JP2876388B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- Japan
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- ball screw
- brake shoe
- test head
- support
- heavy object
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の搬送装置の中には、例えばボール
ネジを用いて重量物を上下方向へ搬送するものがある。
この搬送装置は、例えば、重量物を支持する支持体と、
この支持体に設けられたナットと、このナットに螺合す
るように基台に設けられたボールネジと、このボールネ
ジの基台から下方へ突出する下端に取り付けられたプー
リと、このプーリとモータの回転駆動軸に取り付けられ
たプーリ間に掛け回されたベルトとを備えて構成されて
いる。この搬送装置により重量物を上下方向へ搬送する
場合には、モータが駆動すると、その回転駆動軸、プー
リ、ベルト及びボールネジに取り付けられたプーリを介
してボールネジが回転する。ボールネジが回転すると、
支持体に取り付けられたナットを介して支持体が重量物
を支持した状態で昇降して重量物を所定の位置から所定
の位置へ搬送する。
ネジを用いて重量物を上下方向へ搬送するものがある。
この搬送装置は、例えば、重量物を支持する支持体と、
この支持体に設けられたナットと、このナットに螺合す
るように基台に設けられたボールネジと、このボールネ
ジの基台から下方へ突出する下端に取り付けられたプー
リと、このプーリとモータの回転駆動軸に取り付けられ
たプーリ間に掛け回されたベルトとを備えて構成されて
いる。この搬送装置により重量物を上下方向へ搬送する
場合には、モータが駆動すると、その回転駆動軸、プー
リ、ベルト及びボールネジに取り付けられたプーリを介
してボールネジが回転する。ボールネジが回転すると、
支持体に取り付けられたナットを介して支持体が重量物
を支持した状態で昇降して重量物を所定の位置から所定
の位置へ搬送する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送装置の場合には、モータを駆動制御するとによりボ
ールネジを介して重量物を所定の位置へ正確に搬送でき
るが、例えば、万一ベルトの疲労などによりベルトが切
断して破損するような事故が昇降機構にあった場合に
は、支持体が重量物の重みにより急激に落下して装置を
破損したり、場合によっては支持体に人体の部が挟まれ
るなどして人身事故などを起こす虞があるなどという課
題があった。
搬送装置の場合には、モータを駆動制御するとによりボ
ールネジを介して重量物を所定の位置へ正確に搬送でき
るが、例えば、万一ベルトの疲労などによりベルトが切
断して破損するような事故が昇降機構にあった場合に
は、支持体が重量物の重みにより急激に落下して装置を
破損したり、場合によっては支持体に人体の部が挟まれ
るなどして人身事故などを起こす虞があるなどという課
題があった。
【０００４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、昇降機構に万一の事故があっても重量物の
落下を防止して装置の破損や人身事故を未然に防止でき
る搬送装置を提供することを目的としている。
れたもので、昇降機構に万一の事故があっても重量物の
落下を防止して装置の破損や人身事故を未然に防止でき
る搬送装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の搬送装置は、重量物を支持する支持機構と、この支持
機構を介して上記重量物を昇降する昇降機構とを備え、
上記昇降機構を介して上記重量物を上下方向へ搬送する
搬送装置において、上記重量物の落下を防止する落下防
止機構を上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上
記支持機構に設けられたナットと、このナットに螺合す
るボールネジと、このボールネジの下端に取り付けられ
たブレーキシューと、このブレーキシューを所定の隙間
を介して点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記重
量物の荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋め
て面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材
とを備えたものである。
の搬送装置は、重量物を支持する支持機構と、この支持
機構を介して上記重量物を昇降する昇降機構とを備え、
上記昇降機構を介して上記重量物を上下方向へ搬送する
搬送装置において、上記重量物の落下を防止する落下防
止機構を上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上
記支持機構に設けられたナットと、このナットに螺合す
るボールネジと、このボールネジの下端に取り付けられ
たブレーキシューと、このブレーキシューを所定の隙間
を介して点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記重
量物の荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋め
て面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材
とを備えたものである。
