JP2856746B2 - Photopolymerizable composition - Google Patents
Photopolymerizable compositionInfo
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- JP2856746B2 JP2856746B2 JP63316731A JP31673188A JP2856746B2 JP 2856746 B2 JP2856746 B2 JP 2856746B2 JP 63316731 A JP63316731 A JP 63316731A JP 31673188 A JP31673188 A JP 31673188A JP 2856746 B2 JP2856746 B2 JP 2856746B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光重合性組成物に関し、より詳細には、感光
硬化速度が改善された光重合性組成物に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photopolymerizable composition, and more particularly, to a photopolymerizable composition having an improved photo-setting speed.
[従来の技術と発明が解決しようとする課題] 光重合性組成物は、プリント回路基板、集積回路、金
属リレーフ像や印刷版の製造に広く使用されている。こ
の光重合性組成物は、通常、熱可塑性高分子結合剤、光
重合開始剤、重合促進剤及び付加重合性化合物等を含有
しており、通常、溶液状またはドライフィルム状の形態
で使用される。そして、有機溶媒に溶解した溶液状光重
合性組成物やドライフィルム状の光重合性組成物を、プ
リント基板用の銅張積層板や微細加工に供する金属基板
等の表面に塗布またはラミネートして積層し、活性光線
により所定のパターンを露光し、未露光部を現像液で現
像することにより、レジスト像を形成している。[Prior Art and Problems to be Solved by the Invention] Photopolymerizable compositions are widely used in the production of printed circuit boards, integrated circuits, metal relay images and printing plates. The photopolymerizable composition usually contains a thermoplastic polymer binder, a photopolymerization initiator, a polymerization accelerator, an addition polymerizable compound, and the like, and is usually used in the form of a solution or a dry film. You. Then, a solution-type photopolymerizable composition or a dry film-form photopolymerizable composition dissolved in an organic solvent is applied or laminated on the surface of a copper-clad laminate for a printed board or a metal substrate to be subjected to fine processing. The resist image is formed by laminating, exposing a predetermined pattern with actinic rays, and developing an unexposed portion with a developing solution.
また光重合開始剤の活性領域が、通常、紫外線領域で
あるため、露光に際しては、紫外線領域を含む活性光線
を露光している。従って、プリント配線板等の生産性を
高高めるには、活性光線に対して感度が大きく、感光硬
化速度が大きいことが要求される。In addition, since the active region of the photopolymerization initiator is usually in the ultraviolet region, the exposure is performed with active light containing the ultraviolet region. Therefore, in order to increase the productivity of a printed wiring board or the like, it is required that the sensitivity to actinic rays is high and the photo-setting speed is high.
しかしながら、従来の光重合性組成物では、感光硬化
速度が未だ十分ではなく、露光時間が長くなり生産性が
低下するという問題がある。However, the conventional photopolymerizable composition has a problem that the photosensitive curing speed is not yet sufficient, and the exposure time becomes longer and the productivity is reduced.
本発明の目的は、感光硬化速度が大きな光重合性組成
物を提供することにある。An object of the present invention is to provide a photopolymerizable composition having a high photosensitive curing speed.
[発明の構成] 本発明者らは、鋭意研究の結果、特定のアルキルアミ
ノ安息香酸アルキルエステルを、光重合開始剤、特定の
熱可塑性高分子結合剤及び付加重合性化合物と組合わせ
ることにより、優れた感光硬化速度を有する光重合組成
物を得られることを見いだした。すなわち、本発明は、 (1)少なくとも(メタ)アクリル系モノマーとカルボ
キシル基含有単量体とスチレン系モノマーとで構成さ
れ、かつ前記(メタ)アクリル系モノマーが、アクリル
酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルで構成さ
れ、前記スチレン系モノマーと(メタ)アクリル系モノ
マーとの割合が前者/後者=10/90〜60/40(重量比)で
ある単量体の共重合体で構成された熱可塑性高分子結合
剤100重量部と、 (2)ハロゲン原子またはアルキル基を有していてもよ
いチオキサントン0.01〜30重量部と、 (3)下記一般式(I) (式中、R1はC3-4分岐アルキル基、R2はメチル又はエチ
ル基、R3は炭素数1〜20のアルキル基を示す) で表されるアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル0.
01〜30重量部と、 (4)常温常圧で液体または固体の付加重合性化合物10
〜20重量部とを含有する光重合性組成物により、上記課
題を解決するものである。[Constitution of the Invention] The present inventors have conducted intensive studies and as a result of combining a specific alkylaminobenzoic acid alkyl ester with a photopolymerization initiator, a specific thermoplastic polymer binder and an addition polymerizable compound, It has been found that a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive curing speed can be obtained. That is, the present invention provides: (1) at least a (meth) acrylic monomer, a carboxyl group-containing monomer, and a styrene monomer, and the (meth) acrylic monomer is an acrylate ester and / or methacrylic acid. A thermoplastic resin composed of an ester, wherein the ratio of the styrene-based monomer and the (meth) acrylic monomer is 10/90 to 60/40 (weight ratio); 100 parts by weight of a polymer binder, (2) 0.01 to 30 parts by weight of thioxanthone optionally having a halogen atom or an alkyl group, and (3) the following general formula (I) (Wherein, R 1 represents a C 3-4 branched alkyl group, R 2 represents a methyl or ethyl group, and R 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms).
01 to 30 parts by weight, and (4) a liquid or solid addition polymerizable compound 10 at normal temperature and normal pressure
The above-mentioned object is achieved by a photopolymerizable composition containing up to 20 parts by weight.
