JP2844371B2

JP2844371B2 - 酸素検出素子の製造方法

Info

Publication number: JP2844371B2
Application number: JP1324684A
Authority: JP
Inventors: 健美濃羽; 治久塩見; 良毅川地
Original assignee: Nippon Tokushu Togyo KK
Current assignee: Nippon Tokushu Togyo KK
Priority date: 1988-12-22
Filing date: 1989-12-14
Publication date: 1999-01-06
Anticipated expiration: 2014-01-06
Also published as: JPH02276958A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、酸素検出素子の製造方法に関し、さらに詳
しく言えば、均一な微細孔を有する電極を効率的かつ容
易に形成することにより被毒物質に対する耐性に優れた
酸素検出素子を製造する方法に関する。本発明は、例え
ば内燃機関や各種燃焼機器等の排気中における酸素濃度
を測定する酸素検出素子、更に具体的に言えば、例えば
ジルコニアラムダセンサ又はジルコニア空燃比センサ等
に利用される。

〔従来の技術〕

従来の酸素検出素子の製造方法としては、未焼結の酸
素イオン伝導性固体電解質本体を作製し、微粒状セラミ
ック材料及びガスと接触する微粒状触媒材料と希釈油と
のペーストを、固体電解質本体の外面の少なくとも一部
分に塗布し、ペーストを有するこの本体を焼結して固体
電解質上に微孔を有する触媒層の電極を形成し、その後
これを被覆する外部保護層を設けるもの（特公昭59−24
382号公報）が知られている。この製造方法により製作
された素子は、電位の跳躍的変化が得られるとしてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記従来の製造方法においては、電極形成の
主成分が何れも微粒子である。従って、この微粒子同志
が十分接触して、触媒材料自身の焼結を阻止して微孔を
有する電極を形成するには触媒材料に対して多量のセラ
ミック材料（例えば５倍以上）を添加する必要がある。
この場合には、電極の導電性が低下し、かつ固体電解質
表面での電極としての触媒材料と固体電解質の接触面積
の低下を招きやすいので、内部抵抗が大きくなるという
問題が生じ、そのためには触媒材料の塗布厚みを増加さ
せる必要がある。

更に上記のように電極材料として粉末を用いるので、
その均一な混合が困難となり、たとえ、混合を十分にし
たとしてもミクロ的には不均一構造になりやすい。従っ
てこの製造方法では、ガスが直接に電極、固体電解質と
の三相界面に到達してしまうような大きな孔も形成され
る。

上記のように接触面積の低下は三相界面の低下を伴
い、かつ大きな孔はガスの直接到達を招くことになる。
従って、酸素検出素子が、シリコン、硫黄、鉛等の被毒
物質を含むガス中で使用されると、電極中の大きな孔を
通して被毒物質を含む測定ガスが直接上記三相界面に到
達しやすくなるので、短時間で特性に異常をきたす場合
がある。

また、上記のように粉末同志の混合ペーストであるの
で、それぞれの融点の違いがある。即ち、一般的に使用
されている固体電解質と同一材料である酸化ジルコニウ
ムや不純物として含まれる酸化アルミニウムは、貴金属
粉末としての白金、ロジウム又はパラジウム等より遥か
に融点が高いので、十分貴金属粉末を混合させないと貴
金属粉末の方が自己焼結をしてしまうこととなる。

以上のように、粉末材料同士を混合してペーストと
し、このペーストを塗布焼成することにより形成される
電極は、その実用性において十分ではない。

本発明は、上記観点に鑑みてなされたもので、触媒作
用を持つ貴金属粉末及び有機金属化合物等を含むペース
トを利用して均一な微細孔を有する電極を効率的かつ容
易に形成することにより被毒物質に対する耐性に有れた
酸素検出素子を製造する方法を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

本第１発明の酸素検出素子の製造方法は、酸素イオン
導電性の焼成前又は焼成後の固体電解質本体の表面の少
なくとも一部に、焼成後に触媒電極層となるペーストを
塗布し焼成して焼成後固体電解質本体の所定表面上に触
媒電極層を形成する第１工程と、該第１工程の後に又は
該第１工程の焼成と同時に、該触媒電極層の少なくとも
一部を被覆し保護する電極保護層を形成する第２工程
と、を具備する酸素検出素子の製造方法において、上記
第１工程は、共沈された貴金属及び金属水酸化物からな
る共沈粉末を主として含むペーストを塗布し、その後焼
成することを特徴とする。