【０００６】また、本発明の請求項２に記載の搬送装置
は、プローブ装置のテストヘッドを支持する支持機構
と、この支持機構を介して上記テストヘッドを昇降する
昇降機構とを備え、上記昇降機構を介して上記テストヘ
ッドを上下方向へ搬送して上記プローブ装置のインター
フェース部に対して電気的に離接する搬送装置におい
て、上記テストヘッドの落下を防止する落下防止機構を
上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上記支持機
構に設けられたナットと、このナットに螺合するボール
ネジと、このボールネジの下端に取り付けられたブレー
キシューと、このブレーキシューを所定の隙間を介して
点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記テストヘッ
ドの荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋めて
面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材と
を備えたものである。
は、プローブ装置のテストヘッドを支持する支持機構
と、この支持機構を介して上記テストヘッドを昇降する
昇降機構とを備え、上記昇降機構を介して上記テストヘ
ッドを上下方向へ搬送して上記プローブ装置のインター
フェース部に対して電気的に離接する搬送装置におい
て、上記テストヘッドの落下を防止する落下防止機構を
上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上記支持機
構に設けられたナットと、このナットに螺合するボール
ネジと、このボールネジの下端に取り付けられたブレー
キシューと、このブレーキシューを所定の隙間を介して
点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記テストヘッ
ドの荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋めて
面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材と
を備えたものである。
【０００７】また、本発明の請求項３に記載の搬送装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記支承部材が、上記ブレーキシューを点支持する球体
と、この球体を支承するバネ部材と、これら両者を収納
する収納部及び上記ブレーキシューが嵌合し得る凹部と
を備えたものである。
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記支承部材が、上記ブレーキシューを点支持する球体
と、この球体を支承するバネ部材と、これら両者を収納
する収納部及び上記ブレーキシューが嵌合し得る凹部と
を備えたものである。
【０００８】
【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、昇降
機構により重量物を上下方向へ搬送している時に、万一
昇降機構が故障し、重量物の重みにより支持機構と共に
落下し始めると、支持機構のナットを介してボールネジ
に重量物の負荷が掛ってボールネジに従って落下しよう
とするが、重量物の重みが落下防止機構を構成するボー
ルネジ、ブレーキシューを介してその支承部材に掛る
と、ブレーキシューが隙間を埋めて支承部材に面接触し
てボールネジの回転を制動し、重量物の落下を自動的に
防止することができる。
機構により重量物を上下方向へ搬送している時に、万一
昇降機構が故障し、重量物の重みにより支持機構と共に
落下し始めると、支持機構のナットを介してボールネジ
に重量物の負荷が掛ってボールネジに従って落下しよう
とするが、重量物の重みが落下防止機構を構成するボー
ルネジ、ブレーキシューを介してその支承部材に掛る
と、ブレーキシューが隙間を埋めて支承部材に面接触し
てボールネジの回転を制動し、重量物の落下を自動的に
防止することができる。
【０００９】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、昇降機構によりプローブ装置のテストヘッドを上
下方向へ搬送してプローブ装置のインターフェース部に
対してテストヘッドを電気的に離接している時に、万一
昇降機構が故障し、テストヘッドの重みにより支持機構
と共に落下し始めると、支持機構のナットを介してボー
ルネジにテストヘッドの負荷が掛ってボールネジに従っ
て落下しようとするが、テストヘッドの重みが落下防止
機構を構成するボールネジ、ブレーキシューを介してそ
の支承部材に掛ると、ブレーキシューが隙間を埋めて支
承部材に面接触してボールネジの回転を制動し、テスト
ヘッドのプローブ装置のインターフェース部への落下を
自動的に防止することができる。
れば、昇降機構によりプローブ装置のテストヘッドを上
下方向へ搬送してプローブ装置のインターフェース部に
対してテストヘッドを電気的に離接している時に、万一
昇降機構が故障し、テストヘッドの重みにより支持機構
と共に落下し始めると、支持機構のナットを介してボー
ルネジにテストヘッドの負荷が掛ってボールネジに従っ
て落下しようとするが、テストヘッドの重みが落下防止
機構を構成するボールネジ、ブレーキシューを介してそ
の支承部材に掛ると、ブレーキシューが隙間を埋めて支
承部材に面接触してボールネジの回転を制動し、テスト
ヘッドのプローブ装置のインターフェース部への落下を
自動的に防止することができる。