まず、熱可塑性高分子結合剤について説明する。熱可
塑性高分子結合剤としては、スチレン系モノマーと,ア
クリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルで構
成された(メタ)アクリル系モノマーと,カルボキシル
基含有単量体との共重合体が使用される。First, the thermoplastic polymer binder will be described. As the thermoplastic polymer binder, a copolymer of a styrene monomer, a (meth) acrylic monomer composed of an acrylate and / or a methacrylate, and a carboxyl group-containing monomer is used. .
スチレン系モノマーとしては、スチレン、α−位がア
ルキル基またはハロゲン原子で置換されたα−置換スチ
レン、例えば、α−メチルスチレン、α−クロロスチレ
ン等;ベンゼン環の水素原子が置換された置換スチレ
ン、例えば、p−メチルスチレン、p−エチルスチレ
ン、p−プロピルスチレン、p−イソプロピルスチレ
ン、p−(tert−ブチル)スチレン等が例示され、少な
くとも一種使用される。スチレン系モノマーのうちスチ
レン、α−メチルスチレン等が好ましい。Examples of the styrene monomer include styrene, α-substituted styrene in which the α-position is substituted with an alkyl group or a halogen atom, for example, α-methylstyrene, α-chlorostyrene, and the like; substituted styrene in which a hydrogen atom of a benzene ring is substituted For example, p-methylstyrene, p-ethylstyrene, p-propylstyrene, p-isopropylstyrene, p- (tert-butyl) styrene and the like are exemplified, and at least one kind is used. Among the styrene monomers, styrene, α-methylstyrene and the like are preferred.
アクリル酸エステルとしては、例えば、アクリル酸メ
チル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリ
ル酸イソプロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソ
ブチル、アクリル酸−tert−ブチル、アクリル酸ペンチ
ル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、アクリ
ル酸オクチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル、アク
リル酸シクロヘキシル等が例示される。またメタクリル
酸エステルとしては、上記アクリル酸エステルに対応し
たメタクリル酸エステルが例示される。これらのアクリ
ル酸エステル及びメタクリル酸エステルは一種以上使用
される。As the acrylate, for example, methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, isopropyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, pentyl acrylate, hexyl acrylate, heptyl acrylate Octyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and the like. Examples of the methacrylate include methacrylate corresponding to the above acrylate. One or more of these acrylates and methacrylates are used.
なお、アルカリ現像液で、未露光部分を除去し現像し
たり、硬化膜を剥離する場合には、カルボキシル基を有
する付加重合単量体を共重合させることが有効である。
このような付加重合性単量体としては、例えば、マレイ
ン酸、イタコン酸、メタクリル酸、アクリル酸等が挙げ
られる。When the unexposed portion is removed and developed with an alkali developer or the cured film is peeled off, it is effective to copolymerize an addition polymerizable monomer having a carboxyl group.
Examples of such an addition-polymerizable monomer include maleic acid, itaconic acid, methacrylic acid, and acrylic acid.
熱可塑性高分子は、適宜の割合の各モノマーで構成さ
れるが、スチレン系モノマー、アクリル酸エステル及び
/又はメタクリル酸エステルとで構成される場合、通
常、スチレン系モノマー10〜60重量%、アクリル酸エス
テル及びメタクリル酸エステル90〜40重量%程度であ
る。またアクリル酸エステルとメタクリル酸エステルと
を併用する場合、通常、重量比で、アクリル酸エステル
/メタクリル酸エステル=20〜65/80〜35、好ましくは3
0〜50/70〜50程度の割合で使用される。またカルボキシ
ル基を有する付加重合性単量体は、通常、スチレン系モ
ノマー、アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル
の合計量60〜85重量%に対して15〜40重量%程度使用さ
れる。The thermoplastic polymer is composed of an appropriate ratio of each monomer. When the thermoplastic polymer is composed of a styrene monomer, an acrylate ester and / or a methacrylate ester, the styrene monomer is usually 10 to 60% by weight, Acid esters and methacrylic esters are about 90 to 40% by weight. When an acrylic ester and a methacrylic ester are used in combination, the acrylic ester / methacrylic ester is usually 20 to 65/80 to 35, preferably 3 in weight ratio.
It is used at a ratio of about 0-50 / 70-50. The addition-polymerizable monomer having a carboxyl group is usually used in an amount of about 15 to 40% by weight based on a total amount of 60 to 85% by weight of the styrene monomer, the acrylate and the methacrylate.
ハロゲン原子またはアルキル基を有していてもよいチ
オキサントンとしては、例えば、チオキサントン、その
ハロゲン化物である2−クロロチオキサントン、アルキ
ル化物である2−メチルチオキサントン、2−エエルチ
オキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4
−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサン
トン、2,4−ジブチルチオキサントン等が挙げられる。Examples of the thioxanthone which may have a halogen atom or an alkyl group include, for example, thioxanthone, its halogenated 2-chlorothioxanthone, its alkylated 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone 2,4
-Dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dibutylthioxanthone and the like.
上記ハロゲン原子またはアルキル基を有していてもよ
いチオキサントンは、一種または二種以上使用される。
チオキサントン等は、熱可塑性高分子結合剤100重量部
に対して0.01〜30重量部、好ましくは1〜15重量部使用
される。熱可塑性高分子結合剤に対するチオキサントン
等の使用量が0.01重量部未満であると感光硬化速度が十
分でなく、30重量部を越えると硬化膜の特性が低下す
る。The thioxanthone optionally having a halogen atom or an alkyl group is used alone or in combination of two or more.
