JP2841512B2

JP2841512B2 - 減圧脱泡装置の監視方法及びその装置

Info

Publication number: JP2841512B2
Application number: JP1204438A
Authority: JP
Inventors: 信雄伊藤
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1989-08-07
Filing date: 1989-08-07
Publication date: 1998-12-24
Anticipated expiration: 2013-12-24
Also published as: JPH0369516A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、溶融ガラスや溶融金属等の導電性高温溶
融物の気泡を除去するために使用される減圧脱泡装置を
対象としたもので、この種の減圧脱泡装置内の高温溶融
物の状態レベルを所望のものに維持する上で有効な監視
方法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、減圧脱泡装置としては例えば特公昭44−4205
号公報所載のものがある。

これは、溶解槽中の高温溶融物としての溶融ガラスを
脱泡処理して次の処理炉に連続的に供給するプロセスに
用いられるもので、真空吸引される真空ハウジング内に
減圧脱泡槽を収容配置し、この減圧脱泡槽には、脱泡処
理前の溶融ガラスを上昇管を介して導入すると共に、脱
泡処理後の溶融ガラスを下降管を介して次の処理炉に導
出するようにしたものである。

このような減圧脱泡装置においては、均質なガラスを
得ること及び製品の重量等に影響するガラス流出量を一
定にするため、導入された溶融ガラスの液面を常に一定
にしながら運転することが必要である。

このような要請下においては、液面レベルを監視する
ための液面計を設置し、液面計からの信号に基づいて溶
融ガラスの導入量を制御するというような手法が通常考
えられる。

この場合、上記液面計としては、溶融ガラスが導体で
あることを利用し、ガラス液面とレベルセンサ用導体と
が非接触のとき開放し、接触したときに閉じる検出用回
路を設け、この検出用回路の開閉によって液面レベルを
検出するようにしたものを採用することが可能である
（特公昭57−59216号公報参照）。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上述した減圧脱泡装置においては、脱泡処
理過程で気泡と共にイオンが生成され、このイオンが真
空ハウジング内に充満するという現象が起こる。

この場合において、上述したような液面計を採用する
と、上記ガラス液面にレベルセンサ用導体が接触しない
状態であっても、真空ハウジング内のイオンを媒介とし
てガラス液面とレベルセンサ用導体とが短絡して検出用
回路が閉じるという事態を生じ、液面レベルを誤検出し
てしまう。

このため、液面レベルを正確に検出することができ
ず、溶融ガラスの液面レベルを監視する上で不充分であ
った。

また、減圧脱泡装置においては、脱泡処理過程で多く
の気泡が発生するが、真空ハウジング内に気泡が充満し
過ぎると、脱泡処理過程に悪影響を及ぼすので、所定量
の気泡が発生した時点でその気泡を消滅させるというよ
うな手段を施すことが必要になる。

この要請下においては、溶融ガラスの発生気泡量に対
応する泡面レベルの検出精度を高め、泡面レベルをいか
に正確に監視するかが技術的課題になる。

尚、このような技術的課題は、溶融ガラスばかりでな
く、導電性の溶融金属等を減圧脱泡する際においても同
様に生ずるものである。

この発明は、以上の技術的課題に着目してなされたも
のであって、減圧脱泡装置内の高温溶融物の状態レベル
を正確に検出することができ、もって、状態レベルの監
視を確実なものにすることができる脱泡装置の監視方法
及びその装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

すなわち、この発明に係る減圧脱泡装置の監視方法
は、真空吸引される真空ハウジング内に減圧脱泡槽を配
設し、この減圧脱泡槽内に導電性の高温溶融物を連続的
に導入して脱泡処理を行った後に外部に導出するように
した減圧脱泡装置において、上記高温溶融物の状態レベ
ルを監視するに際し、真空ハウジング内に充満する外乱
要因発生物の影響を取り除いた条件下にて、上記高温溶
融物の状態レベルを検出するようにしたものである。