【００１０】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記支承部材が、上記ブレーキシューを点支持する球体
と、この球体を支承するバネ部材と、これら両者を収納
する収納部及び上記ブレーキシューが嵌合し得る凹部と
を備えたため、昇降機構により重量物またはテストヘッ
ドを昇降する時にはボールネジはブレーキシューが球体
に点接触した状態で自由に正逆回転して昇降機構は円滑
に駆動することができる。また、万一昇降機構が故障す
ると、重量物またはテストヘッドの重みが球体を支持す
るバネ部材のバネ力に打ち勝ってブレーキシューが下降
して支承部材の凹部に嵌合してボールネジの回転を制動
し、重量物またはテストヘッドの落下を自動的に防止す
ることができる。
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記支承部材が、上記ブレーキシューを点支持する球体
と、この球体を支承するバネ部材と、これら両者を収納
する収納部及び上記ブレーキシューが嵌合し得る凹部と
を備えたため、昇降機構により重量物またはテストヘッ
ドを昇降する時にはボールネジはブレーキシューが球体
に点接触した状態で自由に正逆回転して昇降機構は円滑
に駆動することができる。また、万一昇降機構が故障す
ると、重量物またはテストヘッドの重みが球体を支持す
るバネ部材のバネ力に打ち勝ってブレーキシューが下降
して支承部材の凹部に嵌合してボールネジの回転を制動
し、重量物またはテストヘッドの落下を自動的に防止す
ることができる。
【００１１】
【実施例】以下、図１〜図３に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。図１は本実施例の搬送装置が適用され
たプローブ装置を示す図である。このプローブ装置１０
は、同図に示すように、装置本体１１と、装置本体１１
内に配設されて半導体ウエハＷを載置する載置台１２
と、この載置台１２の上方に配設されたプロービングカ
ード１３と、このプロービングカード１３の裏面に配列
されたプローブ針１４と対応するポゴピン（図示せず）
を有する接続リング１５と、この接続リング１５の各ポ
ゴピンと電気的に接触する端子を有するテストヘッド１
６とを備えて構成されている。そして、テストヘッド１
６はその支持フレーム１７を介して本実施例の搬送装置
２０に連結され、この搬送装置２０によってテストヘッ
ド１６をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向へ搬
送することにより、装置本体１１の接続リング１５に対
して位置決めし、接続リング１５及びプロービングカー
ド１３を介してテストヘッド１６と半導体ウエハＷ間を
電気的に導通させ、半導体ウエハＷに形成されたチップ
を個々に、あるいは複数のチップをブロック毎に電気的
検査を行なうようにしてある。即ち、本実施例の搬送装
置２０はプローブ装置１０のマニピュレータとして構成
されている。そこで、以下の説明では搬送装置２０をマ
ニピュレータ２０として説明する。尚、本実施例のマニ
ピュレータ２０は、本出願人が特願平５−３１８９４７
号において既に提案した被検査体のテスト装置のマニピ
ュレータに準じて構成されている。
発明を説明する。図１は本実施例の搬送装置が適用され
たプローブ装置を示す図である。このプローブ装置１０
は、同図に示すように、装置本体１１と、装置本体１１
内に配設されて半導体ウエハＷを載置する載置台１２
と、この載置台１２の上方に配設されたプロービングカ
ード１３と、このプロービングカード１３の裏面に配列
されたプローブ針１４と対応するポゴピン（図示せず）
を有する接続リング１５と、この接続リング１５の各ポ
ゴピンと電気的に接触する端子を有するテストヘッド１
６とを備えて構成されている。そして、テストヘッド１
６はその支持フレーム１７を介して本実施例の搬送装置
２０に連結され、この搬送装置２０によってテストヘッ
ド１６をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向へ搬
送することにより、装置本体１１の接続リング１５に対
して位置決めし、接続リング１５及びプロービングカー
ド１３を介してテストヘッド１６と半導体ウエハＷ間を
電気的に導通させ、半導体ウエハＷに形成されたチップ
を個々に、あるいは複数のチップをブロック毎に電気的
検査を行なうようにしてある。即ち、本実施例の搬送装
置２０はプローブ装置１０のマニピュレータとして構成
されている。そこで、以下の説明では搬送装置２０をマ
ニピュレータ２０として説明する。尚、本実施例のマニ
ピュレータ２０は、本出願人が特願平５−３１８９４７
号において既に提案した被検査体のテスト装置のマニピ
ュレータに準じて構成されている。
【００１２】上記マニピュレータ２０は図１、図２に示
すように基台２１を有し、この基台２１上に昇降機構２
２が配設されている。この昇降機構２２は、基台２１上
に垂直（Ｚ軸方向）に立設された基柱２３と、この基柱
２３の側面にそれぞれ垂直に配設された一対のガイドレ
ール２４と、各ガイドレール２４に係合する係合部材２
５を側面に有する箱状の支持体２６とを備えている。こ
の支持体２６は基柱２３の側面からＸ軸方向へ延び、そ
の底面２６Ａには孔が形成され、この孔にナット２７が
固定されている。また、基台２２と支持体２６の間には
水平基体２８が基柱２３の側面から水平に延設され、こ
の水平基体２８には上記底面２６Ａに対応する孔が形成
され、この孔及びナット２７にはボールネジ２９が貫通
している。このボールネジ２９の上端は基柱２３から支
持持体２６内に延設された支持部材２３Ａにより回転自
在に支持され、下端は水平基体２８を貫通している。ま
