JPS6410056B2 - - Google Patents

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JPS6410056B2
JPS6410056B2 JP13721680A JP13721680A JPS6410056B2 JP S6410056 B2 JPS6410056 B2 JP S6410056B2 JP 13721680 A JP13721680 A JP 13721680A JP 13721680 A JP13721680 A JP 13721680A JP S6410056 B2 JPS6410056 B2 JP S6410056B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive layer
image
film
substrate
forming material
Prior art date
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Expired
Application number
JP13721680A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5762047A (en
Inventor
Takashi Yamamura
Shunichi Hayashi
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
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Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP13721680A priority Critical patent/JPS5762047A/en
Publication of JPS5762047A publication Critical patent/JPS5762047A/en
Publication of JPS6410056B2 publication Critical patent/JPS6410056B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/085Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は画像形成材料に関するものであり、さ
らに詳しくは透明支持体上に感光層を有し、露光
後必要ならば加熱を行つた後、支持体を剥離する
ことによつて画像を得ることのできる剥離現像可
能な画像形成材料に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an image forming material, and more specifically, it has a photosensitive layer on a transparent support, and after exposure, heating if necessary, and then peeling off the support. The present invention relates to a peel-developable image-forming material from which an image can be obtained.

従来、プリント配線板作製用フオトレジストと
して溶液タイプのものあるいはフイルム状のもの
などが市販されているが、これらはいずれも露光
部と未露光部の溶液に対する溶解性の差を利用し
て、画像を形成するものである。
Conventionally, solution-type photoresists and film-type photoresists have been commercially available for producing printed wiring boards, but these utilize the difference in solubility of exposed and unexposed areas in a solution to form an image. It forms the

しかしながら、近年、現像液を使用する操作が
煩雑であり、しかも現像液を使用することはその
廃液が公衆衛生を害す恐れのあることから特公昭
38−9663号、特公昭43−22901号、特開昭47−
7728号、特公昭48−43126号、特開昭47−33623
号、特公昭51−48516号、特公昭53−40537号、特
公昭53−19205号、特公昭53−35722号の各公報に
記載されているような剥離現像可能な画像形成材
料及び画像形成方法が提案されている。
However, in recent years, the operation of using a developer has become complicated, and the use of a developer has the potential to cause waste fluid to harm public health.
No. 38-9663, Special Publication No. 1972-22901, Japanese Patent Publication No. 1973-
No. 7728, Japanese Patent Publication No. 48-43126, Japanese Patent Publication No. 47-33623
Peelable and developable image forming materials and image forming methods as described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, Japanese Patent Publication No. 40537, Japanese Patent Publication No. 53-19205, and Japanese Patent Publication No. 53-35722. is proposed.

これらは露光部分と未露光部分の基材と支持体
に対する接着力の差を利用して剥離によつて画像
を形成する方法であるが、剥離の際に露光部分と
未露光部分との境界面が切れ易い比較的薄い感光
層に関しては、ある程度満足できる画像が得られ
るものの、例えばスルーホール銅基板をエツチン
グ加工する際に使用するエツチングレジスト用途
(テンテイングレジストという)においては、ス
ルーホール部分をレジストでおおつて、エツチン
グ液のスプレー圧に耐え得ることが必要なため、
そのスルーホール部分をおおうレジスト皮膜は十
分な皮膜強度を有していなければならず、レジス
トの膜厚をある程度厚くする必要があるが、比較
的厚い感光層を有することを余儀なくされるテン
テイングレジスト用途としては、未だに満足しう
るものが得られていないのが現状である。
These methods utilize the difference in adhesion between the exposed and unexposed areas to the base material and the support to form an image by peeling. Although it is possible to obtain a somewhat satisfactory image with a relatively thin photosensitive layer that is prone to breakage, for example, in the case of etching resist applications (referred to as tenting resists) used when etching through-hole copper substrates, through-hole areas are Because it needs to be able to withstand the spray pressure of the etching solution,
The resist film that covers the through-hole portion must have sufficient film strength, and the resist film must be thick to some extent, but tenting resist requires a relatively thick photosensitive layer. At present, a product that is satisfactory for use has not yet been obtained.

スルーホール銅基板をエツチングする際には、
エツチング液のスプレー圧に耐える必要があるた
め、スルーホール部分をおおつたレジスト皮膜が
強度と伸びを有してなければならない。
When etching a through-hole copper board,
Since it is necessary to withstand the spray pressure of the etching solution, the resist film covering the through-hole portion must have strength and elongation.

