JP2872213B2 - 振動構造ジャイロスコープ - Google Patents
振動構造ジャイロスコープInfo
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- JP2872213B2 JP2872213B2 JP10036455A JP3645598A JP2872213B2 JP 2872213 B2 JP2872213 B2 JP 2872213B2 JP 10036455 A JP10036455 A JP 10036455A JP 3645598 A JP3645598 A JP 3645598A JP 2872213 B2 JP2872213 B2 JP 2872213B2
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- gyroscope
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動構造ジャイロ
スコープに関する。
スコープに関する。
【０００２】
【従来の技術】振動構造ジャイロスコープは、基準とな
る回転フレーム内で粒子が直線運動した時に生じるコリ
オリの力によって機能する。この技術の実用的な例は、
米国特許第Ａ−５２２６３２１号及び同第Ａ−４６５５
０８１号に開示されている。米国特許第Ａ−５２２６３
２１号は、このような振動構造ジャイロスコープの振動
要素、即ち、共振器に平らな輪又はリング状の構造体を
使用することを開示しており、ここでは共振器は従来の
機械加工又はシリコン処理技術を使用するミクロ機械加
工で加工される。これらの平らな構造体は概してｃｏｓ
２θモードに励振される。共振器が完全に対称形状の場
合、ｃｏｓ２θモードは４５゜は、相互に４５゜の角度
を成す一対の良くない振動モードとして存在する。これ
らは、図１Ａ及びＢに概略的に示されている。図１には
第１軸Ｐと第２軸Ｓに関する構造体の振動が示されてい
る。従って、図１Ａ及びＢは、共振器の形状を、単一の
振動周期間における二つの反対の変化のポイントで示し
ている。これらのモードの一方（図１Ａ）は搬送モード
として励振されている。構造体がリングの平面に対して
垂直な軸線の周りで回転する時、コリオリの力はエネル
ギを第２応答モード（図１Ｂ）に結合する。応答モード
の動きの振幅から、加えられた回転速度は直接測定され
る。
る回転フレーム内で粒子が直線運動した時に生じるコリ
オリの力によって機能する。この技術の実用的な例は、
米国特許第Ａ−５２２６３２１号及び同第Ａ−４６５５
０８１号に開示されている。米国特許第Ａ−５２２６３
２１号は、このような振動構造ジャイロスコープの振動
要素、即ち、共振器に平らな輪又はリング状の構造体を
使用することを開示しており、ここでは共振器は従来の
機械加工又はシリコン処理技術を使用するミクロ機械加
工で加工される。これらの平らな構造体は概してｃｏｓ
２θモードに励振される。共振器が完全に対称形状の場
合、ｃｏｓ２θモードは４５゜は、相互に４５゜の角度
を成す一対の良くない振動モードとして存在する。これ
らは、図１Ａ及びＢに概略的に示されている。図１には
第１軸Ｐと第２軸Ｓに関する構造体の振動が示されてい
る。従って、図１Ａ及びＢは、共振器の形状を、単一の
振動周期間における二つの反対の変化のポイントで示し
ている。これらのモードの一方（図１Ａ）は搬送モード
として励振されている。構造体がリングの平面に対して
垂直な軸線の周りで回転する時、コリオリの力はエネル
ギを第２応答モード（図１Ｂ）に結合する。応答モード
の動きの振幅から、加えられた回転速度は直接測定され
る。
【０００３】米国特許第Ａ−４６５５０８１号は、共振
器が様々な手段で励振され得ることを開示している。前
記手段は、好ましくは電磁的手段であるが、光学的手
段、熱膨張手段、圧電又は静電効果も含み、共振器の振
動は、好ましくは、静電（容量）手段によって感知され
る。
器が様々な手段で励振され得ることを開示している。前
記手段は、好ましくは電磁的手段であるが、光学的手
段、熱膨張手段、圧電又は静電効果も含み、共振器の振
動は、好ましくは、静電（容量）手段によって感知され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構造
には幾つかの欠点がある。第１に、容量式振動感知手段
又はピックオフは、ジャイロに振動入力を感知させ得る
共振器の振動面に垂直な面の振動を感知してしまう。第
２に、容量式ピックオフを使用する場合、感知を可能に
するためにピックオフと振動共振器との間の間隙を非常
に小さくする必要がある。間隙が小さいと、エッチング
処理中にシリコン構造体の残りから共振器部分を取り外
す妨げとなるスティクションの問題が生じるので、シリ
コンウェハからの製造中の生産量の問題を生じさせる。
さらに別の欠点は、デザインが非対称であることであ
り、これは、最終組み立て中に感知手段又はピックオフ
を続けて方向ぎめすることを必要とする。共振器構造体
が非対称であることは、Ｃｏｓ２θモード周波数のスプ
リットが生じる一因となり、センサの性能を低下させ
る。従って、本発明は少なくとも前記した欠点を最小限
