JPH05229839A - 石英系ガラス成形体の製造方法 - Google Patents

石英系ガラス成形体の製造方法

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JPH05229839A
JPH05229839A JP26060292A JP26060292A JPH05229839A JP H05229839 A JPH05229839 A JP H05229839A JP 26060292 A JP26060292 A JP 26060292A JP 26060292 A JP26060292 A JP 26060292A JP H05229839 A JPH05229839 A JP H05229839A
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glass
quartz
powder
molded body
based glass
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JP26060292A
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Kenji Enomoto
憲嗣 榎本
Hiroshi Hihara
弘 日原
Masato Oku
誠人 奥
Takeshi Yagi
健 八木
Tsugio Sato
継男 佐藤
Kazuaki Yoshida
和昭 吉田
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/0128Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass
    • C03B37/01282Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass by pressing or sintering, e.g. hot-pressing

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 石英系ガラス粉末材料を有機バインダを用い
ることなく造粒してガラス成形体を加圧成形し易くし、
また高い純度のガラス粉末材料からガラス成形体を製造
して不純物を含むことがない良質の石英系ガラス成形体
を製造する。 【構成】 加圧装置10の内部に設置された容器の形態
の成形型12内に石英系ガラス粉末材料22を充填し、
加圧装置10内を加圧して石英系ガラス粉末材料22に
外部圧力をかけて成形した後、これを燒結して石英系ガ
ラス成形体を製造する。石英系ガラス粉末材料22とし
て石英系ガラス粉末と少なくとも水を含む成分から成る
pHが10以下のスラリーを形成し、このスラリーを2
50℃以下の温度で乾燥、粉砕するか、このスラリーを
250℃以下の温度で噴霧乾燥した粉末またはこの粉末
を造粒した粒子を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光ファイバ母
材を製造するのに用いられる石英系ガラス成形体を製造
する方法の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、石英系ガラス成形体は、加圧装
置内に設置された成形型内に石英系ガラス粉末材料を充
填してこのガラス粉末材料に外部圧力をかけて成形し、
これを燒結して製造されている。従来技術では、この石
英系ガラス粉末材料は、石英系ガラス粉末またはこの粉
末にPVA等の有機バインダを添加して造粒された粒子
あるいは水ガラス法によって得られるシリカ粉末をその
まま、またはそれを造粒して形成された粒子が用いられ
ている。特に、大型のガラス成形体を製造するために
は、製品の強度の面から造粒した顆粒粉末状のガラス粉
末材料が用いられていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、PVA等の有
機バインダを添加した造粒粉末からガラス成形体を成形
する際に、このガラス成形体からNa、Ca、C等の不
純物を完全に除去することが不可能であり、また水ガラ
ス法による石英系ガラスの造粒粉末からガラス成形体を
成形する場合には有機バインダを必要としないが、原料
の純度が低いため、同様にガラス成形体からNa、Ca
等の不純物を完全に除去することが不可能である。これ
らの不純物を含有するガラス成形体から光ファイバを製
造する場合に、その伝送損失を著しく劣化するので好ま
しくない。
【0004】本発明の目的は、上記の欠点を回避し、石
英系ガラス粉末材料を有機バインダを用いることなく造
粒することができ、また高い純度のガラス粉末材料から
ガラス成形体を製造して不純物を含むことがない良質の
石英系ガラス成形体を製造する方法を提供することにあ
る。
【0005】本発明の他の目的は、高い歩留まりで大型
の石英系ガラス成形体を製造することができる方法を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、加圧装置の内部に設置された成形型内に