さて、有機溶剤やアルカリ水溶液などによつて
現像可能な画像形成材料は、露光により硬化した
部分が基材に残り未露光の部分は現像液によつて
溶解除去されるという手段をとつているため光重
合組成物層と基材との接着力を予め十分大きくし
ておくことができ、現像時の露光部分の剥れに関
して問題は少ない。しかしながら、本発明の対象
とする剥離によつて画像を形成する画像形成材料
では、未露光部分を容易に剥離する必要があるた
め感光層と基材との接着力を予め十分大きくして
おくことができない。そのため、露光した部分だ
けが基材に対して非常に大きな実用接着力(剥
離、引張、剪断引掻きなどに対して抵抗し得る接
着力)を持つことが要求される。
Now, image forming materials that can be developed with organic solvents or alkaline aqueous solutions use a method in which the portions that are hardened by exposure remain on the base material and the unexposed portions are dissolved and removed by the developer. The adhesive force between the photopolymerizable composition layer and the base material can be made sufficiently large in advance, and there is little problem with peeling of exposed areas during development. However, in the image-forming material that forms an image by peeling, which is the subject of the present invention, it is necessary to easily peel off the unexposed areas, so the adhesive force between the photosensitive layer and the base material must be made sufficiently large in advance. I can't. Therefore, only the exposed areas are required to have very high practical adhesion to the substrate (adhesion that can resist peeling, tension, shear scratching, etc.).

特にテンテイングレジストとして使用する場
合、感光層の膜厚を厚くして皮膜強度をもたせる
ことが必要となるが、膜厚が厚くなればなるほど
露光部と未露光部の界面が切れにくくなり、それ
にともなつて剥離に大きな力がかかるため、露光
部分がある程度の基材との接着力を持つていても
基材との接着面積の小さい場合など剥離時に露光
部が剥れる傾向があつた。
Particularly when used as a tenting resist, it is necessary to increase the film thickness of the photosensitive layer to provide film strength. At the same time, a large force is applied during peeling, so even if the exposed portion has a certain degree of adhesion to the substrate, the exposed portion tends to peel off during peeling, such as when the adhesive area with the substrate is small.

特に、強じんな皮膜を得るため極めて良好な伸
びを持たせるようにした感光層は、露光部分の弾
性率が比較的小さくなる傾向があり、支持体とと
もに未露光部分を剥離していくと、露光部分が変
形しやすく剥れやすい傾向にあつた。
In particular, photosensitive layers that have been made to have extremely good elongation in order to obtain a strong film tend to have a relatively small modulus of elasticity in the exposed areas, and when the unexposed areas are peeled off together with the support. The exposed areas tended to be easily deformed and peeled off.

本発明の目的は、スルーホール部分をおおつた
レジスト皮膜がエツチング液のスプレー圧に十分
に耐えるような優れた伸びを有するエツチングレ
ジストにおいて、未露光部分の感光層を容易に剥
離することができ、且つ剥離現像時に非常に接着
面積が小さい露光部分でも剥れることのない優れ
た密着性を有する剥離現像可能な画像形成材料を
提供することにある。
The object of the present invention is to provide an etching resist in which the resist film covering the through-hole portion has excellent elongation so as to sufficiently withstand the spray pressure of the etching solution, and the photosensitive layer in the unexposed portion can be easily peeled off. Another object of the present invention is to provide an image-forming material that can be peeled and developed, and has excellent adhesion that does not peel off even in exposed areas with a very small adhesion area during peeling and development.

本発明者らは上記した目的にそつて従来技術の
欠点を克服しようと鋭意検討を重ねた結果、透明
支持体上に皮膜形成性高分子物質と付加重合性不
飽和結合を少なくとも1個有する化合物と光重合
開始剤を必須成分として含有する感光層を設ける
ことにより構成される画像形成材料において、密
着性向上剤として一般式 (但し、m+n=3、nは1或は2、Xは水素原
子或はCH3基、Rはアルキレン基) で表わされる化合物を感光層に含有させることに
より、極めて密着性のすぐれた(すなわち剥離現
像時に露光部分が基材からはがれにくい)画像形
成材料となることを見出し本発明に至つたもので
ある。
The present inventors have made extensive studies to overcome the shortcomings of the prior art in accordance with the above-mentioned objectives, and have developed a compound having a film-forming polymeric substance and at least one addition-polymerizable unsaturated bond on a transparent support. In an image forming material constructed by providing a photosensitive layer containing a photopolymerization initiator as an essential component, the general formula (However, m+n=3, n is 1 or 2, X is a hydrogen atom or CH 3 group, and R is an alkylene group) By incorporating a compound represented by the following into the photosensitive layer, extremely excellent adhesion (i.e. The inventors discovered that this can be used as an image-forming material (the exposed portion is difficult to peel off from the substrate during peel development), leading to the present invention.

