JP2818707B2 - 石英系ガラス母材の製造方法 - Google Patents
石英系ガラス母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/0128—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass
- C03B37/01282—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass by pressing or sintering, e.g. hot-pressing
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は通信、光学の分野で用い
られる光ファイバ母材、イメージファイバ母材、ライト
ガイド母材、ロッドレンズ母材などを作製するための石
英系ガラス母材の製造方法に関する。
られる光ファイバ母材、イメージファイバ母材、ライト
ガイド母材、ロッドレンズ母材などを作製するための石
英系ガラス母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通信、光学の分野において、光ファイバ
母材、イメージファイバ母材、ライトガイド母材、ロッ
ドレンズ母材などを作製するとき、つぎのような手段が
採用されている。
母材、イメージファイバ母材、ライトガイド母材、ロッ
ドレンズ母材などを作製するとき、つぎのような手段が
採用されている。
【０００３】その一つは、ＶＡＤ法、ＭＣＶＤ法、ＯＶ
Ｄ法、ＰＣＶＤ法などの気相反応法である。これら気相
反応法は、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのハロゲン化物
を出発原料とし、その原料を酸化反応または火炎加水分
解反応させて、ＳｉＯ2 、ＧｅＯ2などの酸化物粉末を
つくり、かつ、当該酸化物粉末を所定の堆積面（ターゲ
ットの先端面、石英管の内周面、マンドレルの外周面な
ど）で堆積成長させ、これを透明ガラス化することによ
り、石英系ガラス母材をつくる。最近では、より高品質
の光ファイバを得るために、全合成ＶＡＤ法による石英
系ガラス母材の製造手段も採用されている。ちなみに、
シングルモード光ファイバ用の母材作製では、はじめ、
ＶＡＤ法を介して適当な外径比のコア用多孔質ガラス
体、クラッド用多孔質ガラス体を同時合成し、つぎに、
これら多孔質ガラス体を透明ガラス化し、そのつぎに、
透明ガラス体を加熱延伸した後に二分割し、その後、コ
ア／クラッドの外径比を１０／１２５（μｍ）に仕上げ
るため（外径寸法の調整）、前記分割された透明ガラス
体の外周にＯＶＤ法を介してクラッド用の多孔質ガラス
体を堆積し、これを透明ガラス化している。
Ｄ法、ＰＣＶＤ法などの気相反応法である。これら気相
反応法は、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのハロゲン化物
を出発原料とし、その原料を酸化反応または火炎加水分
解反応させて、ＳｉＯ2 、ＧｅＯ2などの酸化物粉末を
つくり、かつ、当該酸化物粉末を所定の堆積面（ターゲ
ットの先端面、石英管の内周面、マンドレルの外周面な
ど）で堆積成長させ、これを透明ガラス化することによ
り、石英系ガラス母材をつくる。最近では、より高品質
の光ファイバを得るために、全合成ＶＡＤ法による石英
系ガラス母材の製造手段も採用されている。ちなみに、
シングルモード光ファイバ用の母材作製では、はじめ、
ＶＡＤ法を介して適当な外径比のコア用多孔質ガラス
体、クラッド用多孔質ガラス体を同時合成し、つぎに、
これら多孔質ガラス体を透明ガラス化し、そのつぎに、
透明ガラス体を加熱延伸した後に二分割し、その後、コ
ア／クラッドの外径比を１０／１２５（μｍ）に仕上げ
るため（外径寸法の調整）、前記分割された透明ガラス
体の外周にＯＶＤ法を介してクラッド用の多孔質ガラス