Thioxanthone or the like is used in an amount of 0.01 to 30 parts by weight, preferably 1 to 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the thermoplastic polymer binder. If the amount of thioxanthone or the like relative to the thermoplastic polymer binder is less than 0.01 part by weight, the photosensitive curing speed is not sufficient, and if it exceeds 30 parts by weight, the properties of the cured film are deteriorated.
一般式(I)で表される化合物においてR1、R2及びR3
のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロ
ピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、tert−ブチ
ル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、12−エ
チルヘキシル、ノニル、デシル、ウンデシル、ドデシ
ル、トリデシル、オクタデジル、イコシル基等の直鎖状
また分岐鎖状アルキル基が例示される。但し、R1は炭素
数3〜4の分岐鎖状アルキル基(C3-4分岐アルキル
基)、特にイソプロピル基であり、R2はメチル基又はエ
チル基であり、R3は炭素数1〜20のアルキル基である。In the compound represented by the general formula (I), R 1 , R 2 and R 3
Examples of the alkyl group include a methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, tert-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, 12-ethylhexyl, nonyl, decyl, undecyl, dodecyl, tridecyl, octadecyl, icosyl group And linear or branched alkyl groups. However, R 1 is a branched alkyl group having 3 to 4 carbon atoms (C 3-4 branched alkyl group), particularly an isopropyl group, R 2 is a methyl group or an ethyl group, and R 3 is a C 1 to C 1 alkyl group. 20 alkyl groups.
一般式(I)で表される化合物のうち好ましいアルキ
ルアミノ安息香酸アルキルエステルとしては、p−(N
−メチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸メチル、
p−(N−エチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸
メチル、p−(N−メチル−N−イソプロピルアミノ)
安息香酸エチル、p−(N−エチル−N−イソプロピル
アミノ)安息香酸エチル、p−(N−エチル−N−イソ
プロピルアミノ)安息香酸プロピル、p−(N−エチル
−N−イソプロピルアミノ)安息香酸アミル、p−(N
−エチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸イミアミ
ル等が例示できる。Among the compounds represented by the general formula (I), preferred alkylaminobenzoic acid alkyl esters include p- (N
-Methyl-N-isopropylamino) methyl benzoate,
Methyl p- (N-ethyl-N-isopropylamino) benzoate, p- (N-methyl-N-isopropylamino)
Ethyl benzoate, ethyl p- (N-ethyl-N-isopropylamino) benzoate, propyl p- (N-ethyl-N-isopropylamino) benzoate, p- (N-ethyl-N-isopropylamino) benzoic acid Amyl, p- (N
-Ethyl-N-isopropylamino) imiamyl benzoate and the like.
一般式(I)で表される化合物は、他のアルキルアミ
ノ安息香酸アルキルエステル、例えば、p−(N−プロ
ピル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸プロピル、p
−(N,N−ジイソプロピルアミノ)安息香酸メチル、p
−(N−ブチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸メ
チル、p−(N−プロピル−N−イソプロピルアミノ)
安息香酸エチル、p−(N,N−ジイソプロピルアミノ)
安息香酸エチル、p−(N−ブチル−N−イソプロピル
アミノ)安息香酸メチル、p−(N−ブチル−N−イソ
プロピルアミノ)安息香酸ブチル、p−(N−ブチル−
N−イソプロピルアミノ)安息香酸メチル、p−(N,N
−ジイソプロピルアミノ)安息香酸アミル、p−(N,N
−ジイソプロピルアミノ)安息香酸イソアミル、p−
(N−ブチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸イソ
アミル、p−(N−ヘキシル−N−イソプロピルアミ
ノ)安息香酸メチル、p−(N−ヘキシル−N−イソプ
ロピルアミノ)安息香酸エチル、p−(N−ヘキシル−
N−イソプロピルアミノ)安息香酸ヘキシル、p−(N
−ヘキシル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸プロピ
リ、p−(N−ヘキシル−N−イソプロピルアミノ)安
息香酸イソアミル、p−(N−ヘプチル−N−イソプロ
ピルアミノ)安息香酸メチル、p−(N−ヘプチル−N
−イソプロピルアミノ)安息香酸エチル、p−(N−ヘ
プチル−N−イソプロピルアミノ)安息香酸ヘプチル、
p−(N−ヘプチル−N−イソプロピルアミノ)安息香
酸プロピル、p−(N−ヘプチル−N−イソプロピルア
ミノ)安息香酸イソアミル等と併用してもよい。Compounds represented by the general formula (I) are other alkylaminobenzoic acid alkyl esters such as propyl p- (N-propyl-N-isopropylamino) benzoate,
-(N, N-diisopropylamino) methyl benzoate, p
-(N-butyl-N-isopropylamino) methyl benzoate, p- (N-propyl-N-isopropylamino)
Ethyl benzoate, p- (N, N-diisopropylamino)
Ethyl benzoate, methyl p- (N-butyl-N-isopropylamino) benzoate, butyl p- (N-butyl-N-isopropylamino) benzoate, p- (N-butyl-
Methyl N-isopropylamino) benzoate, p- (N, N
-Diisopropylamino) amyl benzoate, p- (N, N
-Diisopropylamino) isoamyl benzoate, p-
Isoamyl (N-butyl-N-isopropylamino) benzoate, methyl p- (N-hexyl-N-isopropylamino) benzoate, ethyl p- (N-hexyl-N-isopropylamino) benzoate, p- (N -Hexyl-
Hexyl N-isopropylamino) benzoate, p- (N
Propyl-hexyl-N-isopropylamino) benzoate, isoamyl p- (N-hexyl-N-isopropylamino) benzoate, methyl p- (N-heptyl-N-isopropylamino) benzoate, p- (N-heptyl) -N
-Isopropylamino) ethyl benzoate, p- (N-heptyl-N-isopropylamino) heptyl benzoate,
It may be used in combination with propyl p- (N-heptyl-N-isopropylamino) benzoate, isoamyl p- (N-heptyl-N-isopropylamino) benzoate and the like.