本発明に使用される前記一般式(A)で表わされる
化合物としては、2−ヒドロキシエチルアクリロ
イルホスフエート、2−ヒドロキシエチルメタク
リロイルホスフエート、ビス−(2−ヒドロキシ
エチルアクリロイル)ホスフエート、ビス−(2
−ヒドロキシエチルメタクリロイル)ホスフエー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフ
エート、2−ヒドロキシプロピルメタクリロイル
ホスフエート、ビス−(2−ヒドロキシプロピル
アクリロイル)ホスフエート、ビス−(2−ヒド
ロキシプロピルメタクリロイル)ホスフエートな
どがある。
Examples of the compound represented by the general formula (A) used in the present invention include 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate, 2-hydroxyethyl methacryloyl phosphate, bis-(2-hydroxyethyl acryloyl) phosphate, and bis-(2-hydroxyethyl acryloyl) phosphate.
-hydroxyethyl methacryloyl) phosphate, 2-hydroxypropyl acryloyl phosphate, 2-hydroxypropyl methacryloyl phosphate, bis-(2-hydroxypropyl acryloyl) phosphate, bis-(2-hydroxypropyl methacryloyl) phosphate, and the like.

これら化合物は全感光層を基準として0.01〜10
重量%の範囲で使用することができ、さらに好ま
しくは0.1〜1重量%の範囲で使用することがで
きる。0.01重量%より少ない場合はその添加効果
がほとんど得られないし、逆に10重量%以上と多
すぎてもかえつてはがれやすくなつて効果が得ら
れない場合がある。
These compounds range from 0.01 to 10% based on the total photosensitive layer.
It can be used in a range of % by weight, more preferably in a range of 0.1 to 1% by weight. If it is less than 0.01% by weight, hardly any effect will be obtained, and if it is too much, such as 10% by weight or more, it may become more likely to peel off and no effect may be obtained.

本発明の画像形成材料を構成する他の材料につ
いて説明すると、本発明に使用される透明な支持
体としては感光層を光重合させうる300〜500nm
の波長域の光の透過性が良好な事、表面が均一で
あることが必要である。
To explain other materials constituting the image forming material of the present invention, the transparent support used in the present invention has a thickness of 300 to 500 nm capable of photopolymerizing the photosensitive layer.
It is necessary that the light transmittance in the wavelength range is good and the surface is uniform.

このような支持体の具体例を挙げると、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、
ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカ
ルボネート、ポリスチレン、セロフアン、ポリ塩
化ビニリデン共重合物、ポリアミド(たとえば6
−ナイロン、6,6−ナイロン、6,10−ナイロ
ンなど)、ポリイミド、塩化ビニル−酢酸ビニル
共重合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリト
リフルオロエチレン等の多種のプラスチツクフイ
ルムが使用できる。更にこれ等の二種以上からな
る複合材料も使用することができる。
Specific examples of such supports include polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate,
Polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide (e.g. 6
Various types of plastic films can be used, such as polyimide, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polytetrafluoroethylene, and polytrifluoroethylene. Furthermore, a composite material consisting of two or more of these types can also be used.

支持体は、一般的には10から150μmの厚さの
もの、好ましくは20から50μmの厚さのものが使
用されるが、上記範囲以外のものでも使用するこ
とができる。
The support generally has a thickness of 10 to 150 μm, preferably 20 to 50 μm, but supports having a thickness outside the above range can also be used.

本発明に使用できる皮膜形成性高分子物質とし
ては広範な高分子物質の中から選ぶことができる
が、他の構成成分との相溶性が極度に悪いものは
好ましくなく。
Film-forming polymeric substances that can be used in the present invention can be selected from a wide variety of polymeric substances, but those that have extremely poor compatibility with other constituents are not preferred.

好ましい皮膜形成性高分子物質の例としては、
塩素化ポリオレフイン(たとえば塩素化ポリエチ
レン、塩素化ポリプロピレン)、ポリメチルメタ
アクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリ塩
化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルブチ
ラール、ポリビニルアセテート、塩化ビニル−酢
酸ビニル共重合物、塩化ビニリデン−アクリロニ
トリル共重合物、ポリイソプレン、塩化ゴム、ポ
リクロロプレン、ポリクロルスルホン化エチレン
およびポリクロルスルホン化プロピレン、溶剤可
溶性線状飽和ポリエステルなどがある。これらの
高分子物質は2種以上を混合しても使用すること
ができる。
Examples of preferred film-forming polymeric substances include:
Chlorinated polyolefins (e.g. chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene), polymethyl methacrylate, polymethyl acrylate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile Examples include copolymers, polyisoprene, chlorinated rubber, polychloroprene, polychlorosulfonated ethylene and polychlorosulfonated propylene, and solvent-soluble linear saturated polyesters. Two or more of these polymeric substances can be used in combination.