に抑えることができるように改善された振動構造ジャイ
ロスコープを提供することを目的としている。本発明の
他の目的及び利点は、本発明の好ましい実施の形態を示
した以下の説明からより明らかになる。
には幾つかの欠点がある。第１に、容量式振動感知手段
又はピックオフは、ジャイロに振動入力を感知させ得る
共振器の振動面に垂直な面の振動を感知してしまう。第
２に、容量式ピックオフを使用する場合、感知を可能に
するためにピックオフと振動共振器との間の間隙を非常
に小さくする必要がある。間隙が小さいと、エッチング
処理中にシリコン構造体の残りから共振器部分を取り外
す妨げとなるスティクションの問題が生じるので、シリ
コンウェハからの製造中の生産量の問題を生じさせる。
さらに別の欠点は、デザインが非対称であることであ
り、これは、最終組み立て中に感知手段又はピックオフ
を続けて方向ぎめすることを必要とする。共振器構造体
が非対称であることは、Ｃｏｓ２θモード周波数のスプ
リットが生じる一因となり、センサの性能を低下させ
る。従って、本発明は少なくとも前記した欠点を最小限
に抑えることができるように改善された振動構造ジャイ
ロスコープを提供することを目的としている。本発明の
他の目的及び利点は、本発明の好ましい実施の形態を示
した以下の説明からより明らかになる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの特徴によ
れば、共通軸線の周りに伸びる内側円周部及び外側円周
部を持つ実質的にリング又は輪のような形状の構造体を
備えた実質的に平らな振動共振器と、共振器に振動を生
じさせる電磁駆動手段と、共振器を支持する複数の可撓
性支持ビームを有する支持手段と、共振器の動きを感知
する電磁感知手段とを有し、前記支持ビームが共振器を
電磁駆動手段に応答して実質的に不減衰振動モードで振
動できるようにして、前記共振器が回転速度に応じて支
持手段に対して動けるようにし、前記支持ビーム及び共
振器をシリコンで形成し、前記電磁駆動手段及び電磁感
知手段がリング又は輪のような形状の構造である共振器
と支持ビームとの上に金属トラックを備え、かつ、振動
共振器の平面に対して実質的に垂直な磁場を発生させる
手段を有する振動構造ジャイロスコープが提供される。
好ましくは、前記支持手段はフレームを備え、前記フレ
ームは実質的に堅固であり、共振器を囲み、かつ、フレ
ームと共振器との間に伸びる支持ビームによってリング
又は輪のような形状の構造である共振器の外側円周部に
連結される。都合良くは、記支持ビームは８つあり、そ
れらは同じ角度で離間される。有利には、各支持ビーム
には、その長手方向に沿って外面に伸びる三つの横方向
に離間したトラックを設けられ、前記トラックの共振器
に対する最外端部は接合パッドに接続され、二つのトラ
ックの最内端部は、共振器の実質的に平らな外表面の回
りを、支持ビームの数に対応する数のその弓形部分に亘
って反対方向に延長させられ、かつ、それらの最内端部
は隣接する支持ビーム上のトラックの最内端部に接続さ
れる。また、好ましくは、各支持ビーム上に横方向に離
間して並べられた三つのトラックの中央トラックは共振
器まで伸ばされ、支持ビームと共振器の接合部分の近く
で終端させられ、支持ビームの他の二つのトラック間の
静電結合を最低限に抑える。都合良くは、共振器の実質
的に平らな外表面及び支持ビームにおける、前記トラッ
クと支持ビーム及び共振器のシリコンとの間には、シリ
コン酸化物層が設けられ、それによりシリコンからトラ
ックが絶縁され、かつ、適当な位置でシリコン酸化物層
を貫通して中央トラックをシリコンに連結する連結ポイ
ントが設けられ、それによって、隣接するトラック間の
望ましくない容量信号結合が低減される。有利には、ジ
ャイロスコープは、適当な弓形トラックに電流を流して
共振器に動力を供給する手段を有し、感知手段は、共振
器が垂直磁場内で動いた時に適当な弓形トラックを横切
って発生する電圧を検出することによって共振器の振動
を検知する。好ましくは、ジャイロスコープは磁場を共
振器のリング又は輪のような領域に集中させるリング磁
極手段を有する。都合良くは、ジャイロスコープは磁性
体材料で形成されたハウジングを備え、該ハウジング内
に共振器、磁場手段、支持手段、電磁駆動手段、及び電
磁感知手段を収容すると共に、ハウジングと支持手段と
の間に非磁性体スペーサが設けられる。
れば、共通軸線の周りに伸びる内側円周部及び外側円周
部を持つ実質的にリング又は輪のような形状の構造体を
備えた実質的に平らな振動共振器と、共振器に振動を生
じさせる電磁駆動手段と、共振器を支持する複数の可撓
性支持ビームを有する支持手段と、共振器の動きを感知
する電磁感知手段とを有し、前記支持ビームが共振器を
電磁駆動手段に応答して実質的に不減衰振動モードで振
動できるようにして、前記共振器が回転速度に応じて支
持手段に対して動けるようにし、前記支持ビーム及び共
振器をシリコンで形成し、前記電磁駆動手段及び電磁感
知手段がリング又は輪のような形状の構造である共振器
と支持ビームとの上に金属トラックを備え、かつ、振動
共振器の平面に対して実質的に垂直な磁場を発生させる
手段を有する振動構造ジャイロスコープが提供される。