た、水平基体２８上には昇降駆動用モータ３０が配設さ
れ、このモータ３０の駆動軸３０Ａが水平基体２８を下
方へ貫通している。そして、ボールネジ２９の下端及び
モータ３０の駆動軸ボールネジ２９の下端にはそれぞれ
プーリ（図示せず）が取り付けられ、これらのプーリに
はベルト３１が掛け回されている。従って、昇降機構２
２は、モータ３０の駆動によりその駆動軸３０Ａが、プ
ーリ、ベルト３１、プーリを介してボールネジ２９が正
逆回転し、このボールネジ２９の正逆回転によりこれに
螺合するナット２７を介して支持体２６が昇降するよう
に構成されている。
すように基台２１を有し、この基台２１上に昇降機構２
２が配設されている。この昇降機構２２は、基台２１上
に垂直（Ｚ軸方向）に立設された基柱２３と、この基柱
２３の側面にそれぞれ垂直に配設された一対のガイドレ
ール２４と、各ガイドレール２４に係合する係合部材２
５を側面に有する箱状の支持体２６とを備えている。こ
の支持体２６は基柱２３の側面からＸ軸方向へ延び、そ
の底面２６Ａには孔が形成され、この孔にナット２７が
固定されている。また、基台２２と支持体２６の間には
水平基体２８が基柱２３の側面から水平に延設され、こ
の水平基体２８には上記底面２６Ａに対応する孔が形成
され、この孔及びナット２７にはボールネジ２９が貫通
している。このボールネジ２９の上端は基柱２３から支
持持体２６内に延設された支持部材２３Ａにより回転自
在に支持され、下端は水平基体２８を貫通している。ま
た、水平基体２８上には昇降駆動用モータ３０が配設さ
れ、このモータ３０の駆動軸３０Ａが水平基体２８を下
方へ貫通している。そして、ボールネジ２９の下端及び
モータ３０の駆動軸ボールネジ２９の下端にはそれぞれ
プーリ（図示せず）が取り付けられ、これらのプーリに
はベルト３１が掛け回されている。従って、昇降機構２
２は、モータ３０の駆動によりその駆動軸３０Ａが、プ
ーリ、ベルト３１、プーリを介してボールネジ２９が正
逆回転し、このボールネジ２９の正逆回転によりこれに
螺合するナット２７を介して支持体２６が昇降するよう
に構成されている。
【００１３】また、上記昇降機構２２には図３に示す落
下防止機構３２が配設され、この落下防止機構３２は昇
降機構２２に万一故障が生じるなどして支持体２６がテ
ストヘッド１６の重みにより落下しようとする場合に自
動的に作動してその落下を防止するように構成されてい
る。即ち、落下防止機構３２は、図３に示すように、上
記支持体２６の底面２６Ａに設けられたナット３３と、
このナット３３に螺合するボールネジ３４と、このボー
ルネジ３４の下端に取り付けられたブレーキシュー３５
と、このブレーキシュー３５を所定の隙間δ（例えば
１.０〜１.５ｍｍ）を介して点支持し且つ上記昇降機構
の故障によるテストヘッド１６の荷重によりブレーキシ
ュー３５が隙間δを埋めて面接触してボールネジ３４の
回転を制動する支承部材３６とを備えて構成されてい
る。更に、この支承部材３６は、ブレーキシュー３５を
点支持する金属製のボール３７と、このボール３７を支
承するバネ部材３８と、これら両者３７、３８を収納す
る収納穴３９及びブレーキシュー３５が嵌合し得る凹部
４０とを備えている。支承部材３６のバネ部材３８は例
えば１０Ｋｇ／ｃｍ2のバネ力を有し、バネ部材３８に
これ以上の荷重がブレーキシュー３５から掛ると、ボー
ル３８がバネ力に打ち勝って凹部４０から収納穴３９内
に退没してブレーキシュー３５が隙間δを埋めて凹部４
０の内面に面接触してボールネジ３４の回転を制動する
ようになっている。
下防止機構３２が配設され、この落下防止機構３２は昇
降機構２２に万一故障が生じるなどして支持体２６がテ
ストヘッド１６の重みにより落下しようとする場合に自
動的に作動してその落下を防止するように構成されてい
る。即ち、落下防止機構３２は、図３に示すように、上
記支持体２６の底面２６Ａに設けられたナット３３と、
このナット３３に螺合するボールネジ３４と、このボー
ルネジ３４の下端に取り付けられたブレーキシュー３５
と、このブレーキシュー３５を所定の隙間δ（例えば
１.０〜１.５ｍｍ）を介して点支持し且つ上記昇降機構
の故障によるテストヘッド１６の荷重によりブレーキシ
ュー３５が隙間δを埋めて面接触してボールネジ３４の
回転を制動する支承部材３６とを備えて構成されてい
る。更に、この支承部材３６は、ブレーキシュー３５を
点支持する金属製のボール３７と、このボール３７を支
承するバネ部材３８と、これら両者３７、３８を収納す
る収納穴３９及びブレーキシュー３５が嵌合し得る凹部
４０とを備えている。支承部材３６のバネ部材３８は例
えば１０Ｋｇ／ｃｍ2のバネ力を有し、バネ部材３８に
これ以上の荷重がブレーキシュー３５から掛ると、ボー
ル３８がバネ力に打ち勝って凹部４０から収納穴３９内
に退没してブレーキシュー３５が隙間δを埋めて凹部４
０の内面に面接触してボールネジ３４の回転を制動する
ようになっている。
【００１４】従って、昇降機構２２によりテストヘッド
１６を搬送している時に、昇降機構２２が万一故障しそ
のボールネジ２９が自由に回転できるようになると、落
下防止機構３２は以下のように自動的に作動する。即
ち、テストヘッド１６がその重みにより支持体２６と共
に落下し始めると、支持体２６のナット２７、３３を介
してボールネジ２９、３４にテストヘッド１６の荷重が
掛ってボールネジ２９、３４に従って落下しようとする
が、テストヘッド１６の重みが落下防止機構３２を構成
するボールネジ３４、ブレーキシュー３５を介してその
支承部材３６に掛ると、その荷重がバネ部材３８のバネ
力に打ち勝ってボール３７がバネ部材３８の弾力に抗し