本発明に使用される付加重合性不飽和結合を少
なくとも1個有する化合物としては、広範な付加
重合性化合物があげられる。その例としては、ア
クリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタア
クリル酸エステル類、メタアクリルアミド類、ア
リル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル
類、N−ビニル化合物、スチレン類、クロトン酸
エステル類などがある。付加重合性不飽和結合を
1個有する化合物の具体例としては、アクリル酸
エステル類、例えば、アクリル酸、アルキルアク
リレート(例えばアクリル酸プロピル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸エチル
ヘキシル、アクリル酸オクチル)、メタアクリル
酸エステル類、例えば、メタアクリル酸、アルキ
ルメタアクリレート(例えばメチルメタアクリレ
ート、エチルメタアクリレート、プロピルメタア
クリレート、イソプロピルメタアクリレート)、
アクリルアミド類、例えばアクリルアミド、N−
アルキルアクリルアミド、(酸アルキル基として
は、例えばメチル基、エチル基、ブチル基、イソ
プロピル基、t−ブチル基、エチルヘキシル基な
どがある。)、メタアクリルアミド類、例えばメタ
アクリルアミド、N−アルキルメタアクリルアミ
ド(該アルキル基としては、メチル基、エチル
基、イソプロピル基、t−ブチル基、エチルヘキ
シル基などがある。)、アリル化合物、例えばアリ
ルエステル類(例えば酢酸アリル、カプロン酸ア
リル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、バ
ルミチン酸アリル)、ビニルエーテル類、例えば
アルキルビニルエーテル(例えばヘキシルビニル
エーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニ
ルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル)、
ビニルエステル類、例えばビニルブチレート、ビ
ニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセ
テート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート
等がある。他にスチレン類、例えばスチレン、メ
チルスチレン、クロルメチルスチレン、アルコキ
シスチレン、ハロゲン化スチレン、安息香酸スチ
レン等がある。クロトン酸エステル類としてはク
ロトン酸メチル、クロトン酸エチル、クロトン酸
ブチル、クロトン酸ヘキシル、クロトン酸イソプ
ロピルなどがある。
The compound having at least one addition-polymerizable unsaturated bond used in the present invention includes a wide range of addition-polymerizable compounds. Examples include acrylic esters, acrylamides, methacrylic esters, methacrylamides, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters, N-vinyl compounds, styrenes, crotonic esters, and the like. Specific examples of compounds having one addition-polymerizable unsaturated bond include acrylic esters, such as acrylic acid, alkyl acrylates (such as propyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate, ethylhexyl acrylate, octyl acrylate). ), methacrylic esters, such as methacrylic acid, alkyl methacrylates (such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate),
Acrylamides, such as acrylamide, N-
alkylacrylamide, (acid alkyl groups include, for example, methyl, ethyl, butyl, isopropyl, t-butyl, ethylhexyl, etc.), methacrylamide, such as methacrylamide, N-alkylmethacrylamide ( Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, isopropyl group, t-butyl group, and ethylhexyl group), allyl compounds such as allyl esters (such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, and lauric acid) allyl, allyl balmitate), vinyl ethers such as alkyl vinyl ethers (e.g. hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether),
Vinyl esters such as vinyl butyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, and the like. Other styrenes include styrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, alkoxystyrene, halogenated styrene, and styrene benzoate. Examples of crotonate esters include methyl crotonate, ethyl crotonate, butyl crotonate, hexyl crotonate, and isopropyl crotonate.

次に、付加重合性不飽和結合を2個以上有する
化合物の具体例を例示するが、これらは上記付加
重合性不飽和結合を1個有する化合物よりも、好
適に使用される。先ずアクリル酸エステル類及び
メタアクリル酸エステル類としては、多価アルコ
ールのポリアクリレート類及びポリメタアクリレ
ート類(ここで「ポリ」とはジアクリレート以上
を指す。)がある。上記多価アルコールとしては、
ポリエチレングリコール、ポリプロピレンオキシ
ド、ポリブチレンオキシド、(β−ヒドロキシエ
トキシ)ベンゼン、グリセリン、ジグリセリン、
ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパ
ン、トリエチロールプロパン、ペンタエリトリト
ール、ジペンタエリトリトール、ソルビタン、ソ
ルピトール、1,4−ブタンジオール、1,2,
4−ブタントリオール、2−ブテン−1,4−ジ
オール、2−ブチル−2−エチル−プロパンジオ
ール、2−ブテン−1,4−ジオール、1,3−
プロパンジオール、トリエタノールアミン、デカ
リンジオール、3−クロル−1,2−プロパンジ
オール等がある。
Next, specific examples of compounds having two or more addition-polymerizable unsaturated bonds are illustrated, and these are more preferably used than the above-mentioned compounds having one addition-polymerizable unsaturated bond. First, acrylic esters and methacrylic esters include polyacrylates and polymethacrylates (herein, "poly" refers to diacrylate or higher) of polyhydric alcohols. The polyhydric alcohol mentioned above is
Polyethylene glycol, polypropylene oxide, polybutylene oxide, (β-hydroxyethoxy)benzene, glycerin, diglycerin,
Neopentyl glycol, trimethylolpropane, triethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, sorbitan, solpitol, 1,4-butanediol, 1,2,
4-butanetriol, 2-butene-1,4-diol, 2-butyl-2-ethyl-propanediol, 2-butene-1,4-diol, 1,3-
Examples include propanediol, triethanolamine, decalindiol, 3-chloro-1,2-propanediol, and the like.