本第２発明の酸素検出素子の製造方法は、上記特許請
求の範囲第１項における前提部記載の製造方法におい
て、第１工程は、（１）貴金属粉末と、（２）Mg、Al、
Zr、Ca、Sr、TiおよびＹから選択される金属およびこれ
らの金属の一種または二種以上の合金から選択される金
属粉末と、を主として含むペーストを塗布し、その後焼
成することを特徴とする。このペーストは、第３発明の
ように、上記（１）の貴金属粉末に対して上記（２）の
金属粉末1.5〜7.5モル％を含有することが好ましい。

本素子の全体形状は、一端閉口の筒状本体（以下、筒
状体という）又は平板状体を問わない。

上記固体電解質本体は、酸素イオン伝導性を有するも
ので、例えばZrO₂−Y₂O₃、ZrO₂−CaO等の安定化ジルコ
ニア等を用いることができる。この本体の肉厚は、特に
問わず比較的厚いものでも、比較的薄くて支持体表面に
形成される層状体であってもよい。

上記第１工程と第２工程の関係については、第１工程
を実施して焼成させて触媒電極層を形成した後、電極保
護層を形成してもよい。この場合固体電解質本体は焼成
前であっても、焼成後であってもよく、この焼成前のも
のではペースト層を焼成させて触媒電極層を形成させる
時に、同時に焼成されることとなる。また、触媒電極層
となるペーストを塗布し、更に電極保護層となる材料を
塗布してこれらを同時に一体焼成して、触媒電極層及び
電極保護層を同時に形成してもよい。この場合において
も、焼成前の固体電解質本体を用いる場合には、この一
体焼成時に同時に焼成されることとなる。

上記貴金属とは触媒活性をもつものであり、この金属
元素とはAg、Au及び白金族元素（Ru、Os、Rh、Ir、Pd、
Pt）をいい、各元素の１種又は２種以上を用いることが
できる。

上記第１発明において、「共沈」とは、２種以上の化
合物が共存する溶液からなる化合物を沈殿させる場合、
２種類以上の化合物が同時に沈殿してこれらの化合物を
含む粉末等を生成することをいう本発明では、貴金属元
素を含む化合物と他の金属元素を含む化合物の溶液を、
例えば還元させつつ沈殿させると、貴金属と他の金属水
酸化物からなる共沈粉末が生じる。この場合、溶液は通
常、水溶液であるが、これに限定されず有機溶媒による
溶液又は両者の混合溶液であってもよい。

また、この各使用する化合物は、使用溶媒に溶解して
所定の条件下で共沈するものであればよい。通常、この
化合物は硝酸塩、硫酸塩、塩化物等であり、有機溶媒を
用いる場合には有機金属化合物でもよい。更に、共沈さ
せる条件は、使用する化合物等により種々選択され、例
えばアルカリ又はアンモニア等を添加する、大量の水を
添加して加水分解をする。有機溶媒を添加する、必要に
応じて加熱する等とすることができる。また、還元剤の
種類及び条件も、還元すべき化合物の種類により種々選
択される。

ここで、「金属水酸化物」とは、水酸基をもつ化合物
をいい、後工程の焼成により酸化物となる、この金属元
素としては、白金等の触媒金属と反応して触媒作用を阻
害する元素、例えば、Pb、Zn、Cd、Sn、Hg等を除くもの
であればよい。この適用元素としては、例えば、Li、N
a、Ｋ、Be、Mg、Ca、Sr、Ｂ、Al、Ga、Si、Ge、Sb、B
i、Ti、Zr、Ｖ、Ｙ等を用いることができ、このうち、M
g、Al、Zr、Ca、Sr、Ti又はＹが一般的に用いられる。
これは、触媒作用を阻害しないし、熱分解後の酸化物等
が安定で、焼結体強度にも優れ、安価だからである。
尚、Siは、Pt等の触媒作用を低下させる傾向があるので
多く含まないのがよいが、電極全体の焼結性を制御する
ために若干量の有機Si化合物を添加することができる。
更に、一つの金属水酸化物のうちに上記元素の２種以上
を含んでもよいし、上記元素の金属水酸化物の２種以上
の混合であってもよい。特に、本発明では溶液から共沈
させるので、後者においても各化合物の均一分散が極め
て優れる。

