JPH01250946A - Image forming method by peeling - Google Patents

Image forming method by peeling

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JPH01250946A
JPH01250946A JP7970888A JP7970888A JPH01250946A JP H01250946 A JPH01250946 A JP H01250946A JP 7970888 A JP7970888 A JP 7970888A JP 7970888 A JP7970888 A JP 7970888A JP H01250946 A JPH01250946 A JP H01250946A
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JP
Japan
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thin film
image
photosensitive composition
composition layer
conductive thin
Prior art date
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Pending
Application number
JP7970888A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriharu Miyaake
宮明 稚晴
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
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Publication date
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Publication of JPH01250946A publication Critical patent/JPH01250946A/en
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/34Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
    • G03F7/346Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away using photosensitive materials other than non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/04Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed mechanically, e.g. by punching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/20Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern

Abstract

PURPOSE:To enable the image formation by peeling, and to improve sticking property between the image and a base plate by using a photosensitive composition layer usable for image formation for an adhesives between a conductive thin film and the base plate. CONSTITUTION:The photosensitive composition layer 2, the conductive thin film 3 and a peeling film 4 are laminated on a transparent base plate 1 in this order. The interrelation-ship of the formula A>C>B is held for symbols A, B and C in a nonexposure condition wherein the symbol A is sticking force between the transparent base plate 1 and the photosensitive composition 2, the symbol B is the sticking force between the layer 2 and the conductive thin film 3 and the symbol C is the sticking force between the film 3 and the peeling film 4. And, an image forming material which has the interrelation-ship of the formula A>C>B after exposure is subjected to a pattern-like exposure (a) from a transparent base plate 1 side, and then is peeled only the unexposed part of the conductive thin film 3a together with the peeling film 4 to remove said part whereby the exposed part 3b of the conductive thin film is remained on the transparent base plate 1 as the image through the photosensitive composition layer 2. Thus, the sticking property between the image and the substrate plate is remarkably improved by the photosensitive composition layer.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント配線板、液晶などの透明電極パター
ンなどの作製の用に供される剥離による画像形成方法に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an image forming method by peeling used for producing transparent electrode patterns for printed wiring boards, liquid crystals, etc.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

感光フィルムを用いて所望の画像を形成する技術は、古
くから知られている。この方法は、たとえば絶縁基板上
に銅箔などの導電性薄膜を設けてなる積層基板に感光フ
ィルムを重ね合わせ、パターン状露光後湿式現像および
エツチング操作を経て絶縁基板上に所望パターンの導電
性薄膜からなる画像を形成するものである。また、感光
フィルムとして透明支持体上に感光性組成物層を設けて
なる剥離現像タイプのものを用いたときは、パターン状
露光後透明支持体を剥離操作することにより、導電性薄
膜上にパターン化感光性組成物層を形成でき、この場合
は湿式現像が不要となってその後エツチング操作を行う
ことによって上記同様の画像を形成できる。
Techniques for forming desired images using photosensitive film have been known for a long time. In this method, a photosensitive film is overlaid on a laminated substrate consisting of a conductive thin film such as copper foil on an insulating substrate, and after pattern exposure, wet development and etching are performed to form a conductive thin film in a desired pattern on the insulating substrate. It forms an image consisting of In addition, when using a peel development type photosensitive film in which a photosensitive composition layer is provided on a transparent support, the pattern can be formed on the conductive thin film by peeling off the transparent support after patterned exposure. A photosensitive composition layer can be formed, and in this case, wet development becomes unnecessary, and an image similar to the above can be formed by performing an etching operation thereafter.

しかるに、これらの画像形成技術では、パターン状露光
後エツチング操作を必ず行う必要があり、また剥離現像
タイプを除き湿式現像処理を行う必要もあるため、画像
形成のための工程が煩雑となるという不利があり、加え
てエツチング液や現像液の使用は公衆衛生上好ましくな
く、またコスト高となるなどの種々の不利があった。
However, with these image forming techniques, it is necessary to carry out an etching operation after patterned exposure, and, except for the peel development type, it is also necessary to carry out a wet development process, which has the disadvantage of complicating the image forming process. In addition, the use of etching solutions and developing solutions has various disadvantages, such as being unfavorable from a public health standpoint and increasing costs.

そこで、これらの不利を回避した画像形成材料として、
基材上に画像を構成させるための導電性薄膜を設けると
ともに、この上に直接感光性組成物層を形成したもの(
特公昭56−20533号公報)や、上記感光性組成物
層上にさらに補強のための支持体フィルムを適宜の接着
剤層を介して積層したもの(特公昭60−20735号
公報)が提案されている。
Therefore, as an image forming material that avoids these disadvantages,
A conductive thin film is provided on a base material to form an image, and a photosensitive composition layer is directly formed on this film (
Japanese Patent Publication No. 56-20533) and a structure in which a support film for reinforcement is further laminated on the photosensitive composition layer via a suitable adhesive layer (Japanese Patent Publication No. 60-20735) have been proposed. ing.

これらの画像形成材料は、感光性組成物層側からのパタ
ーン状露光によって露光部における感光性組成物層と上
記薄膜との間の密着力を増大させ、この露光後感光性組
成物層またはこれと接着剤層を介した支持体フィルムと
を剥離操作することにより、上記密着力の増大した露光
部の上記薄膜を一緒に剥離除去し、基材上に非露光部の
上記薄膜をパターン化画像として残存させるものである
These image-forming materials increase the adhesion between the photosensitive composition layer and the above-mentioned thin film in the exposed area by patternwise exposure from the photosensitive composition layer side, and after exposure, the photosensitive composition layer or this By performing a peeling operation on the support film via the adhesive layer, the thin film in the exposed area where the adhesion has increased is peeled off and removed together, and the thin film in the non-exposed area is placed on the base material to form a patterned image. It shall remain as such.

また、基材上に導電性薄膜と感光性組成物層などを順次
設ける構成は同じであるが、露光部における感光性組成
物層と導電性薄膜との間の密着力が非露光部のそれより
小さくなるような構成として、パターン状露光後感光性
組成物層などを剥離操作することにより、密着力の大き
な非露光部の上記薄膜を一緒に剥離除去し、基材上に露
光部の上記薄膜をパターン化画像として残存させる、つ
まり前記とは反転した画像を形成させる画像形成材料も
提案されている(特公昭52−126220号公報など
)。
Furthermore, although the structure in which a conductive thin film and a photosensitive composition layer are sequentially provided on a substrate is the same, the adhesion between the photosensitive composition layer and the conductive thin film in the exposed area is lower than that in the non-exposed area. In order to make the structure even smaller, by peeling off the photosensitive composition layer after patterned exposure, the thin film in the non-exposed area, which has strong adhesion, is peeled off and removed together with the thin film in the exposed area on the substrate. Image forming materials have also been proposed in which a thin film remains as a patterned image, that is, an image inverted from the above image is formed (Japanese Patent Publication No. 52-126220, etc.).