さらにオリゴエステルアクリレート、オリゴエ
ステルメタクリレート、エポキシアクリレート、
ウレタンアクリレートなどの名称で市販されてい
るアクリレート、メタクリレート類なども好適に
使用できる。
In addition, oligoester acrylate, oligoester methacrylate, epoxy acrylate,
Acrylates and methacrylates commercially available under names such as urethane acrylate can also be suitably used.

かかる付加重合性不飽和結合を少なくとも1個
有する化合物は2種以上を併用して用いることも
できる。これらの化合物は皮膜形成高分子物質
100重量部に対して10重量部から500重量部、好ま
しくは30から200重量部の範囲で用いられる。
Two or more kinds of such compounds having at least one addition-polymerizable unsaturated bond can also be used in combination. These compounds are film-forming polymeric substances.
It is used in an amount of 10 to 500 parts by weight, preferably 30 to 200 parts by weight per 100 parts by weight.

本発明に使用される光重合開始剤としては従来
公知のものを好適に用いることができ、それらと
してはカルボニル化合物、有機硫黄化合物、過酸
化物、レドツクス系化合物、アゾ並びにジアゾ化
合物、ハロゲン化合物、光還元性色素などがあ
る。代表的な具体例を挙げれば、カルボニル化合
物としては例えばベンゾイン、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチル
ケタール、ベンゾフエノン、アントラキノン、2
−メチルアントラキノン、2−t−ブチルアント
ラキノン、9,10−フエナントレンキノン、ジア
セチル、ベンジルなどがある。
As the photopolymerization initiator used in the present invention, conventionally known ones can be suitably used, and these include carbonyl compounds, organic sulfur compounds, peroxides, redox compounds, azo and diazo compounds, halogen compounds, There are photoreducible dyes. Typical specific examples of carbonyl compounds include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl ketal, benzophenone, anthraquinone,
-methylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 9,10-phenanthrenequinone, diacetyl, benzyl and the like.

有機硫黄化合物としては、ジブチルジスルフイ
ド、ジオクチルジスルフイド、ジベンジルジスル
フイド、ジフエニルジスルフイド、ジベンゾイル
スルフイド、ジアセチルジスルフイドなどがあ
る。
Examples of organic sulfur compounds include dibutyl disulfide, dioctyl disulfide, dibenzyl disulfide, diphenyl disulfide, dibenzoyl sulfide, and diacetyl disulfide.

過酸化物としては、過酸化水素、ジ−t−ブチ
ルペルオキシド、過酸化ベンゾイル、メチルエチ
ルケトンペルオキシドなどがある。
Examples of peroxides include hydrogen peroxide, di-t-butyl peroxide, benzoyl peroxide, and methyl ethyl ketone peroxide.

レドツクス系化合物は、過酸化物と還元剤の組
合わせからなるものであり、第一鉄イオンと過酸
化水素、第一鉄イオンと過硫酸イオン、第二鉄イ
オンと過酸化物などがある。
Redox compounds consist of a combination of a peroxide and a reducing agent, and include ferrous ions and hydrogen peroxide, ferrous ions and persulfate ions, ferric ions and peroxides, and the like.

アゾ及びジアゾ化合物としては、a,a′−アゾ
ビスイソブチロニトリル、2−アゾビス−2−メ
チルブチロニトリル、1−アゾ−ビス−シクロヘ
キサンカルボニトリル、P−アミノジフエニルア
ミンのジアゾニウム塩などがある。
Examples of azo and diazo compounds include a,a'-azobisisobutyronitrile, 2-azobis-2-methylbutyronitrile, 1-azo-bis-cyclohexanecarbonitrile, and diazonium salt of P-aminodiphenylamine. There is.

ハロゲン化合物としてはクロルメチルナフチル
クロリド、フエナシルクロリド、クロルアセト
ン、β−ナフタレンスルホニルクロリド、キシレ
ンスルホニルクロリドなどがある。
Examples of the halogen compound include chloromethylnaphthyl chloride, phenacyl chloride, chloroacetone, β-naphthalenesulfonyl chloride, and xylene sulfonyl chloride.

光還元性色素としては、ローズベンガル、エリ
スロシン、エオシン、アクリフラビン、リボフラ
ビン、チオニンなどがある。
Photoreducible pigments include rose bengal, erythrosin, eosin, acriflavin, riboflavin, and thionin.

これら光重合開始剤は単独であるいは必要に応
じて2種以上を組合せて用いることができる。
These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more types as required.

これらの光重合開始剤は不飽和化合物100重量
部に対して通常0.1〜20重量部の範囲で使用する
ことができる。
These photopolymerization initiators can be used generally in an amount of 0.1 to 20 parts by weight per 100 parts by weight of the unsaturated compound.