石英系ガラス粉末材料を充填してこのガラス粉末材料に
外部圧力をかけて成形し、これを燒結して石英系ガラス
成形体を製造する方法において、石英系ガラス粉末材料
として石英系ガラス粉末と少なくとも水を含む成分とか
ら成るpH10以下のスラリーを形成し、このスラリー
を250℃以下の温度で乾燥、粉砕するか、このスラリ
ーを250℃以下の温度で噴霧乾燥した粉末またはこの
粉末を造粒した粒子を用いることを特徴とする石英系ガ
ラス成形体の製造方法を提供することにある。
【0007】
【作用】石英系ガラス粉末と少なくとも水を含む成分と
から成るpH10以下のスラリーを250℃以下の温度
で乾燥、粉砕するか、このスラリーを250℃以下の温
度で噴霧乾燥すると、ガラス粉末の表面に活性なOH基
を均質に付与することができ、ガラス粉末の水に対する
濡れ性が向上する。このため、シラノール基の水素結合
反応を利用することによって水のみを結合剤とする造粒
が可能となり、その結果ガラス粉末材料は外部圧力によ
って加圧成形し易くなり、このようにして成形されたガ
ラス成形体の強度は向上するので、特に大型のガラス成
形体を成形するのに有効である。
【0008】上記の課題を解決する手段において、石英
系ガラス粉末としては火炎加水分解法、金属シリカの直
接酸化法等の乾式法によって得られる粉末を用いること
が好ましい。スラリーは、250℃以下の温度で乾燥す
るのが好ましく、それ以上の温度で乾燥すると、石英系
ガラス粉末の表面にOH基を均質に付与することが困難
となる。pH10以下とは、pH10以下の弱アルカリ
側を意味し、スラリーがpH10以上の強アルカリとな
ると、スラリーの調整、乾燥操作が困難となり、且つ作
業時に人体に悪影響を与える。pHの調整にはアンモニ
ア水あるいは遷移金属及びアルカリ金属を含まないアン
モニウム(例えばポリカルボンサンアンモニウム塩、ア
クリル系アンモニウム)、HCl、HNO3 等を用いる
のが好ましい。スラリーは、250℃以下でスラリーを
固化した後、粉砕するか、100℃前後の温度である程
度濃縮した後、濾過して乾燥、粉砕する。あるいは、ス
ラリーは、250℃以下の雰囲気で噴霧した後、乾燥し
捕集することができる。
【0009】
【実施例】次に、本発明の幾つかの実施例を詳細にのべ
るが、いずれの実施例も、加圧装置の内部に設置された
容器の形態の成形型内に石英系ガラス粉末材料を充填
し、加圧装置内を加圧して石英系ガラス粉末材料に外部
圧力をかけて成形した後、これを加圧装置内または加圧
装置外で燒結して石英系ガラス成形体を製造する。本発
明の方法では、既にのべたように、石英系ガラス粉末材
料として石英系ガラス粉末と少なくとも水を含む成分か
ら成るpH10以下のスラリーを形成し、このスラリー
を250℃以下の温度で乾燥、粉砕するか、このスラリ
ーを250℃以下の温度で噴霧乾燥して石英系ガラス粉
末の表面にOH基を付与した粉末またはこの粉末を造粒
した粒子を用いる。この粉末は、20μm以下の平均直
径を有し、またこの粉末を造粒して形成された粒子は3
0μm以上の平均直径を有するのが好ましい。
【0010】以下、本発明の幾つかの具体的実施例をの
べる。 (実施例1)石英系ガラス粉末として粒径が0.4μm
の市販のシリカ粉末を用いた。このシリカ粉末500g
に純水を加えてシリカ濃度で60%のスラリーをポット
ミル中で作製した。このスラリーにアンモニア水を添加
してpH8.4に調整しながらボールミルで混合した。
このようにして得られたスラリーを45℃で12時間混
合し調整した。このスラリーを110℃の温度で噴霧乾
燥して平均粒子径が92μmの中実の造粒粉末が得られ
た。この造粒粉末を円筒形容器の形態の種々の寸法の成
形型に充填し、この成形型を加圧装置に設置し、加圧し
た後、燒結して直径が30mmで長さが150mmから
直径が100mmで長さが800mmまでの寸法の柱状
ガラス成形体を製造した。このようにして製造されたガ
ラス成形体は、PVA(ポリビニルアルコール)バイン
ダで造粒された同様のシリカ造粒粉末で製造されたガラ
ス成形体と同程度の強度を有していたことが確認され
た。
【0011】また、直径が30mmで長さが150mm
のガラス成形体を通常の気相法と同じ条件で脱水しガラ
ス化して石英ロッドを作成した。この石英ロッドを線引
きし、クラッドとなるプラスチックを被覆してプラスチ
ッククラッドファイバを形成し、その損失特性を評価し
たところ、気相法で作成した石英ロッドを線引きして作
製されたプラスチッククラッドファイバと同程度の特性
であることが確認された。
【0012】(実施例2)実施例1と全く同様の条件で
市販のシリカ粉末から平均粒径が約83μmの約450
gの造粒粉末を作成した。図1は、湿式タイプの静水加
圧装置10内に設置された成形型12を示し、この成形
型12は、圧力媒体23の給排用貫通孔が設けられてい
る支持筒14内に設けられたゴム製の成形用筒型16か
ら成り、この筒型16は、弗素系樹脂が被覆された鉄製
の中心棒18を有し、また上下の成形用蓋20、20’
によって閉じられている。筒型16は、60mmの外径
と50mmの内径と270mmの長さとを有するが、造
粒粉末22が充填される部分の長さは250mmであっ