上記第２発明において、（２）の金属粉末を構成する
「金属」は、後工程の焼成により酸化物となりセラミッ
ク成分となる。この金属元素としては、Mg、Al、Zr、C
a、Sr、TiおよびＹから選択される金属を用いる。これ
は、白金等の触媒金属と反応して触媒作用を阻害するこ
とがなく、熱分解後の酸化物等が安定で、焼結体強度に
も優れ、しかも安価なためである。また、この金属とし
ては、上記元素の１種からなる単金属でもよいし、その
２種以上からなる合金であってもよい。更に、この単金
属又は合金の２種以上の混合であってもよい。

上記第１〜第３発明において、触媒電極層を形成する
ためのペーストには、上記貴金属粉末及び上記共沈粉
末、上記両金属粉末以外に、所定の溶剤、樹脂結合剤、
この溶解を促進させるための低沸点溶剤（キシレン、ア
セトン等）等を用いてもよい。

電極層は、例えば白金等の貴金属及びセラミックから
なり、通常、このセラミック成分は、白金に対して0.5
〜30モル％程度である。セラミックがあまり多いとその
膜厚を厚くする必要が生じ、あまり少な過ぎると白金同
志の焼結が進行し過ぎてガス透過性の点で問題がある。
また、従来技術の微粒状セラミック粉末の場合は、白金
に対して20〜30モル％の混合が必要である。一方、本第
１〜第２発明では通常、0.5〜15モル％の比較的少量の
混合でよく、更に好ましくは1.5〜7.5モル％でよい。こ
のように、従来技術の比べ、少ない混合量でもガス透過
性は良好である。そして、この触媒電極層は、少なくと
も測定ガス中の酸素濃度を検出するに必要な部分をガス
透過性のものとすればよい。

〔実施例〕

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。

（参考例１及び参考例２）（１）参考例１及び比較例１に係わる素子の製作参考例１に係わる酸素検出素子1aの縦断面図を第１図
に示す。この素子1aは、一端開口、他端閉口で、その開
口端側にフランジ部42をもつ筒状固体電解質本体と、こ
の外表面のほぼ全表面状に被覆形成された触媒電極層43
と、そのほぼ全表面上に被覆形成された多孔性保護層45
と、筒状体内部に形成された内部電極層44と、からな
る。この固体電解質本体は、Y₂O₃で部分安定化されたジ
ルコニアからなり、触媒電極層43及び内部電極層44は白
金−ジルコニアからなる。多孔質保護層45はアルミナ−
マグネシアのスピネルからなる。

本素子は、以下の方法で製作された。

まず、上記電極層を形成することとなるペーストを以
下のようにして調合した。即ち、白金15g、ジルコニウ
ムブチラートZr（OC₄H₉）_４（白金に対して５モル
％）、樹脂としてのエチルセルロース（Ptに対して５重
量％）、更に溶剤としてのブチルカルビトールを塗布に
好ましい所定の粘度になる程度に加えて、混練してペー
ストを調合した。この時、樹脂結合剤のエチルセルロー
スの溶解を促進させるため、キシレン又はアセトン等を
配合してもよい。

次に、上記筒状の焼成前固体電解質本体の測定ガス側
表面及び基準ガス側内面に、上記ペーストを塗布し焼成
して、焼成後固体電解質本体41及び両電極層43、44を形
成した。尚、内部電極層44は、公知の無電解法により、
焼成後固体電解質本体の表面に形成されてもよい。

更に、触媒電極層43の表面に、測定ガスから電極を保
護するために、公知の方法で、アルミナ−マグネシアの
スピネル粉末をプラズマ溶射して多孔性保護層45を形成
して、素子1aを製作した。尚、この保護層45は、触媒電
極層43の形成後であればいつ形成してもよい。

比較例１に係わる素子としては、上記ペーストのジル
コニウムブチラートの代わりに酸化ジルコニウム粉末を
用いること以外は、上記と全く同様にして製作した。

（２）参考例２及び比較例２に係わる素子の製作参考例２に係わる素子1bは、中間筒状対２の表面に、
固体電解質層３が被覆され、絶縁層を介して発熱部８を
印刷形成したもので、その一部破断斜視図を第２図、そ
の展開状斜視図を第３図に示す。本素子は具体的には以
下の構成をもつ。

