JP2875158B2 - 電気絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法 - Google Patents
電気絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法Info
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- JP2875158B2 JP2875158B2 JP6116249A JP11624994A JP2875158B2 JP 2875158 B2 JP2875158 B2 JP 2875158B2 JP 6116249 A JP6116249 A JP 6116249A JP 11624994 A JP11624994 A JP 11624994A JP 2875158 B2 JP2875158 B2 JP 2875158B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、満足できる電気絶縁性
を有するアルミナ溶射皮膜を製造する方法、及び得られ
たアルミナ溶射皮膜に関するものである。
を有するアルミナ溶射皮膜を製造する方法、及び得られ
たアルミナ溶射皮膜に関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】プラズマ溶射して得られる
アルミナ溶射皮膜は、厚さを５００μｍ以上としなけれ
ば、電気絶縁性を有するものとはならない。しかし、厚
さ５００μｍ以上のアルミナ溶射皮膜を得ようとする
と、冷却中に割れ、剥離が生じるため、現実には得られ
ない。
アルミナ溶射皮膜は、厚さを５００μｍ以上としなけれ
ば、電気絶縁性を有するものとはならない。しかし、厚
さ５００μｍ以上のアルミナ溶射皮膜を得ようとする
と、冷却中に割れ、剥離が生じるため、現実には得られ
ない。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、満足できる電気絶縁性を有す
るアルミナ溶射皮膜を確実に得ることができる製造方法
を提供すること、及び満足できる電気絶縁性を有するア
ルミナ溶射皮膜を提供することを目的とする。
るアルミナ溶射皮膜を確実に得ることができる製造方法
を提供すること、及び満足できる電気絶縁性を有するア
ルミナ溶射皮膜を提供することを目的とする。
【０００４】
【目的を達成するための手段】本願の第１の発明の電気
絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法は、所定の温度制御
下で、母材表面にアルミナ粉体をプラズマ溶射して、厚
さ５００μｍ以上の溶射皮膜を形成する、溶射皮膜形成
工程と、形成された溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充
填する充填工程とからなり、溶射皮膜形成工程におい
て、上記プラズマ溶射は、溶射サイクルを繰り返して行
うものであり、上記所定の温度制御は、溶射サイクル毎
に得られる溶射皮膜の表面温度を、冷却エアーを用いる
ことによって、１００℃以上２００℃以下の範囲内に制
御するものであり、充填工程は、形成された溶射皮膜
を、３５℃以上７５℃以下の範囲内まで放冷し、金属ア
ルコキシドの重合体の溶液中に浸漬するだけで上記溶射
皮膜の気孔中に上記金属アルコキシドの重合体を侵入さ
せ、上記溶液中から引き上げて風乾させることにより更
に上記金属アルコキシドの重合体の加水分解と重合を進
行させた後、焼成するものであることを特徴としてい
る。
絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法は、所定の温度制御
下で、母材表面にアルミナ粉体をプラズマ溶射して、厚
さ５００μｍ以上の溶射皮膜を形成する、溶射皮膜形成
工程と、形成された溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充
填する充填工程とからなり、溶射皮膜形成工程におい
て、上記プラズマ溶射は、溶射サイクルを繰り返して行
うものであり、上記所定の温度制御は、溶射サイクル毎
に得られる溶射皮膜の表面温度を、冷却エアーを用いる