た。中心棒18は、10.6mmの直径と270mmの
長さを有していた。高弾性のゴム又はプラスチックから
成る上下の蓋20、20’の内面の造粒粉末22と接触
する面には弗素系樹脂が被覆されている。
【0013】この成形型12内の成形空間25内に充填
された造粒粉末22は、静水加圧装置10によって加圧
される。ここで符号23は加圧空間に充填された圧力媒
体である。この際の加圧圧力は、1(ton/cm2
であり、加圧時間は、約1分間であった。ガラス成形体
を成形型12から離脱する際にガラス成形体に亀裂が生
じ易いので、加圧圧力は、約30分かけて徐々に減圧し
た。このようにして得られたガラス成形体24の外径
は、42mmであった。このガラス成形体24から中心
棒18を抜いて中空体とした。
【0014】この中空ガラス成形体24の中空部内にガ
ラスコアまたはガラスコアに一部クラッドが被覆された
コアロッド26を挿入した(図2参照)。このコアロッ
ド26は、気相法の一例であるVAD法によって製造
し、コア対クラッドの寸法比が1対4で屈折率が0.3
5%となるようなものを用いた。この図2に示される組
合せ体を1250℃の温度で約10%の塩素が含有され
たヘリウム雰囲気中で精製し、その後この組合せ体を1
560℃の温度で透明ガラス化して光ファイバプリフォ
ームを製造した。このプリフォームは、約35mmの外
径を有し、界面には気泡を全く有していなかった。この
プリフォームを通常の方法で線引きしたところ、気相法
で作成されたプリフォームを線引きして得られたシング
ルモードファイバとほぼ同等の特性を有していた。尚、
この実施例2では、中心棒18として金属棒を用いた
が、この他光ファイバコア用ガラス棒あるいはFRP棒
等の高強度のプラスチック棒も使用することができる。
この場合、中心棒18として光ファイバコア用ガラス棒
を使用すれば、ガラス成形体24から中心棒18を引き
抜く必要がない。
【0015】実施例2で示す方法で外径が0.4μmの
シリカ粉末から形成された外径が86μmの造粒粒子か
ら製造したガラス成形体Aと、外径が0.4μmの市販
のシリカ粉末をpH調整することなく260℃で造粒し
て得られた造粒粒子から製造した従来技術のガラス成形
体Bと、水ガラス法によって形成された外径が85μm
の造粒粒子から製造されたガラス成形体Cと,外径が6
μmのシリカ粉末を造粒することなく製造したガラス成
形体Dとの特性を表1に示す。
【0016】
【表1】
【0017】これらの成形体は、図1に示す成形型を用
いて成形され、この場合中心棒18は約10.6mmの
外径を有し、コア対クラッドの比は1対4であり、また
設計カットオフ波長λは1.30μmであった。表1の
特性中「亀裂」は成形体の亀裂であるが、これは中心棒
18の破断の衝撃によることが多く、この中心棒18の
破断の衝撃は、使用するガラス粉末材料の成形性に左右
され、この成形性は、成形体強度、ガラス化後の泡発生
低減の重要な因子である。表1から解るように、本発明
の方法によって製造されたガラス成形体は、亀裂が発生
することがなく、ガラス化後の泡の発生が極めて少なく
優れた品質を有する。
【0018】(実施例3)石英系ガラス粉末として粒径
が0.4μmの市販のシリカ粉末を用いた。このシリカ
粉末500gに純水を加えてシリカ濃度で60%のスラ
リーを作製した。このスラリーに塩酸を加えてpHを
5.6に調整しながらボールミルで12時間混合した。
このスラリーを230℃の温度で噴霧乾燥して平均粒子
径80μmの中実の造粒粉末が得られた。この造粒粉末
の流動性及び成形性には問題はなかった。
【0019】図3は、湿式タイプの静水加圧装置110
内に設置された成形型112を示し、この成形型112
は、成形用筒型116と上下の成形用蓋120、12
0’とら成っている。上下の成形用蓋120、120’
は、光ファイバコア用ガラス棒118の両端に取付けら
れてこのコア用ガラス棒118を支持する支持用ガラス
棒117、117’が貫通する貫通孔120a、12
0’aを有し、各貫通孔120a、120’aは成形用
の上下の補助シール材(ゴムシート)130、130’
によって液密に閉じられている。成形用筒型116は、
内径が110mm、造粒粉末が充填される成形空間12
2の長さが800mmである。
【0020】成形用筒型116の中心に支持用ガラス棒
117、117’によって支持されて設置される光ファ
イバコア用ガラス棒118は、VAD法で作製されてコ
ア:クラッド比が1:3、屈曲率差が0.35%、外径
が14mmであった。このコア用ガラス棒118の両端
面は、成形型112の端面と一致させ、またこの成形型
112の両端面は、この成形空間125内に造粒粉末1
22を充填した後、ゴム製の成形用蓋120、120’
で閉じられる。
【0021】しかる後、静水加圧装置110によってこ
の造粒粉末122を加圧した。この静水加圧装置110
は、金属製の筒体132とその両端に液密を保って取付
けられた上下の蓋134、134’とから成り、その内
部の加圧空間136内には下蓋134’の出入り口14
8を通して圧力媒体123が給排される。
【0022】静水加圧装置110の加圧圧力は、1(t
on/cm2 )であり、加圧時間は約1分であった。ガ