て凹部４０から退没してボールネジ３４下端のブレーキ
シュー３５が凹部４０に圧接してこれら両者間に大きな
摩擦力が働き、ボールネジ３４の回転を制止してテスト
ヘッド１６の落下を自動的に防止することができる。
１６を搬送している時に、昇降機構２２が万一故障しそ
のボールネジ２９が自由に回転できるようになると、落
下防止機構３２は以下のように自動的に作動する。即
ち、テストヘッド１６がその重みにより支持体２６と共
に落下し始めると、支持体２６のナット２７、３３を介
してボールネジ２９、３４にテストヘッド１６の荷重が
掛ってボールネジ２９、３４に従って落下しようとする
が、テストヘッド１６の重みが落下防止機構３２を構成
するボールネジ３４、ブレーキシュー３５を介してその
支承部材３６に掛ると、その荷重がバネ部材３８のバネ
力に打ち勝ってボール３７がバネ部材３８の弾力に抗し
て凹部４０から退没してボールネジ３４下端のブレーキ
シュー３５が凹部４０に圧接してこれら両者間に大きな
摩擦力が働き、ボールネジ３４の回転を制止してテスト
ヘッド１６の落下を自動的に防止することができる。
【００１５】また、図２に示すように上記支持体２６に
はマニピュレータ２０の第１水平アーム４１が連結さ
れ、第１水平アーム４１は支持体２６からＹ軸方向（装
置本体１１の側面に平行な方向）へ延設されている。こ
の第１水平アーム４１の先端にはθ方向に正逆回転する
回転軸４２が垂直に立設されている。この回転軸４２は
例えばエアシリンダ４２Ａ及びこれと連動するように第
１水平アーム４１内に収納されたクランク機構（図示せ
ず）を介して回転駆動するようにしてある。そして、こ
の回転軸４２の上端には第２水平アーム４３が連結さ
れ、この第２水平アーム４３は第１水平アーム４１と直
交するＸ軸方向（装置本体１１の背面に平行な方向）へ
水平に配設されている。従って、この第２水平アーム４
３は回転軸４２を介してθ方向へ正逆回転して装置本体
１１から退避できるようにしてある。
はマニピュレータ２０の第１水平アーム４１が連結さ
れ、第１水平アーム４１は支持体２６からＹ軸方向（装
置本体１１の側面に平行な方向）へ延設されている。こ
の第１水平アーム４１の先端にはθ方向に正逆回転する
回転軸４２が垂直に立設されている。この回転軸４２は
例えばエアシリンダ４２Ａ及びこれと連動するように第
１水平アーム４１内に収納されたクランク機構（図示せ
ず）を介して回転駆動するようにしてある。そして、こ
の回転軸４２の上端には第２水平アーム４３が連結さ
れ、この第２水平アーム４３は第１水平アーム４１と直
交するＸ軸方向（装置本体１１の背面に平行な方向）へ
水平に配設されている。従って、この第２水平アーム４
３は回転軸４２を介してθ方向へ正逆回転して装置本体
１１から退避できるようにしてある。
【００１６】上記第２水平アーム４３の装置本体１１側
の側面の上下には図２に示すように互いに平行する一対
のガイドレール４４がそれぞれ配設され、各ガイドレー
ル４４に従ってスライドブロック４５が往復移動するよ
うになっている。即ち、第１水平アーム４３の下端には
ガイドレール４４に沿ってラック４６が配設され、この
ラック４６には上記スライドブロック４５の下端にから
突出するピニオン（図示せず）が噛合している。このピ
ニオンはＸ軸方向駆動用モータ４７の駆動軸に連結され
ている。そして、このモータ４７の駆動によりピニオン
がラック４６に沿って回転し、スライドブロック４５が
ガイドレール４４に従ってＸ軸方向へ移動するようにな
っている。また、第２水平アーム４３の両端部には位置
決め機構４８が設けられ、この位置決め機構４８により
スライドブロック４５、即ちテストヘッド１６のＸ軸方
向の位置決めを行なうようにしてある。また、Ｙ軸方向
の位置決めなどについては図示してないが、これらの位
置決めは本出願人が特願平５−３１８９４７号において
既に提案した支持フレーム１７に設けられた位置調整機
構により行なうようにしてある。
の側面の上下には図２に示すように互いに平行する一対
のガイドレール４４がそれぞれ配設され、各ガイドレー
ル４４に従ってスライドブロック４５が往復移動するよ
うになっている。即ち、第１水平アーム４３の下端には
ガイドレール４４に沿ってラック４６が配設され、この
ラック４６には上記スライドブロック４５の下端にから
突出するピニオン（図示せず）が噛合している。このピ
ニオンはＸ軸方向駆動用モータ４７の駆動軸に連結され
ている。そして、このモータ４７の駆動によりピニオン
がラック４６に沿って回転し、スライドブロック４５が
ガイドレール４４に従ってＸ軸方向へ移動するようにな
っている。また、第２水平アーム４３の両端部には位置
決め機構４８が設けられ、この位置決め機構４８により
スライドブロック４５、即ちテストヘッド１６のＸ軸方
向の位置決めを行なうようにしてある。また、Ｙ軸方向
の位置決めなどについては図示してないが、これらの位
置決めは本出願人が特願平５−３１８９４７号において
既に提案した支持フレーム１７に設けられた位置調整機
構により行なうようにしてある。
【００１７】また、上記スライドブロック４５にはこれ
に垂直な軸（Ｙ軸）を中心にして正逆回転するＹ軸駆動
モータ５０が配設され、このモータ５０の回転軸は第２
水平アーム４３の側面から装置本体１１に向けて延び、
その先端にテストヘッド１６を支持する支持フレーム１
７が前述のように連結されている。そして、このモータ
５０はテストヘッド１６のメンテナンス時などに装置本
体１１上方でテストヘッド１６を所定角度例えば１８０
°正逆回転させ、ロックピン５１Ａを有するエアシリン
ダ５１によってその回転をロックして位置決めするよう