好ましくは、前記支持手段はフレームを備え、前記フレ
ームは実質的に堅固であり、共振器を囲み、かつ、フレ
ームと共振器との間に伸びる支持ビームによってリング
又は輪のような形状の構造である共振器の外側円周部に
連結される。都合良くは、記支持ビームは８つあり、そ
れらは同じ角度で離間される。有利には、各支持ビーム
には、その長手方向に沿って外面に伸びる三つの横方向
に離間したトラックを設けられ、前記トラックの共振器
に対する最外端部は接合パッドに接続され、二つのトラ
ックの最内端部は、共振器の実質的に平らな外表面の回
りを、支持ビームの数に対応する数のその弓形部分に亘
って反対方向に延長させられ、かつ、それらの最内端部
は隣接する支持ビーム上のトラックの最内端部に接続さ
れる。また、好ましくは、各支持ビーム上に横方向に離
間して並べられた三つのトラックの中央トラックは共振
器まで伸ばされ、支持ビームと共振器の接合部分の近く
で終端させられ、支持ビームの他の二つのトラック間の
静電結合を最低限に抑える。都合良くは、共振器の実質
的に平らな外表面及び支持ビームにおける、前記トラッ
クと支持ビーム及び共振器のシリコンとの間には、シリ
コン酸化物層が設けられ、それによりシリコンからトラ
ックが絶縁され、かつ、適当な位置でシリコン酸化物層
を貫通して中央トラックをシリコンに連結する連結ポイ
ントが設けられ、それによって、隣接するトラック間の
望ましくない容量信号結合が低減される。有利には、ジ
ャイロスコープは、適当な弓形トラックに電流を流して
共振器に動力を供給する手段を有し、感知手段は、共振
器が垂直磁場内で動いた時に適当な弓形トラックを横切
って発生する電圧を検出することによって共振器の振動
を検知する。好ましくは、ジャイロスコープは磁場を共
振器のリング又は輪のような領域に集中させるリング磁
極手段を有する。都合良くは、ジャイロスコープは磁性
体材料で形成されたハウジングを備え、該ハウジング内
に共振器、磁場手段、支持手段、電磁駆動手段、及び電
磁感知手段を収容すると共に、ハウジングと支持手段と
の間に非磁性体スペーサが設けられる。
【０００６】
【０００７】以下、添付図面に示した実施例を参照しな
がら本発明に係る振動構造ジャイロスコープの実施の形
態について説明していく。
がら本発明に係る振動構造ジャイロスコープの実施の形
態について説明していく。
【０００８】本発明による振動構造ジャイロスコープ
は、添付図画の図２から図７に示すように、実質的に平
らな 振動共振器１を備え、前記振動共振器１は、内側
円周部２及び外側円周部３を有する実質的にリング又は
輪のような形状の構造であり、前記各円周部２及び３は
各々共通の軸線４の周りに伸びている。ジャイロスコー
プは、 以下に詳細に説明する共振器１に振動を生じさ
せる電磁駆動手段と、以下により詳細に説明する共振器
１の動きを感知する電磁感知手段とを有する。
は、添付図画の図２から図７に示すように、実質的に平
らな 振動共振器１を備え、前記振動共振器１は、内側
円周部２及び外側円周部３を有する実質的にリング又は
輪のような形状の構造であり、前記各円周部２及び３は
各々共通の軸線４の周りに伸びている。ジャイロスコー
プは、 以下に詳細に説明する共振器１に振動を生じさ
せる電磁駆動手段と、以下により詳細に説明する共振器
１の動きを感知する電磁感知手段とを有する。
【０００９】支持手段は共振器１を支持する複数の可撓
性支持ビーム５を備える。前記支持ビーム５は、共振器
１が回転速度に応じて支持手段に対して動くことができ
るようにし、共振器１が電磁駆動手段に応動して実質的
に不減衰振動モードで振動できるようにしている。前記
支持ビーム５及び共振器１はシリコンで作られる。
性支持ビーム５を備える。前記支持ビーム５は、共振器
１が回転速度に応じて支持手段に対して動くことができ
るようにし、共振器１が電磁駆動手段に応動して実質的
に不減衰振動モードで振動できるようにしている。前記
支持ビーム５及び共振器１はシリコンで作られる。
【００１０】特に図２、図４及び図５から分かるよう
に、支持手段はフレーム６を有し、このフレーム６は実
質的に堅固であり、共振器１を囲み、支持フレーム６と
共振器１との間に伸びる支持ビーム５によってリング又
は輪のような形状の構造体１の外側円周部３に結合され
ている。図示実施例では、ジャイロスコープは８つの同
じ角度をつけて離間された支持ビーム５を備えており、
この数は最適な好ましい数を表す。
に、支持手段はフレーム６を有し、このフレーム６は実
質的に堅固であり、共振器１を囲み、支持フレーム６と
共振器１との間に伸びる支持ビーム５によってリング又
は輪のような形状の構造体１の外側円周部３に結合され
ている。図示実施例では、ジャイロスコープは８つの同
じ角度をつけて離間された支持ビーム５を備えており、
この数は最適な好ましい数を表す。
【００１１】ジャイロスコープでは、どんな不規則又は
欠陥でも搬送モード周波数と応答モード周波数との間に
不整合を生じさせ、ジャイロスコープの性能を下げる。
従って、リングジャイロスコープ共振器に取り付けられ
た支持ビームが単一の場合には搬送モード周波数及び応
答モード周波数の偏移が異なる。しかし、リング円周部
の周りに等間隔に８つの同じ支持ビームを配置した場合
