JPS63319168A - 光プリンタヘッド素子 - Google Patents
光プリンタヘッド素子Info
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- JPS63319168A JPS63319168A JP62157376A JP15737687A JPS63319168A JP S63319168 A JPS63319168 A JP S63319168A JP 62157376 A JP62157376 A JP 62157376A JP 15737687 A JP15737687 A JP 15737687A JP S63319168 A JPS63319168 A JP S63319168A
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- shielding
- electrode
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ)産業上の利用分野
本発明はいわゆるPLZTのような光学セラミックを用
いた光プリンタヘッド素子に関する。
いた光プリンタヘッド素子に関する。
口)従来の技術
従来よりKDP、PZT、PLZT等ヲシャツタ素子と
して利用することが研究されてきたが近年の光プリンタ
の開発によりてPLZTのような光学セラミックを光プ
リンタヘッド素子(シャッタ素子)として利用する研究
が活発になってきた。この時光学セラミック表面に対向
電極を設けるが、この電極材料として透明電極材料を用
いると、■充分低い抵抗値が得られない■配線手段(例
えばワイヤボンド)の接続性が悪いという欠点を有する
。
して利用することが研究されてきたが近年の光プリンタ
の開発によりてPLZTのような光学セラミックを光プ
リンタヘッド素子(シャッタ素子)として利用する研究
が活発になってきた。この時光学セラミック表面に対向
電極を設けるが、この電極材料として透明電極材料を用
いると、■充分低い抵抗値が得られない■配線手段(例
えばワイヤボンド)の接続性が悪いという欠点を有する
。
そこで特開昭62−42120号公報では透明電極と金
属電極とを積層することで解決しているが、■対向電極
間隔が印写ドツトの大きさに依存し広いままであり、そ
れゆえ印加電圧が100v以上と高い■電界が電極対向
部のみならずその周囲にも広がるので、マスク板を用い
ないと印写ドツトの形が略楕円状になって印写品位が低
下するが、マスク板を用いる時電極に近接させるとリー
ク等の事故を生じやすく、離して設けると輪郭ボケして
所望の大きさ・形状の印写ドツトとならない等の不都合
が生じた。
属電極とを積層することで解決しているが、■対向電極
間隔が印写ドツトの大きさに依存し広いままであり、そ
れゆえ印加電圧が100v以上と高い■電界が電極対向
部のみならずその周囲にも広がるので、マスク板を用い
ないと印写ドツトの形が略楕円状になって印写品位が低
下するが、マスク板を用いる時電極に近接させるとリー
ク等の事故を生じやすく、離して設けると輪郭ボケして
所望の大きさ・形状の印写ドツトとならない等の不都合
が生じた。
ハ)発明が解決しようとする問題点
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、印写品位
が高く低電圧駆動の出来る光プリンタヘッド素子を提供
するものである。
が高く低電圧駆動の出来る光プリンタヘッド素子を提供
するものである。
二)問題点を解決するための手段
本発明は遮光性電極によシ対向電極を形成し、その対向
領域内に櫛歯状等の透明電極を複数近接配置するもので
ある。
領域内に櫛歯状等の透明電極を複数近接配置するもので
ある。
ホ)作 用
これにより対向電極の一実質的な相対距離は矧かくなる
ので駆動電圧を低下でき、それにょシ周囲に広がる電界
の広が少量を比較的小さく、また近接された遮光電極は
マスクとしても作用するので印写ドツトの輪郭の大部分
が規定される。
ので駆動電圧を低下でき、それにょシ周囲に広がる電界
の広が少量を比較的小さく、また近接された遮光電極は
マスクとしても作用するので印写ドツトの輪郭の大部分
が規定される。
へ)実施例
第1図は本発明実施例の光プリンタヘッド素子の要部平
面図で、第2図はその断面図である。
面図で、第2図はその断面図である。