前記一般式(I)で表されるアルキルアミノ安息香酸
アルキルエステルは、少なくとも一種使用される。上記
アルキルアミノ安息香酸アルキルエステルは、熱可塑性
高分子結合剤100重量部に対して、0.01〜30重量部、好
ましくは1〜15重量部使用される。アルキルアミノ安息
香酸アルキルエステルの量が0.01重量部未満であると感
光硬化速度を高めるのが困難であり、30重量部を越える
と硬化膜の特性が低下する。なお、一般式(I)で表さ
れるアルキルアミノ安息香酸アルキルエステルは、熱可
塑性高分子結合剤等との相溶性に優れ、光重合性組成物
の安定化に寄与する他、感光硬化速度を著しく促進す
る。At least one kind of the alkylaminobenzoic acid alkyl ester represented by the general formula (I) is used. The alkylaminobenzoic acid alkyl ester is used in an amount of 0.01 to 30 parts by weight, preferably 1 to 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the thermoplastic polymer binder. If the amount of the alkylaminobenzoic acid alkyl ester is less than 0.01 part by weight, it is difficult to increase the photo-curing speed, and if it exceeds 30 parts by weight, the properties of the cured film deteriorate. The alkylaminobenzoic acid alkyl ester represented by the general formula (I) has excellent compatibility with a thermoplastic polymer binder and the like, contributes to stabilization of the photopolymerizable composition, and has a low photo-setting speed. Significantly promote.
本発明において、感光硬化性をより一層高めるには、
前記チオキサントン等と、一般式(I)で表されるアル
キルアミノ安息香酸アルキルエステルと、下記一般式
(II)で表される2,4,5−トリアリールイミダゾリル二
量体とを併用するのが好ましい。In the present invention, in order to further enhance the photocurability,
The combination use of the thioxanthone or the like, an alkylaminobenzoic acid alkyl ester represented by the general formula (I), and a 2,4,5-triarylimidazolyl dimer represented by the following general formula (II) preferable.
(式中、Ar1、Ar2及びAr3は置換されていてもよいアリ
ール基を示す) 一般式(II)で表される2,4,5−トリアリールイミダ
ゾリル二量体としては、例えば、2,2′,4,4′,5,5′−
ヘキサフェニルビスイミダゾール、2,2′−ジ(o−ク
ロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール、2,2′−ジ(o−クロロフェニル)−4,
4′,5,5′−テトラ(m−メトキシフェニル)ビスイミ
ダゾール、2,2′−ジ(o−フルオロフェニル)−4,
4′,5,5′−テトラフェニルビスイミダゾール、2,2′−
ジ(o−メトキシフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフ
ェニルビスイミダゾール、2,2′−ジ(p−クロロフェ
ニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビスイミダゾー
ル、2,2′−ジ(p−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−
テトラ(m−メトキシフェニル)ビスイミダゾール、2,
2′−ジ(p−フルオロフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラフェニルビスイミダゾール、2,2′−ジ−(p−メト
キシフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール等が例示される。上記一般式(II)で表され
る2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体は少なくと
も一種使用される。一般式(II)で表される2,4,5−ト
リアリールイミダゾリル二量体は熱可塑性高分子結合剤
100重量部に対して0.01〜30重量部、好ましくは1〜15
重量部使用される。2,4,5−トリアリールイミダゾリル
二量体の量が0.01重量部未満であると感光硬化速度を高
めるのが困難であり、30重量部を越えると硬化膜の特性
が低下する。 (Wherein, Ar 1 , Ar 2 and Ar 3 represent an optionally substituted aryl group) Examples of the 2,4,5-triarylimidazolyl dimer represented by the general formula (II) include: 2,2 ', 4,4', 5,5'-
Hexaphenylbisimidazole, 2,2'-di (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-di (o-chlorophenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) bisimidazole, 2,2'-di (o-fluorophenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-
Di (o-methoxyphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-di (p-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-di (p-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-
Tetra (m-methoxyphenyl) bisimidazole, 2,
2'-di (p-fluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-di- (p-methoxyphenyl) -4,4', 5,5'- Examples include tetraphenylbisimidazole and the like. At least one 2,4,5-triarylimidazolyl dimer represented by the general formula (II) is used. 2,4,5-Triarylimidazolyl dimer represented by the general formula (II) is a thermoplastic polymer binder
0.01 to 30 parts by weight, preferably 1 to 15 parts by weight per 100 parts by weight
Used by weight. If the amount of the 2,4,5-triarylimidazolyl dimer is less than 0.01 part by weight, it is difficult to increase the photosensitive curing speed, and if it exceeds 30 parts by weight, the properties of the cured film are deteriorated.