ラス成形体を成形型112から取り出す際に、ガラス成
形体に亀裂が生じやすいので、加圧圧力は、約10分か
けて徐々に減圧した。このようにして得られたガラス成
形体の外径は約90mmであった。このガラス成形体を
1250℃の温度で約10%の塩素が含有されたヘリウ
ム雰囲気中で精製し、その後1580℃の温度で且つヘ
リウム雰囲気中で透明ガラス化して光ファイバプリフォ
ームを製造した。プリフォームのコアクラッドの界面に
は気泡がなく、通常の方法で線引きしたところ、従来の
気相法で作成されたプリフォームを線引きして得られた
シングルモードファイバとほぼ同等の特性を有してい
た。
【0023】(実施例4)この実施例では、使用したシ
リカ粉末の造粒粉末122及び成形条件も含めて実施例
3と実質的に同じであるが、図4に示すように、支持用
ガラス棒117、117’がコア用ガラス棒118より
も大径に形成されており、この実施例でも、造粒粉末の
成形性に問題がなく、石英系ガラス成形体を得ることが
できたことが確認された。尚、図4において図3と同じ
符号は同じ部分を示す。
【0024】(実施例5)この実施例は、乾式タイプの
静水加圧装置210を用いた例である。図5に示すよう
に、実施例3と同様の光ファイバコア用ガラス棒218
を成形用筒型216、上下蓋体250、250’に取付
けられた成形用上下蓋(押し型)220、220’及び
シールを兼ねた圧力伝達部材252で構成される成形型
212内に設置し、静水加圧装置210は、上下蓋体2
50、250’に跨がって取付けられて筒型216を包
囲する耐圧容器254から成り、この耐圧容器254内
に出入り口248を通して圧力媒体223が充填され
る。成形型212の成形空間225内に実施例3と同様
の造粒粉末222を充填してガラス成形体を成形した。
【0025】この実施例5でも使用した造粒粉末の成形
性に問題がなく、石英系ガラス成形体を得ることがで
き、またガラス化して得られたプリフォームにも問題が
なかった。尚、コア用ガラス棒218の両端に取付けら
れた支持用ガラス棒217、217’は、成形用蓋22
0、220’の凹部220a、220’aに係入して支
持されている。また、成形用蓋220の凹部220aに
連通して成形空間225を脱気するための吸引孔220
bが設けられている。
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、上記のように、石英系
ガラス粉末の表面に活性なOH基を付与することができ
るため、水に対する濡れ性が向上し、水のみを結合剤と
する造粒が可能となってガラス粉末材料は外部圧力によ
って加圧成形し易くなり、従ってガラス成形体の強度は
向上し、特に大型のガラス成形体を成形するのに有効で
あり、また不純物の混入が少なく、従って光ファイバの
伝送特性の優れた良質の石英系ガラス成形体を得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に用いられる石英系ガラス成
形体の製造装置の断面図である。
【図2】図1の石英系ガラス成形体の製造装置によって
製造されたガラス成形体から得られたガラス組合せ体の
正面図である。
【図3】本発明の他の実施例に用いられる石英系ガラス
成形体の製造装置の断面図である。
【図4】図3の実施例の変形例に用いられる石英系ガラ
ス成形体の製造装置の断面図である。
【図5】本発明の更に他の実施例に用いられる石英系ガ
ラス成形体の製造装置の断面図である。
【符号の説明】
10 静水加圧装置 12 成形型 14 支持筒 16 成形用筒型 18 中心棒 20 成形用上蓋 20’ 成形用下蓋 22 造粒粉末 23 圧力媒体 24 ガラス成形体 25 成形空間 26 コアロッド 110 静水加圧装置 112 成形型 116 成形用筒型 117 支持用ガラス棒 118 コア用ガラス棒 120 成形用上蓋 120’ 成形用下蓋 122 造粒粉末 123 圧力媒体 125 成形空間 130 補助シール材 130’ 補助シール材 132 筒体 134 上蓋 134’ 下蓋 148 圧力媒体の出入り口 210 静水加圧装置 212 成形型 216 成形用筒型 217 支持用ガラス棒 218 コア用ガラス棒 220 成形用上蓋 220’ 成形用下蓋 222 造粒粉末 223 圧力媒体 225 成形空間 248 圧力媒体の出入り口 254 耐圧容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木 健 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 佐藤 継男 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 吉田 和昭 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加圧装置の内部に設置された成形型内に
    石英系ガラス粉末材料を充填して前記ガラス粉末材料に
    外部圧力をかけて成形し、これを燒結して石英系ガラス
    成形体を製造する方法において、前記石英系ガラス粉末
    材料として石英系ガラス粉末と少なくとも水を含む成分