その固体電解質層３の内側には、第１基準電極４多び
第２基準電極５が、その外面側には第１測定電極６、第
２測定電極７及び発熱部８が設けられ、中空筒状体２の
内面側と外面側とを連通する第１乃至第４貫通孔９〜12
が形成されている。

これらの貫通孔９〜12は、一対の第１及び第２貫通孔
９、10と、もう一対の第３及び第４貫通孔11、12とが対
向して配置されている。固体電解質層３の中空筒状体２
に接する内周面上には第１基準電極４が、その外周面上
には第１測定電極６が、第１貫通孔９及び第２貫通孔10
に対応する位置に設けられている。又同様に、第３貫通
孔11及び第４貫通孔12に対応する位置には、第２基準電
極５及び第２測定電極７が設けられている。第１及び第
２基準電極４、５は、固体電解質層３に設けられたスル
ーホール21を介して、第２図に示す基準電極端子14に接
続されている。又、第１及び第２測定電極６、７は、測
定電極端子15に、発熱部８は発熱体端子16、17に各々接
続されている。

この素子の製造方法は以下の通りである。尚、説明の
便宜上、焼成前のものと焼成後のものに同一名称及び同
一符号を付した。

まず、Y₂O₃で部分安定化される組成に調整されたジル
コニア粉末を有機樹脂と混合し。ドクターブレード法に
よって約0.3mm厚さになるように固体電解質グリーンシ
ート3aを形成した。その後、このグリーンシート3a上の
一面にPt系基準電極４、５とリード部をスクリーン印刷
し、グリーンシート3aの他の面上には、上記実施例１で
調合されたペーストにより、上記と同様にして焼結後に
多孔質Pt系測定電極（触媒電極層）６、７となる膜を形
成した。

次いで、測定電極保護層22、23、孔部26、27を有する
絶縁膜層24、発熱部８とリード引出し部16、17を有する
Pt発熱体及び孔部30、31を有する絶縁層28を、スクリー
ン印刷により順次積層して形成した。

更に、基準電極４、５のリード部４′は、グリーンシ
ート3aに設けたスルーホール21により基準電極端子14に
接続される。電極の端子部14、15の上面及び発熱体の端
子部16、17の上面はそれぞれの絶縁層26、29が除かれた
状態でスクリーン印刷されて、所定の積層体を製作し
た。

このようにして製作された積層体を中間筒状体２に巻
き付けて焼成し、酸素検出素子1bを製作した。

比較例２に係わる素子としては、上記ペーストのジル
コニウムブチラートの代わりに酸化ジルコニウム粉末を
用いること以外は、上記と全く同様にして製作した。

（３）参考例１、２及び比較例１、２の性能評価上記の各素子を、図示しないハウジングに所定方法で
組付け、図示しない自動車の排気ガス管部に取りつけて
走行テストを行った。この評価方法としては、走行テス
トの際に、素子の耐被毒性を調査するために、ガソリン
中にシリコンオイルを50ppm添加して40マイル／時の速
度で20時間運転し、その後の制御空燃比の変化量（ΔA/
F）を調べた。

その結果は、参考例１、参考例２、比較例１及び比較
例２の各素子について、各々、0.02、0.01以下、0.3、
0.1であった。参考例１及び２はその変化量が0.02以下
であり、比較例１及び２の0.3、0.1と比べて、参考例で
は約10分の１の変化量であり、極めて耐被毒性が良好な
ことを示している。特に参考例２の場合には更にその性
能が良い。これは、発熱部等が一体的に積層、焼成され
ているからである。

また、参考例２の素子は、更に以下の効果を併せて持
つ。即ち上記第１基準電極４及び第１測定電極６からな
る電極対と、第２基準電極５及び第２測定電極７からな
る電極対とが、対向して形成されているので、測定ガス
の流れの方向による素子1bによる素子1bの出力への影響
を減少させることができ、素子1bの取付け位置がずれて
いた場合にも高い性能を保つことができる。また、２組
の電極対が180度の間隔で対向して配置されているの
で、測定ガスの流れの方向が電極面に対して垂直な場合
以外でも精度良く酸素分圧を測定することができる。
尚、この電極対を３組の場合には120度間隔、４組の場
合には90゜間隔のようにほぼ等間隔で配置すれば、素子
の方向性が少なく好適である。更に、この素子は筒状体
で、更に中央に空洞を有する薄肉の中空筒状体を有する
ため、素の熱容量が小さく、発熱体の熱効率が向上す
る。それによって消費電力を軽減でき、更に発熱部等を
グリーンシートの表面に厚膜印刷しているので、製造が
極めて容易である。