これら提案に係る画像形成材料は、いずれもパターン状
露光と剥離操作とを行うことにより、前記従来の如きエ
ツチング操作を要することなく、またエツチング操作前
の湿式現像処理を要することなく、つまり完全な乾式処
理によって基材上に所望の画像を形成できるという特徴
を有するため、画像形成のための工程が簡素化され、ま
たエツチング液や現像液の使用に伴う公衆衛生上の問題
やコスト高となるという問題などが解消される。
These proposed image-forming materials all perform pattern-like exposure and peeling operations, thereby eliminating the need for the conventional etching operation described above, and eliminating the need for wet development treatment before the etching operation. Since it has the characteristic that a desired image can be formed on a substrate by dry processing, the process for forming an image is simplified, and it also eliminates public health problems and high costs associated with the use of etching solutions and developing solutions. This problem will be resolved.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

ところで、これら既提案の画像形成材料において、基材
上に設けられる導電性薄膜は、真空蒸着法、スパッタリ
ング法、無電解メツキ法、イオンブレーティング法、塗
布法などによって形成され、これと基材との間の密着力
は露光部および非露光部に関係なくほぼ一定であって、
かつそれほど大きなものとはなっていない。
By the way, in these already proposed image forming materials, the conductive thin film provided on the base material is formed by a vacuum evaporation method, a sputtering method, an electroless plating method, an ion blating method, a coating method, etc. The adhesion force between the two is almost constant regardless of exposed and non-exposed areas,
And it's not that big.

これは、上記薄膜とこの上に設けられる感光性組成物層
との間の密着力を、露光部または非露光部において、上
記の薄膜と基材との間の密着力よりも大きくして、この
部分の上記薄膜のみを感光性組成物層と一体に剥離する
ことにより、他の部分の上記薄膜を基材上に画像として
残存させるものであることから、上記薄膜と基材との間
の密着力を大きくしすぎると、上述の如き剥離による画
像形成が困難となるためである。
This makes the adhesion between the thin film and the photosensitive composition layer provided thereon larger than the adhesion between the thin film and the base material in the exposed or non-exposed areas, By peeling off only this part of the thin film together with the photosensitive composition layer, the thin film in other parts remains as an image on the base material. This is because if the adhesion force is too large, it becomes difficult to form an image by peeling as described above.

このため、既提案の画像形成材料を用いて剥離により画
像形成したプリント配線板や液晶などの透明電極パター
ンは、導電性薄膜からなる画像と基材との間の密着力が
不足し、外力、熱、薬品などによって画像剥がれを生じ
やすく、不良品の発生率が高くなって、安定した性能を
発揮させにくいという問題があった。
For this reason, transparent electrode patterns for printed wiring boards, liquid crystals, etc. that are image-formed by peeling using previously proposed image-forming materials lack the adhesion between the image made of a conductive thin film and the base material, and are exposed to external forces. There have been problems in that images are likely to peel off due to heat, chemicals, etc., the incidence of defective products is high, and it is difficult to achieve stable performance.

したがって、この発明は、上記既提案に係るものと同様
に剥離による画像形成が可能であるとともに、形成され
た画像と基材との間の密着性にすぐれて、外力、熱、薬
品などによって容易に画像剥がれをきたすおそれのない
実用価値のより高い画像形成方法を提供することを目的
としている。
Therefore, the present invention enables image formation by peeling like the above-mentioned existing proposals, has excellent adhesion between the formed image and the base material, and is easily removed by external force, heat, chemicals, etc. The purpose of the present invention is to provide an image forming method that has higher practical value and is free from the risk of image peeling.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討
した結果、画像形成のために使用する感光性組成物層を
導電性薄膜と基材との間の密着力を向上させるための接
着剤として利用することにより、剥離による画像形成が
可能であるとともに、画像と基材との間の密着性を大幅
に向上させうるものであることを知り、この発明を完成
するに至った。
As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors discovered that the photosensitive composition layer used for image formation has an adhesive bond to improve the adhesion between the conductive thin film and the base material. The present invention was completed based on the knowledge that by using the compound as an agent, it is possible to form an image by peeling, and the adhesion between the image and the substrate can be greatly improved.

すなわち、この発明は、透明基材上に感光性組成物層、
導電性薄膜および剥離フィルムがこの順に積層されてな
り、かつ透明基材と感光性組成物層との間の密着力(A
)、感光性組成物層と導電性薄膜との間の密着力(B)
および導電性薄膜と剥離フィルムとの間の密着力(C1
が、非露光状態では(A)〉(C)>([3)の関係に
あるとともに、露光後に(A)> (B) > (C)
の関係となるような画像形成材料を用いて、透明基材側
からパターン状露光を行ったのち、剥離フィルムを剥離
操作することにより、この剥離フィルムと一緒に非露光
部の導電性薄膜のみを剥離除去し、露光部の導電性薄膜
を透明基材上に感光性組成物層を介して画像として残存
させることを特徴とする剥離による画像形成方法に係る
ものである。
That is, this invention provides a photosensitive composition layer on a transparent substrate,
A conductive thin film and a release film are laminated in this order, and the adhesion between the transparent substrate and the photosensitive composition layer (A
), adhesion between the photosensitive composition layer and the conductive thin film (B)
and the adhesion between the conductive thin film and the release film (C1
However, in the non-exposed state, the relationship is (A)>(C)>([3), and after exposure, (A)>(B)>(C)
After performing pattern exposure from the transparent substrate side using an image forming material that has the following relationship, by peeling off the release film, only the conductive thin film in the unexposed area is removed together with the release film. The present invention relates to an image forming method by peeling, which is characterized in that the conductive thin film in the exposed area is left as an image on a transparent substrate via a photosensitive composition layer after peeling off.

このように、この発明においては、画像を形成するべき
基材を透明性を有するものとして、この基材上に感光性
組成物層を設けたうえで導電性薄膜および剥離フィルム
を順次積層し、かつこのように積層された各部材間の密
着力が前記特定の関係を満たす画像形成材料を用いて、
この材料の透明基材側からパターン状露光を行ったのち
に剥離フィルムを剥離するようにしたものであり、これ
によれば感光性組成物層との間の密着力の小さい非露光
部の導電性薄膜が剥離フィルムと一緒に剥離除去されて
、上記密着力の大きい露光部の導電性薄膜が画像として
基材上に残存する。
As described above, in the present invention, the substrate on which the image is to be formed is transparent, a photosensitive composition layer is provided on this substrate, and then a conductive thin film and a release film are sequentially laminated, and using an image forming material in which the adhesion between the members laminated in this way satisfies the specific relationship,
This material is exposed to light in a pattern from the transparent substrate side, and then the release film is peeled off. According to this method, the conductivity of the non-exposed areas where the adhesion between the material and the photosensitive composition layer is small is small. The conductive thin film is peeled off together with the release film, and the conductive thin film in the exposed areas with high adhesion remains as an image on the substrate.

このような剥離操作によって形成された画像は、透明基
材との間に感光性組成物層を有するものであって、かつ
この画像部の感光性組成物層は露光によりすでに硬化反
応などが完了し、画像構成材である導電性薄膜との密着
力が大きくされたものであるとともに、この層と基材と
の間の密着力も大きいことから、基材に対する上記層を
介した画像の密着性は著しく高いものとなる。すなわち
、剥離操作後の感光性組成物層は画像と基材との間の密
着性を大幅に向上させるための接着剤としての役割を果
たすことになるのである。
The image formed by such a peeling operation has a photosensitive composition layer between it and the transparent substrate, and the photosensitive composition layer in this image area has already undergone a curing reaction etc. by exposure. However, since the adhesion force with the conductive thin film that is the image constituent material is increased, and the adhesion force between this layer and the base material is also large, the adhesion of the image to the base material through the above layer is improved. becomes significantly high. That is, the photosensitive composition layer after the peeling operation serves as an adhesive to significantly improve the adhesion between the image and the substrate.