このような方法発明において、上記外乱要因発生物と
しては、検出対象状態レベルが高温溶融物の液面レベル
であれば、真空ハウジング内に充満するイオン、気泡が
対象となり、一方、検出対象状態レベルが高温溶融物の
泡面レベルであれば、真空ハウジング内に充満するイオ
ンのみが対象となる。

また、外乱要因発生物の影響を取り除くための条件設
定としては、外乱要因発生物の抵抗に着目するもののほ
か、その抵抗に付随する電流、電圧等のパラメータに着
目したり、整流作用による直流電位変化に着目するもの
（真空ハウジング内にはイオンが充満している関係上、
例えば、真空ハウジング内にレベル検出用電極を一対配
置しておけば、両電極間には等価的にダイオードが付加
されたものになる。この場合、高温溶融物の検出対象レ
ベル面に一対の電極が接触すれば、電極間が短絡されて
直流分が消弧するため、この直流分の変化でレベル検出
が可能になる。）が挙げられる。

また、上記方法発明を実現する装置発明は、第１図
（ａ）に示すように、真空吸引される真空ハウジング１
内に減圧脱泡槽２を配設し、この減圧脱泡槽２内に導電
性の高温溶融物Ｇを連続的に導入して脱泡処理を行った
後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置を前提と
し、上記真空ハウジング１内に配置されて高温溶融物Ｇ
の状態レベルを検出するレベルセンサ３と、このレベル
センサ３が高温溶融物Ｇの検出対象状態レベル面に接触
したことを判別し、状態レベル検出信号を出力するレベ
ル検出回路４とを備え、レベル検出回路４の出力に応じ
て上記高温溶融物Ｇの状態レベルを監視する監視装置で
あって、上記レベル検出回路４内には、真空ハウジング
１内での外乱要因発生物に基づく抵抗分が付加された条
件下ではレベルセンサ３の接触状態の判別動作が禁止さ
れるセンサ感度調整手段５を設けたことを特徴とするも
のである。

このような装置発明において、上記レベルセンサ３と
しては、真空ハウジング１内に充満するイオンによる誤
動作を極力防止するという観点から、真空ハウジング１
内に露呈するセンサ電極の検出部以外を絶縁被覆するこ
とが好ましく、絶縁性をより確実に保つには、絶縁性の
段付き二重管にて絶縁被覆することが特に好ましい。

また、レベルセンサ３及びレベル検出回路４として
は、目的に応じて高温溶融物Ｇの液面レベル検出系だけ
でもよいし、あるいは、発生する気泡の泡面レベル検出
系だけでもよいし、あるいは、両者を同時に備えたもの
でもよいが、減圧脱泡装置を確実に監視するという観点
からすれば、両者を同時に備えたものが好ましい。尚、
発生する気泡を常時破壊するような手段を付設すれば、
液面レベル検出系だけで、減圧脱泡装置を確実に監視す
ることが可能である。

更に、センサ感度調整手段５としては、レベルセンサ
３の電極と検出対象状態レベル面との接触時の抵抗を考
慮し、これより大きい抵抗の場合には両者を非接触状態
にすべく感度調整されるものであれば、適宜設計変更す
ることができる。

更にまた、上記レベル検出回路４からの状態レベル検
出信号に応じて高温溶融物の状態レベルを監視する態様
としては、液面レベルや泡面レベルを自動制御したり、
状態レベルを確認できるようにしたり適宜設計変更する
ことができる。

更にまた、高温溶融物Ｇの液面レベルを検出対象とす
る場合において最適化される装置発明は、第１図（ｂ）
に示すように、上記真空ハウジング１内に配置されて高
温溶融物Ｇの液面レベルを検出する液面レベルセンサ3a
と、センサ感度調整手段５にて、真空ハウジング１内で
の外乱要因発生イオン及び気泡に基づく抵抗分が付加さ
れた条件下では液面レベルセンサ3aの接触状態の判別動
作を禁止設定する液面レベル検出回路4aと、この液面レ
ベル検出回路4aの出力に応じて真空ハウジング１内に導
入する高温溶融物Ｇの液面レベルが制御される液面レベ
ル制御手段６とを備えたことを特徴とするものである。