には搬送モード周波数及び応答モード周波数に与える影
響は同じになり、従って、周波数スプリットを生じさせ
ない。これは同じ周期をもつ特性であればどんなものに
対しても有効である。従って、リング共振器１の周りに
等間隔に離間された８つの支持ビーム５を使用すること
は有利である。
欠陥でも搬送モード周波数と応答モード周波数との間に
不整合を生じさせ、ジャイロスコープの性能を下げる。
従って、リングジャイロスコープ共振器に取り付けられ
た支持ビームが単一の場合には搬送モード周波数及び応
答モード周波数の偏移が異なる。しかし、リング円周部
の周りに等間隔に８つの同じ支持ビームを配置した場合
には搬送モード周波数及び応答モード周波数に与える影
響は同じになり、従って、周波数スプリットを生じさせ
ない。これは同じ周期をもつ特性であればどんなものに
対しても有効である。従って、リング共振器１の周りに
等間隔に離間された８つの支持ビーム５を使用すること
は有利である。
【００１２】電磁駆動手段及び電磁感知手段は、振動共
振器１の平面に対して実質的に直角に磁界を発生させる
手段と共に、共振器１及び支持ビーム５上に金属トラッ
クを有する。従って、図３及び図６の支持ビーム５の断
面図に最もよく示されているように、各支持ビーム５に
は３つの横方向に離間したトラック、即ち、二つの最外
方トラック７と一つの最内方中央トラック８とが設けら
れる。図１に示すように、これらのトラックは各支持ビ
ーム５の長さ方向に沿って外側に伸び、共振器１に対す
る最外端の位置でパッド９に接合される。図３に示すよ
うに、支持ビーム５の数に対応する数の弓形部分につい
て、二つのトラック７は、それらの最内端部の位置で、
共振器１の実質的に平らな外表面１ａの周りを、その弓
形部分に亘って反対方向に伸び、それらの最内端部の位
置で隣接する支持ビーム５上のトラック７の最内端部に
連結する。従って、図３に示すように、隣接する支持ビ
ーム５上の二つのトラック７は、共振器１の実質的に平
らな外表面１ａ上で相互に連結する弓形トラック部分７
ａを画定している。
振器１の平面に対して実質的に直角に磁界を発生させる
手段と共に、共振器１及び支持ビーム５上に金属トラッ
クを有する。従って、図３及び図６の支持ビーム５の断
面図に最もよく示されているように、各支持ビーム５に
は３つの横方向に離間したトラック、即ち、二つの最外
方トラック７と一つの最内方中央トラック８とが設けら
れる。図１に示すように、これらのトラックは各支持ビ
ーム５の長さ方向に沿って外側に伸び、共振器１に対す
る最外端の位置でパッド９に接合される。図３に示すよ
うに、支持ビーム５の数に対応する数の弓形部分につい
て、二つのトラック７は、それらの最内端部の位置で、
共振器１の実質的に平らな外表面１ａの周りを、その弓
形部分に亘って反対方向に伸び、それらの最内端部の位
置で隣接する支持ビーム５上のトラック７の最内端部に
連結する。従って、図３に示すように、隣接する支持ビ
ーム５上の二つのトラック７は、共振器１の実質的に平
らな外表面１ａ上で相互に連結する弓形トラック部分７
ａを画定している。
【００１３】トラック７及び８は金属で形成され、シリ
コンウェハ加工処理産業で使用されている標準的な蒸着
及びパターンニング技術を使って生成され得る。各支持
ビーム５及び関連する共振器の弓形部分上に横方向に離
間して並べられた３つトラック７，８の中央トラック８
は共振器１上まで伸び、図３に示すように支持ビーム５
と共振器１との接合部分の近くで終端し、支持ビーム５
の二つのトラック７間の静電結合を最低限に抑える手段
を提供する。
コンウェハ加工処理産業で使用されている標準的な蒸着
及びパターンニング技術を使って生成され得る。各支持
ビーム５及び関連する共振器の弓形部分上に横方向に離
間して並べられた３つトラック７，８の中央トラック８
は共振器１上まで伸び、図３に示すように支持ビーム５
と共振器１との接合部分の近くで終端し、支持ビーム５
の二つのトラック７間の静電結合を最低限に抑える手段
を提供する。
【００１４】図６に示すように、共振器１の実質的に平
らな外表面１ａ及び支持ビーム５におけるトラック７，
８と支持ビーム５及び共振器１のシリコンとの間にはシ
リコン酸化物層１１が設けられている。前記シリコン酸
化物層１１はトラック７及び８をシリコンから絶縁する
が、符号１２で示すように連結ポイントが設けられる。
この連結ポイント１２は、シリコン酸化物層１１を貫通
し、適当な位置で中央トラック８を支持ビーム５のシリ
コンに連結し、隣接するトラック７間の望ましくない容
量信号結合を低減させる。従って、トラックシステム全
体は、導電性のシリコンからトラックを絶縁するシリコ
ン酸化物層１１の頂面に配置される。図３及び図４に示
すトラックパターンのレイアウトはトラック間のどんな
誘導結合も最小限に抑えるが、トラックは必要に応じて
他の適当な配置が用いられ得ることは理解されるべきで
ある。
らな外表面１ａ及び支持ビーム５におけるトラック７，
８と支持ビーム５及び共振器１のシリコンとの間にはシ
リコン酸化物層１１が設けられている。前記シリコン酸
化物層１１はトラック７及び８をシリコンから絶縁する
が、符号１２で示すように連結ポイントが設けられる。