体を堆積し、これを透明ガラス化している。
【０００４】他の一つは、特開昭６４−５６３３１号公
報などに開示されているように、鋳込泥漿法を用いる方
法である。この方法は、はじめ、予備処理された石英系
の微粉末ガラス原料を純水中に分散させてスラリーをつ
くり、つぎに、スラリーを成形型内に流しこんで脱水す
ることにより、微粉末ガラス原料による多孔質ガラス体
を形成し、その後、多孔質ガラス体を乾燥ならびに透明
ガラス化する。
報などに開示されているように、鋳込泥漿法を用いる方
法である。この方法は、はじめ、予備処理された石英系
の微粉末ガラス原料を純水中に分散させてスラリーをつ
くり、つぎに、スラリーを成形型内に流しこんで脱水す
ることにより、微粉末ガラス原料による多孔質ガラス体
を形成し、その後、多孔質ガラス体を乾燥ならびに透明
ガラス化する。
【０００５】さらに、他の一つは、特開平１−２９４５
４８号公報などに開示されているように、気相反応法と
ゾルゲル法とを併用する方法である。この方法は、気相
反応法を主体にして作製された棒状の多孔質ガラス体
（コア用ガラス＋クラッド用ガラスの一部）と、ゾルゲ
ル法を介して作製された管状の多孔質ガラス体（クラッ
ド用ガラスの残部）とを、ロッドインチューブの手法で
組み合わせた後、これら多孔質ガラス体を一括して透明
ガラス化する。
４８号公報などに開示されているように、気相反応法と
ゾルゲル法とを併用する方法である。この方法は、気相
反応法を主体にして作製された棒状の多孔質ガラス体
（コア用ガラス＋クラッド用ガラスの一部）と、ゾルゲ
ル法を介して作製された管状の多孔質ガラス体（クラッ
ド用ガラスの残部）とを、ロッドインチューブの手法で
組み合わせた後、これら多孔質ガラス体を一括して透明
ガラス化する。
【０００６】上記以外の一つとして、ＳｉＯ2 の超微粉
（超微粒子）を用いるコロイド法に属するものがあり、
これは、たとえば、特開昭６１−２２７９２５号公報に
開示されている。この方法は、粒径０．０１５〜０．１
μｍ（平均粒径０．０４μｍ）のようなＳｉＯ2 超微粒
子を水に分散させて揺変性懸濁液をつくり、かつ、これ
に振動等を与えて流動性を付与した後、該揺変性懸濁液
を成形型内に注入してその揺変効果によりＳｉＯ2 超微
粒子を型内で固化させ、かくて得られたて多孔質状の粉
末成形体を乾燥ならびに燒結して透明ガラス化する。か
かるコロイド法の場合、これに用いられるＳｉＯ2 超微
粒子がきわめて細かい粒子であるので、ＳｉＯ2 超微粒
子を水に分散させたとき、超微粒子相互が架橋結合によ
りゲル化し、さらに、その懸濁液を静置したとき、Ｓｉ
Ｏ2 超微粒子が揺変性により固化する。したがって、コ
ロイド法においてＳｉＯ2 超微粒子の揺変性懸濁液を注
型するとき、通常のスラリーにはみられないゲル−ゾル
変換を行なって、これに流動性を付与することとなる。
（超微粒子）を用いるコロイド法に属するものがあり、
これは、たとえば、特開昭６１−２２７９２５号公報に
開示されている。この方法は、粒径０．０１５〜０．１
μｍ（平均粒径０．０４μｍ）のようなＳｉＯ2 超微粒
子を水に分散させて揺変性懸濁液をつくり、かつ、これ
に振動等を与えて流動性を付与した後、該揺変性懸濁液
を成形型内に注入してその揺変効果によりＳｉＯ2 超微
粒子を型内で固化させ、かくて得られたて多孔質状の粉
末成形体を乾燥ならびに燒結して透明ガラス化する。か
かるコロイド法の場合、これに用いられるＳｉＯ2 超微
粒子がきわめて細かい粒子であるので、ＳｉＯ2 超微粒
子を水に分散させたとき、超微粒子相互が架橋結合によ
りゲル化し、さらに、その懸濁液を静置したとき、Ｓｉ
Ｏ2 超微粒子が揺変性により固化する。したがって、コ
ロイド法においてＳｉＯ2 超微粒子の揺変性懸濁液を注
型するとき、通常のスラリーにはみられないゲル−ゾル
変換を行なって、これに流動性を付与することとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した気相反応法、