図においてはIU(PbLa)(ZrTi)Ox9/6
5/35等いわゆるPLZTからなる光学セラミックで
、例えば厚さa、SU巾1.5m長さ3. Q 11+
11の直方体状をなしている。(2(j1田・・・は光
学セラミック(11の表面に設けられ対向配置された遮
光性電極で、厚み0.6〜ZOμSOアルミニウム、金
等又はこれらの合金からなり、遮光性電極(2(11は
多数の凹部を有した共通電極、遮光性電極■田・・・は
個別電極となっている。Ull ((IICdD・・・
は遮光電極端縁ω・・・の対向領域である共通電極の凹
部内に設けられた櫛歯状の透明電極で、酸化インジウム
、酸化スズ等からな#)遮光性電極機1ωω・・・と電
気的に接続され、その接続部では互いに連結されていて
もよいが、対向領域内では共通電極側透明電極r211
と個別電極側透明電極−とが互いに近接配置され九複数
の電極(図の例では各対向領域内で5本づつ)となって
いなければならない。
5/35等いわゆるPLZTからなる光学セラミックで
、例えば厚さa、SU巾1.5m長さ3. Q 11+
11の直方体状をなしている。(2(j1田・・・は光
学セラミック(11の表面に設けられ対向配置された遮
光性電極で、厚み0.6〜ZOμSOアルミニウム、金
等又はこれらの合金からなり、遮光性電極(2(11は
多数の凹部を有した共通電極、遮光性電極■田・・・は
個別電極となっている。Ull ((IICdD・・・
は遮光電極端縁ω・・・の対向領域である共通電極の凹
部内に設けられた櫛歯状の透明電極で、酸化インジウム
、酸化スズ等からな#)遮光性電極機1ωω・・・と電
気的に接続され、その接続部では互いに連結されていて
もよいが、対向領域内では共通電極側透明電極r211
と個別電極側透明電極−とが互いに近接配置され九複数
の電極(図の例では各対向領域内で5本づつ)となって
いなければならない。
より具体的に説明すると、光プリンタの解像度が8ドツ
ト/シの時1辺75μmの正方形の印写ドツト′fI:
125μm間隔で設ける。この時遮光電極■の凹部は深
さ55μ肩巾70μmで125μmピッチで設けられ透
明電極c!Dはその略中央部に巾8μm長さ55μmで
設けられる。一方遮光電極C31■・・・は遮光電極囚
の凹部底面から70μm離れた所に巾80μmで設けら
れ、これによって遮光電極■C3G■・・・によル2隅
は開放されているものの4辺が規定された1辺70μ膚
の正方形のドツト部が形成されたことになる。このよう
な効果を得るためには遮光電極として、より好ましくは
共通電極の役目をする遮光電極として■記号状もしくは
蛇行させる事により複数の凹部を設けるとよい。一方透
明電極3Dは巾11μmで、透明電極I211と共に互
いに平行で等しい間隔(a)となるように設けである。
ト/シの時1辺75μmの正方形の印写ドツト′fI:
125μm間隔で設ける。この時遮光電極■の凹部は深
さ55μ肩巾70μmで125μmピッチで設けられ透
明電極c!Dはその略中央部に巾8μm長さ55μmで
設けられる。一方遮光電極C31■・・・は遮光電極囚
の凹部底面から70μm離れた所に巾80μmで設けら
れ、これによって遮光電極■C3G■・・・によル2隅
は開放されているものの4辺が規定された1辺70μ膚
の正方形のドツト部が形成されたことになる。このよう
な効果を得るためには遮光電極として、より好ましくは
共通電極の役目をする遮光電極として■記号状もしくは
蛇行させる事により複数の凹部を設けるとよい。一方透
明電極3Dは巾11μmで、透明電極I211と共に互
いに平行で等しい間隔(a)となるように設けである。
従来でおれば印写用のドツト部における対向電極間隔(
上述の例では70μm)に対し、それよりも近接する部
分が存在すると、その部分で電界が集中し、シャッタ効
果に影響して、例えば1ドツト内の濃度差としてあられ
れる。しかし本発明実施例ではドツト部以外での電極近
接距離(b)’kb>a(上記例で1llj:b−15
μmam10μm)となる様に設けられ、これによって
ドツト内の電界分布は均一に保几れる。
上述の例では70μm)に対し、それよりも近接する部
分が存在すると、その部分で電界が集中し、シャッタ効
果に影響して、例えば1ドツト内の濃度差としてあられ
れる。しかし本発明実施例ではドツト部以外での電極近
接距離(b)’kb>a(上記例で1llj:b−15