ことによって、１００℃以上２００℃以下の範囲内に制
御するものであり、充填工程は、形成された溶射皮膜
を、３５℃以上７５℃以下の範囲内まで放冷し、金属ア
ルコキシドの重合体の溶液中に浸漬するだけで上記溶射
皮膜の気孔中に上記金属アルコキシドの重合体を侵入さ
せ、上記溶液中から引き上げて風乾させることにより更
に上記金属アルコキシドの重合体の加水分解と重合を進
行させた後、焼成するものであることを特徴としてい
る。
【０００５】本願の第２の発明の電気絶縁性アルミナ溶
射皮膜の製造方法は、所定の温度制御下で、母材表面に
アルミナ粉体をプラズマ溶射して、厚さ５００μｍ以上
の溶射皮膜を形成する、溶射皮膜形成工程と、形成され
た溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充填する充填工程と
からなり、溶射皮膜形成工程において、上記プラズマ溶
射は、溶射サイクルを繰り返して行うものであり、上記
所定の温度制御は、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜
の表面温度を、冷却エアーを用いることによって、１０
０℃以上２００℃以下の範囲内に制御するものであり、
充填工程は、形成された溶射皮膜を、３５℃以上７５℃
以下の範囲内まで放冷し、金属アルコキシドの重合体の
溶液中に浸漬して陽極とし、その溶液中に浸した陰極と
の間に電流を流し電気泳動によって上記溶射皮膜の気孔
中に上記金属アルコキシドの重合体を侵入させ、上記溶
液中から引き上げて風乾させることにより更に上記金属
アルコキシドの重合体の加水分解と重合を進行させた
後、焼成するものであることを特徴としている。
射皮膜の製造方法は、所定の温度制御下で、母材表面に
アルミナ粉体をプラズマ溶射して、厚さ５００μｍ以上
の溶射皮膜を形成する、溶射皮膜形成工程と、形成され
た溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充填する充填工程と
からなり、溶射皮膜形成工程において、上記プラズマ溶
射は、溶射サイクルを繰り返して行うものであり、上記
所定の温度制御は、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜
の表面温度を、冷却エアーを用いることによって、１０
０℃以上２００℃以下の範囲内に制御するものであり、
充填工程は、形成された溶射皮膜を、３５℃以上７５℃
以下の範囲内まで放冷し、金属アルコキシドの重合体の
溶液中に浸漬して陽極とし、その溶液中に浸した陰極と
の間に電流を流し電気泳動によって上記溶射皮膜の気孔
中に上記金属アルコキシドの重合体を侵入させ、上記溶
液中から引き上げて風乾させることにより更に上記金属
アルコキシドの重合体の加水分解と重合を進行させた
後、焼成するものであることを特徴としている。
【０００６】
【０００７】金属アルコキシドとしては、「ゾル−ゲル
法の科学」（著者：作花済夫、発行所：株式会社アグネ
承風社、発行日：１９８８年７月５日）の２０頁の表
３．２に記載のものを用い得る。例えば、Ａｌ（ＯＣ3
Ｈ7）4、Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4、Ｔｉ（ＯＣＨ3）4、Ｚｒ
（ＯＣ4Ｈ9）4等がある。
法の科学」（著者：作花済夫、発行所：株式会社アグネ
承風社、発行日：１９８８年７月５日）の２０頁の表
３．２に記載のものを用い得る。例えば、Ａｌ（ＯＣ3
Ｈ7）4、Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4、Ｔｉ（ＯＣＨ3）4、Ｚｒ
（ＯＣ4Ｈ9）4等がある。
【０００８】金属アルコキシドの重合体の溶液は、金属
アルコキシドを水を含んだアルコール及び適量の酸の混
合溶液中に溶解させて調製する。
アルコキシドを水を含んだアルコール及び適量の酸の混
合溶液中に溶解させて調製する。
【０００９】上記第１の発明では浸漬するだけで、ま
た、上記第２の発明では電気泳動することによって、ア
ルミナ溶射皮膜の気孔中へ金属アルコキシドの重合体を
侵入させている。
た、上記第２の発明では電気泳動することによって、ア
ルミナ溶射皮膜の気孔中へ金属アルコキシドの重合体を
侵入させている。