    とから成るpH10以下のスラリーを形成し、前記スラ
    リーを250℃以下の温度で乾燥、粉砕するか、前記ス
    ラリーを250℃以下の温度で噴霧乾燥した粉末または
    この粉末を造粒した粒子を用いることを特徴とする石英
    系ガラス成形体の製造方法。
JP26060292A 1991-09-06 1992-09-04 石英系ガラス成形体の製造方法 Pending JPH05229839A (ja)

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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09118531A (ja) * 1995-07-11 1997-05-06 Natl House Ind Co Ltd ガラス建材の製造方法およびガラス建材
US20120137732A1 (en) * 2010-12-01 2012-06-07 Japan Super Quartz Corporation Method of manufacturing granulated silica powder, method of manufacturing vitreous silica crucible
JP2019503961A (ja) * 2015-12-18 2019-02-14 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 石英ガラスの調製における二酸化ケイ素粉末のアンモニア処理
US10710918B1 (en) 2018-02-19 2020-07-14 Owens-Brockway Glass Container Inc. Method of manufacturing a hollow glass article having a container shape
US20210047225A1 (en) * 2019-08-13 2021-02-18 Sterlite Technologies Limited Method for manufacturing of optical fibre preform
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11708290B2 (en) 2015-12-18 2023-07-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09118531A (ja) * 1995-07-11 1997-05-06 Natl House Ind Co Ltd ガラス建材の製造方法およびガラス建材
US20120137732A1 (en) * 2010-12-01 2012-06-07 Japan Super Quartz Corporation Method of manufacturing granulated silica powder, method of manufacturing vitreous silica crucible
TWI448430B (zh) * 2010-12-01 2014-08-11 Japan Super Quartz Corp 氧化矽造粒粉的製造方法、氧化矽玻璃坩堝的製造方法
US9284207B2 (en) * 2010-12-01 2016-03-15 Sumco Corporation Method of manufacturing granulated silica powder, method of manufacturing vitreous silica crucible
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
JP2019503961A (ja) * 2015-12-18 2019-02-14 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 石英ガラスの調製における二酸化ケイ素粉末のアンモニア処理
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11708290B2 (en) 2015-12-18 2023-07-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass
US10710918B1 (en) 2018-02-19 2020-07-14 Owens-Brockway Glass Container Inc. Method of manufacturing a hollow glass article having a container shape
US20210047225A1 (en) * 2019-08-13 2021-02-18 Sterlite Technologies Limited Method for manufacturing of optical fibre preform

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