鋳込泥漿法、気相反応法とゾルゲル法との併用法、およ
び、コロイド法には、以下に述べる技術的課題が残され
ている。
鋳込泥漿法、気相反応法とゾルゲル法との併用法、およ
び、コロイド法には、以下に述べる技術的課題が残され
ている。
【０００８】たとえば、気相反応法の場合、良品を得る
ための技術的完成度は高いものの、酸化物粉末の堆積効
率が３０〜６０％と低く、設備の規模が大型化するな
ど、歩留り、製品のコスト、設備の経済性に難点がみら
れる。
ための技術的完成度は高いものの、酸化物粉末の堆積効
率が３０〜６０％と低く、設備の規模が大型化するな
ど、歩留り、製品のコスト、設備の経済性に難点がみら
れる。
【０００９】鋳込泥漿法は、簡易な設備にて高品質の多
孔質ガラス体を高生産することができるが、これ単独で
導波路構造をつくることができない。したがって、鋳込
泥漿法の場合、この方法自体を改善するか、あるいは、
他の手段の介在を必要とするが、鋳込泥漿法に関する公
知例には、これについての技術示唆がない。
孔質ガラス体を高生産することができるが、これ単独で
導波路構造をつくることができない。したがって、鋳込
泥漿法の場合、この方法自体を改善するか、あるいは、
他の手段の介在を必要とするが、鋳込泥漿法に関する公
知例には、これについての技術示唆がない。
【００１０】気相反応法とゾルゲル法とを併用する方法
の場合は、原料であるアルコキシドのコストが高い、乾
燥時のゲル状物に割れが生じやすく母材の大型化がむず
かしい、加水分解反応時の制御難度が高いなど、これら
の改善が望まれる。
の場合は、原料であるアルコキシドのコストが高い、乾
燥時のゲル状物に割れが生じやすく母材の大型化がむず
かしい、加水分解反応時の制御難度が高いなど、これら
の改善が望まれる。
【００１１】コロイド法の場合、これに用いられるＳｉ
Ｏ2 超微粒子がその分散液中において特有の挙動を示す
ので、その揺変性懸濁液の注型に際して既述のゲル−ゾ
ル変換を行なわねばならず、工程上の処理が煩雑にな
る。それにも増し、コロイド法では、多孔質体の乾燥処
理に、２５℃で３〜１２日間、さらに６０℃で一日間と
いったように、かなりの日数を要するので、生産性を高
めるのが困難である。
Ｏ2 超微粒子がその分散液中において特有の挙動を示す
ので、その揺変性懸濁液の注型に際して既述のゲル−ゾ
ル変換を行なわねばならず、工程上の処理が煩雑にな
る。それにも増し、コロイド法では、多孔質体の乾燥処
理に、２５℃で３〜１２日間、さらに６０℃で一日間と
いったように、かなりの日数を要するので、生産性を高
めるのが困難である。
【００１２】本発明はこれらの技術的課題に鑑み、高品
質の石英系ガラス母材を合理的かつ経済的に、しかも、
高生産性をもって製造することのできる方法を提供しよ
うとするものである。
質の石英系ガラス母材を合理的かつ経済的に、しかも、
高生産性をもって製造することのできる方法を提供しよ
うとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る石英系ガラ
ス母材の製造方法は、所期の目的を達成するために、成
形型内に石英系のガラス棒を入れた後、これらガラス棒
外周面と成形型内周面との間の成形空間に、石英系の微
粉末ガラス原料を純水中に分散させてなるスラリーを流
しこんで、前記ガラス棒の外周に、前記微粉末ガラス原
料によるガラス微粉末成形体を形成することを特徴とす
る。前記における石英系の微粉末ガラス原料は、平均粒
径０．６〜２０μｍの範囲内にあることが望ましい。
ス母材の製造方法は、所期の目的を達成するために、成
形型内に石英系のガラス棒を入れた後、これらガラス棒
外周面と成形型内周面との間の成形空間に、石英系の微
粉末ガラス原料を純水中に分散させてなるスラリーを流
しこんで、前記ガラス棒の外周に、前記微粉末ガラス原
料によるガラス微粉末成形体を形成することを特徴とす
る。前記における石英系の微粉末ガラス原料は、平均粒