したがって、上記画像は、前記既提案の剥離操作にて形
成されたものとは異なり、外力、熱、薬品に対して大き
な耐性を示し、これら要因によって画像部がれを生じる
という問題がなく、不良品の発生率が低くなって、プリ
ント配線板や液晶などの透明電極パターンなどの精密な
画像形成が要求される用途に対しても極めて安定した性
能を発揮する。
Therefore, unlike the image formed by the previously proposed peeling operation, the above image exhibits great resistance to external force, heat, and chemicals, and there is no problem of image peeling caused by these factors, and there is no problem. The yield of non-defective products is low, and the product exhibits extremely stable performance even in applications that require precise image formation, such as transparent electrode patterns for printed wiring boards and liquid crystal displays.

〔発明の構成・作用〕[Structure and operation of the invention]

以下に、この発明の画像形成方法を第1〜3図を参考に
して説明する。
The image forming method of the present invention will be explained below with reference to FIGS. 1 to 3.

第1図は、この発明の方法に使用する画像形成材料を示
したもので、図中、1は画像を形成するべき透明基材、
2はこの基材1上に設けられた感光性組成物層、3は上
記組成物層2上に積層された画像を構成させるべき導電
性薄膜、4はこの薄膜上に設けられた剥離フィルムであ
る。
FIG. 1 shows an image forming material used in the method of the present invention, in which 1 indicates a transparent substrate on which an image is to be formed;
2 is a photosensitive composition layer provided on this base material 1, 3 is a conductive thin film that is to constitute an image and is laminated on the composition layer 2, and 4 is a release film provided on this thin film. be.

透明基材1は、パターン状露光に使用する活性光線を通
過でき、かつ感光性組成物層2との投錨力が得られるも
のであればよく、ガラス、プラスチックなどの種々の素
材からなるシート状、フィルム状のものが用いられる。
The transparent substrate 1 may be any material as long as it can pass the actinic rays used for patterned exposure and provide an anchoring force with the photosensitive composition layer 2, and may be in the form of a sheet made of various materials such as glass or plastic. , film-like ones are used.

プラスチックの具体例としては、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロ
ース、二酢酸セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリビニル
アルコール、ポリカルボネート、ポリスチレン、セロフ
ァン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド(たと
えば6−ナイロン、6・6−ナイロン、6・10−ナイ
ロンなど)、ポリイミド、塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリトリフルオロ
エチレンなどの単じて適宜選択できるものであり、たと
えばフレキシブルプリント配線板などの用途のようにプ
ラスチックフィルムを素材として使用する場合、その厚
みが一般に10〜150μ程度、好ましくは20〜80
pn程度となるものが好ましく用いられる。
Specific examples of plastics include polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide (for example, 6-nylon , 6,6-nylon, 6,10-nylon, etc.), polyimide, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polytetrafluoroethylene, polytrifluoroethylene, etc.; for example, flexible printing. When plastic film is used as a material for applications such as wiring boards, the thickness is generally about 10 to 150 μm, preferably 20 to 80 μm.
A material having a pn level is preferably used.

なお、この透明基材1上に感光性組成物層2を設けるに
あたり、この層2の投錨力を大きくするために、予め適
宜の下塗り層を形成したり、マット処理、コロナ放電処
理、高周波照射処理、紫外線照射処理、グロー放電照射
処理、活性プラズマ照射処理などの粗面化処理を施すの
が好ましい。
In addition, when providing the photosensitive composition layer 2 on this transparent base material 1, in order to increase the anchoring power of this layer 2, an appropriate undercoat layer may be formed in advance, matte treatment, corona discharge treatment, high frequency irradiation, etc. It is preferable to perform a surface roughening treatment such as treatment, ultraviolet irradiation treatment, glow discharge irradiation treatment, or active plasma irradiation treatment.

感光性組成物層2は、露光により導電性薄膜3との密着
力が増大し、かつ透明基材1と導電性薄膜3との接着剤
として機能しうるものであればよいが、一般にはエチレ
ン性不飽和重合性化合物、皮膜形成性高分子物質および
光重合開始剤を含む光重合性組成物からなるものが好適
である。
The photosensitive composition layer 2 may be made of any material that can increase its adhesion to the conductive thin film 3 upon exposure to light and function as an adhesive between the transparent substrate 1 and the conductive thin film 3, but generally ethylene is used. A photopolymerizable composition containing a sexually unsaturated polymerizable compound, a film-forming polymeric substance, and a photopolymerization initiator is preferred.

上記のエチレン性不飽和重合性化合物としては、分子内
にエチレン性不飽和結合を1個有する単官能性不飽和化
合物および上記結合を2個またはそれ以上有する多官能
性不飽和化合物のいずれをも使用できる。好ましくは多
官能性不飽和化合物の1種または2種以上を単独で使用
するか、単官能性不飽和化合物の1種または2種以上と
混合して用いるのがよい。
The above-mentioned ethylenically unsaturated polymerizable compounds include both monofunctional unsaturated compounds having one ethylenically unsaturated bond in the molecule and polyfunctional unsaturated compounds having two or more of the above bonds. Can be used. Preferably, one or more polyfunctional unsaturated compounds are used alone, or they are used in combination with one or more monofunctional unsaturated compounds.

多官能性不飽和化合物としては、ポリエチレングリコー
ル、ポリプロピレングリコール、ポリブチレンオキシド
、(β−ヒドロキシエトキシ)ベンゼン、グリセリン、
ジグリセリン、ネオペンチルグリコール、トリメチロー
ルプロパン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリ
トール、ジペンタエリスリトール、ソルビタン、ソルビ
トール、1・4−ブタンジオール、1・2・4−ブタン
トリオール、2−ブテンート4−ジオール、2−ブチル
−2−エチル−プロパンジオール、2−ブテンート4−
ジオール、■・3−プロパンジオール、トリエタノール
アミン、デカリンジオール、3−クロルート2−プロパ
ンジオールなどの多価アルコールとアクリル酸またはメ
タクリル酸との多価エステルや、アクリル酸またはメタ
クリル酸、多価アルコールおよび多塩基酸から合成され
るようなポリエステルアクリレート類またはポリエステ
ルメタクリレート類などが好ましく用いられる。
Polyfunctional unsaturated compounds include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polybutylene oxide, (β-hydroxyethoxy)benzene, glycerin,
Diglycerin, neopentyl glycol, trimethylolpropane, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, sorbitan, sorbitol, 1,4-butanediol, 1,2,4-butanetriol, 2-butene 4-diol, 2 -butyl-2-ethyl-propanediol, 2-butenoto 4-
Diols, polyhydric esters of polyhydric alcohols such as 3-propanediol, triethanolamine, decalindiol, 3-chloro-2-propanediol, and acrylic acid or methacrylic acid, acrylic acid or methacrylic acid, polyhydric alcohols Polyester acrylates or polyester methacrylates synthesized from polybasic acids and polybasic acids are preferably used.

単官能性不飽和化合物としては、たとえばアクリル酸ま
たはアクリル酸エステル類、メタクリル酸またはメタク
リル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリルアミ
ド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステ
ル類、N−ビニル化合物、スチレン類、クロトン酸エス
テル類などがいずれも使用可能である。
Examples of monofunctional unsaturated compounds include acrylic acid or acrylic esters, methacrylic acid or methacrylic esters, acrylamides, methacrylamides, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters, N-vinyl compounds, and styrenes. , crotonic acid esters, etc. can all be used.