このタイプにおいて、上記液面レベル制御手段６とし
ては、導入される高温溶融物Ｇの温度を制御したり、真
空ハウジング１内の圧力を制御したり、高温溶融物Ｇの
導入量を制御したり、これらを適宜組み合わせる等適宜
設計変更することができる。

また、高温溶融物Ｇの泡面レベルを検出対象とする場
合において最適化される装置発明は、第１図（ｃ）に示
すように、真空ハウジング１内に配置されて高温溶融物
Ｇの発生気泡面レベルを検出する泡面レベルセンサ3b
と、センサ感度調整手段５にて、真空ハウジング１内で
の外乱要因発生イオンに基づく抵抗分が付加された条件
下では泡面レベルセンサ3bの接触状態の判別動作を禁止
設定する泡面レベル検出回路4bと、この泡面レベル検出
回路4bの出力に応じて真空ハウジング１内に導入する高
温溶融物Ｇの発生気泡を破壊する破泡手段７とを備えた
ことを特徴とするものである。

このタイプにおいて、上記破泡手段７としては、発生
気泡に所定の気体を吹き付けて気泡を破壊する等適宜設
計変更して差し支えないが、少なくとも、脱泡処理動作
を損なうことなく、真空ハウジング１内の真空度を保持
することができるように設計することが必要である。

〔作用〕

この発明に係る減圧脱泡装置の監視方法においては、
高温溶融物の状態レベルは外乱要因発生物の影響のない
条件下で検出されるため、高温溶融物の状態レベルが外
乱要因発生物に基づき誤検出されることはない。

また、第１図（ａ）に示す減圧脱泡装置の監視装置の
作用について、検出対象を高温溶融物Ｇの液面レベルと
仮定して説明する。

今、第２図（ａ）に示すように、レベルセンサ３の電
極と高温溶融物Ｇの液面との間の抵抗（以下作用欄では
接触抵抗という）をＲとすれば、上記レベルセンサ３の
電極と高温溶融物Ｇの液面とが非接触であるが、両者が
浮遊イオンにて短絡した場合Ａ（第２図（ａ）実線の状
態）と、上記レベルセンサ３の電極と高温溶融物Ｇの液
面とが接触した場合Ｂ（第２図（ａ）仮想線の状態）と
では、上記レベルセンサ３の接触抵抗Ｒは、第２図
（ｂ）に示すように、ＲH,RG（ＲH＞ＲG）に変化する。

このため、上記センサ感度調整手段５にて、上記レベ
ルセンサ３の検出感度レベルＭを上記接触抵抗ＲHとＲG
との中間の抵抗レベルに予め設定し、レベルセンサ３の
接触抵抗が検出感度レベルＭ以下で上記レベル検出回路
４の検出動作を行わせるようにしておけば、上記レベル
検出回路４は、レベルセンサ３の電極が高温溶融物Ｇの
液面に接触したときのみ状態レベル検出信号（液面レベ
ル検出信号）を出力する。

尚、泡面レベルを検出する際には、レベルセンサ３の
電極が検出対象レベル面である泡面に接触した場合と非
接触状態で短絡した場合とのレベルセンサ３の接触抵抗
を夫々求め、その中間の抵抗レベルをレベルセンサ３の
検出感度レベルとして設定するようにすればよい。

また、第１図（ｂ）に示す減圧脱泡装置の監視装置に
おいては、液面レベルセンサ3aが高温溶融物Ｇの液面に
接触すると、センサ感度調整された液面レベル検出回路
4aが液面レベル検出信号を出力し、この液面レベル検出
信号に基づいて液面レベル制御手段６が液面レベルを制
御する。

更にまた、第１図（ｃ）に示す減圧脱泡装置の監視装
置においては、泡面レベルセンサ3bが高温溶融物Ｇの泡
面に接触すると、センサ感度調整された泡面レベル検出
回路4bが泡面レベル検出信号を出力し、この泡面レベル
検出信号に基づいて破泡手段７が作動し、所定レベルを
越えた発生気泡を破壊する。