にしてある。尚、５２は基柱２３に対して対向して配設
された側板で、この側板５２に形成された孔を介してマ
ニピュレータ２０を装置本体１１の側面に連結して固定
するようにしてある。
に垂直な軸（Ｙ軸）を中心にして正逆回転するＹ軸駆動
モータ５０が配設され、このモータ５０の回転軸は第２
水平アーム４３の側面から装置本体１１に向けて延び、
その先端にテストヘッド１６を支持する支持フレーム１
７が前述のように連結されている。そして、このモータ
５０はテストヘッド１６のメンテナンス時などに装置本
体１１上方でテストヘッド１６を所定角度例えば１８０
°正逆回転させ、ロックピン５１Ａを有するエアシリン
ダ５１によってその回転をロックして位置決めするよう
にしてある。尚、５２は基柱２３に対して対向して配設
された側板で、この側板５２に形成された孔を介してマ
ニピュレータ２０を装置本体１１の側面に連結して固定
するようにしてある。
【００１８】次に、動作について説明する。半導体ウエ
ハＷを検査しない時にはテストヘッド１６は装置本体１
１とは離隔した位置でマニピュレータ２０により水平に
支持されている。そして、半導体ウエハＷを検査する時
には、マニピュレータ２０の回転軸４２を回転させると
共にＸ軸駆動用モータ４７を駆動させてテストヘッド１
６のθ方向及びＸ軸方向の位置決めを行なう。また、Ｙ
軸方向の位置決めなどは上述のように支持フレーム１７
の位置調整機構によって行なう。このようにして上下方
向の位置決め以外を全て行なった後、昇降機構２２の昇
降駆動用モータ３０を駆動させてテストヘッド１６を下
降させてテストヘッド１６を装置本体１１の接続リング
１５に対して電気的に接触させる。テストヘッド１６の
下降時にはモータ３０の駆動により駆動軸３０Ａ、プー
リ、ベルト３１、プーリを介してボールネジ２９が回転
すると共に、落下防止機構３２のボールネジ３４がボー
ル３７に点支持された状態で自由に回転する。このよう
なボールネジ２９の回転によりナット２７を介して支持
体２６が所定距離だけ下降すると昇降機構２２が自動的
に停止してテストヘッド１６の端子が装置本体１１に装
着された接続リング１５のポゴピンに接触する。この
時、テストヘッド１６の荷重は主として昇降機構２２の
ボールネジ２９によって受け、落下防止機構３２のボー
ルネジ３４には僅かの荷重しか掛らないため、ブレーキ
シュー３５はボール３７により点支持された状態を維持
する。
ハＷを検査しない時にはテストヘッド１６は装置本体１
１とは離隔した位置でマニピュレータ２０により水平に
支持されている。そして、半導体ウエハＷを検査する時
には、マニピュレータ２０の回転軸４２を回転させると
共にＸ軸駆動用モータ４７を駆動させてテストヘッド１
６のθ方向及びＸ軸方向の位置決めを行なう。また、Ｙ
軸方向の位置決めなどは上述のように支持フレーム１７
の位置調整機構によって行なう。このようにして上下方
向の位置決め以外を全て行なった後、昇降機構２２の昇
降駆動用モータ３０を駆動させてテストヘッド１６を下
降させてテストヘッド１６を装置本体１１の接続リング
１５に対して電気的に接触させる。テストヘッド１６の
下降時にはモータ３０の駆動により駆動軸３０Ａ、プー
リ、ベルト３１、プーリを介してボールネジ２９が回転
すると共に、落下防止機構３２のボールネジ３４がボー
ル３７に点支持された状態で自由に回転する。このよう
なボールネジ２９の回転によりナット２７を介して支持
体２６が所定距離だけ下降すると昇降機構２２が自動的
に停止してテストヘッド１６の端子が装置本体１１に装
着された接続リング１５のポゴピンに接触する。この
時、テストヘッド１６の荷重は主として昇降機構２２の
ボールネジ２９によって受け、落下防止機構３２のボー
ルネジ３４には僅かの荷重しか掛らないため、ブレーキ
シュー３５はボール３７により点支持された状態を維持
する。
【００１９】しかし、テストヘッド１６が下降している
時に、例えば、昇降機構２２のベルト３１がその疲労に
より切断してボールネジ２９が昇降駆動用モータ３０か
ら解放されて自由状態になると、テストヘッド１６の２
００〜３００Ｋｇの重みがナット２７、３３を介してボ
ールネジ２９、３４に急激に掛り、支持体２６が急激に
落下し始める。ところが、本実施例では、支持体２６が
急激に落下し始めると、ボールネジ３４の回転かその下
降速度に追いつかず、ボールネジ３４に急激に大きなス
ラスト荷重が作用し、この荷重がバネ部材３８の弾力に
打ち勝ってボールネジ３４が下降し、ブレーキシュー３
５によりボール３７を支承部材３６の収納穴３９内へ押
し込んでブレーキシュー３５が支承部材３６の凹部４０
に嵌り込んで圧接する。このスラスト荷重によりブレー
キシュー３５と凹部４０内面との間に大きな摩擦力が発
生し、この摩擦力によりボールネジ３４の回転を制動
し、ボールネジ３４の回転を自動的に停止させ、これに
よって支持体２６がそれ以上落下することなく停止して
テストヘッド１６の装置本体１１への衝突を防止する。
時に、例えば、昇降機構２２のベルト３１がその疲労に
より切断してボールネジ２９が昇降駆動用モータ３０か
ら解放されて自由状態になると、テストヘッド１６の２
００〜３００Ｋｇの重みがナット２７、３３を介してボ
ールネジ２９、３４に急激に掛り、支持体２６が急激に
落下し始める。ところが、本実施例では、支持体２６が
急激に落下し始めると、ボールネジ３４の回転かその下
降速度に追いつかず、ボールネジ３４に急激に大きなス
ラスト荷重が作用し、この荷重がバネ部材３８の弾力に
打ち勝ってボールネジ３４が下降し、ブレーキシュー３
５によりボール３７を支承部材３６の収納穴３９内へ押
し込んでブレーキシュー３５が支承部材３６の凹部４０