その具体例としては、アクリル酸エステル類ではアクリ
ル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、
アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチルな
どが、メタクリル酸エステル類ではメタクリル酸メチル
、メタクリル酸エチノペメタクリル酸プロピル、メタク
リル酸イソプロピルなどが、アクリルアミド類ではアク
リルアミドや、N−アルキル基がメチル基、エチル基、
ブチル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、2−
エチルヘキシル基などからなるN−アルキルアクリルア
ミドなどが、メタクリルアミド類ではメタクリルアミド
や、N−アルキル基がメチル基、エチル基、イソプロピ
ル基、tert−ブチル基、2−エチルヘキシル基など
からなるN−アルキルメタクリルアミド また、アリル化合物では酢酸アリル、カプロン酸アリル
、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸
アリルなどのアリルエステル類が、ビニルエーテル類で
はヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、
デシルビニルエーテル、2−エチルヘキシルビニルエー
テルナトノアルキルビニルエーテルが、ビニルエステル
類ではビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニ
ルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、
ビニルバレレート、ビニルカプロエートなどが、N−ビ
ニル化合物ではN−ビニルピロリドンなどが、スチレン
類では不チレン、メチルスチレン、クロルメチルスチレ
ン、アルコキシスチレン、ハロゲン化スチレン、安息香
酸スチレンなどが、クロトン酸エステル類ではクロトン
酸メチル、クロトン酸エチル、クロトン酸ブチル、クロ
トン酸ヘキシル、クロトン酸イソプロピルなどがある。
Specific examples of acrylic esters include propyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate,
2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, etc.; methacrylic esters include methyl methacrylate, ethinope methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, etc.; acrylamides include acrylamide, N-alkyl group is methyl group, ethyl basis,
Butyl group, isopropyl group, tert-butyl group, 2-
N-alkyl acrylamide, which consists of an ethylhexyl group, etc., is methacrylamide, and N-alkyl methacrylate, whose N-alkyl group is a methyl group, ethyl group, isopropyl group, tert-butyl group, 2-ethylhexyl group, etc. Allyl compounds include allyl esters such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, and allyl palmitate, and the vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether,
Decyl vinyl ether, 2-ethylhexyl vinyl ether natonoalkyl vinyl ether, vinyl esters include vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate,
Vinyl valerate, vinyl caproate, etc., N-vinyl compounds such as N-vinylpyrrolidone, styrenes such as untyrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, alkoxystyrene, halogenated styrene, styrene benzoate, etc. Acid esters include methyl crotonate, ethyl crotonate, butyl crotonate, hexyl crotonate, and isopropyl crotonate.

上記の皮膜形成性高分子物質としては、塩素化ポリエチ
レン、塩素化ポリプロピレンの如き塩素化ポリオレフィ
ン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレー
ト、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニル
ブチラール、ポリビニルアセテート、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体、ポリイソプレン、塩化ゴム、ポリクロ
ロプレン、ポリクロルスルホン化エチレン、塩化ビニリ
デン−アクリロニトリル共重合体、ポリクロルスルホン
化プロピレン、飽和ポリエステルなどが挙げられる。こ
れらのうちで好ましい皮膜形成性高分子物質としては塩
素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレンおよびポリメ
チルメタクリレートである。なお、これらの皮膜形成性
高分子物質は1種であっても2種以上を組み合せて使用
してもよい0 また、上記の光重合開始剤としては、カルボニル化合物
、有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系化合物、ア
ゾおよびアゾ化合物、ハロゲン化合物、光還元性色素な
どの中からその1種または2種以上を選択使用すること
ができる。
The film-forming polymer substances mentioned above include chlorinated polyolefins such as chlorinated polyethylene and chlorinated polypropylene, polymethyl methacrylate, polymethyl acrylate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, and vinyl chloride-acetic acid. Examples include vinyl copolymers, polyisoprene, chlorinated rubber, polychloroprene, polychlorosulfonated ethylene, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymers, polychlorosulfonated propylene, and saturated polyesters. Among these, preferred film-forming polymeric substances are chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene and polymethyl methacrylate. In addition, these film-forming polymeric substances may be used alone or in combination of two or more. In addition, as the above-mentioned photopolymerization initiators, carbonyl compounds, organic sulfur compounds, peroxides, etc. , redox compounds, azo and azo compounds, halogen compounds, photoreducible dyes, etc. One or more of them can be selected and used.

カルボニル化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール
、ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアント
ラキノン、2−を−ブチルアントラキノン、9・10−
フェナントレンキノン、ジアセチル、ベンジルなどがあ
る。また、有機硫黄化合物としては、ジブチルジスルフ
ィド、ジオクチルジスルフィド、ジベンジルジスルフィ
ド、ジフェニルジスルフィド、ジベンゾイルジスルフィ
ド、ジアセチルジスルフィドなどがある。
Examples of carbonyl compounds include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl ketal, benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-butylanthraquinone, 9.10-
Examples include phenanthrenequinone, diacetyl, and benzyl. Examples of organic sulfur compounds include dibutyl disulfide, dioctyl disulfide, dibenzyl disulfide, diphenyl disulfide, dibenzoyl disulfide, and diacetyl disulfide.

過酸化物としては、過酸化水素、ジ−t−ブチルペルオ
キシド、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケトンペルオ
キシドなどが挙げられる。さらにレドックス系化合物は
、過酸化物と還元剤との組合せからなるものであり、第
一鉄イオンと過酸化水素、第一鉄イオンと過硫酸イオン
、第二鉄イオンと過酸化物などがある。
Examples of peroxides include hydrogen peroxide, di-t-butyl peroxide, benzoyl peroxide, and methyl ethyl ketone peroxide. Furthermore, redox compounds consist of a combination of a peroxide and a reducing agent, and include ferrous ions and hydrogen peroxide, ferrous ions and persulfate ions, and ferric ions and peroxides. .

アゾおよびジアゾ化合物としては、α・α′−アゾビス
インブチロニトリル、2−アゾビス−2−メチルブチロ
ニトリル、1−アゾビス−シクロヘキサンカルボニトリ
ル、p−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム塩など
がある。ハロゲン化合物としては、クロルメチルナフチ
ルクロリド、フェナシルクロリド、クロルアセトン、β
−ナフタレンスルホニルクロリド、キシレンスルホニル
クロリドなどを挙げることができる。また光還元性色素
としては、ローズベンガル、エリスロシン、エオシン、
アクリフラビン、リボフラビン、チオニンなどがある。
Examples of azo and diazo compounds include .alpha..alpha.'-azobisinbutyronitrile, 2-azobis-2-methylbutyronitrile, 1-azobis-cyclohexanecarbonitrile, and diazonium salts of p-aminodiphenylamine. Halogen compounds include chloromethylnaphthyl chloride, phenacyl chloride, chloroacetone, β
-Naphthalenesulfonyl chloride, xylenesulfonyl chloride, etc. can be mentioned. In addition, photoreducible pigments include rose bengal, erythrosin, eosin,
These include acriflavin, riboflavin, and thionin.