径０．６〜２０μｍの範囲内にあることが望ましい。
【００１４】
【作用】本発明方法において石英系ガラス母材を製造す
るとき、石英系のガラス棒の周囲に、いわゆる、鋳込泥
漿法を介してガラス微粉末成形体を形成する。この場
合、石英系ガラス母材の軸心部となる石英系ガラス棒
は、下記の理由から、ＶＡＤ法のごとき火炎加水分解法
とその後の処理手段とで作製されたものを用いる。その
一つは、技術的にほぼ完熟した火炎加水分解法を介して
母材の要部となるガラス棒を高品質につくれるからであ
り、他の一つは、母材中に占めるガラス棒の体積率が小
さく、たとえ加水分解法による酸化物粉末の堆積効率が
低くても、全体的にみた歩留りの低下が緩和され、設備
の大型化も回避できるからである。
るとき、石英系のガラス棒の周囲に、いわゆる、鋳込泥
漿法を介してガラス微粉末成形体を形成する。この場
合、石英系ガラス母材の軸心部となる石英系ガラス棒
は、下記の理由から、ＶＡＤ法のごとき火炎加水分解法
とその後の処理手段とで作製されたものを用いる。その
一つは、技術的にほぼ完熟した火炎加水分解法を介して
母材の要部となるガラス棒を高品質につくれるからであ
り、他の一つは、母材中に占めるガラス棒の体積率が小
さく、たとえ加水分解法による酸化物粉末の堆積効率が
低くても、全体的にみた歩留りの低下が緩和され、設備
の大型化も回避できるからである。
【００１５】さらに、石英系の微粉末ガラス原料とし
て、粒径０．６〜２０μｍのシリカ微粒子を用いると
き、すなわち、超微粒子を上回る粒径のシリカ粒子を用
いるときは、つぎのような点で望ましい。粒径０．６〜
２０μｍのごとき大きさをもつシリカ微粒子は、超微粒
子と異なりこれを水に分散しても架橋結合によるゲル化
をともなわず、微粒子相互が独立した状態で分散する。
このような粒径のシリカ微粒子を水に分散させてなるス
ラリーは、注型に際してゲル−ゾル変換を必要とするよ
うな揺変性を示さず、スラリー中の微粒子濃度が均一と
なる程度に攪拌すれば足りる。かかるスラリーを連続気
孔構造の成形型内に注入した場合、スラリー中の水分が
成形型の毛細管現象（吸水性ないし脱水性）により除去
されてシリカ微粒子間距離が次第に小さくなり、ついに
は、シリカ微粒子相互が絡まりあって多孔質状のガラス
粉末成形体が成形される。
て、粒径０．６〜２０μｍのシリカ微粒子を用いると
き、すなわち、超微粒子を上回る粒径のシリカ粒子を用
いるときは、つぎのような点で望ましい。粒径０．６〜
２０μｍのごとき大きさをもつシリカ微粒子は、超微粒
子と異なりこれを水に分散しても架橋結合によるゲル化
をともなわず、微粒子相互が独立した状態で分散する。
このような粒径のシリカ微粒子を水に分散させてなるス
ラリーは、注型に際してゲル−ゾル変換を必要とするよ
うな揺変性を示さず、スラリー中の微粒子濃度が均一と
なる程度に攪拌すれば足りる。かかるスラリーを連続気
孔構造の成形型内に注入した場合、スラリー中の水分が
成形型の毛細管現象（吸水性ないし脱水性）により除去
されてシリカ微粒子間距離が次第に小さくなり、ついに
は、シリカ微粒子相互が絡まりあって多孔質状のガラス
粉末成形体が成形される。
【００１６】以上のように、鋳込泥漿法によるときは、
所定のスラリーを成形型に流しこんでガラス微粉末成形
体をつくるだけであるから、経済的な設備、簡易な工程
で所要の成形体を歩留りよく成形することができ、その
後の処理にしても、ガラス微粉末成形体を乾燥し、透明
ガラス化するだけで足りる。したがって、本発明方法を
介して導波路構造をもつ石英系ガラス母材をつくると
き、歩留り、製品のコスト、設備の経済性などをはかる
ことができる。
所定のスラリーを成形型に流しこんでガラス微粉末成形
体をつくるだけであるから、経済的な設備、簡易な工程
で所要の成形体を歩留りよく成形することができ、その
後の処理にしても、ガラス微粉末成形体を乾燥し、透明
ガラス化するだけで足りる。したがって、本発明方法を