（実施例１及び実施例２）本実施例１、２は第１発明に係わるものである。

（１）実施例１に係わる素子の製作本実施例１に係わる素子の全体構成は、参考例１に係
わる素子1aと同じであり、第１図に示す。本素子は、以
下の方法で製作された。

まず、六塩化白金酸（H₂PtCl₆）とオキシ塩化ジルコ
ニウム（ZrOCl₂）の水溶液を調整し、ここにヒドラジン
等の還元剤をアルカリ液又はアンモニア水とともに添加
し撹拌して反応させて、Pt及びジルコニア水和物の共沈
粉末を生成させた。この粉末を取り出し水洗し乾燥し
た。尚、乾燥せずにペースト用原料とすることもでき
る。この共沈粉末のジルコニア水和物を酸化させないで
乾燥及びPtとの反応等予備処理が必要である時は、真空
又は還元雰囲気中で熱処理することもできる。この粉末
は、Zr換算で５重量％、他はPtである。尚、白金酸類と
しては、四塩化白金酸（H₂PtCl₆）又は六塩化白金酸ナ
トリウム等を用いてもよいし、Zr化合物としては、硝酸
ジルコニウム（IV）、硫酸ジルコニウム（IV）等を用い
てもよい。還元剤としては、他にホルムアルデヒド、蟻
酸ソーダ（特に、六塩化白金酸ナトリウムに用いられ
る）等を用いることができる。

この共沈粉末を用いて、上記電極層を形成することと
なるペーストを以下のようにして調合した。即ち、この
粉末15g、樹脂としてのエチルセルロース0.7g（Ptに対
して５重量％）、更に溶剤としてのブチルカルビトール
を塗布に好ましい所定の粘度になる程度に加えて、混練
してペーストを調合した。この時、樹脂結合剤のエチル
セルロースの溶解を促進させるため、キシレン又はアセ
トン等を配合してもよい。

次に、上記参考例１で用いたものと同様の筒状の焼成
前固体電解質本体の測定ガス側表面及び基準ガス側内面
に、上記ペーストを塗布し焼成して、焼成後固体電解質
本体41及び両電極層43、44を形成した。尚、内部電極層
44は、公知の無電解法により、焼成後固体電解質本体の
表面に形成されてもよい。

更に触媒電解層43の表面に、測定ガスから電極を保護
するために、公知の方法で、アルミナ−マグネシアのス
ピネル粉末をプラズマ溶射して多孔性保護層45を形成し
て、素子1aを製作した。尚、この保護層45は、触媒電極
層43の形成後であればいつ形成してもよい。

本比較例に係わる素子としては、上記ペーストの共沈
粉末の代わりに、Pt粉末と二酸化ジルコニウム粉末を用
いて製作した上記比較例１の素子を用いた。

（２）実施例２に係わる素子の製作実施例２に係わる素子の全体構成は、参考例２に係わ
る素子1bと同じであり、第２図に示す。この素子は、参
考例２で用いたペーストの代わりに、実施例１で用いた
ペーストを使用したこと以外は、参考例２と同様にして
製作された。

本比較例に係わる素子としては、上記ペーストの共沈
粉末の代わりに、Pt粉末と二酸化ジルコニウム粉末を用
いて製作した上記比較例２の素子を用いた。

（３）実施例１、２及び比較例１、２の性能評価上記の各素子を用い参考例１、２、比較例１、２と同
様の方法にて走行テストを行い、各素子の耐被毒性の評
価を行った。

その結果は、実施例１、実施例２、比較例１及び比較
例２の各素子について、各々、0.02、0.01以下、0.3、
0.1であった。実施例１及び２はその変化量が0.02以下
であり、比較例１及び２の0.2、0.1と比べて、実施例で
は約10分の１の変化量であり、極めて耐被毒性が良好な
ことを示している。特に実施例２の場合には更にその性
能が良い。これは、発熱部等が一体的に積層、焼成され
ているからである。また、この実施例２の素子は、上記
参考例２の素子と同様に、更に、測定ガスの流れの方向
による素子1bの出力への影響を減少させることができる
こと等の特有の上記効果をも合わせもつ。