〔実施例〕

以下、添付図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳
細に説明する。

◎全体プロセスの概要第３図は、溶融ガラスを脱泡処理して次の処理炉に連
続的に供給するプロセス例を示す。

同図において、符号10は溶融ガラスＧを板状電極10a
にて加熱する溶解槽、11は溶解槽10の側壁下部に連通接
続されて溶融槽10からの溶融ガラスＧを図示外のヒータ
にて加熱しながら導く案内ダクト、12は案内ダクト11に
接続されて溶融ガラスＧを一時的に貯溜する貯溜タン
ク、13は貯溜タンク12に貯溜した溶融ガラスＧを減圧条
件下において脱泡処理する減圧脱泡装置、14は上記貯溜
タンク12に連通接続されて上記減圧脱泡装置13にて脱泡
処理された溶融ガラスＧが導入される案内ダクト、15は
上記貯溜タンク12と案内ダクト14との連通状態を通常時
において塞ぐ仕切板、16は上記案内ダクト14の出口側に
配設されて脱泡処理後の溶融ガラスＧを成形処理する成
形処理炉である。尚、案内ダクト14中にも溶融ガラスＧ
を加熱するヒータ（図示せず）が配設されている。

この実施例において、上記減圧脱泡装置13は、真空ポ
ンプ20によって真空吸引されるステンレス製の真空ハウ
ジング21を有し、この真空ハウジング21内に減圧脱泡槽
22を配設したものである。そして、上記減圧脱泡槽22の
底部一側には白金からなる上昇管23が連通接続されてお
り、減圧脱泡槽22の底部他側には同じく白金からなる下
降管24が連通接続されており、上記上昇管23及び下降管
24の下端部は夫々貯溜タンク12,案内ダクト14内の溶融
ガラスＧに浸漬するようになっている。

また、この実施例においては、上記減圧脱泡槽22は、
発生した気泡が追従移動しないように、順次連通接続さ
れた三つの槽22a,22b,22cに分離配置されている。

◎監視装置の基本構成第４図は減圧脱泡装置の監視装置の基本構成を示す。

同図において、符号31は上記減圧脱泡槽22の第三槽22
cに対応した箇所に配設される液面レベルセンサ、符号3
2は上記減圧脱泡槽22の第一槽22aに対応した箇所に配設
される泡面レベルセンサ、51は上記液面レベルセンサ31
と溶融ガラスＧの液面との接触状態を検出する液面レベ
ル検出系、52は上記泡面レベルセンサ32と溶融ガラスＧ
の泡面との接触状態を検出する泡面レベル検出系、80は
液面レベル検出系51からの液面レベル検出信号に基づい
て溶融ガラスＧの温度を制御する温度コントロール系、
100は液面レベル検出系51からの液面レベル検出信号に
基づいて真空ハウジング21内の圧力を制御する圧力コン
トロール系、120は液面レベル検出系51からの異常レベ
ル検出信号に基づいて減圧脱泡装置13の運転を即座に停
止させる異常時コントロール系、130は上記泡面レベル
検出系52からの泡面レベル検出信号に基づいて発生気泡
を破壊する破泡コントロール系である。

◎レベルセンサ第５図は液面レベルセンサ31及び泡面レベルセンサ32
の詳細を示す。

上記液面レベルセンサ31は、真空ハウジング21の外に
配置されるセンサ基板33に白金線からなる三つの電極34
（具体的には34a,34b,34c）を取り付け、夫々の電極の
先端側を真空ハウジング21内に露呈配置したものであ
り、第一の電極34aは先端が常時溶融ガラスＧ内に浸漬
配置される共通電極として機能し、第二の電極34bは先
端が溶融ガラスＧの基準となる液面レベル位置L1に対応
して配置される液面レベル検出用電極として機能し、第
三の電極34cは先端が溶融ガラスＧの液面異常レベル位
置L2に対応して配置される異常検出用電極として機能す
るようになっている。