上記のエチレン性不飽和重合性化合物、皮膜形成性高分
子物質および光重合開始剤の使用割合としては、皮膜形
成性高分子物質100重量部に対してエチレン性不飽和
重合性化合物が通常10〜300重量部、好ましくは5
0〜200重量部となる割合、またエチレン性不飽和重
合性化合物100重量部に対して光重合開始剤が通常0
.1〜20重量部となる割合とするのがよい。
The proportion of the ethylenically unsaturated polymerizable compound, film-forming polymeric substance and photopolymerization initiator used is usually 10 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of the film-forming polymeric substance. 300 parts by weight, preferably 5
The ratio of the photopolymerization initiator to 100 parts by weight of the ethylenically unsaturated polymerizable compound is usually 0 to 200 parts by weight.
.. The proportion is preferably 1 to 20 parts by weight.

光重合性組成物としては、上記三成分を必須成分とする
ほか、必要に応じて熱重合禁止剤、着色剤、可塑剤、充
填剤などの添加剤を任意成分として配合させてもよい。
In addition to the above three components as essential components, the photopolymerizable composition may optionally contain additives such as a thermal polymerization inhibitor, a coloring agent, a plasticizer, and a filler.

熱重合禁止剤としては、パラメトキシフェノール、ヒド
ロキノン、アルキル基またはアリール基置換ヒドロキノ
ン、t−ブチルカテコール、ピロガロール、塩化第一銅
、フェノチアジン、フロラニール、ナフチルアミン、β
−ナフトール、2・6−シーt−7’チル−p−クレゾ
ール、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、
p−トルイジン、メチレンブルー、酢酸銅の如き有機酸
銅などがある。これらの熱重合禁止剤はエチレン性不飽
和重合性化合物100重量部に対して通常0.001〜
5重量部の範囲で用いられる。
Thermal polymerization inhibitors include paramethoxyphenol, hydroquinone, alkyl- or aryl-substituted hydroquinone, t-butylcatechol, pyrogallol, cuprous chloride, phenothiazine, floranil, naphthylamine, β
-naphthol, 2,6-sheet t-7'thyl-p-cresol, pyridine, nitrobenzene, dinitrobenzene,
Examples include organic acid copper such as p-toluidine, methylene blue, and copper acetate. These thermal polymerization inhibitors are usually used in an amount of 0.001 to 100 parts by weight of the ethylenically unsaturated polymerizable compound.
It is used in a range of 5 parts by weight.

可塑剤としては、ジメチルフタレート、ジエチルフタレ
ート、ジブチルフタレート、ジイソブチルフタレート、
ジオクチルフタレートなどのフタル酸エステル類、ジメ
チルグリコールフタレート、エチルフタリルエチルグリ
コレート、メチルフタリルエチルグリコレート、ブチル
フタリルブチルグリコレート、トリエチレングリコール
シカプリル酸エステルなどのグリコールエステル類、ト
リクレジルフォスフェート、トリフェニルフォスフェー
トなどの燐酸エステル類、クエン酸トリエチル、グリセ
リントリアセチルエステノベラウリン酸ブチルなどがあ
る。これら可塑剤の添加量は、皮膜形成性高分子物質お
よびエチレン性不飽和重合性化合物の合計量100重量
部に対して通常10重量部以下用いられる。
As plasticizers, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, diisobutyl phthalate,
Phthalate esters such as dioctyl phthalate, glycol esters such as dimethyl glycol phthalate, ethyl phthalyl ethyl glycolate, methyl phthalyl ethyl glycolate, butylphthalyl butyl glycolate, triethylene glycol cycaprylate, tricresyl These include phosphoric acid esters such as phosphate and triphenyl phosphate, triethyl citrate, and butyl glycerintriacetyl esternovelaurate. The amount of these plasticizers added is usually 10 parts by weight or less per 100 parts by weight of the total amount of the film-forming polymeric substance and the ethylenically unsaturated polymerizable compound.

また、充填剤としては、炭酸カルシウム、クレー、粉末
シリカ、タルクなどが挙げられるが、とくに白色度の高
いものほど好ましい。添加量は、組成物全体量の約50
重量%以下とするのがよく、あまり多くしすぎると皮膜
性その他の特性に支障をきたすから好ましくない。
Further, examples of the filler include calcium carbonate, clay, powdered silica, and talc, but fillers with higher whiteness are particularly preferred. The amount added is approximately 50% of the total amount of the composition.
It is preferable that the amount is less than % by weight, and too much amount is not preferable because film properties and other properties will be affected.

このような光重合性組成物を代表例とする感光性組成物
層2の厚みとしては、一般に1〜100p、特に好適に
は3〜30pの範囲内に設定するのがよい。
The thickness of the photosensitive composition layer 2 of which such a photopolymerizable composition is a typical example is generally set within the range of 1 to 100 p, particularly preferably within the range of 3 to 30 p.

導電性薄膜3は、剥離操作により感光性組成物層2から
部分的に剥離除去できるような適当な凝集力および密着
力を有するものであればよく、導電性を有する種々の金
属または無機化合物を用いることができる。
The conductive thin film 3 may be any film having appropriate cohesive force and adhesion so that it can be partially peeled off from the photosensitive composition layer 2 by a peeling operation, and may be made of various conductive metals or inorganic compounds. Can be used.

金属としては、鉄、アルミニウム、錫、鉛、金、銀、ニ
ッケル、カドニウム、クロム、亜鉛、マグネシウムまた
はこれらの合金あるいはこれら金属と他種金属との合金
などがある。また、無機化合物としては、酸化錫、酸化
クロム、酸化鉄、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化銅
などの金属酸化物、臭化銀、硫化錫、硫化銀、硫化亜鉛
などの塩類、砒素、硫黄、ゲルマニウム、テルルなどの
カルコゲン族元素を含む焼結物であるカルコゲンガラス
、金属酸化物の焼結物(たとえばフェライト)などが挙
げられる。
Examples of metals include iron, aluminum, tin, lead, gold, silver, nickel, cadmium, chromium, zinc, magnesium, alloys thereof, and alloys of these metals and other metals. Inorganic compounds include metal oxides such as tin oxide, chromium oxide, iron oxide, aluminum oxide, zinc oxide, and copper oxide, salts such as silver bromide, tin sulfide, silver sulfide, and zinc sulfide, arsenic, sulfur, Examples include chalcogen glass, which is a sintered product containing chalcogen group elements such as germanium and tellurium, and sintered products of metal oxides (for example, ferrite).

これら金属または無機化合物からなる導電性薄膜3の厚
みは、一般に001〜l Q Q )on、特に好まし
くは002〜0.50/”の範囲とするのがよい。
The thickness of the conductive thin film 3 made of these metals or inorganic compounds is generally in the range of 001 to lQQ)on, particularly preferably in the range of 002 to 0.50/''.

この厚みが薄くなりすぎると、画像としての強度を保ち
にくく、また厚くなりすぎると、剥離操作時の部分的な
剥離除去をスムースに行いにくい。
If this thickness becomes too thin, it will be difficult to maintain the strength of the image, and if it becomes too thick, it will be difficult to perform partial peeling and removal smoothly during the peeling operation.

剥離フィルム4は、剥離操作可能な可撓性を備え、かつ
導電性薄膜3との密着力を確保しうるものであればよく
、前記透明基材1として例示したものと同様の各種のプ
ラスチックフィルムが用いられる。その厚みは、一般に
10〜15Q7m、特に好ましくは10〜50pnの範
囲であるのがよい。
The release film 4 may be any film as long as it has flexibility that allows for peeling operations and can ensure adhesion to the conductive thin film 3, and may include various plastic films similar to those exemplified as the transparent base material 1. is used. Its thickness is generally in the range of 10 to 15Q7 m, particularly preferably in the range of 10 to 50 pn.