【００１０】電気泳動は、例えば図１に示すような装置
で行なう。図において、１０は電源、１１は陽極である
アルミナ溶射皮膜、１２は陰極、１３は容器１４内の金
属アルコキシドの重合体の溶液である。
で行なう。図において、１０は電源、１１は陽極である
アルミナ溶射皮膜、１２は陰極、１３は容器１４内の金
属アルコキシドの重合体の溶液である。
【００１１】風乾即ち空気中に晒す時間は、付着した金
属アルコキシドの重合体の加水分解と重合が更に進行し
て略完了するまでとする。
属アルコキシドの重合体の加水分解と重合が更に進行し
て略完了するまでとする。
【００１２】焼成は通常の方法により行なう。
【００１３】
【作用】金属アルコキシドを水を含んだアルコール及び
適量の酸の混合溶液中に溶解させると、金属アルコキシ
ドは部分的に加水分解された状態で重合し、溶液中には
金属アルコキシドの重合体が生成する。この金属アルコ
キシドの重合体は、数分子の金属アルコキシドの金属同
士が酸素を介して結合し、金属には未だアルコキシル基
が結合してなるものである。金属アルコキシドの重合体
は、風乾すると、空気中の水分により更に加水分解が進
行すると同時に重合が進行し、また、アルコールが蒸発
し、焼成すると、金属酸化物となる。
適量の酸の混合溶液中に溶解させると、金属アルコキシ
ドは部分的に加水分解された状態で重合し、溶液中には
金属アルコキシドの重合体が生成する。この金属アルコ
キシドの重合体は、数分子の金属アルコキシドの金属同
士が酸素を介して結合し、金属には未だアルコキシル基
が結合してなるものである。金属アルコキシドの重合体
は、風乾すると、空気中の水分により更に加水分解が進
行すると同時に重合が進行し、また、アルコールが蒸発
し、焼成すると、金属酸化物となる。
【００１４】プラズマ溶射して得られたアルミナ溶射皮
膜を、金属アルコキシドの重合体の溶液中に、浸漬する
と、又は浸漬して電気泳動を行なうと、アルミナ溶射皮
膜の気孔中に金属アルコキシドの重合体が侵入する。侵
入した金属アルコキシドの重合体は、その後の風乾及び
焼成により金属酸化物となる。即ち、アルミナ溶射皮膜
の気孔は金属酸化物で充填される。
膜を、金属アルコキシドの重合体の溶液中に、浸漬する
と、又は浸漬して電気泳動を行なうと、アルミナ溶射皮
膜の気孔中に金属アルコキシドの重合体が侵入する。侵
入した金属アルコキシドの重合体は、その後の風乾及び
焼成により金属酸化物となる。即ち、アルミナ溶射皮膜
の気孔は金属酸化物で充填される。
【００１５】プラズマ溶射の際、溶射サイクル毎に得ら
れる溶射皮膜の表面温度が１００℃より低くなるよう制
御すると、アルミナ溶射皮膜は殆んど形成されない。ま
た、２００℃より高くなるよう制御すると、後工程にお
ける放冷中にアルミナ溶射皮膜に割れ、剥離が生じる。
本発明では、１００℃以上２００℃以下の範囲内に制御
しているので、厚さ５００μｍ以上のアルミナ溶射皮膜
が剥離等を生じることなく得られる。従って、電気絶縁
性を有するアルミナ溶射皮膜が得られる。なお、プラズ
マ溶射で得られたアルミナ溶射皮膜には、目視できない
程度の大きさの気孔が多数存在している。
れる溶射皮膜の表面温度が１００℃より低くなるよう制
御すると、アルミナ溶射皮膜は殆んど形成されない。ま
た、２００℃より高くなるよう制御すると、後工程にお
ける放冷中にアルミナ溶射皮膜に割れ、剥離が生じる。
本発明では、１００℃以上２００℃以下の範囲内に制御
しているので、厚さ５００μｍ以上のアルミナ溶射皮膜
が剥離等を生じることなく得られる。従って、電気絶縁
性を有するアルミナ溶射皮膜が得られる。なお、プラズ
マ溶射で得られたアルミナ溶射皮膜には、目視できない
程度の大きさの気孔が多数存在している。
【００１６】なお、上記のような温度制御を行ないなが
らプラズマ溶射により溶射皮膜を形成する作業は、図２
及び図３に示すように行なう。まず、図２に示すよう
に、母材１表面をプラズマの熱により２００℃〜２５０
℃まで加温する。次に、図３に示すように、母材１表面
にアルミナ粉体をプラズマ溶射する。プラズマ溶射は、
溶射サイクルを繰返して行なうが、溶射サイクル毎に得
られる溶射皮膜１１ａの表面温度が１００℃以上２００
℃以下となるよう、溶射サイクルや冷却エアーによって
温度制御しながら行なう。溶射皮膜１１ａ表面の温度測