付加重合性化合物としては、常温常圧で液体または固
体であり、分子中に2個以上のアクリロイル基やメタク
リロイル基を有するアクリレートやメタクリレート等が
挙げられる。Examples of the addition polymerizable compound include acrylates and methacrylates which are liquid or solid at normal temperature and normal pressure and have two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in the molecule.
分子中に2個のアクリロイル基を有するアクリレート
としては、例えば、エチレングリコールジアクリレー
ト、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレ
ングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコー
ルジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレ
ート、プロピレングリコールジアクリレート、ジプロピ
レングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコ
ールジアクリレート、テトラプロピレングリコールジア
クリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレー
ト、1,4−ブタンジオールジアクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオール
ジアクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、ビスフェノールAのプロピ
レンオキサイド付加物のジアクリレート、水素化ビスフ
ェノールAのエチレンオキサイド付加物のジアクリレー
ト、水素化ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付
加物のジアクリレート、N,N′−メチレンビスアクリル
アミド、N,N′−ベンジリデンビスアクリルアミド等が
例示される。Examples of the acrylate having two acryloyl groups in the molecule include ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, and dipropylene glycol. Diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, ethylene oxide addition of bisphenol A Diacrylate, bisphenol A propylene oxide adduct dia Acrylate, diacrylate of ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, diacrylate of propylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, N, N'-methylenebisacrylamide, N, N'-benzylidenebisacrylamide and the like. .
分子中に3個以上のアクリロイル基を有するアクリレ
ートとしては、例えば、グリセリントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロ
ールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールト
リクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が例
示される。Examples of the acrylate having three or more acryloyl groups in the molecule include glycerin triacrylate,
Examples thereof include trimethylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate.
分子中に2個以上のメタクリロイル基を有するメタク
リレートとしては、上記アクリレートに対応するメタク
リレートが例示される。Examples of the methacrylate having two or more methacryloyl groups in the molecule include methacrylates corresponding to the above acrylates.
上記アクリレート及びメタクリレートは、少なくとも
一種使用され、両者を混合して使用してもよい。なお、
単官能性のアクリレート及びメタクリレートを適宜併用
してもよい。At least one of the above acrylates and methacrylates is used, and both may be used as a mixture. In addition,
Monofunctional acrylates and methacrylates may be appropriately used in combination.
付加重合性化合物の量は、通常、熱可塑性高分子結合
剤100重量部に対して10〜200重量部、好ましくは20〜15
0重量部程度である。The amount of the addition polymerizable compound is usually 10 to 200 parts by weight, preferably 20 to 15 parts by weight per 100 parts by weight of the thermoplastic polymer binder.
It is about 0 parts by weight.
本発明の光重合性組成物は、必要に応じて、熱重合反
応を抑制し、貯蔵安定性を高める安定剤、発色剤、レジ
スト像の判別を容易にする着色剤、柔軟性を付与する可
塑剤等を含有していてもよい。安定剤としては、例え
ば、p−メトキシフェノール、ハイドロキノン、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコール
等が例示され、光重合性を阻害しない範囲で適宜量使用
される。発色剤としては、トリアリールメタン系染料の
ロイコ体が有用であり、例えば、ロイコクリスタルバイ
オレット、ロイコマラカイトグリーン、又はこれらのロ
イコ体の塩酸塩、硫酸塩等の鉱酸塩、p−トルエンスル
ホン酸塩等の有機酸塩等が挙げられる。また着色剤とし
ては、例えば、クリスタルバイオレット、マラカイトグ
リーン、ビクトリアブルー、メチレンブルー等が例示さ
れる。可塑剤としては、例えば、ジエチルフタレート、
ジブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジオクチ
ルフタレート等のフタル酸エステル類;ジオクチルアジ
ペート、ジブチルジグリコールアジペート等の脂肪酸エ
ステル類;トリメチルホスフィン等のリン酸エステル
類;トルエンスルホン酸アミド等のスルホン酸アミド類
等が例示される。The photopolymerizable composition of the present invention may contain a stabilizer, a coloring agent, a coloring agent for facilitating discrimination of a resist image, a plasticizer for imparting flexibility, if necessary, for suppressing a thermal polymerization reaction and for enhancing storage stability. And the like. Examples of the stabilizer include p-methoxyphenol, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butylcatechol and the like, and are used in an appropriate amount as long as the photopolymerizability is not inhibited. As the coloring agent, a leuco compound of a triarylmethane dye is useful, for example, leuco crystal violet, leucomalachite green, or a mineral acid salt such as hydrochloride or sulfate of these leuco compounds, p-toluenesulfonic acid Organic acid salts such as salts are exemplified. Examples of the coloring agent include crystal violet, malachite green, Victoria blue, methylene blue and the like. As the plasticizer, for example, diethyl phthalate,
Phthalic acid esters such as dibutyl phthalate, diheptyl phthalate and dioctyl phthalate; fatty acid esters such as dioctyl adipate and dibutyl diglycol adipate; phosphoric acid esters such as trimethylphosphine; sulfonic acid amides such as toluene sulfonic acid amide; Is exemplified.
本発明の光重合性組成物は、有機溶媒を含有しない液
状であってもよいが、通常、有機溶媒に溶解ないし分散
した液状またはドライフィルムの形態で使用される。上
記有機溶媒としては、例えば、メタノール、エタノー
ル、プロパノール等のアルコール類、酢酸エチル等のエ
ステル類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン
類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテ
ル類、塩化メチレン等のハロゲン化炭化水素類等が例示
される。ドライフィルムは、例えばポリエチレンテレフ
タレートフィルム等の基体フィルムに重合性組成物を塗
布し、乾燥した後、ポリエチレンフィルム等のカバーフ
ィルムを加圧ロール等でラミネートすることにより作製
される。ドライフィルムの光重合性組成物の膜厚は解像
度及び作業性等を低下させない範囲であれば特に制限さ
れないが、通常5〜100μm、好ましくは20〜70μmで
ある。The photopolymerizable composition of the present invention may be a liquid containing no organic solvent, but is usually used in the form of a liquid or a dry film dissolved or dispersed in an organic solvent. Examples of the organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol, and propanol; esters such as ethyl acetate; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran; and halogenated hydrocarbons such as methylene chloride. And the like. The dry film is produced, for example, by applying a polymerizable composition to a base film such as a polyethylene terephthalate film, drying, and then laminating a cover film such as a polyethylene film with a pressure roll or the like. The thickness of the photopolymerizable composition of the dry film is not particularly limited as long as the resolution and workability are not reduced, but is usually 5 to 100 μm, preferably 20 to 70 μm.
本発明の光重合性組成物からなる感光層は、通常、有
機溶媒を含有する液状の光重合性組成物を、プリント基
板等の支持体に印刷または塗布し、有機溶媒を除去した
り、ドライフィルムのカバーフィルムを剥離し上記支持
体にゴムロール等でラミネートすることにより形成され
る。The photosensitive layer comprising the photopolymerizable composition of the present invention is usually prepared by printing or coating a liquid photopolymerizable composition containing an organic solvent on a support such as a printed circuit board to remove the organic solvent or dry the photopolymerizable composition. It is formed by peeling the cover film of the film and laminating the film on the support with a rubber roll or the like.
感光層は、化学的に活性な放射線を発生させる光源、
例えば、低圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプな
どの光源で露光される。光は、通常、必要に応じて感光
層上にカバーシートを設け、ネガまたはポジ型のパター
ンマスクを用い、接触法または投影法により行なわれ
る。露光後、現像液で現像すると前記パターンに応じた
レジスト像が得られる。上記現像液としては、パークロ
ロエチレン、トリクロロエタンなどの有機溶媒からなる
現像液や塩基性化合物を含有するアルカリ現像液などが
使用できる。アルカリ現像液の塩基性化合物としては、
例えば、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素カリ
ウム、炭酸水素ナトリウムケイ酸ナトリウム、リン酸ナ
トリウム等の無機塩基;トリメチルアミン、トリエチル
アミン、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリ
エタノールアミン、モルホリン、ピリジン等の有機塩基
が例示される。なお、アルカリ現像液には、エチレング
リコールモノブチルエーテル等の有機溶媒が含有されて
いてもよい。The photosensitive layer is a light source that generates chemically active radiation,
For example, exposure is performed with a light source such as a low-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, and a xenon lamp. In general, light is emitted by a contact method or a projection method using a negative or positive pattern mask provided with a cover sheet on the photosensitive layer as necessary. After exposure, development with a developer provides a resist image corresponding to the pattern. As the developing solution, a developing solution comprising an organic solvent such as perchloroethylene and trichloroethane, an alkaline developing solution containing a basic compound, and the like can be used. As the basic compound of the alkali developer,
Examples thereof include inorganic bases such as potassium carbonate, sodium carbonate, potassium bicarbonate, sodium bicarbonate sodium silicate, and sodium phosphate; and organic bases such as trimethylamine, triethylamine, ethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, morpholine, and pyridine. You. Note that the alkali developer may contain an organic solvent such as ethylene glycol monobutyl ether.
また回路パターンを形成する場合には、レジスト像を
形成した後、メッキ液やエッチング液で処理され、上記
レジスト像は水酸化ナトリウム等の強アルカリ水溶液又
は塩化メチレン等の有機溶媒で剥離除去される。When a circuit pattern is formed, after forming a resist image, the resist image is treated with a plating solution or an etching solution, and the resist image is peeled off with a strong alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide or an organic solvent such as methylene chloride. .
本発明の光重合性組成物は、プリント配線板、回路基
板、金属レリーフ像や印刷版等を製造する際のフォトレ
ジストとして使用できる。The photopolymerizable composition of the present invention can be used as a photoresist when producing a printed wiring board, a circuit board, a metal relief image, a printing plate, or the like.
[発明の効果] 本発明の光重合性組成物によれば、特定のアルキルア
ミノ安息香酸アルキルエステルを、光重合開始剤、熱可
塑性高分子結合剤及び付加重合性化合物と組合せている
ので、優れた感光硬化速度が得られ、従来の光重合性組
成物と比較して露光時間が短縮され、プリント配線板等
の生産性を高めることができる。[Effects of the Invention] According to the photopolymerizable composition of the present invention, the specific alkylaminobenzoic acid alkyl ester is combined with a photopolymerization initiator, a thermoplastic polymer binder, and an addition polymerizable compound, so that it is excellent. As a result, the exposure time can be shortened as compared with the conventional photopolymerizable composition, and the productivity of a printed wiring board or the like can be increased.
[実施例] 以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明す
る。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples.
実施例1 以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。Example 1 The following components were mixed to obtain a photopolymerizable composition.