介して導波路構造をもつ石英系ガラス母材をつくると
き、歩留り、製品のコスト、設備の経済性などをはかる
ことができる。
【００１７】
【実施例】本発明に係る石英系ガラス母材の製造方法
を、図示の実施例に基づいて説明する。
を、図示の実施例に基づいて説明する。
【００１８】図１において、１１はスラリー注入機、２
１は成形型、３１は石英系のガラス棒、３２はスラリ
ー、３３はガラス微粉末成形体を示し、図２において、
３４は多孔質ガラス体を示し、図３において、３５は透
明ガラス体を示す。
１は成形型、３１は石英系のガラス棒、３２はスラリ
ー、３３はガラス微粉末成形体を示し、図２において、
３４は多孔質ガラス体を示し、図３において、３５は透
明ガラス体を示す。
【００１９】スラリー注入機１１は、上部に蓋体１２、
下部に出口管１３を有する容器１４と、その容器１４内
に内装された攪拌器１５とで構成されており、これらの
構成部材は、合成石英製のものからなる。
下部に出口管１３を有する容器１４と、その容器１４内
に内装された攪拌器１５とで構成されており、これらの
構成部材は、合成石英製のものからなる。
【００２０】成形型２１は、吸水性、脱水性など、いわ
ゆる、水切り効果のある硬質容器からなり、これの一例
として、合成樹脂あるいは合成石英微粉末（ヒュームド
シリカ）を素材として形成された連続気孔を有する容器
をあげることができる。
ゆる、水切り効果のある硬質容器からなり、これの一例
として、合成樹脂あるいは合成石英微粉末（ヒュームド
シリカ）を素材として形成された連続気孔を有する容器
をあげることができる。
【００２１】石英系のガラス棒３１は、たとえば、ＶＡ
Ｄ法のごとき火炎加水分解法により形成された多孔質ガ
ラス体を脱水ならびに透明ガラス化して得たものからな
り、このガラス棒３１は、コア用ガラスとその外周のク
ラッド用ガラスとを備えている。
Ｄ法のごとき火炎加水分解法により形成された多孔質ガ
ラス体を脱水ならびに透明ガラス化して得たものからな
り、このガラス棒３１は、コア用ガラスとその外周のク
ラッド用ガラスとを備えている。
【００２２】スラリー３２は、石英系の微粉末ガラス原
料を純水中に分散させたものからなる。このスラリー３
２中の微粉末ガラス原料は、主としてＳｉＯ2 粉末のみ
からなるが、場合により、ＳｉＯ2 の屈折率を調整する
ための酸化物粉末が複合していることもある。
料を純水中に分散させたものからなる。このスラリー３
２中の微粉末ガラス原料は、主としてＳｉＯ2 粉末のみ
からなるが、場合により、ＳｉＯ2 の屈折率を調整する
ための酸化物粉末が複合していることもある。
【００２３】図１において本発明方法を実施するとき、
以下のようになる。はじめ、スラリー注入機１１の容器
１４には所定の粘度に調製されたスラリー３２を充填し
てこれを攪拌器１５により均質に攪拌し、成形型２１内
にはその軸心部にガラス棒３１を垂直に挿入してかかる
状態を保持する。つぎに、上記容器１４内のスラリー３
２を出口管１３から成形型２１内の成形空間（ガラス棒
外周面と成形型内周面との間）に流しこむ。その後、所
定時間の経過をまつと、成形型２１内のスラリー３２が
成形型２１の吸水作用により脱水されて体積収縮し、含
有水分の少ないガラス微粉末成形体３３となる。ガラス
微粉末成形体３３は、かなりの水分が除かれているの
で、不完全ながらも、自己の形態を保持できる程度に乾
燥されている。
以下のようになる。はじめ、スラリー注入機１１の容器
１４には所定の粘度に調製されたスラリー３２を充填し
てこれを攪拌器１５により均質に攪拌し、成形型２１内
にはその軸心部にガラス棒３１を垂直に挿入してかかる
状態を保持する。つぎに、上記容器１４内のスラリー３
２を出口管１３から成形型２１内の成形空間（ガラス棒
外周面と成形型内周面との間）に流しこむ。その後、所
定時間の経過をまつと、成形型２１内のスラリー３２が
成形型２１の吸水作用により脱水されて体積収縮し、含
有水分の少ないガラス微粉末成形体３３となる。ガラス