に嵌り込んで圧接する。このスラスト荷重によりブレー
キシュー３５と凹部４０内面との間に大きな摩擦力が発
生し、この摩擦力によりボールネジ３４の回転を制動
し、ボールネジ３４の回転を自動的に停止させ、これに
よって支持体２６がそれ以上落下することなく停止して
テストヘッド１６の装置本体１１への衝突を防止する。
【００２０】以上説明したように本実施例によれば、マ
ニピュレータ２０の昇降機構２２に、ナット３３、ボー
ルネジ３４、ブレーキシュー３５及び支承部材３６から
なる落下防止機構３２を設けたため、昇降機構２２に万
一故障などが生じて重量物であるテストヘッド１６の自
重により支持体２６が落下しようとしても、落下防止機
構３２のボールネジ３４に大きなスラスト荷重が作用し
てビールネジ３４が沈み、下端のブレーキシュー３５が
支承部材３６の凹部４０に圧接し、これら両者３５、３
６間の摩擦力によりボールネジ３４の回転を自動的に停
止させ、延いては支持体２６の落下を自動的に防止する
ことができる。このように本実施例によれば、マニピュ
レータ２０の昇降機構２２が万一故障しても、重量物で
あるテストヘッド１６の落下を確実に防止してプローブ
装置本体１１の破損を未然に防止することができ、ま
た、人身事故を未然に防止することができる。また、本
実施例によれば、落下防止機構３２の支承部材３６がボ
ール３７、バネ部材３８、収納穴３９及び凹部４０によ
って構成されているため、テストヘッドなどの重量物の
荷重によりバネ部材３８のバネ力を自由に設定すること
ができる。
ニピュレータ２０の昇降機構２２に、ナット３３、ボー
ルネジ３４、ブレーキシュー３５及び支承部材３６から
なる落下防止機構３２を設けたため、昇降機構２２に万
一故障などが生じて重量物であるテストヘッド１６の自
重により支持体２６が落下しようとしても、落下防止機
構３２のボールネジ３４に大きなスラスト荷重が作用し
てビールネジ３４が沈み、下端のブレーキシュー３５が
支承部材３６の凹部４０に圧接し、これら両者３５、３
６間の摩擦力によりボールネジ３４の回転を自動的に停
止させ、延いては支持体２６の落下を自動的に防止する
ことができる。このように本実施例によれば、マニピュ
レータ２０の昇降機構２２が万一故障しても、重量物で
あるテストヘッド１６の落下を確実に防止してプローブ
装置本体１１の破損を未然に防止することができ、ま
た、人身事故を未然に防止することができる。また、本
実施例によれば、落下防止機構３２の支承部材３６がボ
ール３７、バネ部材３８、収納穴３９及び凹部４０によ
って構成されているため、テストヘッドなどの重量物の
荷重によりバネ部材３８のバネ力を自由に設定すること
ができる。
【００２１】尚、上記実施例では、重量物としてプロー
ブ装置１０のテストヘッド１６を上下方向へ搬送するマ
ニピュレータ２０を例に挙げて搬送装置について説明し
たが、本発明の搬送装置は上記実施例に何等制限される
ものではなく、重量物を上下方向へ搬送する昇降機構を
有する搬送装置であれば、工作機械などにも本発明を適
用することができる。
ブ装置１０のテストヘッド１６を上下方向へ搬送するマ
ニピュレータ２０を例に挙げて搬送装置について説明し
たが、本発明の搬送装置は上記実施例に何等制限される
ものではなく、重量物を上下方向へ搬送する昇降機構を
有する搬送装置であれば、工作機械などにも本発明を適
用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の請求項１または請求項２に記載
の発明によれば、昇降機構に万一の事故があってもテス
トヘッドなどの重量物の落下を防止してプローブ装置本
体などの装置の破損や人身事故を未然に防止できる搬送
装置を提供することができる。
の発明によれば、昇降機構に万一の事故があってもテス
トヘッドなどの重量物の落下を防止してプローブ装置本
体などの装置の破損や人身事故を未然に防止できる搬送
装置を提供することができる。
【００２３】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
重量物の荷重によりバネ部材３８のバネ力を自由に設定
することができる搬送装置を提供することができる。
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
重量物の荷重によりバネ部材３８のバネ力を自由に設定
することができる搬送装置を提供することができる。
【図１】図１は本発明の搬送装置の一実施例が適用され
たプローブ装置の構成の一例を示す正面図である。
たプローブ装置の構成の一例を示す正面図である。
【図２】図１に示すプローブ装置の搬送装置を具体的に
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】図２に示す昇降機構の落下防止機構を示す断面
図である。
図である。
１０ プローブ装置 １１ 装置本体 １５ 接続リング（インターフェース部） １６ テストヘッド ２０ マニピュレータ（搬送装置） ２２ 昇降機構 ２６ 支持体 ３２ 落下防止機構 ３３ ナット ３４ ボールネジ ３５ ブレーキシュー ３６ 支承部材 ３７ ボール（球体） ３８ バネ部材 ３９ 収納穴（収納部） ４０ 凹部 ４１ 第１水平アーム（支持機構） ４２ 回転軸（支持機構） ４３ 第２水平アーム（支持機構） ５０ Ｙ軸駆動モータ（支持機構）
Claims (3)
- 【請求項１】 重量物を支持する支持機構と、この支持
機構を介して上記重量物を昇降する昇降機構とを備え、
上記昇降機構を介して上記重量物を上下方向へ搬送する
搬送装置において、上記重量物の落下を防止する落下防