この連結ポイント１２は、シリコン酸化物層１１を貫通
し、適当な位置で中央トラック８を支持ビーム５のシリ
コンに連結し、隣接するトラック７間の望ましくない容
量信号結合を低減させる。従って、トラックシステム全
体は、導電性のシリコンからトラックを絶縁するシリコ
ン酸化物層１１の頂面に配置される。図３及び図４に示
すトラックパターンのレイアウトはトラック間のどんな
誘導結合も最小限に抑えるが、トラックは必要に応じて
他の適当な配置が用いられ得ることは理解されるべきで
ある。
【００１５】Ｃｏｓ２θモードの振動のための共振器１
に対する理想的な支持ビームの数は８つである。従っ
て、輪又はリングのような形状の構造である共振器１に
は、図２に示すように８つの支持ビーム５と一致する８
つの同じ金属トラック７ａが設けられる。このパターン
はＣｏｓ２θパターンに適合するので、周波数スプリッ
トのようなモードに対する損失効果を何も生じさせない
利点がある。
に対する理想的な支持ビームの数は８つである。従っ
て、輪又はリングのような形状の構造である共振器１に
は、図２に示すように８つの支持ビーム５と一致する８
つの同じ金属トラック７ａが設けられる。このパターン
はＣｏｓ２θパターンに適合するので、周波数スプリッ
トのようなモードに対する損失効果を何も生じさせない
利点がある。
【００１６】トラック７，８はアルミニウムや金のよう
な任意の適当な金属で形成され、共振器１を駆動するた
めに適当な弓形トラック７及び７ａに電流を通す手段が
設けられる。感知手段は、垂直磁場内で共振器１が動い
た時に適当な弓形トラック７，７ａを横切って発生する
電圧を検出することによって共振器１の振動を検知す
る。
な任意の適当な金属で形成され、共振器１を駆動するた
めに適当な弓形トラック７及び７ａに電流を通す手段が
設けられる。感知手段は、垂直磁場内で共振器１が動い
た時に適当な弓形トラック７，７ａを横切って発生する
電圧を検出することによって共振器１の振動を検知す
る。
【００１７】磁場を発生させる手段は、共振器１のリン
グ又は輪のような領域に磁場を集中させる磁石１３及び
リング磁極１４を有する。磁極１４，１４ａ及び磁石１
３は、リング共振器１の範囲に垂直磁場を集中させる磁
気回路を形成する。磁極１４及び１４ａ間のギャップに
おける磁場Ｂｇは次式（１）で近似される。 式中、μは自由空間の誘電率であり、ｌｇは磁極１４及
び１４ａ間のギャップの長さであり、ｌｍは磁石１３の
長さであり、Ｈｍｌｍは、ＢＨ曲線における作用点での
磁石１３のマグネトモテンス(magnetomotence)である。
作用点は磁気装荷μlmによって設定され、この磁気装荷
μlmは次式（２）のように磁気回路によって制御され
る。 式中、Ａｇは磁極間のギャップの面積であり、Ａｍは磁
石の面積であり、ｌｍ及びｌｇは既に説明した通りであ
り、Ｂｍは磁石１３内の磁場である。？？磁気回路内の
パラメータは、磁石の作用点をその最大エネルギ状態
に、又はその最大エネルギ状態の近くに設定できるよう
に選択され、磁石を熱的に安定させる。同時に、磁気回
路パラメータは、リング共振器の範囲で磁極間のギャッ
プにおける磁場を最大にし、達成可能な組み立て公差を
維持するように選択される。
グ又は輪のような領域に磁場を集中させる磁石１３及び
リング磁極１４を有する。磁極１４，１４ａ及び磁石１
３は、リング共振器１の範囲に垂直磁場を集中させる磁
気回路を形成する。磁極１４及び１４ａ間のギャップに
おける磁場Ｂｇは次式（１）で近似される。 式中、μは自由空間の誘電率であり、ｌｇは磁極１４及
び１４ａ間のギャップの長さであり、ｌｍは磁石１３の
長さであり、Ｈｍｌｍは、ＢＨ曲線における作用点での
磁石１３のマグネトモテンス(magnetomotence)である。
作用点は磁気装荷μlmによって設定され、この磁気装荷
μlmは次式（２）のように磁気回路によって制御され
る。 式中、Ａｇは磁極間のギャップの面積であり、Ａｍは磁
石の面積であり、ｌｍ及びｌｇは既に説明した通りであ
り、Ｂｍは磁石１３内の磁場である。？？磁気回路内の
パラメータは、磁石の作用点をその最大エネルギ状態
に、又はその最大エネルギ状態の近くに設定できるよう
に選択され、磁石を熱的に安定させる。同時に、磁気回
路パラメータは、リング共振器の範囲で磁極間のギャッ
プにおける磁場を最大にし、達成可能な組み立て公差を
維持するように選択される。
【００１８】都合よくは、磁石の材料には、高い磁界強
度を提供し、同時に鉄を基礎とした磁石のような他の材
料に比べて熱感度が低いサマリウムコバルト（Ｓｍ2Ｃ
ｏ17）が選択される。
度を提供し、同時に鉄を基礎とした磁石のような他の材
料に比べて熱感度が低いサマリウムコバルト（Ｓｍ2Ｃ
ｏ17）が選択される。
【００１９】また、磁気回路は磁石に負荷をかけ、磁石
を最適な状態にし、その結果、磁石は熱的に安定する。
駆動力は、電流を適当な弓形トラックに通すことによっ
てもたらされ、駆動力Ｆは次式（３）で与えられる。 式中、Ｂｇはギャップ内の磁場であり、Ｉはトラックを
通る電流であり、ｌは磁場におけるトラック７の長さで
ある。共振器１は振動電流Ｉsin ωtを加えることによ
って共振に設定される。ここで、ωt＝2πfであり、ま