本発明の画像形成材料の感光層は、上記したよ
うな皮膜形成性高分子物質、付加重合性不飽和結
合物、光重合開始剤および特定の密着性向上剤か
らなるものであるが、さらに必要に応じて熱重合
防止剤、着色剤、充てん剤、可塑剤などの各種添
加剤を含有させる事もできる。
The photosensitive layer of the image-forming material of the present invention is composed of the film-forming polymer substance, addition polymerizable unsaturated bond, photopolymerization initiator, and specific adhesion improver as described above. Depending on the requirements, various additives such as thermal polymerization inhibitors, colorants, fillers, and plasticizers can also be included.

本発明に使用される感光層を形成する各成分
は、溶剤に溶解して塗布液となし支持体上に塗布
し乾燥される。
Each component forming the photosensitive layer used in the present invention is dissolved in a solvent to form a coating solution, which is coated on a support and dried.

塗布液の溶剤としてはアセトン、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン
類、トルエン、ベンゼン、キシレンなどの芳香族
炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル
などのエステル類、四塩化炭素、クロロホルム、
トリクロロエチレン、塩化メチレンなどのハロゲ
ン化炭化水素、ジエチルエーテル、テトラヒドロ
フラン、ジオキサン、エチレングリコールモノメ
チルエーテルなどのエーテル類、ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホキシドなどがある。
Solvents for the coating solution include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone, aromatic hydrocarbons such as toluene, benzene, and xylene, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, and amyl acetate, carbon tetrachloride, chloroform,
Examples include halogenated hydrocarbons such as trichloroethylene and methylene chloride, ethers such as diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, and ethylene glycol monomethyl ether, dimethylformamide, and dimethyl sulfoxide.

感光層は支持体の上に塗布液を塗り乾燥させた
後の厚みが5〜100μm、好ましくは10〜60μmに
なるように設ける。本発明の画像形成材料は支持
体上に感光層を設けた構成からなるものである
が、必要に応じて感光層の上に保護フイルムを設
けることもできる。保護フイルムとしてはポリエ
チレン、ポリプロピレンあるいは非着処理をほど
こした各種フイルム、紙などが使用できる。
The photosensitive layer is provided so that the coating solution is applied onto the support and the thickness after drying is 5 to 100 .mu.m, preferably 10 to 60 .mu.m. The image forming material of the present invention has a structure in which a photosensitive layer is provided on a support, but a protective film can also be provided on the photosensitive layer if necessary. As the protective film, polyethylene, polypropylene, various films treated with non-adhesive treatment, paper, etc. can be used.

本発明の画像形成材料を用いて画像形成する方
法について説明すると、本発明の画像形成材料が
保護フイルムを有している場合は保護フイルムを
はがしてから感光層を所望の基板に圧着させる。
次に透明な支持体を通して画像露光する。
To explain the method of forming an image using the image forming material of the present invention, if the image forming material of the present invention has a protective film, the protective film is peeled off and then the photosensitive layer is pressure-bonded to a desired substrate.
The image is then exposed through the transparent support.

光源としては350〜500nmの範囲の波長の光を
含む光源、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キ
セノン灯、カーボンアーク灯などを使用すること
ができる。その他にレーザー光線、電子線、X線
などを光源として使用してもよい。画像露光後必
要ならば熱処理を加えてもよいが(50℃〜120℃
で1分〜120分程度)、支持体を基板から剥離する
と画像露光における露光部分は硬化して基板に残
り、未露光部分は硬化しないまま支持体と共に除
去され、かくして基板上に所望の画像が形成され
る。
As the light source, a light source containing light with a wavelength in the range of 350 to 500 nm, such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, etc., can be used. In addition, laser beams, electron beams, X-rays, etc. may be used as the light source. If necessary, heat treatment may be applied after image exposure (50℃ to 120℃).
(about 1 minute to 120 minutes), when the support is peeled off from the substrate, the exposed part in the image exposure is cured and remains on the substrate, and the unexposed part is removed together with the support without being cured, thus forming the desired image on the substrate. It is formed.

本発明の画像形成材料は、感光層が厚目のいわ
ゆるテンテイング用レジストとして使用した場合
その硬化部分の基材に対する密着性が良好である
ため、剥れによる欠陥のない画像を与え好都合に
使用されるが、もちろんテンテイングを目的とし
ない他のレジスト画像の作製にも好適に使用でき
る。
When the image-forming material of the present invention is used as a so-called tenting resist with a thick photosensitive layer, the cured portion has good adhesion to the base material, so it can be conveniently used to produce images without defects due to peeling. However, of course, it can also be suitably used for producing other resist images not intended for tenting.

さらに平版印刷、凸版印刷等の刷版の作製や他
のレリーフ画像の作製などの用途にも使用するこ
とができる。
Furthermore, it can be used for purposes such as the production of printing plates for lithographic printing, letterpress printing, etc., and the production of other relief images.