微粉末成形体３３は、かなりの水分が除かれているの
で、不完全ながらも、自己の形態を保持できる程度に乾
燥されている。
【００２４】このように、成形型２１を介してガラス微
粉末成形体３３を成形した後は、これを成形型２１内か
ら取り出して乾燥器（図示せず）に入れる。かかる乾燥
器を介して乾燥されたガラス微粉末成形体３３は、図２
に示すごとく、含有水分の殆どない多孔質ガラス体３４
となる。
粉末成形体３３を成形した後は、これを成形型２１内か
ら取り出して乾燥器（図示せず）に入れる。かかる乾燥
器を介して乾燥されたガラス微粉末成形体３３は、図２
に示すごとく、含有水分の殆どない多孔質ガラス体３４
となる。
【００２５】以下、多孔質ガラス体３４を常法にて脱水
ならびに透明ガラス化すると、当該多孔質ガラス体３４
が図３のごとき透明ガラス体３５となる。
ならびに透明ガラス化すると、当該多孔質ガラス体３４
が図３のごとき透明ガラス体３５となる。
【００２６】なお、多孔質ガラス体３４の透明ガラス化
後、前述したガラス微粉末成形から透明ガラス化まで工
程を繰り返して透明ガラス体３５を増径することよによ
り、より外径の大きい石英系ガラス母材を得ることがで
きる。
後、前述したガラス微粉末成形から透明ガラス化まで工
程を繰り返して透明ガラス体３５を増径することよによ
り、より外径の大きい石英系ガラス母材を得ることがで
きる。
【００２７】つぎに、本発明方法のより具体的な実施例
について説明する。石英系のガラス棒３１としては、コ
ア用のガラス組成がＳｉＯ2 −ＧｅＯ2 、クラッド用の
ガラス組成がＳｉＯ2 、コア用ガラス／クラッド用ガラ
スの外径比が１／３、これらの比屈折率差が０．３％の
ものを用い、かかるガラス棒３１を加熱延伸して直径１
５ｍｍ、長さ５００ｍｍに加工した。スラリー３２とし
ては、平均粒径０．６〜２０μｍのＳｉＯ2 微粒子を純
水中に分散させた粘度約４０００ｃｐｓのものを調製
し、これをスラリー注入機１１の容器１４内に充填して
おく。吸水性、脱水性を有する成形型２１としては、内
径１２０ｍｍφ、深さ５００ｍｍのヒュームドシリカ製
のものを用いた。
について説明する。石英系のガラス棒３１としては、コ
ア用のガラス組成がＳｉＯ2 −ＧｅＯ2 、クラッド用の
ガラス組成がＳｉＯ2 、コア用ガラス／クラッド用ガラ
スの外径比が１／３、これらの比屈折率差が０．３％の
ものを用い、かかるガラス棒３１を加熱延伸して直径１
５ｍｍ、長さ５００ｍｍに加工した。スラリー３２とし
ては、平均粒径０．６〜２０μｍのＳｉＯ2 微粒子を純
水中に分散させた粘度約４０００ｃｐｓのものを調製
し、これをスラリー注入機１１の容器１４内に充填して
おく。吸水性、脱水性を有する成形型２１としては、内
径１２０ｍｍφ、深さ５００ｍｍのヒュームドシリカ製
のものを用いた。
【００２８】図１を参照して説明したように、ガラス棒
３１を成形型２１内にセットし、かつ、スラリー注入機
１１から成形型２１内にスラリー３２を流しこみ、この
状態を６時間放置した。この工程により、既述のガラス
微粉末成形体３３が形成された。
３１を成形型２１内にセットし、かつ、スラリー注入機
１１から成形型２１内にスラリー３２を流しこみ、この
状態を６時間放置した。この工程により、既述のガラス
微粉末成形体３３が形成された。
【００２９】上記ガラス微粉末成形体３３を成形型２１
内から取り出して電気オーブン製の乾燥器内に入れ、こ
れを１００℃、１２時間加熱した。この工程により、既
述の多孔質ガラス体３４が形成された。
内から取り出して電気オーブン製の乾燥器内に入れ、こ
れを１００℃、１２時間加熱した。この工程により、既
述の多孔質ガラス体３４が形成された。
【００３０】上記多孔質ガラス体３４を回転させつつ、
１４５０℃に保持された電気炉の炉心管内に２５０ｍｍ
／ｈｒの速度で挿入し、多孔質ガラス体３４が焼結（脱
水ならびに透明ガラス化）された透明ガラス体３５を得