上記の各部材1〜4にて構成される画像形成材料の作製
法は、特に限定されず、種々の方法を採用できる。たと
えば剥離フィルム4上に導電性薄膜3を形成し、この上
に感光性組成物層2を設け、さらにこの層2上に透明基
材1を貼り付ける方法、あるいは感光性組成物層2を予
め設けた透明基材1と導電性薄膜3を形成した剥離フィ
ルム4とを上記層2と上記薄膜3とが接触するように貼
り合わせる方法などが挙げられる。
The method for producing the image forming material composed of the members 1 to 4 described above is not particularly limited, and various methods can be employed. For example, a method is employed in which a conductive thin film 3 is formed on a release film 4, a photosensitive composition layer 2 is provided thereon, and a transparent base material 1 is further pasted on this layer 2, or a method in which the photosensitive composition layer 2 is applied in advance. Examples include a method of bonding the provided transparent base material 1 and the release film 4 on which the conductive thin film 3 is formed so that the layer 2 and the thin film 3 are in contact with each other.

これら方法において、導電性薄膜3の形成に際しては、
その材質などに応じて真空蒸着法、スパッタリング法、
無電解メツキ法、イオンブレーティング法、塗布法など
が適宜採用される。また、感光性組成物層2を設けるに
際しては、たとえば前記した光重合性組成物を通常溶媒
に溶解ないし分散させ、ついでこれを透明基材1などの
被塗物上にキャスティングしたのち、乾燥する方法など
が好ましく採用される。
In these methods, when forming the conductive thin film 3,
Depending on the material, vacuum evaporation method, sputtering method,
Electroless plating method, ion blating method, coating method, etc. are employed as appropriate. In addition, when providing the photosensitive composition layer 2, for example, the photopolymerizable composition described above is usually dissolved or dispersed in a solvent, and then this is cast onto an object to be coated such as the transparent substrate 1, and then dried. method etc. are preferably adopted.

上記感光性組成物層2の形成に際し用いられる溶媒とし
ては、たとえばアセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケ
トンの如きケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸ア
ミル、蟻酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメ
チル、安息香酸エチルの如きエステル類、トルエン、キ
シレン、ベンゼン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水
素類、四塩化炭素、トリクロルエチレン、クロロホルム
、1・1・1−トリクロルエタン、モノクロルベンゼン
、クロルナフタレンなどのハロゲン化炭化水素類、テト
ラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテートなどのエーテル類、ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホキシドなどがある。
Examples of the solvent used in forming the photosensitive composition layer 2 include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, and diisobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, amyl acetate, methyl formate, ethyl propionate, Esters such as dimethyl phthalate and ethyl benzoate, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, benzene, and ethylbenzene, carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform, 1,1,1-trichloroethane, monochlorobenzene, and chlornaphthalene. These include halogenated hydrocarbons such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether acetate, dimethylformamide, and dimethyl sulfoxide.

このようにして作製される画像形成材料は、上記の各部
材1〜4の種類、厚み、積層手段などを適宜選択するこ
とにより、透明基材1と感光性組成物層2との間の密着
力(A)、感光性組成物層2と導電性薄膜3との間の密
着力(B)および導電性薄膜3と剥離フィルム4との間
の密着力(C)が、非露光状態では(A)> IC) 
> (B)の関係にあるとともに、露光後に(A) >
 (B) > FC)の関係となるように設定されてい
ることを特徴としている。
The image forming material produced in this way can be produced by appropriately selecting the types, thicknesses, lamination means, etc. of each of the above-mentioned members 1 to 4 to ensure close contact between the transparent substrate 1 and the photosensitive composition layer 2. force (A), adhesion force between the photosensitive composition layer 2 and the conductive thin film 3 (B), and adhesion force between the conductive thin film 3 and the release film 4 (C) in the non-exposed state ( A) > IC)
> There is a relationship of (B), and after exposure (A) >
(B) > FC).

すなわち、この画像形成材料は、露光状態および非露光
状態に関係なく、密着力(A)が最も大きいため、剥離
操作時に透明基材1と感光性組成物層2との間での剥離
は−切おこらず、上記層2はその全体が剥離操作後にお
いても透明基材1上に残存する。一方、非露光状態にお
いて密着力(B)が最も小さくされていることにより、
この状態でそのまま剥離操作すると、剥離フィルム4と
ともに導電性薄膜3の全体が剥離除去されるが、露光後
は密着力(C)よりも密着力03)の方が大きくなるた
め、全体露光後に剥離操作すると、剥離フィルム4のみ
が剥離除去されて、導電性薄膜3はその全体が感光性組
成物層2とともに透明基材l上に残存することになる。
That is, since this image forming material has the highest adhesion (A) regardless of the exposed state or non-exposed state, the peeling between the transparent base material 1 and the photosensitive composition layer 2 during the peeling operation is - The entire layer 2 remains on the transparent substrate 1 even after the peeling operation. On the other hand, since the adhesion force (B) is minimized in the non-exposed state,
If the peeling operation is performed in this state, the entire conductive thin film 3 will be peeled off along with the peeling film 4, but since the adhesion force 03) will be greater than the adhesion force (C) after exposure, the peeling will be performed after the entire surface is exposed. When operated, only the release film 4 is peeled off and the entire conductive thin film 3 remains on the transparent substrate l together with the photosensitive composition layer 2.

この発明の画像形成方法は、上記密着力(B)の露光前
後での変化を利用したものであり、まず第2図に示すよ
うに原画(図示せず)を通して透明基材1側からのパタ
ーン状露光イを行う。この露光後、第3図に示すように
、剥離フィルム4を剥離操作すると、密着力(B)が最
も小さい非露光部の導電性薄膜3aのみが剥離フィルム
4と一緒に剥離除去され、密着力(C)が最も小さくな
る露光部の導電性薄膜3bは感光性組成物層2とともに
透明基材1上に残存し、この薄膜3bによって画像が構
成される。この画像は、露光により硬化反応などが完了
した上記層2が接着剤としての機能を有するため、透明
基材1に対する密着性に非常にすぐれたものとなる。
The image forming method of the present invention utilizes the change in the adhesion force (B) before and after exposure, and as shown in FIG. Perform a state exposure. After this exposure, as shown in FIG. 3, when the release film 4 is peeled off, only the conductive thin film 3a in the non-exposed area where the adhesion force (B) is the smallest is peeled off together with the release film 4, and the adhesion force The conductive thin film 3b in the exposed area where (C) is the smallest remains on the transparent substrate 1 together with the photosensitive composition layer 2, and an image is formed by this thin film 3b. This image has excellent adhesion to the transparent substrate 1 because the layer 2, which has undergone a curing reaction and the like upon exposure, has a function as an adhesive.

なお、上記パターン状露光に用いる活性光線としては、
200〜700nm、好適には250〜500nmの紫
外線ないし可視光線があり、これらに好適な光源として
は低圧、高圧、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、カ
ーボンアーク燈、ハロゲンランプ、殺菌燈などがある。
The active light used for the patterned exposure is as follows:
Ultraviolet to visible light having a wavelength of 200 to 700 nm, preferably 250 to 500 nm is included, and suitable light sources include low pressure, high pressure, and extra high pressure mercury lamps, xenon lamps, carbon arc lamps, halogen lamps, germicidal lamps, and the like.