以下実施例によつて具体的に説明するが、本発
明はこの実施例により限定されるものでない。
The present invention will be specifically explained below using examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例 1 塩素化ポリエチレン(山陽国策パルプ社製スーパ
ークロンCPE907LTA) 70(重量部) ポリメタクリル酸メチル(三菱レーヨン社製ダイ
ヤナールBR−80) 30 ペンタエリスリトールトリアクリレート 150 ベンゾインイソプロピルエーテル 7.5 2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフエート
1.0 エチルバイオレツト 0.3 パラメトキシフエノール 0.1 トルエン 400 上記材料を均一に溶解混合することにより感光
液を作製した。
Example 1 Chlorinated polyethylene (Superclone CPE907LTA manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.) 70 (parts by weight) Polymethyl methacrylate (Dyanal BR-80 manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) 30 Pentaerythritol triacrylate 150 Benzoin isopropyl ether 7.5 2-Hydroxyethyl acryloyl phosphate
1.0 Ethyl violet 0.3 Paramethoxyphenol 0.1 Toluene 400 A photosensitive solution was prepared by uniformly dissolving and mixing the above materials.

この感光液を厚さ25μmのポリエチレンテレフ
タレートフイルム上に乾燥後の感光層の厚みが
50μmになるように塗布し、80℃で15分間乾燥す
ることにより画像形成材料を作成した。
This photosensitive solution is dried on a polyethylene terephthalate film with a thickness of 25 μm, and the thickness of the photosensitive layer is
An image forming material was prepared by coating the film to a thickness of 50 μm and drying at 80° C. for 15 minutes.

次にこの画像形成材料を表面を清浄化したスル
ーホールを有するプリント配線板用の両面銅張り
基板の両面に加圧積層した。この状態で配線回路
パターンを持つた陰画原稿を銅面に積層された画
像形成材料の支持体の上に密着させ、陰画原稿を
通して3KWの超高圧水銀灯により60cmの距離よ
り20秒間露光を行なつた(基板の両面共に露光)。
次に35℃に基板を加温し支持体のポリエチレンテ
レフタレートフイルムを基板より引き剥すと、感
光層の露光された部分は硬化して銅基板上に残
り、未露光の部分は支持体と共に銅張り基板より
除去されて、銅基板上には陰画原稿に対応した陽
画画像が形成された。このようにして形成された
レジストパターンは陰画原稿を忠実に再現してお
り、露光部分が基板より剥れて画像が断線したり
欠損したりする欠点あるいはテンテイング部分が
破れるような欠点は全くなかつた。
Next, this image forming material was laminated under pressure on both sides of a double-sided copper-clad substrate for a printed wiring board having through holes whose surface had been cleaned. In this state, the negative original with the wiring circuit pattern was brought into close contact with the support of the image forming material laminated on the copper surface, and the negative original was exposed for 20 seconds from a distance of 60 cm using a 3KW ultra-high pressure mercury lamp. (Both sides of the board are exposed).
Next, when the substrate is heated to 35°C and the polyethylene terephthalate film support is peeled off from the substrate, the exposed parts of the photosensitive layer harden and remain on the copper substrate, and the unexposed parts are covered with copper along with the support. After being removed from the substrate, a positive image corresponding to the negative original was formed on the copper substrate. The resist pattern formed in this way faithfully reproduced the negative original, and there was no defect such as the exposed portion peeling off from the substrate, resulting in disconnection or loss of the image, or the defect that the tenting portion was torn. .

同様の操作をさらに9枚の基板について行なつ
たが、同様に全く欠点のないレジストパターンが
得られた。このようにして得られたレジストパタ
ーンを有する銅張り基板を塩化第2鉄水溶液を用
いて40℃で銅の層のエツチング処理を行なつた
が、このエツチング処理中にも感光層は銅に強く
接着し、剥れたりピンホールを発生するような現
象は全く生じないことが確められた。又エツチン
グ後の感光層の基板よりの剥離は、塩化メチレン
により容易に行なうことができた。
Similar operations were performed on nine more substrates, and resist patterns with no defects were similarly obtained. The copper layer of the copper-clad substrate having the resist pattern thus obtained was etched at 40°C using an aqueous ferric chloride solution, but even during this etching process, the photosensitive layer remained resistant to copper. It was confirmed that no phenomena such as adhesion, peeling, or generation of pinholes occurred. Further, the photosensitive layer after etching could be easily peeled off from the substrate using methylene chloride.

実施例 2 実施例1の感光液において、2−ヒドロキシエ
チルアクリロイルホスフエートを2−ヒドロキシ
エチルメタクリロイルホスフエートに代える以外
は同様にして画像形成材料を作成した。
Example 2 An image forming material was prepared in the same manner as in Example 1 except that 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate was replaced with 2-hydroxyethyl methacryloyl phosphate.

実施例 3 実施例1の感光液において、2−ヒドロキシエ
チルアクリロイルホスフエートをビス−(2−ヒ
ドロキシエチルアクリロイル)ホスフエートに代
える以外は同様にして画像形成材料を作成した。
Example 3 An image forming material was prepared in the same manner as in Example 1 except that 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate was replaced with bis-(2-hydroxyethyl acryloyl) phosphate.