た。この際、炉心管内には５リットル／ｍｉｎのＨｅ、
０．２リットル／ｍｉｎのＣｌ2 を供給して高純度化な
らびに透明ガラス化のための雰囲気を形成した。かくて
得られた石英系ガラス母材は、外径６２．５ｍｍφ、長
さ３００ｍｍである。
１４５０℃に保持された電気炉の炉心管内に２５０ｍｍ
／ｈｒの速度で挿入し、多孔質ガラス体３４が焼結（脱
水ならびに透明ガラス化）された透明ガラス体３５を得
た。この際、炉心管内には５リットル／ｍｉｎのＨｅ、
０．２リットル／ｍｉｎのＣｌ2 を供給して高純度化な
らびに透明ガラス化のための雰囲気を形成した。かくて
得られた石英系ガラス母材は、外径６２．５ｍｍφ、長
さ３００ｍｍである。
【００３１】この具体例により作製した石英系ガラス母
材は５本である。これら各石英系ガラス母材を、それぞ
れ周知の線引手段で加熱延伸して、外径１２５μｍφの
シングルモード光ファイバを得た。こうして得られたシ
ングルモード光ファイバにつき、波長１．５５μｍ帯で
の伝送特性を測定したところ、０．１８ｄＢ／ｋｍであ
った。この値は、たとえば、従来の全合成ＶＡＤ法に基
づくシングルモード光ファイバと比べ、伝送特性上の遜
色がない。上述した具体例において、スラリー３２から
多孔質ガラス体３４までをつくる処理を、５本分、並列
に実施する場合（ただし、スラリーの鋳込み速度：３０
０リットル／ｍｉｎ）、１本あたりの処理時間は約３．
７ｈｒであり、ＳｉＯ2 微粒子の歩留りは９５％であ
る。
材は５本である。これら各石英系ガラス母材を、それぞ
れ周知の線引手段で加熱延伸して、外径１２５μｍφの
シングルモード光ファイバを得た。こうして得られたシ
ングルモード光ファイバにつき、波長１．５５μｍ帯で
の伝送特性を測定したところ、０．１８ｄＢ／ｋｍであ
った。この値は、たとえば、従来の全合成ＶＡＤ法に基
づくシングルモード光ファイバと比べ、伝送特性上の遜
色がない。上述した具体例において、スラリー３２から
多孔質ガラス体３４までをつくる処理を、５本分、並列
に実施する場合（ただし、スラリーの鋳込み速度：３０
０リットル／ｍｉｎ）、１本あたりの処理時間は約３．
７ｈｒであり、ＳｉＯ2 微粒子の歩留りは９５％であ
る。
【００３２】これに対し、具体例と同程度の多孔質ガラ
ス体を既成のＶＡＤ法で作製するときは、ＳｉＯ2 微粒
子の平均堆積速度を３ｇ／ｍｉｎとして約１０ｈｒを要
し、ＳｉＯ2 微粒子の歩留りは３０％である。
ス体を既成のＶＡＤ法で作製するときは、ＳｉＯ2 微粒
子の平均堆積速度を３ｇ／ｍｉｎとして約１０ｈｒを要
し、ＳｉＯ2 微粒子の歩留りは３０％である。
【００３３】この比較から明らかなように、本発明方法
によるときは、多孔質ガラス体を歩留りよく、高生産す
ることができる。
によるときは、多孔質ガラス体を歩留りよく、高生産す
ることができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明方法によるときは、石英系ガラス
棒の外周に鋳込泥漿法を介してガラス微粉末成形体を形
成するので、製品の品質保持、原料（シリカ、水）のコ
ストダウン、歩留りの向上、製造時間の短縮、設備の大
型化回避など、これらを満足させて石英系ガラス母材を
合理的かつ経済的に製造することができる。
棒の外周に鋳込泥漿法を介してガラス微粉末成形体を形
成するので、製品の品質保持、原料（シリカ、水）のコ
ストダウン、歩留りの向上、製造時間の短縮、設備の大
型化回避など、これらを満足させて石英系ガラス母材を
合理的かつ経済的に製造することができる。
【図１】本発明方法の一実施例を略示した説明図であ
る。
る。
【図２】本発明方法の一実施例により作製された多孔質
ガラス体の略示断面図である。
ガラス体の略示断面図である。
【図３】本発明方法の一実施例により作製された透明ガ
ラス体の略示平面図である。
ラス体の略示平面図である。