定は、温度計２０のプローブ２１を溶射皮膜表面に接触
させることにより行なう。
らプラズマ溶射により溶射皮膜を形成する作業は、図２
及び図３に示すように行なう。まず、図２に示すよう
に、母材１表面をプラズマの熱により２００℃〜２５０
℃まで加温する。次に、図３に示すように、母材１表面
にアルミナ粉体をプラズマ溶射する。プラズマ溶射は、
溶射サイクルを繰返して行なうが、溶射サイクル毎に得
られる溶射皮膜１１ａの表面温度が１００℃以上２００
℃以下となるよう、溶射サイクルや冷却エアーによって
温度制御しながら行なう。溶射皮膜１１ａ表面の温度測
定は、温度計２０のプローブ２１を溶射皮膜表面に接触
させることにより行なう。
【００１７】プラズマ溶射で形成されたアルミナ溶射皮
膜を３５℃より低い温度まで放冷して作業を進めると、
満足できる絶縁性を有するものは得られない。７５℃よ
り高い温度の場合には、アルミナ溶射皮膜に割れ、剥離
が生じる。この理由は、次のように考えられる。即ち、
一般に、溶液の温度より高い温度の溶射皮膜を溶液中に
浸漬すると、当然に溶射皮膜の温度は低下するが、この
とき、溶射皮膜の気孔中の空気も冷やされ、そのために
溶液が吸い込まれるようにして気孔中に入る。しかし、
溶液の温度が高すぎると、熱衝撃が生じ、溶射皮膜に割
れ、剥離が生じる。本発明では、放冷温度を３５℃以上
に設定しているので、アルミナ溶射皮膜の気孔には金属
アルコキシドの重合体の溶液が充分に侵入し、気孔は金
属酸化物により充填される。従って、満足できる絶縁性
を有するアルミナ溶射皮膜が得られる。しかも、放冷温
度を７５℃以下に設定しているので、アルミナ溶射皮膜
が剥離等を生じることなく得られる。
膜を３５℃より低い温度まで放冷して作業を進めると、
満足できる絶縁性を有するものは得られない。７５℃よ
り高い温度の場合には、アルミナ溶射皮膜に割れ、剥離
が生じる。この理由は、次のように考えられる。即ち、
一般に、溶液の温度より高い温度の溶射皮膜を溶液中に
浸漬すると、当然に溶射皮膜の温度は低下するが、この
とき、溶射皮膜の気孔中の空気も冷やされ、そのために
溶液が吸い込まれるようにして気孔中に入る。しかし、
溶液の温度が高すぎると、熱衝撃が生じ、溶射皮膜に割
れ、剥離が生じる。本発明では、放冷温度を３５℃以上
に設定しているので、アルミナ溶射皮膜の気孔には金属
アルコキシドの重合体の溶液が充分に侵入し、気孔は金
属酸化物により充填される。従って、満足できる絶縁性
を有するアルミナ溶射皮膜が得られる。しかも、放冷温
度を７５℃以下に設定しているので、アルミナ溶射皮膜
が剥離等を生じることなく得られる。
【００１８】図１において、陽極であるアルミナ溶射皮
膜１１と陰極１２との間に電源１０から電流を流すと、
電気泳動によって、金属アルコキシドの重合体は溶射皮
膜１１の方へ移動して、溶射皮膜１１の気孔中に侵入し
ていく。電気泳動であるので、金属アルコキシドの重合
体は、溶射皮膜１１の全ての気孔中に充分に侵入してい
く。
膜１１と陰極１２との間に電源１０から電流を流すと、
電気泳動によって、金属アルコキシドの重合体は溶射皮
膜１１の方へ移動して、溶射皮膜１１の気孔中に侵入し
ていく。電気泳動であるので、金属アルコキシドの重合
体は、溶射皮膜１１の全ての気孔中に充分に侵入してい
く。
【００１９】
【実施例】（実施例１） アルミニウム合金材（Ａ５０８３Ｐ−Ｏ材）からなる母
材表面をブラスト処理し、その母材表面に、ホワイトア
ルミナ（α−Ａｌ2Ｏ3、純度９９．６％、平均粒径約２
０μｍ）を出力２５０ｋＷでプラズマ溶射し、厚さ約６
００μｍの溶射皮膜を形成した。なお、プラズマ溶射の
際において、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面
温度が常に１６０〜１９０℃の範囲内となるよう制御し
た。
材表面をブラスト処理し、その母材表面に、ホワイトア
ルミナ（α−Ａｌ2Ｏ3、純度９９．６％、平均粒径約２
０μｍ）を出力２５０ｋＷでプラズマ溶射し、厚さ約６
００μｍの溶射皮膜を形成した。なお、プラズマ溶射の
際において、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面
温度が常に１６０〜１９０℃の範囲内となるよう制御し
た。
【００２０】一方、シリコンアルコキシド（Ｓｉ（ＯＣ
2Ｈ5）4）５９ｍｌと、エタノール１１９ｍｌと、水５
９ｍｌとを混合し、この混合液に、９８％硫酸０．２ｍ
ｌを添加して、シリコンアルコキシドの重合体の溶液を
調整した。
2Ｈ5）4）５９ｍｌと、エタノール１１９ｍｌと、水５
９ｍｌとを混合し、この混合液に、９８％硫酸０．２ｍ
ｌを添加して、シリコンアルコキシドの重合体の溶液を
調整した。
【００２１】そして、上記溶射皮膜を、５０℃まで放冷
し、上記重合体の溶液に５分間浸漬した後、引き上げ、
メタノールに浸漬後、水洗し、３０分間風乾させた後、
電気炉で、２００℃、１時間熱処理した。
し、上記重合体の溶液に５分間浸漬した後、引き上げ、
メタノールに浸漬後、水洗し、３０分間風乾させた後、
電気炉で、２００℃、１時間熱処理した。
【００２２】得られた溶射皮膜に対し、ＪＩＳ−Ｃ２１
１０に基づく絶縁破壊試験を行なった。その結果、絶縁
破壊電圧は、油中で５．５〜６．０ｋＶ、気中で３．５
〜４．０ｋＶであった。
１０に基づく絶縁破壊試験を行なった。その結果、絶縁
破壊電圧は、油中で５．５〜６．０ｋＶ、気中で３．５
〜４．０ｋＶであった。
【００２３】放冷温度の検討 溶射皮膜の放冷温度を種々設定し、その他は実施例１と
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表１に示す。
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】実施例１及び表１からわかるように、放冷
温度が３５℃以上７５℃以下の範囲内である場合には、
満足できる絶縁性が得られた。
温度が３５℃以上７５℃以下の範囲内である場合には、
満足できる絶縁性が得られた。
【００２６】溶射皮膜表面温度の検討 溶射皮膜の表面温度を種々設定し、その他は実施例１と
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表２に示す。
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表２に示す。
【００２７】
【表２】
【００２８】実施例１及び表２からわかるように、１０
０℃以上２００℃以下の範囲内でプラズマ溶射した場合
には、良好に溶射皮膜を得ることができた。
０℃以上２００℃以下の範囲内でプラズマ溶射した場合
には、良好に溶射皮膜を得ることができた。
【００２９】（実施例２） 純アルミニウム材（Ａ１１００Ｐ−２４材）からなる母
材表面をブラスト処理し、その母材表面に、ホワイトア
ルミナ（α−Ａｌ2Ｏ3、純度９９．６％、平均粒径約１
０μｍ）を出力２５０ｋＷでプラズマ溶射し、厚さ約８
５０μｍの溶射皮膜を形成した。なお、プラズマ溶射の
際において、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面
温度が常に１４０〜１６５℃の範囲内となるよう制御し
た。
材表面をブラスト処理し、その母材表面に、ホワイトア
ルミナ（α−Ａｌ2Ｏ3、純度９９．６％、平均粒径約１
０μｍ）を出力２５０ｋＷでプラズマ溶射し、厚さ約８
５０μｍの溶射皮膜を形成した。なお、プラズマ溶射の
際において、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面
温度が常に１４０〜１６５℃の範囲内となるよう制御し
た。
【００３０】一方、アルミニウムアルコキシド（Ａｌ
（ＯＣ3Ｈ7）3）５９ｍｌと、エタノール１１９ｍｌ
と、水５９ｍｌとを混合し、この混合液に、９８％硫酸
０．２ｍｌを添加して、アルミニウムアルコキシドの重
合体の溶液を調整した。
（ＯＣ3Ｈ7）3）５９ｍｌと、エタノール１１９ｍｌ
と、水５９ｍｌとを混合し、この混合液に、９８％硫酸
０．２ｍｌを添加して、アルミニウムアルコキシドの重
合体の溶液を調整した。
【００３１】そして、上記溶射皮膜を、４０℃まで放冷
し、上記重合体の溶液に浸漬して陽極とし、チタン板を
陰極として、両極間に直流電圧５０Ｖを３分間印加し
た。その後、引き上げ、メタノールに浸漬後、水洗し、
３０分間風乾させた後、電気炉で、２５０℃、１時間熱
処理した。
し、上記重合体の溶液に浸漬して陽極とし、チタン板を
陰極として、両極間に直流電圧５０Ｖを３分間印加し