（実施例３及び実施例４）本実施例３、４は第２発明に係わるものである。

（１）実施例３に係わる素子の製作本実施例３に係わる素子1aの全体構成は、参考例１に
係わる素子と同じであり、第１図に示す。本素子は、以
下の方法で製作された。

まず、上記電極層を形成することとなるペーストを以
下のようにして調合した。即ち、Pt粉末（約１μｍ）15
g、Zr粉末（約0.5μｍ）0.55g、樹脂としてのエチルセ
ルロース0.7g、更に溶剤としてのブチルカルビトールを
塗布に好ましい所定の粘度になる程度に加えて、混練し
てペーストを調合した。この時、樹脂結合剤のエチルセ
ルロースの溶解を促進させるため、キシレン又はアセト
ン等を配合してもよい。

更に、触媒電解層43の表面に、測定ガスから電極を保
護するために、公知の方法で、アルミナ−マグネシアの
スピネル粉末をプラズマ溶射して多孔性保護層45を形成
して、素子1aを製作した。尚、この保護層45は、触媒電
極層43の形成後であればいつ形成してもよい。

本比較例に係わる素子としては、上記ペーストのZr粉
末の代わりに二酸化ジルコニウム粉末を用いて製作した
上記比較例１の素子を用いた。

（２）実施例４に係わる素子の製作本実施例４に係わる素子の全体構成は、参考例２に係
わる素子1bと同じであり、第２図に示す。この素子は、
参考例２で用いたペーストの代わりに、実施例３で用い
たペーストを使用したこと以外は、参考例２と同様にし
て製作された。

本比較例に係わる素子としては、上記ペーストのZr粉
末の代わりに二酸化ジルコニウム粉末を用いて製作した
上記比較例２の素子を用いた。

（３）実施例３、４及び比較例１、２の性能評価上記の各素子を用い参考例１、２、比較例１、２の同
様の方法にて走行テストを行い、各素子の耐被毒性の評
価を行った。

その結果は、実施例３、４、比較例１及び比較例２の
各素子について、各々、0.02、0.01以下、0.3、0.1であ
った。実施例３及び４はその変化量が0.02以下であり、
比較例１及び２の0.3、0.1と比べて、実施例では約10分
の１の変化量であり、極めて耐被毒性が良好なことを示
している。特に実施例４の場合には更にその性能が良
い。これは、発熱部等が一体的に積層、焼成されている
からである。また、この実施例４の素子は、上記参考例
２の素子と同様に、更に、測定ガスの流れの方向による
素子1bの出力への影響を減少させることができること等
の特有の上記効果をも合わせもつ。

以上より、実施例１〜４においては、各比較例と比べ
て、極めて耐被毒性が良好な素子を得ることができた。

尚、本発明においては、上記具体的実施例に示すもの
に限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々
変更した実施例とすることができる。即ち、固体電解質
本体の形状、大きさ等、触媒電極層の厚さ、形成場所、
気孔度、固体電解質本体の被覆程度、その材質、焼成後
の貴金属とセラミックとの組成割合（即ち、貴金属粉末
と金属水酸化物、貴金属粉末と貴金属以外の金属粉末の
各配合割合）、内部電極層の材質、形状、厚さ等、更に
は電極保護層の材質、気孔度、厚さ、形成場所、触媒電
極際の被覆程度等は、目的、用途により種々選択され
る。また、固体電解質本体として比較的薄い層を用いる
場合の支持体の形状、大きさ、厚さ等も種々選択され
る。

〔発明の効果〕

本第１発明の製造方法では、均一な溶液から共沈させ
た貴金属と金属水酸化物からなる共沈粉末を含むペース
トを用いるので、このペーストを固体電解質上に塗布し
た状態では、従来の微粒子状セラミック粉末の場合と比
べると、貴金属に対して金属水酸化物が遥かに均一に分
散している。この塗布したペーストが焼成過程で熱分解
をうける場合、貴金属が焼結し始める前に金属水酸化物
が熱分解を受け、貴金属の周りを金属水酸化物の熱分解
物が取り囲むので、貴金属の自己焼結を防ぐことができ
る。