μmam10μm)となる様に設けられ、これによって
ドツト内の電界分布は均一に保几れる。
上述の例において、電極は表面に設けたが裏面にも設け
てもよい。また遮光電極と透明電極のオーミック特性が
悪い場合には高速g励時に7ヤツタ効果の遅れ等不都合
を生じることがあるので、この場合、接合部にクロムな
どの介在層(至)を設けるとよい。さらに透明1111
帆CD・・・の上に遮光電極磯ω(至)・・・を設ける
と、その厚みで遮光電極端縁に凹凸が生じ、直線状の印
写ドツト輪郭が得られないこともあるが、この場合には
遮光電ff1f201(3I■・・・の下方に選択的に
絶縁膜を設けておけば容易にXF担化できる。
てもよい。また遮光電極と透明電極のオーミック特性が
悪い場合には高速g励時に7ヤツタ効果の遅れ等不都合
を生じることがあるので、この場合、接合部にクロムな
どの介在層(至)を設けるとよい。さらに透明1111
帆CD・・・の上に遮光電極磯ω(至)・・・を設ける
と、その厚みで遮光電極端縁に凹凸が生じ、直線状の印
写ドツト輪郭が得られないこともあるが、この場合には
遮光電ff1f201(3I■・・・の下方に選択的に
絶縁膜を設けておけば容易にXF担化できる。
ト)発明の効果
以上の如くにより、光学セラミックに電界を印加するの
は実質的にドツト内の透明電極であり、これは互いに充
分近接しかつ短いので低い電圧で均一電界を与えること
ができる。またこの透明電極に電圧を与えるのは金属等
の遮光性電極であるから、その抵抗値は低く保て、また
良ワイヤボンド特性など配線も行いやすhoそして遮光
性電極で印写ドツトの輪郭全規定し、ドツト部の透明電
極は印写ドツトに影を落とさないので、上記均一電界と
相まりで良好な印写ドツトとなり印写品位が劣悪化しな
い。
は実質的にドツト内の透明電極であり、これは互いに充
分近接しかつ短いので低い電圧で均一電界を与えること
ができる。またこの透明電極に電圧を与えるのは金属等
の遮光性電極であるから、その抵抗値は低く保て、また
良ワイヤボンド特性など配線も行いやすhoそして遮光
性電極で印写ドツトの輪郭全規定し、ドツト部の透明電
極は印写ドツトに影を落とさないので、上記均一電界と
相まりで良好な印写ドツトとなり印写品位が劣悪化しな
い。
第1図は本発明実施例の光プリンタヘッド素子の要部平
面図、第2図はその断面図である。
面図、第2図はその断面図である。
Claims (1)
- 1)光学セラミックと、光学セラミックの表面に設けら
れ対向配置された遮光性電極と、遮光性電極に電気的に
接続され遮光性電極の対向領域内で互いに近接配置され
た複数の透明電極とを具備した事を特徴とする光プリン
タヘッド素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15737687A JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15737687A JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63319168A true JPS63319168A (ja) | 1988-12-27 |
JP2877304B2 JP2877304B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=15648306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15737687A Expired - Lifetime JP2877304B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 光プリンタヘッド素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2877304B2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-24 JP JP15737687A patent/JP2877304B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2877304B2 (ja) | 1999-03-31 |
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