た。その後、引き上げ、メタノールに浸漬後、水洗し、
３０分間風乾させた後、電気炉で、２５０℃、１時間熱
処理した。
【００３２】得られた溶射皮膜に対し、ＪＩＳ−Ｃ２１
１０に基づく絶縁破壊試験を行なった。その結果、絶縁
破壊電圧は、油中で６．５〜７．５ｋＶ、気中で４．５
〜５．５ｋＶであった。
１０に基づく絶縁破壊試験を行なった。その結果、絶縁
破壊電圧は、油中で６．５〜７．５ｋＶ、気中で４．５
〜５．５ｋＶであった。
【００３３】放冷温度の検討 溶射皮膜の放冷温度を種々設定し、その他は実施例２と
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表３に示す。
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表３に示す。
【００３４】
【表３】
【００３５】実施例２及び表３からわかるように、放冷
温度が３５℃以上７５℃以下の範囲内である場合には、
満足できる絶縁性が得られた。
温度が３５℃以上７５℃以下の範囲内である場合には、
満足できる絶縁性が得られた。
【００３６】溶射皮膜表面温度の検討 溶射皮膜の表面温度を種々設定し、その他は実施例２と
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表４に示す。
同様に行ない、得られた溶射皮膜に対して同様の試験を
行なった。その結果を表４に示す。
【００３７】
【表４】
【００３８】実施例２及び表４からわかるように、１０
０℃以上２００℃以下の範囲内でプラズマ溶射した場合
には、良好に溶射皮膜を得ることができた。
０℃以上２００℃以下の範囲内でプラズマ溶射した場合
には、良好に溶射皮膜を得ることができた。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、請求項１及び請求項２に
記載の発明によれば、特に、プラズマ溶射の際の溶射皮
膜の表面温度を１００℃以上２００℃以下に、また、放
冷温度を３５℃以上７５℃以下に、それぞれ制御したの
で、満足できる電気絶縁性を有するアルミナ溶射皮膜を
得ることができる。
記載の発明によれば、特に、プラズマ溶射の際の溶射皮
膜の表面温度を１００℃以上２００℃以下に、また、放
冷温度を３５℃以上７５℃以下に、それぞれ制御したの
で、満足できる電気絶縁性を有するアルミナ溶射皮膜を
得ることができる。
【００４０】
【図１】 電気泳動を行なうための装置を示す模式断面
図である。
図である。
【図２】 プラズマ溶射の作業を示す斜視図である。
【図３】 プラズマ溶射の作業を示す斜視図である。
１１ アルミナ溶射皮膜 １３ 金属アルコキシドの重合体の溶液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 萩野 清二 大阪府大阪市淀川区三国本町３丁目９番 39号 株式会社日本アルミ内 (56)参考文献 特開 平６−346217（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−305866（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−171402（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−294457（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−293153（ＪＰ，Ａ) 特公 昭59−12747（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 4/00 - 6/00
Claims (2)
- 【請求項１】 所定の温度制御下で、母材表面にアルミ
ナ粉体をプラズマ溶射して、厚さ５００μｍ以上の溶射
皮膜を形成する、溶射皮膜形成工程と、 形成された溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充填する充
填工程とからなり、 溶射皮膜形成工程において、上記プラズマ溶射は、溶射
サイクルを繰り返して行うものであり、上記所定の温度