止機構を上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上
記支持機構に設けられたナットと、このナットに螺合す
るボールネジと、このボールネジの下端に取り付けられ
たブレーキシューと、このブレーキシューを所定の隙間
を介して点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記重
量物の荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋め
て面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材
とを備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 プローブ装置のテストヘッドを支持する
支持機構と、この支持機構を介して上記テストヘッドを
昇降する昇降機構とを備え、上記昇降機構を介して上記
テストヘッドを上下方向へ搬送してプローブ装置のイン
ターフェース部に対して電気的に離接する搬送装置にお
いて、上記テストヘッドの落下を防止する落下防止機構
を上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上記支持
機構に設けられたナットと、このナットに螺合するボー
ルネジと、このボールネジの下端に取り付けられたブレ
ーキシューと、このブレーキシューを所定の隙間を介し
て点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記テストヘ
ッドの荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋め
て面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材
とを備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項３】 上記支承部材が、上記ブレーキシューを
点支持する球体と、この球体を支承するバネ部材と、こ
れら両者を収納する収納部及び上記ブレーキシューが嵌
合し得る凹部とを備えたことを特徴とする請求項１また
は請求項２に記載の搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23411594A JP2876388B2 (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 搬送装置 |
| US08/347,136 US5506512A (en) | 1993-11-25 | 1994-11-23 | Transfer apparatus having an elevator and prober using the same |
| KR1019940031182A KR100270859B1 (ko) | 1993-11-25 | 1994-11-25 | 반송장치 및 그를 이용한 프로우버 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23411594A JP2876388B2 (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0873193A JPH0873193A (ja) | 1996-03-19 |
| JP2876388B2 true JP2876388B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=16965874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23411594A Expired - Fee Related JP2876388B2 (ja) | 1993-11-25 | 1994-09-02 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876388B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2917398B1 (fr) * | 2006-09-29 | 2009-09-04 | Sefac Sa | Dispositif de levage |
| DE102010049677A1 (de) * | 2010-09-27 | 2012-03-29 | Stama Maschinenfabrik Gmbh | Werkzeugmaschine |
| KR101379834B1 (ko) * | 2012-05-11 | 2014-04-01 | 순환엔지니어링 주식회사 | 승강모듈 및 이를 사용한 승강장치 |
| CN111439696A (zh) * | 2020-04-27 | 2020-07-24 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 一种可用于低窄空间的小螺杆顶座及其应用 |
-
1994
- 1994-09-02 JP JP23411594A patent/JP2876388B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0873193A (ja) | 1996-03-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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