た、ｆはＣｏｓ２θ共振周波数である。共振器振動は、
共振器が垂直磁場内を動き時に適当な弓形トラックを横
切る電圧として検出され、その振動は次式（４）で与え
られる。 式中、Ｂｇ及びｌは上述の通りであり、ｖ1は振動のピ
ーク速度であり、ｆはＣｏｓ２θ共振周波数であり、ａ
は振動の振幅である。
を最適な状態にし、その結果、磁石は熱的に安定する。
駆動力は、電流を適当な弓形トラックに通すことによっ
てもたらされ、駆動力Ｆは次式（３）で与えられる。 式中、Ｂｇはギャップ内の磁場であり、Ｉはトラックを
通る電流であり、ｌは磁場におけるトラック７の長さで
ある。共振器１は振動電流Ｉsin ωtを加えることによ
って共振に設定される。ここで、ωt＝2πfであり、ま
た、ｆはＣｏｓ２θ共振周波数である。共振器振動は、
共振器が垂直磁場内を動き時に適当な弓形トラックを横
切る電圧として検出され、その振動は次式（４）で与え
られる。 式中、Ｂｇ及びｌは上述の通りであり、ｖ1は振動のピ
ーク速度であり、ｆはＣｏｓ２θ共振周波数であり、ａ
は振動の振幅である。
【００２０】共振器１のリング又は輪のような領域上に
磁場を集中させることによって、信号が最大になるだけ
でなく、支持ビームにおけるトラック部分の動きによっ
て望ましくない信号が無くされる。また、トラック７に
よって与えられる駆動及びピックオフ要素が等しくな
り、構造体の製造に用いられるマスク処理のデザインが
非常に簡単になることも注目される。また、簡単なデザ
インは必要なマスクの数を減少させ、小さいギャップの
必要性を無くす。そのデザインは明らかに対称形状であ
り、必要な時に振動モードを得るだけでなく、包装時の
方向決め作業の必要性を無くす。電磁感知又はピックオ
フ手段は、信号を発生するために磁場に対して垂直な動
きを必要とするので、磁場に並行な振動は感知せず、従
って、装置の平面に垂直な望ましくない振動を感知する
ことは防止される。
磁場を集中させることによって、信号が最大になるだけ
でなく、支持ビームにおけるトラック部分の動きによっ
て望ましくない信号が無くされる。また、トラック７に
よって与えられる駆動及びピックオフ要素が等しくな
り、構造体の製造に用いられるマスク処理のデザインが
非常に簡単になることも注目される。また、簡単なデザ
インは必要なマスクの数を減少させ、小さいギャップの
必要性を無くす。そのデザインは明らかに対称形状であ
り、必要な時に振動モードを得るだけでなく、包装時の
方向決め作業の必要性を無くす。電磁感知又はピックオ
フ手段は、信号を発生するために磁場に対して垂直な動
きを必要とするので、磁場に並行な振動は感知せず、従
って、装置の平面に垂直な望ましくない振動を感知する
ことは防止される。
【００２１】駆動力の式（３）及び感知又はピックオフ
に関する式（４）から、それらは両方とも線形であり、
駆動力は印加電流に正比例し、ピックオフ信号は振動の
振幅に正比例することが分かる。このようにジャイロス
コープの伝達関数が線形なので、非常に良好なジャイロ
スケールファクタの線形性が生成できるという利点があ
る。
に関する式（４）から、それらは両方とも線形であり、
駆動力は印加電流に正比例し、ピックオフ信号は振動の
振幅に正比例することが分かる。このようにジャイロス
コープの伝達関数が線形なので、非常に良好なジャイロ
スケールファクタの線形性が生成できるという利点があ
る。
【００２２】リング磁極手段１４は、好ましくは、添付
図面の図５及び図７に示すように共振器１のリング又は
輪のような形状の構造体部分の下側に設けられた他の部
分１４ａに比べて磁気的に弱い磁極片から成る。磁気感
知手段及び磁性体構成要素１３，１４，１４ａは、好ま
しくは、ハウジング１５内に密閉され、角速度センサと
して機能し得るボード装着可能なジャイロ(board mount
able gyro)を形成する。ハウジング１５は、好ましく
は、溶接密閉され、都合良くは、コバール混合材料で形
成される。コバールは磁性体材料なので、ハウジング１
５とジャイロスコープのシリコン／磁性体部分との間に
は非磁性体スペーサ１６が設けられる。これにより、本
発明のジャイロスコープは印加される外磁場を実質的に
感知しない。外部連結ピン１７はハウジング１５を貫通
して設けられ、ワイヤーピグテール接合手段１８のよう
な任意の都合のよい方法で接合パッド９に連結される。
図面の図５及び図７に示すように共振器１のリング又は
輪のような形状の構造体部分の下側に設けられた他の部
分１４ａに比べて磁気的に弱い磁極片から成る。磁気感
知手段及び磁性体構成要素１３，１４，１４ａは、好ま
しくは、ハウジング１５内に密閉され、角速度センサと
して機能し得るボード装着可能なジャイロ(board mount
able gyro)を形成する。ハウジング１５は、好ましく
は、溶接密閉され、都合良くは、コバール混合材料で形
成される。コバールは磁性体材料なので、ハウジング１
５とジャイロスコープのシリコン／磁性体部分との間に
は非磁性体スペーサ１６が設けられる。これにより、本
発明のジャイロスコープは印加される外磁場を実質的に
感知しない。外部連結ピン１７はハウジング１５を貫通
して設けられ、ワイヤーピグテール接合手段１８のよう
な任意の都合のよい方法で接合パッド９に連結される。