１１‥‥‥スラリー注入機 ２１‥‥‥成形型 ３１‥‥‥ガラス棒 ３２‥‥‥スラリー ３３‥‥‥ガラス微粉末成形体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 19/06 C03B 20/00 C03B 37/012
Claims (2)
- 【請求項１】 成形型内に石英系のガラス棒を入れた
後、これらガラス棒外周面と成形型内周面との間の成形
空間に、石英系の微粉末ガラス原料を純水中に分散させ
てなるスラリーを流しこんで、前記ガラス棒の外周に、
前記微粉末ガラス原料によるガラス微粉末成形体を形成
することを特徴とする石英系ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 石英系の微粉末ガラス原料が、平均粒径
０．６〜２０μｍの範囲内にある請求項１記載の石英系
ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23719291A JP2818707B2 (ja) | 1990-08-27 | 1991-08-23 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-224732 | 1990-08-27 | ||
| JP22473290 | 1990-08-27 | ||
| JP23719291A JP2818707B2 (ja) | 1990-08-27 | 1991-08-23 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0570157A JPH0570157A (ja) | 1993-03-23 |
| JP2818707B2 true JP2818707B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=26526233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23719291A Expired - Fee Related JP2818707B2 (ja) | 1990-08-27 | 1991-08-23 | 石英系ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2818707B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5712653A (en) * | 1993-12-27 | 1998-01-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image display scanning circuit with outputs from sequentially switched pulse signals |
| JPH09146489A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Sharp Corp | 走査回路および画像表示装置 |
| JPH09319326A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Sharp Corp | 走査回路およびマトリクス型画像表示装置 |
| JP2003107208A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fujikura Ltd | ロッドレンズの製造方法及びロッドレンズ |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP23719291A patent/JP2818707B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0570157A (ja) | 1993-03-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |