JP2871912B2 - 石英系ガラス母材の製造方法 - Google Patents
石英系ガラス母材の製造方法Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/0128—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass
- C03B37/01282—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass by pressing or sintering, e.g. hot-pressing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Materials Engineering (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は通信、光学の分野におい
て使用される光ファイバ、ライトガイド、イメージファ
イバ、ロッドレンズ等を得るための光ファイバ母材、ラ
イトガイド母材、イメージファイバ母材、ロッドレンズ
母材等の製造技術に関し、より詳しくは、粉体成形法に
より石英系ガラス母材を製造する方法に関するものであ
る。
て使用される光ファイバ、ライトガイド、イメージファ
イバ、ロッドレンズ等を得るための光ファイバ母材、ラ
イトガイド母材、イメージファイバ母材、ロッドレンズ
母材等の製造技術に関し、より詳しくは、粉体成形法に
より石英系ガラス母材を製造する方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】石英系ガラス母材を製造する方法とし
て、従来より、シリカ系ガラス粉末を加圧成形すること
によって多孔質ガラス体を作り、これを脱水、燒結して
透明ガラス化する方法が知られている。この場合、シリ
カ系ガラス粉末としては、純粋なシリカ粉末や、ドーパ
ントとなる酸化物等を含むシリカ粉末が用いられてい
る。上記シリカ系ガラス粉末から多孔質ガラス体を成形
する方法はいくつかあり、例えば泥漿鋳込成形法、押し
出し成形法、及びシリカ粉末をそのまま加圧容器にいれ
て加圧する加圧成形法がある。ここでは加圧成形法の一
種である液圧成形法について詳しく説明する。
て、従来より、シリカ系ガラス粉末を加圧成形すること
によって多孔質ガラス体を作り、これを脱水、燒結して
透明ガラス化する方法が知られている。この場合、シリ
カ系ガラス粉末としては、純粋なシリカ粉末や、ドーパ
ントとなる酸化物等を含むシリカ粉末が用いられてい
る。上記シリカ系ガラス粉末から多孔質ガラス体を成形
する方法はいくつかあり、例えば泥漿鋳込成形法、押し
出し成形法、及びシリカ粉末をそのまま加圧容器にいれ
て加圧する加圧成形法がある。ここでは加圧成形法の一
種である液圧成形法について詳しく説明する。
【０００３】上記母材用の多孔質ガラス体を液体圧成形
法によって成形することは、特開昭６１−２５６９３７
号公報、特開昭６３−５５１３２号公報などで公知であ
る。これらの公知文献は伸縮性を有する容器内、或は伸
縮性を有する成形型内に石英系のガラス粉末を充填し、
これを外側から液圧により加圧して多孔質ガラス体を成
形する技術を開示している。この際用いられる石英系の
ガラス粉末の殆どは粒径１０μｍ以下であり、それを成
形助剤（分散剤、結合剤）などと均一に混合し、上記公
知技術により成形型内で成形し、離型後に乾燥、脱脂、
脱水、透明ガラス化などの処理を行なって透明ガラス体
とする方法である。また、これらの改良技術として、特
願平３−１２６７２２号には、３０μｍ以上の造粒粉末
と１０μｍ以下の微細粉末をある割合で混合することに
より、成形助剤などを必要とせずに多孔質ガラス体を成
形する方法が提案されている。
法によって成形することは、特開昭６１−２５６９３７
号公報、特開昭６３−５５１３２号公報などで公知であ
る。これらの公知文献は伸縮性を有する容器内、或は伸
縮性を有する成形型内に石英系のガラス粉末を充填し、
これを外側から液圧により加圧して多孔質ガラス体を成
形する技術を開示している。この際用いられる石英系の
ガラス粉末の殆どは粒径１０μｍ以下であり、それを成
形助剤（分散剤、結合剤）などと均一に混合し、上記公
知技術により成形型内で成形し、離型後に乾燥、脱脂、
脱水、透明ガラス化などの処理を行なって透明ガラス体
とする方法である。また、これらの改良技術として、特
願平３−１２６７２２号には、３０μｍ以上の造粒粉末
と１０μｍ以下の微細粉末をある割合で混合することに
より、成形助剤などを必要とせずに多孔質ガラス体を成
形する方法が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記特開昭６３−５５
１３２号公報などにおいては、前述のごとく、粒径１０
μｍ以下の微細な粉末を用いて、液圧成形法により多孔
質ガラス体を成形しているが、特に液圧成形法において
は成形時に充填密度が不均一になり、そのため成形後の
多孔質ガラス体に亀裂、割れ、寸法変動、嵩密度のバラ
ツキなどが多発して、製品の歩留まりが低下している。
このことにより、特願平３−１２６７２２号では、造粒
粉を用いて充填密度を均一化し、亀裂などの改善を施し
て、多孔質ガラス体の歩留まりを高めている。しかし、
種々検討した結果、前記方法においては後工程で加熱し
て透明ガラス化する時に、微小な気泡が発生し易いこ
と、特に、ガラス体の中心部において発生し易いことが
わった。このことは、光ファイバ母材などの場合、中心
部、即ちコア近傍に気泡が存在することになり、その結
果、同母材から得られたファイバの伝送損失が高くなる
他、ファイバの強度が低下するなどの問題があることが
わかった。
１３２号公報などにおいては、前述のごとく、粒径１０
μｍ以下の微細な粉末を用いて、液圧成形法により多孔
質ガラス体を成形しているが、特に液圧成形法において
は成形時に充填密度が不均一になり、そのため成形後の
多孔質ガラス体に亀裂、割れ、寸法変動、嵩密度のバラ
ツキなどが多発して、製品の歩留まりが低下している。
このことにより、特願平３−１２６７２２号では、造粒
粉を用いて充填密度を均一化し、亀裂などの改善を施し
て、多孔質ガラス体の歩留まりを高めている。しかし、
種々検討した結果、前記方法においては後工程で加熱し
て透明ガラス化する時に、微小な気泡が発生し易いこ
と、特に、ガラス体の中心部において発生し易いことが
わった。このことは、光ファイバ母材などの場合、中心
部、即ちコア近傍に気泡が存在することになり、その結
果、同母材から得られたファイバの伝送損失が高くなる
他、ファイバの強度が低下するなどの問題があることが
わかった。
【０００５】本発明の目的は、光ファイバ母材等の製造
工程おける透明ガラス化時に、多孔質ガラス体の中心部
の微小な気泡の発生を防止する石英系ガラス母材の製造
方法を提供することにある。
工程おける透明ガラス化時に、多孔質ガラス体の中心部
の微小な気泡の発生を防止する石英系ガラス母材の製造
方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項１の
石英系ガラス母材の製造方法は、シリカ系ガラス粉末を
粉体成形して石英系ガラス母材を製造する方法におい
て、前記成形時に成形体の外周側に粒径の大きいシリカ
系ガラス粉末を、中心側に外周側より小さい粒径のシリ
カ系ガラス粉末を配置して成形することを特徴とするも
のである。本発明のうち請求項２の石英系ガラス母材の
製造方法は、シリカ系ガラス粉末の一次粒子の平均粒子
径が、前記成形体の外周側で１〜２０μｍ、中心側で１
μｍ以下の範囲であることを特徴とするものである。
石英系ガラス母材の製造方法は、シリカ系ガラス粉末を
粉体成形して石英系ガラス母材を製造する方法におい
て、前記成形時に成形体の外周側に粒径の大きいシリカ
系ガラス粉末を、中心側に外周側より小さい粒径のシリ
カ系ガラス粉末を配置して成形することを特徴とするも
のである。本発明のうち請求項２の石英系ガラス母材の
製造方法は、シリカ系ガラス粉末の一次粒子の平均粒子
径が、前記成形体の外周側で１〜２０μｍ、中心側で１
μｍ以下の範囲であることを特徴とするものである。
【０００７】本発明におけるシリカ系ガラス粉末は、純
シリカガラス或は屈折率制御のために他の酸化物などを
ドープしたシリカガラスである。また本発明における上
記粉体成形とは加圧成形（液圧成形法を含む）、鋳込み
成形（スリップキャスト）などである。加圧成形の一種
である液圧成形法による場合は、中心側、及び外周側に
配置するシリカ系ガラス粉末（一次粒子）を、予め、５
０μｍ程度に夫々造粒して用いた方が、多孔質ガラス体
の亀裂などの改善が図れる。他の成形法においては、シ
リカ系ガラス粉末をそのまま使用しても問題はない。
シリカガラス或は屈折率制御のために他の酸化物などを
ドープしたシリカガラスである。また本発明における上
記粉体成形とは加圧成形（液圧成形法を含む）、鋳込み
成形（スリップキャスト）などである。加圧成形の一種
である液圧成形法による場合は、中心側、及び外周側に
配置するシリカ系ガラス粉末（一次粒子）を、予め、５
０μｍ程度に夫々造粒して用いた方が、多孔質ガラス体
の亀裂などの改善が図れる。他の成形法においては、シ
リカ系ガラス粉末をそのまま使用しても問題はない。
【０００８】
【作用】成形時の条件を一定にした場合、一般的に、多
孔質ガラス体（成形体）を構成するシリカ粉末の粒径
と、透明ガラス化時のガラス化温度との関係は、粒径の
小さいものほど低温でガラス化し、粒径の大きなものほ
ど高温となる。従って、本発明の石英系ガラス母材の製
造方法では、成形体の外周側に粒径の大きいシリカ系ガ
ラス粉末を配置し、中心側に粒径の小さなものを配置し
ているため、粒径の小さい中心側でガラス化が先に始ま
っても、外側はまだ粒径の大きい多孔質状態にあるた
め、ガラス化時に中心側から発生する気泡が外側に抜け
易く、最終的に気泡が残りにくくなる。
孔質ガラス体（成形体）を構成するシリカ粉末の粒径
と、透明ガラス化時のガラス化温度との関係は、粒径の
小さいものほど低温でガラス化し、粒径の大きなものほ
ど高温となる。従って、本発明の石英系ガラス母材の製
造方法では、成形体の外周側に粒径の大きいシリカ系ガ
ラス粉末を配置し、中心側に粒径の小さなものを配置し
ているため、粒径の小さい中心側でガラス化が先に始ま
っても、外側はまだ粒径の大きい多孔質状態にあるた
め、ガラス化時に中心側から発生する気泡が外側に抜け
易く、最終的に気泡が残りにくくなる。
【０００９】
【実施例１】本発明の石英系ガラス母材の製造方法の一
実施例を図１、２に示す。これは、中心にコアとなるガ
ラス棒を配した光ファイバ母材（光ファイバプリフォ−
ム）を液圧成形法を用いて作製するものである。
実施例を図１、２に示す。これは、中心にコアとなるガ
ラス棒を配した光ファイバ母材（光ファイバプリフォ−
ム）を液圧成形法を用いて作製するものである。
【００１０】先ず、一次粒子径の平均が０．０４μｍの
シリカ粉末、０．５μｍのシリカ粉末、及び８μｍのシ
リカ粉末の３種類のシリカ粉末の夫々に、純水を加えて
スラリー（シリカの泥漿）状態にし、それをスプレード
ライヤーで造粒して、平均粒子径が５０μｍの造粒粉を
作製した。造粒に際しては結合剤、分散剤などを用いな
かった。
シリカ粉末、０．５μｍのシリカ粉末、及び８μｍのシ
リカ粉末の３種類のシリカ粉末の夫々に、純水を加えて
スラリー（シリカの泥漿）状態にし、それをスプレード
ライヤーで造粒して、平均粒子径が５０μｍの造粒粉を
作製した。造粒に際しては結合剤、分散剤などを用いな
かった。
【００１１】前記のようにして造粒された３種類の造粒
粉ａ、ｂ、ｃの夫々を十分脱気したものを各３００ｇ用
意した。一方、図１、２に示すように、気相法の一製法
であるＶＡＤ法を用いて作製した外径１０．６φ×長さ
２７０ｍｍのシリカガラス棒１（コア：クラッド比が
１：４、屈折率差０．３５％）を中心に配置した液圧成
形用ゴム型４（内径５０φ×外径６０φ×長さ２７０ｍ
ｍ）を用意した。この液圧成形用ゴム型４の中に直径の
異なる２種類の円筒状の投入容器２、３を同心円状に挿
入して、液圧成形用ゴム型４の内部を同心円状に３つに
仕切っておく。この状態で同液圧成形用ゴム型４に先に
作製した３種類の５０μｍの造粒粉を、中心側から外周
側に一次粒子径が０．０４μｍの造粒粉ａ、０．５μｍ
の造粒粉ｂ、８μｍの造粒粉ｃの順に充填した後、前記
投入容器２、３を抜き出して、図２に示す断面が得られ
るようにした。
粉ａ、ｂ、ｃの夫々を十分脱気したものを各３００ｇ用
意した。一方、図１、２に示すように、気相法の一製法
であるＶＡＤ法を用いて作製した外径１０．６φ×長さ
２７０ｍｍのシリカガラス棒１（コア：クラッド比が
１：４、屈折率差０．３５％）を中心に配置した液圧成
形用ゴム型４（内径５０φ×外径６０φ×長さ２７０ｍ
ｍ）を用意した。この液圧成形用ゴム型４の中に直径の
異なる２種類の円筒状の投入容器２、３を同心円状に挿
入して、液圧成形用ゴム型４の内部を同心円状に３つに
仕切っておく。この状態で同液圧成形用ゴム型４に先に
作製した３種類の５０μｍの造粒粉を、中心側から外周
側に一次粒子径が０．０４μｍの造粒粉ａ、０．５μｍ
の造粒粉ｂ、８μｍの造粒粉ｃの順に充填した後、前記
投入容器２、３を抜き出して、図２に示す断面が得られ
るようにした。
【００１２】この液圧成形用ゴム型４を静水圧加圧装置
にセットし、ドライパック法でその長手方向のみに加圧
した。今回は圧力１ｔｏｎ／ｃｍ２で約１分間加圧し、
３０分間かけて大気圧に戻した。得られた多孔質ガラス
体（成形体）の外径は４２φで亀裂や外形変動のないも
のであった。この多孔質ガラス体を塩素雰囲気中、１０
００℃、移動速度２ｍｍ／分の通常の脱水精製条件で純
化し、ついでヘリューム雰囲気中、１５５０℃、移動速
度２ｍｍ／分の透明ガラス化条件で序々にガラス化し
た。
にセットし、ドライパック法でその長手方向のみに加圧
した。今回は圧力１ｔｏｎ／ｃｍ２で約１分間加圧し、
３０分間かけて大気圧に戻した。得られた多孔質ガラス
体（成形体）の外径は４２φで亀裂や外形変動のないも
のであった。この多孔質ガラス体を塩素雰囲気中、１０
００℃、移動速度２ｍｍ／分の通常の脱水精製条件で純
化し、ついでヘリューム雰囲気中、１５５０℃、移動速
度２ｍｍ／分の透明ガラス化条件で序々にガラス化し
た。
【００１３】以上の操作により得られた光ファイバ母材
は、外径が約３５φで全体的に気泡が非常に少なく、特
に中心部分では微細な気泡がほとんど存在しないもので
あった。これを通常の方法で光ファイバとし、伝送損失
を測定した結果、気相法で作製したシングルモードファ
イバと同等の特性を有していた。また、上記方法で１０
本のプリフォームを作製した結果、途中亀裂の発生や割
れもなく、いずれも気泡の非常に少ないものが得られ
た。
は、外径が約３５φで全体的に気泡が非常に少なく、特
に中心部分では微細な気泡がほとんど存在しないもので
あった。これを通常の方法で光ファイバとし、伝送損失
を測定した結果、気相法で作製したシングルモードファ
イバと同等の特性を有していた。また、上記方法で１０
本のプリフォームを作製した結果、途中亀裂の発生や割
れもなく、いずれも気泡の非常に少ないものが得られ
た。
【００１４】
【実施例２】本発明の石英系ガラス母材の製造方法の他
の実施例を図３、４に示す。これは、石英ロッドを鋳込
み成形法を用いて作製するものである。この製造方法で
は先ず、一次粒子径の平均が０．６μｍのシリカ粉末、
及び８μｍのシリカ粉末の２種類の粉末を各１０００ｇ
用意し、粉末：水＝１：０．５なるように水に分散させ
てスラリーｅ、ｆを作製した。他方、内径５０φ×長さ
５００ｍｍの吸水機能を有する樹脂型１０を用意し、こ
の樹脂型１０の中には図３のように円筒状の投入容器２
を同心円状に挿入して、この樹脂型１０の中を２つに仕
切っておく。この樹脂型１０に、先に作製した２種類の
スラリーｅ、ｆを、中心側が一次粒子径０．６μｍのス
ラリーｅ、外側が８μｍのスラリーｆを流し込んだ後、
前記投入容器２を抜き出して、図４に示す断面が得られ
るようにした。
の実施例を図３、４に示す。これは、石英ロッドを鋳込
み成形法を用いて作製するものである。この製造方法で
は先ず、一次粒子径の平均が０．６μｍのシリカ粉末、
及び８μｍのシリカ粉末の２種類の粉末を各１０００ｇ
用意し、粉末：水＝１：０．５なるように水に分散させ
てスラリーｅ、ｆを作製した。他方、内径５０φ×長さ
５００ｍｍの吸水機能を有する樹脂型１０を用意し、こ
の樹脂型１０の中には図３のように円筒状の投入容器２
を同心円状に挿入して、この樹脂型１０の中を２つに仕
切っておく。この樹脂型１０に、先に作製した２種類の
スラリーｅ、ｆを、中心側が一次粒子径０．６μｍのス
ラリーｅ、外側が８μｍのスラリーｆを流し込んだ後、
前記投入容器２を抜き出して、図４に示す断面が得られ
るようにした。
【００１５】毛細管現象で水が樹脂型１０に吸収される
と同時に多孔質ガラス体（成形体）が成形され、水分含
有率が１０〜１５％になったところで脱型し、その多孔
質ガラス体を乾燥器の中に入れて室温から１０５℃まで
１時間かけて昇温しなから乾燥し、さらに１０５℃で５
時間乾燥した。得られた多孔質ガラス体の外径は４０
φ、長さ４８０ｍｍで亀裂や外形変動のないものであっ
た。以下、前記実施例１の条件に準じて、脱水精製処理
及び透明ガラス化処理を行い、外径が約３５φで、全体
的に気泡が非常に少なく、中心部分では微細な気泡がほ
とんど存在しない石英ロッドを得た。これを通常のプラ
スチッククラッドファイバ（ＰＣＦ）として伝送損失を
測定した結果、市販の石英ロッドを用いて作製したＰＣ
Ｆファイバと同等の特性を有していた。なお、本発明は
異なる粒子径の配置面積に制限を受けるものではない。
と同時に多孔質ガラス体（成形体）が成形され、水分含
有率が１０〜１５％になったところで脱型し、その多孔
質ガラス体を乾燥器の中に入れて室温から１０５℃まで
１時間かけて昇温しなから乾燥し、さらに１０５℃で５
時間乾燥した。得られた多孔質ガラス体の外径は４０
φ、長さ４８０ｍｍで亀裂や外形変動のないものであっ
た。以下、前記実施例１の条件に準じて、脱水精製処理
及び透明ガラス化処理を行い、外径が約３５φで、全体
的に気泡が非常に少なく、中心部分では微細な気泡がほ
とんど存在しない石英ロッドを得た。これを通常のプラ
スチッククラッドファイバ（ＰＣＦ）として伝送損失を
測定した結果、市販の石英ロッドを用いて作製したＰＣ
Ｆファイバと同等の特性を有していた。なお、本発明は
異なる粒子径の配置面積に制限を受けるものではない。
【００１６】
【発明の効果】本発明の石英系ガラス母材の製造方法に
よれば下記のような効果がある。 ．多孔質ガラス体の外周側に粒径の大きなものを配置
するため、気孔径も大となり脱水精製工程において、水
及び不純物の除去が容易になる。 ．液圧成形法においては、粉末を造粒することによっ
て多孔質ガラス体に亀裂、割れ、寸法変動、嵩密度のバ
ランスなどの生じないものが得られ、良品の部留まりが
向上する。 ．ガラス化された透明ガラス体は全体的に気泡が非常
に少なく、特に中心部分では微細な気泡が殆ど存在しな
い。 ．高品質で低コストのガラス母材及びそれを元にした
製品を得ることが可能となる。
よれば下記のような効果がある。 ．多孔質ガラス体の外周側に粒径の大きなものを配置
するため、気孔径も大となり脱水精製工程において、水
及び不純物の除去が容易になる。 ．液圧成形法においては、粉末を造粒することによっ
て多孔質ガラス体に亀裂、割れ、寸法変動、嵩密度のバ
ランスなどの生じないものが得られ、良品の部留まりが
向上する。 ．ガラス化された透明ガラス体は全体的に気泡が非常
に少なく、特に中心部分では微細な気泡が殆ど存在しな
い。 ．高品質で低コストのガラス母材及びそれを元にした
製品を得ることが可能となる。
【図１】本発明の石英系ガラス母材の製造方法の一実施
例を示す説明図。
例を示す説明図。
【図２】同石英系ガラス母材の製造方法における多孔質
ガラス体の断面図。
ガラス体の断面図。
【図３】本発明の石英系ガラス母材の製造方法の他の実
施例を示す説明図。
施例を示す説明図。
【図４】本発明の石英系ガラス母材の製造方法の他の実
施例における多孔質ガラス体の断面図。
施例における多孔質ガラス体の断面図。
１ シリカガラス棒 ２ 投入容器 ３ 投入容器 ４ ゴム型 １０ 樹脂型
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥 誠人 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古河電気工業株式会社内 (72)発明者 佐藤 継男 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古河電気工業株式会社内 (72)発明者 吉田 和昭 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古河電気工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−321531（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 20/00 C03B 37/014
Claims (2)
- 【請求項１】 シリカ系ガラス粉末を粉体成形して石英
系ガラス母材を製造する方法において、前記成形時に成
形体の外周側に粒径の大きいシリカ系ガラス粉末を、中
心側に外周側より小さい粒径のシリカ系ガラス粉末を配
置して成形することを特徴とする石英系ガラス母材の製
造方法。 - 【請求項２】 シリカ系ガラス粉末の一次粒子の平均粒
子径が、前記成形体の外周側で１〜２０μｍ、中心側で
１μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１の石
英系ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3254741A JP2871912B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3254741A JP2871912B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558656A JPH0558656A (ja) | 1993-03-09 |
| JP2871912B2 true JP2871912B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=17269224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3254741A Expired - Lifetime JP2871912B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2871912B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6265961B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2018-01-24 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP3254741A patent/JP2871912B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0558656A (ja) | 1993-03-09 |
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