【００２３】外側の堅固な支持フレーム６は、スペーサ
１６上に支持台１９を介して装着される。支持台１９は
シリコンで形成され得、シリコンウェハ溶着接合技術を
使用して接合される。代わりに、支持台１９はガラスで
形成されてもよく、この場合、陽極接合技術を用いて接
合される。ガラスはシリコン支持手段の熱膨張係数に合
わせて慎重に選択されるべきである。
１６上に支持台１９を介して装着される。支持台１９は
シリコンで形成され得、シリコンウェハ溶着接合技術を
使用して接合される。代わりに、支持台１９はガラスで
形成されてもよく、この場合、陽極接合技術を用いて接
合される。ガラスはシリコン支持手段の熱膨張係数に合
わせて慎重に選択されるべきである。
【００２４】以上説明した本発明の実施例は、特許請求
の範囲で限定した本発明の範囲内で様々な改良又は変形
を行うことができる。
の範囲で限定した本発明の範囲内で様々な改良又は変形
を行うことができる。
【図１】 Ａ及びＢは本発明による振動構造ジャイロス
コープ共振器のＣｏｓ２θモードでの振動を示す図であ
る。
コープ共振器のＣｏｓ２θモードでの振動を示す図であ
る。
【図２】 本発明による振動構造ジャイロスコープの一
部の平面図であり、本図ではトラックは省略されてい
る。
部の平面図であり、本図ではトラックは省略されてい
る。
【図３】 図２の細部の拡大平面図である。
【図４】 図２の別の細部の拡大平面図である。
【図５】 図２〜図４のジャイロスコープの概略垂直断
面図であり、本図には附属部材も示されている。
面図であり、本図には附属部材も示されている。
【図６】 図２，３，４に示した支持ビームの拡大断面
図である。
図である。
【図７】 ハウジング内に設けられた本発明による振動
構造ジャイロスコープの概略垂直断面図である。
構造ジャイロスコープの概略垂直断面図である。
１ 振動共振器 １ａ 実質的に平らな外表面 ２ 内側円周部 ３ 外側円周部 ４ 共通軸線 ５ 可撓性支持ビーム ６ 支持フレーム ７ 最外方トラック ７ａ 弓形トラック部分 ８ 最内方中央トラック ９ パッド １１ シリコン酸化物層 １３ 磁石 １４ リング磁極手段 １６ 非磁性体スペーサ １７ 外部連結ピン １８ ワイヤーピグテール接合手段 １９ 支持台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アイアン デービツド ホプキン イギリス国 デボン ピイエル６ ６デ イイー，プリマウス，サウスウエイ，ク リツタフオード ロード，（番地なし) ブリテッシュ エアロスペース（シス テムズ アンド エクイプメント）リミ テッド内 (72)発明者 クリストフアー ポール フエル イギリス国 デボン ピイエル６ ６デ イイー，プリマウス，サウスウエイ，ク リツタフオード ロード，（番地なし) ブリテッシュ エアロスペース（シス テムズ アンド エクイプメント）リミ テッド内 (72)発明者 ケビン タウンセンド イギリス国 デボン ピイエル６ ６デ イイー，プリマウス，サウスウエイ，ク リツタフオード ロード，（番地なし) ブリテッシュ エアロスペース（シス テムズ アンド エクイプメント）リミ テッド内 (72)発明者 テイモテイ ロバート メーソン イギリス国 デボン ピイエル６ ６デ イイー，プリマウス，サウスウエイ，ク リツタフオード ロード，（番地なし) ブリテッシュ エアロスペース（シス テムズ アンド エクイプメント）リミ テッド内 (56)参考文献 特開 平９−210693（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−318363（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−160483（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01C 19/56
Claims (9)
- 【請求項１】 共通軸線の周りに伸びる内側円周部及び
外側円周部を持つ実質的にリング又は輪のような形状の
構造体を備えた実質的に平らな振動共振器と、 共振器に振動を生じさせる電磁駆動手段と、 共振器を支持する複数の可撓性支持ビームを有する支持
手段と、 共振器の動きを感知する電磁感知手段とを有し、 前記支持ビームが共振器を電磁駆動手段に応答して実質
的に不減衰振動モードで振動できるようにして、前記共
振器が回転速度に応じて支持手段に対して動けるように
し、 前記支持ビーム及び共振器をシリコンで形成し、 前記電磁駆動手段及び電磁感知手段がリング又は輪のよ
うな形状の構造である共振器と支持ビームとの上に金属
トラックを備え、かつ、振動共振器の平面に対して実質
的に垂直な磁場を発生させる手段を有することを特徴と
する振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項２】 前記支持手段がフレームを備え、 前記フレームは実質的に堅固であり、共振器を囲み、か
つ、フレームと共振器との間に伸びる支持ビームによっ
てリング又は輪のような形状の構造である共振器の外側
円周部に連結されることを特徴とする請求項１に記載の
振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項３】 前記支持ビームが８つあり、それらが同
じ角度で離間されていることを特徴とする請求項２に記
載の振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項４】 各支持ビームに、その長手方向に沿って
外面に伸びる三つの横方向に離間したトラックを設け、 前記トラックの共振器に対する最外端部を接合パッドに
接続し、 二つのトラックの最内端部を、共振器の実質的に平らな
外表面の回りを、その弓形部分に亘って反対方向に延長
させ、かつ、それらの最内端部を隣接する支持ビーム上
のトラックの最内端部に接続し、 前記弓形部分の数が支持ビームの数に対応することを特
徴とする請求項１に記載の振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項５】 各支持ビーム上に横方向に離間して並べ
られた三つのトラックの中央トラックが共振器まで伸び
て支持ビームと共振器の接合部分の近くで終端し、支持
ビームの他の二つのトラック間の静電結合を最低限に抑
えることを特徴とする請求項４に記載の振動構造ジャイ
ロスコープ。 - 【請求項６】 共振器の実質的に平らな外表面及び支持
ビームにおける、前記トラックと支持ビーム及び共振器
のシリコンとの間にシリコン酸化物層を設けてシリコン
からトラックを絶縁し、 適当な位置でシリコン酸化物層を貫通して中央トラック
をシリコンに連結し、隣接するトラック間の望ましくな
い容量信号結合を低減させる連結ポイントを設けること
を特徴とする請求項５に記載の振動構造ジャイロスコー
プ。 - 【請求項７】 適当な弓形トラックに電流を流して共振
器に動力を供給する手段を有し、 感知手段が、共振器が垂直磁場内で動いた時に適当な弓
形トラックを横切って発生する電圧を検出することによ
って共振器の振動を検知することを特徴とする請求項６
に記載の振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項８】 磁場を共振器のリング又は輪のような領
域に集中させるリング磁極手段を有することを特徴とす
る請求項１に記載の振動構造ジャイロスコープ。 - 【請求項９】 磁性体材料で形成されたハウジングを備
え、 共振器、磁場手段、支持手段、電磁駆動手段、及び電磁
感知手段を前記ハウジング内に収容し、 ハウジングと支持手段との間に非磁性体スペーサを設け
たことを特徴とする請求項１に記載の振動構造ジャイロ
スコープ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9703357:5 | 1997-02-18 | ||
| GB9703357A GB2322196B (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | A vibrating structure gyroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267667A JPH10267667A (ja) | 1998-10-09 |
| JP2872213B2 true JP2872213B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=10807878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10036455A Expired - Lifetime JP2872213B2 (ja) | 1997-02-18 | 1998-02-18 | 振動構造ジャイロスコープ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5932804A (ja) |
| EP (1) | EP0859219B1 (ja) |
| JP (1) | JP2872213B2 (ja) |
| AT (1) | ATE288072T1 (ja) |
| DE (1) | DE69828713T2 (ja) |
| ES (1) | ES2232915T3 (ja) |
| GB (1) | GB2322196B (ja) |
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| US6272925B1 (en) | 1999-09-16 | 2001-08-14 | William S. Watson | High Q angular rate sensing gyroscope |
| GB0122256D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0122253D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0122254D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
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