以上実施例2および3について、実施例1と同
様の画像形成とエツチング処理を行なつたとこ
ろ、実施例1と同様の良好な結果が得られた。
For Examples 2 and 3, the same image formation and etching processes as in Example 1 were performed, and the same good results as in Example 1 were obtained.

比較例 1 実施例1の感光液において、2−ヒドロキシエ
チルアクリロイルホスフエートを添加せずに画像
形成材料を作成した。
Comparative Example 1 An image forming material was prepared using the photosensitive solution of Example 1 without adding 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate.

比較例 2 実施例1の感光液において、2−ヒドロキシエ
チルアクリロイルホスフエートをトリス−(2−
ヒドロキシエチルアクリロイル)ホスフエートに
代える以外は同様にして画像形成材料を作成し
た。
Comparative Example 2 In the photosensitive solution of Example 1, 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate was replaced with tris-(2-
An image forming material was prepared in the same manner except that hydroxyethyl acryloyl) phosphate was used instead.

比較例1および2の場合は、得られた画像は基
板2枚に1枚程度の割合で露光部分が剥れること
による継線不良が発生していることが確認され
た。
In the case of Comparative Examples 1 and 2, it was confirmed that in the obtained images, a connection failure due to peeling of the exposed portion occurred in about one out of every two substrates.

実施例 4 ポリメタクリル酸メチル(三菱レーヨン社製ダイ
ヤナールBR−75) 90(重量部) 塩化ゴム(山陽国策パルプ社製スーパークロン
CR−5) 10 ペンタエリスリトールトリアクリレート 50 オリゴエステルアクリレート(東亜合成化学工業
社製アロニツクスM−6100) 100 ベンゾインイソプロピルエーテル 10 2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフエート
2 パラメトキシフエノール 0.1 エチルバイオレツト 0.3 トルエン 400 上記材料を均一に溶解混合することにより感光
液を作製した。
Example 4 Polymethyl methacrylate (Dyanal BR-75 manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) 90 (parts by weight) Chlorinated rubber (Super Chron manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.)
CR-5) 10 Pentaerythritol triacrylate 50 Oligoester acrylate (Aronix M-6100 manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.) 100 Benzoin isopropyl ether 10 2-Hydroxyethyl acryloyl phosphate
2 Paramethoxyphenol 0.1 Ethyl violet 0.3 Toluene 400 A photosensitive solution was prepared by uniformly dissolving and mixing the above materials.

この感光液を厚さ25μmのポリエチレンテレフ
タレートフイルム上に乾燥後の厚みが50μmにな
るように塗布し、80℃で15分間乾燥することによ
り画像形成材料を作成した。
This photosensitive solution was applied onto a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm so that the thickness after drying would be 50 μm, and the film was dried at 80° C. for 15 minutes to prepare an image forming material.

以下実施例1と同様にして露光を行ない、露光
後基板を80℃で30分間加熱処理した。これを室温
(25℃)まで冷却後支持体を基板よりひきはがす
と基板上にレジストパターンが得られた。このレ
ジストパターンは全く欠点がなく、かつ実施例1
同様エツチング処理によつても欠点を生ずること
がなかつた。
Thereafter, exposure was carried out in the same manner as in Example 1, and after exposure, the substrate was heat-treated at 80° C. for 30 minutes. After cooling this to room temperature (25°C), the support was peeled off from the substrate, and a resist pattern was obtained on the substrate. This resist pattern has no defects, and Example 1
Similarly, no defects were caused by etching treatment.

比較例 3 実施例4の2−ヒドロキシエチルアクリロイル
ホスフエートを除いた感光液を用いて、実施例4
と同様の評価を行なつた。剥離現像により画像は
露光部の剥れによる欠点が非常に見立つた。
Comparative Example 3 Using the photosensitive liquid of Example 4 except for 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate, Example 4 was prepared.
A similar evaluation was conducted. Due to peel development, the image had very noticeable defects due to peeling in exposed areas.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 透明支持体上に皮膜形成性高分子物質と付加
重合性不飽和結合を少なくとも1個有する化合物
とさらに光重合開始剤を必須成分として含有する
感光層を設けてなる画像形成材料において、 密着性向上剤として一般式 (但し、m+n=3、nは1或は2、Xは水素原
子或はCH3基、Rはアルキレン基)で表わされる
化合物を感光層に添加することを特徴とする剥離
現像可能な画像形成材料。
[Scope of Claims] 1. An image formed by providing on a transparent support a photosensitive layer containing a film-forming polymeric substance, a compound having at least one addition-polymerizable unsaturated bond, and a photopolymerization initiator as essential components. In forming materials, the general formula is used as an adhesion improver. (However, m+n=3, n is 1 or 2, X is a hydrogen atom or CH 3 group, and R is an alkylene group) is added to the photosensitive layer to form a peelable and developable image. material.
JP13721680A 1980-09-30 1980-09-30 Image-forming material Granted JPS5762047A (en)

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