更に、本第２発明の製造方法では、（１）の貴金属粉
末と、（２）の金属粉末と、という両者ともに金属粉末
で相似通った材料粉末を含むペーストを用いる。従っ
て、このペーストを固定電解質上に塗布した状態では、
従来の貴金属粉末とセラミック粉末という異種材料粉末
の場合と比べると、貴金属粉末に対して加熱後酸化物と
なる金属粉末が遥かに均一に分散しており、しかも従来
のようにセラミック粉末の示す塩基性等により使用溶媒
の種類によっては分散が不十分となる部分が生じること
もなく、極めて均一構造となりやすい。更に、この塗布
したペーストが焼成過程で熱分解をうける場合、貴金属
が焼結し始める前にこの金属粉末が酸化反応をし、貴金
属粉末の周りをこの熱分解物が取り囲むので、従来の微
粒状セラミック粉末に比べて少ない添加量で、具体的に
は、第３発明のように貴金属に対して（２）の金属を例
えば0.5〜15モル％混合することにより、貴金属の自己
焼結を防ぐことができる。

従って、本第１〜第３発明に係わる製造方法によれ
ば、均一な微細孔を持つ電極を効率的かつより容易に形
成することができる。そのため、大きな孔が形成される
ことが少ないので、ガス中の被毒物質が、直接三相界面
に到着をして短時間で特性に異常をきたすことも少な
い。従って本素子は、被毒物質に対する耐久性が極めて
優れる。

また、従来のように、触媒材料に対して金属酸化物材
料（金属酸化物となるべき有機金属化合物、金属水酸化
物又は金属粉末）を多量に添加する必要がなく、電極の
導電抵抗を小さくすることができ、かつ固体電解質本体
表面での電極としての触媒材料と固体電解質の接触面積
を従来と比べて増大することができる。

以上より、本第１〜第３発明の製造方法によれば、比
毒物質に対して耐久性が優れるとともに、効率良くかつ
高品質に酸素を検出できる素子を製造できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は参考例１、実施例１及び実施例３に係わる酸素
検出素子の縦断面図、第２図は参考例２、実施例２及び
実施例４に係わる酸素検出素子の一部破断面斜視図、第
３図は第２図に示す素子の展開状斜視図である。 1;酸素検出素子、2;中空筒状体、41;固体電解質本体、
3;固体電解質層、44、４、5;内部電極層（基準電極）、
43、６、7;触媒電極層（測定電極）、45、22、23;電極
保護層、９、10:貫通孔。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭62−123351（ＪＰ，Ａ) 特開平１−176937（ＪＰ，Ａ) 特開平１−18853（ＪＰ，Ａ) 実開昭55−152455（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 27/409

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】酸素イオン伝導性の焼成前又は焼成後の固
体電解質本体の表面の少なくとも一部に、焼成後に触媒
電極層となるペーストを塗布し焼成して焼成後固体電解
質本体の所定表面上に触媒電極層を形成する第１工程
と、該第１工程の後に又は該第１工程の焼成と同時に、
該触媒電極層の少なくとも一部を被覆し保護する電極保
護層を形成する第２工程と、を具備する酸素検出素子の
製造方法ちおいて、上記第１工程は、共沈された貴金属及び金属水酸化物か
らなる共沈粉末を主として含むペーストを塗布し、その
後焼成することを特徴とする酸素検出素子の製造方法。
【請求項２】酸素イオン伝導性の焼成前又は焼成後の固
体電解質本体の表面の少なくとも一部に、焼成後に触媒
電極層となるペーストを塗布し焼成して焼成後固体電解
質本体の所定表面上に触媒電極層を形成する第１工程
と、該第１工程の後に又は該第１工程の焼成と同時に、
該触媒電極層の少なくとも一部を被覆し保護する電極保
護層を形成する第２工程と、を具備する酸素検出素子の
製造方法において、上記第１工程は、（１）貴金属粉末と、（２）Mg、Al、
Zr、Ca、Sr、TiおよびＹから選択される金属およびこれ
らの金属の一種または二種以上の合金から選択される金
属粉末と、を主として含むペーストを塗布し、その後焼
成することを特徴とする酸素検出素子の製造方法。
【請求項３】上記ペーストは、上記（１）の貴金属粉末
に対して上記（２）の金属粉末1.5〜7.5モル％を含有す
る請求項２記載の酸素検出素子の製造方法。