その他、電子線、X線、レーザー光線なども有効である
In addition, electron beams, X-rays, laser beams, etc. are also effective.

また、活性光線による露光後、必要なら加熱工程を付加
してもよい。各部材1〜4の種類、特に感光性組成物層
2の種類によっては上記加熱工程を加えることによって
、画像特性に好結果が得られることもある。さらに、剥
離操作は、通常室温下で行うことができるが、必要によ
り40℃程度までの加温状態で行っても差し支えない。
Further, after exposure to actinic rays, a heating step may be added if necessary. Depending on the type of each member 1 to 4, especially the type of photosensitive composition layer 2, good results may be obtained in terms of image characteristics by adding the above-mentioned heating step. Furthermore, although the peeling operation can normally be carried out at room temperature, it may be carried out in a heated state up to about 40° C. if necessary.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明によれば、剥離操作によって基
材上にこれとの密着性にすぐれて、外力。
As described above, according to the present invention, excellent adhesion to the base material is achieved by the peeling operation, and no external force is applied.

熱、薬品などによって容易に剥がれてしまうといった問
題のない画像を形成できるから、プリント配線板、液晶
などの透明電極パターンなどの作製に適した画像形成方
法を提供できる。
Since it is possible to form images that do not have the problem of being easily peeled off by heat, chemicals, etc., it is possible to provide an image forming method suitable for producing transparent electrode patterns for printed wiring boards, liquid crystals, etc.

〔実施例〕〔Example〕

以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明
する。なお、以下において、部とあるは重量部を意味す
るものとする。
EXAMPLES Below, examples of the present invention will be described in more detail. In addition, in the following, parts shall mean parts by weight.

実施例1 アエロジル        13部 p−メトキシフェノール       0.1部ベンゾ
インイソプロピルエーテル       7部上記組成
からなる光重合性組成物をトルエンに溶解して、固型分
40重量%の溶液とし、この溶液を厚さが507”Iの
マット処理したポリエチレンテレフタレートフィルム(
透明基材)上にアプリケータにより塗布したのち、80
℃で10分間加熱乾燥して、約15μ厚の感光性組成物
層を形成した。
Example 1 Aerosil 13 parts p-methoxyphenol 0.1 part Benzoin isopropyl ether 7 parts The photopolymerizable composition having the above composition was dissolved in toluene to form a solution with a solid content of 40% by weight. Matte-treated polyethylene terephthalate film with 507”I (
After coating with an applicator on a transparent substrate,
It was dried by heating at ℃ for 10 minutes to form a photosensitive composition layer having a thickness of about 15 μm.

つぎに、厚さ13/”のポリエチレンテレフタレートフ
ィルム(剥離フィルム)上に厚さ0.1μのアルミニウ
ム薄膜を真空蒸着法により形成したのち、これに上記の
感光性組成物層を形成した透明基材をアルミニウム薄膜
と感光性組成物層とが接触するように、40℃下の条件
下で貼り合わせて、画像形成材料を作製した。
Next, a thin aluminum film with a thickness of 0.1 μm was formed on a polyethylene terephthalate film (release film) with a thickness of 13 mm by vacuum evaporation method, and then a transparent base material was formed on which the above photosensitive composition layer was formed. An image forming material was prepared by bonding the aluminum thin film and the photosensitive composition layer together at 40° C. so that they were in contact with each other.

この画像形成材料の透明基材上にパターン原稿を密着さ
せ、この原稿を通して5KWの超高圧水銀により光源か
ら約50σ離れた位置より40秒間露光を行った。その
後、32℃の温度下で剥離フィルムを剥離することによ
り、透明基材上に感光性組成物層を介してパターン化さ
れたアルミニウム薄膜からなる画像を形成した。このと
き、アルミニウム薄膜と非露光部の感光性組成物層との
間の密着力は、180度剥離試験で20fi!/amで
あった。
A pattern original was brought into close contact with the transparent substrate of this image forming material, and exposure was carried out for 40 seconds through the original using ultra-high pressure mercury of 5 KW from a position approximately 50σ away from the light source. Thereafter, by peeling off the release film at a temperature of 32° C., an image consisting of a patterned aluminum thin film was formed on the transparent substrate via the photosensitive composition layer. At this time, the adhesion between the aluminum thin film and the photosensitive composition layer in the non-exposed area was 20fi in a 180 degree peel test! /am.

この画像は原画に忠実な良好な解像性を有し、かつ透明
基材に対する密着力が180度剥離試験で1.IKy/
c1nと非常に大きく、その後の取り扱い(半田メツキ
など)中に剥がれをきたすことはなかった。なお、上記
の剥離操作にて剥離除去されたアルミニウム薄膜と剥離
フィルムとの間の密着力は、180度剥離試験で37y
/Q1nであり、このことからも推定しうるように、前
記公知の提案法に係る画像形成によれば画像(上記のア
ルミニウム薄膜に相当)と基材(上記の剥離フィルムに
相当)との密着力は著しく小さいものであることが明ら
かである。
This image has good resolution that is faithful to the original image, and its adhesion to the transparent substrate is 1.1 in a 180 degree peel test. IKy/
c1n, which was very large, and did not peel off during subsequent handling (soldering, etc.). In addition, the adhesion between the aluminum thin film and the release film removed by the above peeling operation was 37y in a 180 degree peel test.
/Q1n, and as can be inferred from this, according to the image formation according to the known proposed method, there is no close contact between the image (corresponding to the aluminum thin film described above) and the base material (corresponding to the release film described above). It is clear that the force is significantly smaller.

実施例2 ペンタエリスリトールトリアクリレート    100
部アエロジル        13部 p−メトキシフェノール      0.1部ベンジル
ジメチルケタール       7部上記組成からなる
光重合性組成物を用いて、実施例1と同様にして厚さ5
0/ffiのマット処理したポリエチレンテレフタレー
トフィルム(透明基材)上に厚さ10.l’lの感光性
組成物層を形成した。
Example 2 Pentaerythritol triacrylate 100
1 part Aerosil 13 parts p-methoxyphenol 0.1 part Benzyl dimethyl ketal 7 parts Using a photopolymerizable composition having the above composition, a thickness of 5 parts was prepared in the same manner as in Example 1.
0/ffi matte treated polyethylene terephthalate film (transparent substrate) with a thickness of 10. A photosensitive composition layer of l'l was formed.

つぎに、厚さ131inのポリエチレンテレフタレート
フィルム(剥離フィルム)上に厚さo、ospのニッケ
ル薄膜を真空蒸着法により形成したのち、これに上記の
感光性組成物層を形成した透明基材をニッケル薄膜と感
光性組成物層とが接触するように、40℃の条件下で貼
り合わせて、画像形成材料を作製した。
Next, a nickel thin film with a thickness of o and osp was formed on a polyethylene terephthalate film (release film) with a thickness of 131 inches by a vacuum evaporation method, and then a transparent substrate with the above photosensitive composition layer formed thereon was coated with nickel. An image forming material was produced by bonding the thin film and the photosensitive composition layer together at 40° C. so that they were in contact with each other.