メタクリル酸14重量%、アクリル酸14重量%、スチレン
20重量%、メタクリル酸−2−エチルヘキシル52重量%
の共重合体 50g 2,4−ジエチルチオキサントン 1g p−N−エチル−N−イソプロピルアミノ安息香酸アミ
ル 3g トリメチロールプロパントリアクリレート 15g テトラエチレングリコールジアクリレート 10g ビクトリアブルーGH 0.05g メチルエチルケトン 60g テトラヒドロフラン 10g 得られた光重合性組成物を、膜厚25μmのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム支持体に塗布し、75℃で乾燥
し、感光性フィルムを得た。感光層の厚みは50μmであ
った。得られた感光性フィルムを、研磨した銅張積層板
に、100℃に加熱したゴムローラーによって積層した。
次いで、ストファー21段ステップタブレットを乾燥性フ
ィルムに重ね2kwの超高圧水銀灯で50cmの距離から10秒
間照射し硬化させ、ポリエチレンテレフタレートフィル
ム支持体を剥離した後、温度30℃の1%炭酸ナトリウム
水溶液で70秒間スプレー現像したところ、ステップタブ
レットの『8』に対応する樹脂レリーフ像が得られた。14% by weight of methacrylic acid, 14% by weight of acrylic acid, styrene
20% by weight, 52% by weight of 2-ethylhexyl methacrylate
50 g 2,4-Diethylthioxanthone 1 g Amyl p-N-ethyl-N-isopropylaminobenzoate 3 g Trimethylolpropane triacrylate 15 g Tetraethylene glycol diacrylate 10 g Victoria blue GH 0.05 g Methyl ethyl ketone 60 g Tetrahydrofuran 10 g was obtained. The photopolymerizable composition was applied to a 25 μm-thick polyethylene terephthalate film support and dried at 75 ° C. to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive layer was 50 μm. The obtained photosensitive film was laminated on a polished copper-clad laminate with a rubber roller heated to 100 ° C.
Next, a 21-step Stofa step tablet is superimposed on the dry film and irradiated with a 2 kw ultra-high pressure mercury lamp from a distance of 50 cm for 10 seconds to cure the film. After spray development for 70 seconds, a resin relief image corresponding to "8" on the step tablet was obtained.
参考例1 ポリメタクリル酸メチル50g、2−クロロチオキサン
トン1g、p−N−メチル−N−イソプロピルアミノ安息
香酸エチル3g、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト15g、テトラエチレングリコールジアクリレート10g、
ビクトリアブルーGH0.05g、メチルエチルケトン60g、テ
トラヒドロフラン10gアミルを用いる以外、実施例1と
同様にして光重合性組成物を得た。この光重合性組成物
を実施例1と同様に評価したところ、ステップタブレッ
トの『8』に対応する樹脂レリーフ像が得られた。Reference Example 1 50 g of polymethyl methacrylate, 1 g of 2-chlorothioxanthone, 3 g of ethyl p-N-methyl-N-isopropylaminobenzoate, 15 g of trimethylolpropane triacrylate, 10 g of tetraethylene glycol diacrylate,
A photopolymerizable composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that 0.05 g of Victoria Blue GH, 60 g of methyl ethyl ketone, and 10 g of amyl tetrahydrofuran were used. When this photopolymerizable composition was evaluated in the same manner as in Example 1, a resin relief image corresponding to “8” of the step tablet was obtained.
参考例2 実施例1の共重合体に代えて、メタクリル酸20重量
%、メタクリル酸メチル60重量%、アクリル酸イソブチ
ル20重量%の共重合体を用い、光重合性組成物を調製し
た。そして、実施例1と同様にして感光特性を評価した
ところ、ステップタブレットの『8』に対応する樹脂レ
リーフ像が得られた。Reference Example 2 A photopolymerizable composition was prepared using a copolymer of 20% by weight of methacrylic acid, 60% by weight of methyl methacrylate, and 20% by weight of isobutyl acrylate in place of the copolymer of Example 1. When the photosensitive characteristics were evaluated in the same manner as in Example 1, a resin relief image corresponding to "8" of the step tablet was obtained.
参考例3 参考例2の光重合性組成物に、2,2′−ジ(o−クロ
ロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(m−メトキシフ
ェニル)ビスイミダゾールを2g添加し、混合することに
より光重合性組成物を得た。Reference Example 3 To the photopolymerizable composition of Reference Example 2, 2 g of 2,2'-di (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) bisimidazole was added, The photopolymerizable composition was obtained by mixing.
そして、露光時間を約7.5gとする以外、参考例2と同
様にして感光特性を調べたところ、ステップタブレット
の『8』に対応する樹脂レリーフ像が得られた。硬化速
度が大きいものであった。」 比較例1 実施例1及び参考例2の光重合性組成物を構成する成
分中、p−(N−エチル−N−イソプロピルアミノ)安
息香酸アミルを含有しない光重合性組成物を得た。各光
重合性組成物を実施例1と同様に評価したところ、それ
ぞれステップタブレットの『4』に対応するレリーフ像
しか得られなかった。The photosensitive characteristics were examined in the same manner as in Reference Example 2 except that the exposure time was changed to about 7.5 g. As a result, a resin relief image corresponding to "8" of the step tablet was obtained. The curing speed was high. Comparative Example 1 A photopolymerizable composition not containing amyl p- (N-ethyl-N-isopropylamino) benzoate among the components constituting the photopolymerizable compositions of Example 1 and Reference Example 2 was obtained. When each photopolymerizable composition was evaluated in the same manner as in Example 1, only a relief image corresponding to “4” of the step tablet was obtained.
比較例2 実施例1の光重合性組成物中、p−(N−エチル−N
−イソプロピルアミノ)安息香酸アミルに代えて、p−
(N−ブチルアミノ)安息香酸エチルを用いて、光重合
性組成物を得た。Comparative Example 2 In the photopolymerizable composition of Example 1, p- (N-ethyl-N
-Isopropylamino) amyl benzoate, p-
A photopolymerizable composition was obtained using ethyl (N-butylamino) benzoate.
この光重合性組成物を実施例1と同様に評価したとこ
ろ、ステップタブレットの『7』に対応する樹脂レリー
フ像しか得られなかった。When this photopolymerizable composition was evaluated in the same manner as in Example 1, only a resin relief image corresponding to “7” of the step tablet was obtained.
比較例3 実施例3の光重合性組成物中、p−(N−エチル−N
−イソプロピルアミノ)安息香酸アミルに代えて、p−
(N−n−ブチルアミノ)安息香酸エチルを用いて、光
重合性組成物を得た。Comparative Example 3 In the photopolymerizable composition of Example 3, p- (N-ethyl-N
-Isopropylamino) amyl benzoate, p-
A photopolymerizable composition was obtained using ethyl (Nn-butylamino) benzoate.
この光重合性組成物を実施例1と同様に評価したとこ
ろ、ステップタブレットの『6』に対応する樹脂レリー
フ像しか得られなかった。When this photopolymerizable composition was evaluated in the same manner as in Example 1, only a resin relief image corresponding to “6” of the step tablet was obtained.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/004 - 7/031 C08F 2/50──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G03F 7/004-7/031 C08F 2/50
Claims (2)
カルボキシル基含有単量体とスチレン系モノマーとで構
成され、かつ前記(メタ)アクリル系モノマーが、アク
リル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルで構成
され、前記スチレン系モノマーと(メタ)アクリル系モ
ノマーとの割合が前者/後者=10/90〜60/40(重量比)
である単量体の共重合体で構成された熱可塑性高分子結
合剤100重量部と、 ハロゲン原子またはアルキル基を有していてもよいチオ
キサントン0.01〜30重量部と、 下記一般式(I) (式中、R1はC3-4分岐アルキル基、R2はメチル又はエチ
ル基、R3は炭素数1〜20のアルキル基を示す) で表されるアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル0.
01〜30重量部と、 常温常圧で液体または固体の付加重合性化合物10〜200
重量部とを含有することを特徴とする光重合性組成物。1. A composition comprising at least a (meth) acrylic monomer, a carboxyl group-containing monomer and a styrene monomer, wherein the (meth) acrylic monomer comprises an acrylic ester and / or a methacrylic ester. The ratio of the styrene monomer and the (meth) acrylic monomer is the former / the latter = 10 / 90-60 / 40 (weight ratio)
100 parts by weight of a thermoplastic polymer binder composed of a copolymer of the following monomers, 0.01 to 30 parts by weight of thioxanthone which may have a halogen atom or an alkyl group, and the following general formula (I) (Wherein, R 1 represents a C 3-4 branched alkyl group, R 2 represents a methyl or ethyl group, and R 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms).
01 to 30 parts by weight, liquid or solid addition polymerizable compound at normal temperature and pressure 10 to 200
A photopolymerizable composition, comprising:
て、2,4,5−トリアリールイミダゾリル二量体0.01〜30
重量部を含有する請求項1記載の光重合性組成物。2. A 2,4,5-triarylimidazolyl dimer of 0.01 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of a thermoplastic polymer binder.
The photopolymerizable composition according to claim 1, which contains parts by weight.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63316731A JP2856746B2 (en) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | Photopolymerizable composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63316731A JP2856746B2 (en) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | Photopolymerizable composition |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02161440A JPH02161440A (en) | 1990-06-21 |
JP2856746B2 true JP2856746B2 (en) | 1999-02-10 |
Family
ID=18080273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63316731A Expired - Lifetime JP2856746B2 (en) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | Photopolymerizable composition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2856746B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6022277B2 (en) * | 2012-09-20 | 2016-11-09 | 富士フイルム株式会社 | Ink composition photocuring method, ink set comprising ink composition, image forming method, and ink composition |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5234490B2 (en) * | 1974-02-26 | 1977-09-03 | ||
ZA757984B (en) * | 1974-10-04 | 1976-12-29 | Dynachem Corp | Polymers for aqueous processed photoresists |
JPS5425957A (en) * | 1977-07-29 | 1979-02-27 | Nippon Zeon Co Ltd | Curable rubber composition having excellent resistance to rancid gasoline |
JPS5619752A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition laminate |
JPS5633413A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-03 | Masahiko Tsunoda | Powder blow-in apparatus |
JPS60159743A (en) * | 1984-01-30 | 1985-08-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photopolymerizable composition |
JPS60207136A (en) * | 1984-03-31 | 1985-10-18 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Image forming material |
JPS61186952A (en) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Photopolymerizable resin composition |
JPS61188533A (en) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Sekisui Chem Co Ltd | Photosensitive resin composition |
JPH0610223B2 (en) * | 1985-12-27 | 1994-02-09 | ダイセル化学工業株式会社 | Photocurable polymerization composition |
JPH0825890B2 (en) * | 1987-06-18 | 1996-03-13 | 呉羽化学工業株式会社 | Antiviral agent |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP63316731A patent/JP2856746B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02161440A (en) | 1990-06-21 |
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