制御は、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面温度
を、冷却エアーを用いることによって、１００℃以上２
００℃以下の範囲内に制御するものであり、 充填工程は、形成された溶射皮膜を、３５℃以上７５℃
以下の範囲内まで放冷し、金属アルコキシドの重合体の
溶液中に浸漬するだけで上記溶射皮膜の気孔中に上記金
属アルコキシドの重合体を侵入させ、上記溶液中から引
き上げて風乾させることにより更に上記金属アルコキシ
ドの重合体の加水分解と重合を進行させた後、焼成する
ものであることを特徴とする電気絶縁性アルミナ溶射皮
膜の製造方法。 - 【請求項２】 所定の温度制御下で、母材表面にアルミ
ナ粉体をプラズマ溶射して、厚さ５００μｍ以上の溶射
皮膜を形成する、溶射皮膜形成工程と、 形成された溶射皮膜の気孔中に金属酸化物を充填する充
填工程とからなり、 溶射皮膜形成工程において、上記プラズマ溶射は、溶射
サイクルを繰り返して行うものであり、上記所定の温度
制御は、溶射サイクル毎に得られる溶射皮膜の表面温度
を、冷却エアーを用いることによって、１００℃以上２
００℃以下の範囲内に制御するものであり、 充填工程は、形成された溶射皮膜を、３５℃以上７５℃
以下の範囲内まで放冷し、金属アルコキシドの重合体の
溶液中に浸漬して陽極とし、その溶液中に浸した陰極と
の間に電流を流し電気泳動によって上記溶射皮膜の気孔
中に上記金属アルコキシドの重合体を侵入させ、上記溶
液中から引き上げて風乾させることにより更に上記金属
アルコキシドの重合体の加水分解と重合を進行させた
後、焼成するものであることを特徴とする電気絶縁性ア
ルミナ溶射皮膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116249A JP2875158B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 電気絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116249A JP2875158B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 電気絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07316773A JPH07316773A (ja) | 1995-12-05 |
| JP2875158B2 true JP2875158B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=14682465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6116249A Expired - Lifetime JP2875158B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 電気絶縁性アルミナ溶射皮膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2875158B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007217748A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Taiheiyo Cement Corp | マシナブルセラミックス基板への溶射皮膜の形成方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2550331B2 (ja) * | 1986-11-15 | 1996-11-06 | コニカ株式会社 | ハロゲン化銀カラ−写真感光材料 |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP6116249A patent/JP2875158B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07316773A (ja) | 1995-12-05 |
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