この画像形成材料を用いて実施例1と同様にして画像形
成したところ、原画に忠実な良好な解像性を有し、かつ
透明基材に対する密着力が180度剥離試験で0.6K
g/σと非常に大きい画像が得られ、この画像はその後
の取り扱い中に剥がれをきたすことはなかった。なお、
ニッケル薄膜と非露光部の感光性組成物層との間の密着
力は、180度剥離試験で1.5y/amであった。
When an image was formed using this image forming material in the same manner as in Example 1, it had good resolution faithful to the original image, and the adhesion to the transparent substrate was 0.6K in a 180 degree peel test.
A very large image of g/σ was obtained, and this image did not peel off during subsequent handling. In addition,
The adhesion between the nickel thin film and the photosensitive composition layer in the non-exposed area was 1.5 y/am in a 180 degree peel test.

なお、剥離除去されたニッケル薄膜と剥離フィルムとの
間の密着力は、180度剥離試験で10y/cmであり
、このことからも推定しうるように、前記公知の提案法
に係る画像形成によれば画像(上記のニッケル薄膜に相
当)と基材(上記の剥離フィルムに相当)との密着力は
著しく小さいものであることがやはり明らかである。
The adhesion force between the peeled off nickel thin film and the release film was 10y/cm in a 180 degree peel test, and as can be estimated from this, the image formation according to the known proposed method is According to the above, it is clear that the adhesion between the image (corresponding to the above-mentioned nickel thin film) and the base material (corresponding to the above-mentioned release film) is extremely small.

実施例3 塩素化ポリエチレン[山場国策パルプ■   80部製
スーパークロンCPE−907HA]アエロジル   
     13部 p−メトキシフェノール      0.1部ベンゾイ
ンイソプロピルエーテル        7部上記組成
からなる光重合性組成物を用いて、実施例1と同様にし
て厚さ25μのマット処理したポリエチレンテレフタレ
ートフィルム(透明基材)上に厚さ15/”の感光性組
成物層を形成した。
Example 3 Chlorinated polyethylene [Yamaba Kokusaku Pulp ■ 80 parts Super Chron CPE-907HA] Aerosil
13 parts p-methoxyphenol 0.1 part Benzoin isopropyl ether 7 parts Polyethylene terephthalate film (transparent base material) which was matt-treated to a thickness of 25 μm in the same manner as in Example 1 using the photopolymerizable composition having the above composition. A photosensitive composition layer having a thickness of 15 mm was formed thereon.

つぎに、厚さ25μのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム(剥離フィルム)上に厚さ0.4 /aの銅薄膜を
無電解メツキ法により形成したのち、と     −れ
に上記の感光性組成物層を形成した透明基材を銅薄膜と
感光性組成物層とが接触するように、40℃の条件下で
貼り合わせて、画像形成材料を作製した。
Next, a copper thin film with a thickness of 0.4/a was formed on a polyethylene terephthalate film (release film) with a thickness of 25 μm by electroless plating, and then the above photosensitive composition layer was formed on it. An image forming material was produced by bonding the transparent substrate together at 40° C. so that the copper thin film and the photosensitive composition layer were in contact with each other.

この画像形成材料を用いて実施例1と同様にして画像形
成したところ、原画に忠実な良好な解像性を有し、かつ
透明基材に対する密着力が180度剥離試験で1.2K
g/cmと非常に大きい画像が得られた。なお、銅薄膜
と非露光部の感光性組成物層との間の密着力は、180
度剥離試験で72y/c1nであった。上記の画像上に
その後約35声厚の電解銅メツキをさらに施したところ
、その取り扱い中に画像剥がれをきたすおそれはなかっ
た。
When an image was formed using this image forming material in the same manner as in Example 1, it had good resolution faithful to the original image, and the adhesion to the transparent substrate was 1.2K in a 180 degree peel test.
An image as large as g/cm was obtained. Note that the adhesion between the copper thin film and the photosensitive composition layer in the non-exposed area is 180
The degree of peeling test was 72y/c1n. When an additional electrolytic copper plating of about 35 pitches was subsequently applied to the above image, there was no risk of the image peeling off during handling.

なお、剥離除去された銅薄膜と剥離フィルムとの間の密
着力は、180度剥離試験で2009/amであり、こ
の銅薄膜上に上記同様の電解銅メツキをさらに施したと
ころ、その取り扱い中に画像剥がれをきたした。このこ
とからも推定しうるように、前記公知の提案法に係る画
像形成によれば、画像(上記の銅薄膜に相当)と基材(
上記の剥離フィルムに相当)との密着力は著しく小さい
ものであることがやはり明らかである。
The adhesion between the peeled off copper thin film and the release film was 2009/am in a 180 degree peel test. The image peeled off. As can be inferred from this, according to the image formation according to the known proposed method, the image (corresponding to the copper thin film described above) and the base material (
It is also clear that the adhesion force with the above-mentioned release film (corresponding to the above-mentioned release film) is extremely small.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の方法に用いる画像形成材料の一例を
示す断面図、第2図および第3図は上記の画像形成材料
を用いてこの発明の方法にしたがってパターン状露光お
よび剥離操作する方法を示す断面図である。 ■・・・透明基材、2・・・感光性組成物層、3・・導
電性薄膜、4・・・剥離フィルム、3a・・・非露光部
の導電性薄膜、3b・・・露光部の導電性薄膜、イ・・
パターン状露光 特許出願人  日東電気工業株式会社 機            転
FIG. 1 is a sectional view showing an example of an image forming material used in the method of the present invention, and FIGS. 2 and 3 show a method of performing pattern exposure and peeling operations using the above image forming material according to the method of the present invention. FIG. ■... Transparent base material, 2... Photosensitive composition layer, 3... Conductive thin film, 4... Peeling film, 3a... Conductive thin film in non-exposed area, 3b... Exposed area Conductive thin film, i...
Patterned exposure patent applicant: Nitto Electric Industry Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)透明基材上に感光性組成物層、導電性薄膜および
剥離フィルムがこの順に積層されてなり、かつ透明基材
と感光性組成物層との間の密着力(A)、感光性組成物
層と導電性薄膜との間の密着力(B)および導電性薄膜
と剥離フィルムとの間の密着力(C)が、非露光状態で
は(A)>(C)>(B)の関係にあるとともに、露光
後に(A)>(B)>(C)の関係となるような画像形
成材料を用いて、透明基材側からパターン状露光を行つ
たのち、剥離フィルムを剥離操作することにより、この
剥離フィルムと一緒に非露光部の導電性薄膜のみを剥離
除去し、露光部の導電性薄膜を透明基材上に感光性組成
物層を介して画像として残存させることを特徴とする剥
離による画像形成方法。
(1) A photosensitive composition layer, a conductive thin film, and a release film are laminated in this order on a transparent base material, and the adhesion strength (A) between the transparent base material and the photosensitive composition layer, the photosensitivity The adhesion force between the composition layer and the conductive thin film (B) and the adhesion force between the conductive thin film and the release film (C) are (A)>(C)>(B) in the non-exposed state. Using an image forming material that has the relationship (A)>(B)>(C) after exposure, pattern exposure is performed from the transparent substrate side, and then the release film is peeled off. By this, only the conductive thin film in the non-exposed area is peeled off together with this release film, and the conductive thin film in the exposed area remains as an image on the transparent substrate via the photosensitive composition layer. An image forming method using peeling.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015219311A (en) * 2014-05-15 2015-12-07 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Laminate for patterning, production method of patterned substrate, and patterned substrate

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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