ニ）問題点を解決するための手段 本発明は遮光性電極により対向電極を形成し、その対
向領域内に櫛歯状等の透明電極を複数近接配置するもの
である。 ホ）作用） これにより対向電極の実質的な相対距離は短かくなる
ので駆動電圧を低下でき、それにより周囲に広がる電界
の広がり量を比較的小さく、また近接された遮光電極は
マスクとしても作用するので印写ドツトの輪郭の大部分
が規定される。 ヘ）実施例 第１図は本発明実施例の光プリンタヘツド素子の要部
平面図で、第２図はその断面図である。図において
（１）は（PbLa）（ZrTi）O3 9/65/35等いわゆるPLZTか
らなる光学セラミツクで、例えば厚さ0.3mm巾1.5mm長さ
8.0mmの直方体状をなしている。（20）（30）（30）…
は光学セラミツク（１）の表面に設けられ対向配置され
た遮光性電極で、厚み0.6〜2.0μｍのアルミニウム、金
等又はこれらの合金からなり、遮光性電極（20）は多数
の凹部を有した共通電極、遮光性電極（30）（30）…は
個別電極となっている。（21）（31）（31）…は遮光性
電極（20）（30）（30）…の対向領域である共通電極の
凹部内に設けられた櫛歯状の透明電極で、酸化インジウ
ム、酸化スズ等からなり遮光性電極（20）（30）（30）
…と電気的に接続され、その接続部では互いに連結され
ていてもよいが、対向領域内では共通電極側透明電極
（21）と個別電極側透明電極（31）とが互いに近接配置
された複数の電極（図の例では各対向領域内で３本づ
つ）となっていなければならない。 より具体的に説明すると、光プリンタの解像度が８ド
ツト/mmの時１辺75μｍの正方形の印写ドツトを125μｍ
間隔で設ける。この時遮光電極（20）の凹部は深さ55μ
ｍ巾70μｍで125μｍピツチで設けられ透明電極（21）
はその略中央部に巾８μｍ長さ55μｍで設けられる。一
方遮光電極（30）（30）…は遮光電極（20）の凹部底面
から70μｍ離れた所に巾80μｍで設けられ、これによっ
て遮光電極（20）（30）（30）…により２隅は開放され
ているものの４辺が規定された１辺70μｍの正方形のド
ツト部が形成されたことになる。このような効果を得る
ためには遮光電極として、より好ましくは共通電極の役
目をする遮光電極として 記号状もしくは蛇行させる事により複数の凹部を設ける
とよい。一方透明電極（31）は巾11μｍで、透明電極
（21）と共に互いに平行で等しい間隔（ａ）となるよう
に設けてある。 従来であれば印写用のドツト部における対向電極間隔
（上述の例では70μｍ）に対し、それよりも近接する部
分が存在すると、その部分で電界が集中し、シヤツタ効
果に影響して、例えば１ドツト内の濃度差としてあらわ
れる。しかし本発明実施例ではドツト部以外での電極近
接距離（ｂ）をｂ＞ａ（上記例ではｂ＝15μm a＝10μ
ｍ）となる様に設けられ、これによってドツト内の電界
分布は均一に保たれる。 上述の例において、電極は表面に設けたが裏面にも設
けてもよい。また遮光電極と透明電極のオーミツク特性
が悪い場合には高速駆動時にシヤツタ効果の遅れ等不都
合を生じることがあるので、この場合、接合部にクロム
などの介在層（32）を設けるとよい。さらに透明電極
（21）（31）（31）…の上に遮光電極（20）（30）（3
0）…を設けると、その厚みで遮光電極端縁に凹凸が生
じ、直線状の印写ドツト輪郭が得られないこともある
が、この場合には遮光電極（20）（30）（30）…の下方
に選択的に絶縁膜を設けておけば容易に平坦化できる。 ト）発明の効果 以上の如くにより、光学セラミツクに電界を印加する
のは実質的にドツト内の透明電極であり、これは互いに
充分近接しかつ短いので低い電圧で均一電界を与えるこ
とができる。またこの透明電極に電圧を与えるのは金属
等の遮光性電極であるから、その抵抗値は低く保て、ま
た良ワイヤボンド特性など配線も行いやすい。そして遮
光性電極で印写ドツトの輪郭を規定し、ドツト部の透明
電極は印写ドツトに影を落とさないので、上記均一電界
と相まって良好な印写ドツトとなり印写品位が劣悪化し
ない。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明実施例の光プリンタヘツド素子の要部平
面図、第２図はその断面図である。 （１）…光学セラミツク、（20）…遮光性電極（共通電
極）、（30）（30）…遮光性電極（個別電極）、（21）
（31）（31）……透明電極
面図、第２図はその断面図である。 （１）…光学セラミツク、（20）…遮光性電極（共通電
極）、（30）（30）…遮光性電極（個別電極）、（21）
（31）（31）……透明電極
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．光学セラミックと、光学セラミックの表面に印字用
のドット部の四方を囲むように対向配置された共通電極
と個別電極からなる遮光性電極と、遮光性電極に電気的
に接続されて前記ドット部に所定間隔を持って配置され
た複数の透明電極とを具備し、前記複数の透明電極は、
前記共通電極と個別電極に交互に接続している事を特徴
とする光プリンタヘッド素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15737687A JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15737687A JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63319168A JPS63319168A (ja) | 1988-12-27 |
| JP2877304B2 true JP2877304B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=15648306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15737687A Expired - Lifetime JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2877304B2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-24 JP JP15737687A patent/JP2877304B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63319168A (ja) | 1988-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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