また、上記泡面レベルセンサ32は、真空ハウジング21
の外に配置されるセンサ基板35に白金線からなる二つの
電極36（具体的には36a,36b）を取り付け、夫々の電極
の先端側を真空ハウジング21内に露呈配置したものであ
り、第一の電極36aは先端が常時溶融ガラスＧ内に浸漬
配置される共通電極として機能し、第二の電極36bは先
端が溶融ガラスＧからの発生気泡ARの規制すべき泡面レ
ベル位置L3に対応して配置される泡面レベル検出用電極
として機能するようになっている。

更に、この実施例において、各電極34,36は、第６図
に示すように、先端の検出部40を残して絶縁管41で被覆
されており、この絶縁管41を介して真空ハウジング21の
上壁の取付孔46に嵌挿固定されている。そして、上記絶
縁管41は、ポーセレン製の内管42及び外管43からなる二
重管構造になっており、上記外管43の検出部40側端は内
管42の検出部40側端より上方に位置し、内管42と外管43
との間に段付き部44が形成されている。この段付き部44
は、外管43の周面に付着した気散イオンが電極34,36部
分へ回り込んで短絡する事態を効果的に阻止する働きを
するものであり、絶縁効果をより確実なものにしてい
る。

◎レベル検出系第７図は液面レベル検出系51及び泡面レベル検出系52
の具体的な回路を示す。

上記液面レベル検出系51は基準液面レベル検出系51a
及び異常液面レベル検出系51bからなり、夫々の液面レ
ベル検出系51a,51b及び泡面レベル検出系52は略同様な
回路構成になっている。

同図において、符号53は外部の交流電源、54は交流電
源53の電圧を適宜レベルの交流電圧に降圧させる第一ト
ランスであり、この第一トランス54の二次側コイル54a,
54b,54cのうち54a,54bから誘起される電圧が第二トラン
ス55,第三トランス56の一次側電圧として供給され、一
方、54a,54cから誘起される電圧が後述するトランジス
タからなるスイッチング素子57のコレクタ端子に供給さ
れるようになっている。

また、第二トランス55の二次側コイル55aは所定範囲
で可変する感度調整抵抗58（抵抗値をRfで示す）に接続
されて閉回路を構成しており、第三トランス56の二次側
コイル56aは電解泡発生防止のための直流成分カット用
コンデンサ59と直列接続され、レベルセンサ31若しくは
32の対象電極端子E₁₁,E₁₂あるいはE₁₁,E₁₃あるいはE₂₁,
E₂₂に接続されている。

更に、上記第二トランス55及び第三トランス56の一次
側コイルの接続端から取り出される検出出力が抵抗60,6
1の案分比率に基づき上記スイッチング素子57のベース
端子に入力されるようになっている。また、符号62はス
イッチング素子57のコレクタ電流調整用抵抗、63、64は
スイッチング素子57のエミッタ電圧を所定レベルの検出
電圧に変換するための抵抗、65は上記検出電圧を平滑化
する電界コンデンサ、66は上記検出電圧が入力されたと
きに開閉する常開接点ａ（具体的にはa₁,a₂,a₃）、常閉
接点ｂ（具体的にはb₁,b₂,b₃）及び共通接点ｃ（具体的
にはc₁,c₂,c₃）を有し、ａ接点が閉じた際に所定のレベ
ル検出信号（具体的にはa₁接点が閉じた際には液面レベ
ル検出信号、a₂接点が閉じた際には異常レベル検出信
号、a₃接点が閉じた際には泡面レベル検出信号）を出力
するボルテージセンサである。

また、上記液面レベル検出系51の感度調整抵抗58はレ
ベルセンサ31と溶融ガラスＧの液面との接触抵抗の大き
さにより最適感度を得るための調整抵抗であり、この感
度調整抵抗58の抵抗値Rfは、例えば第８図（ａ）に示す
ように、レベルセンサ31と溶融ガラスＧの液面との接触
抵抗をＲG（ガラス素性により７〜140Ω程度の範囲で変
化）とし、第二トランス55及び第三トランス56の二次側
電圧を夫々E/2,スイッチング素子57のベース端子へ印加
される検出出力をｅとすれば、ｅ＝E/2−（ＲG・Ｅ）／（Rf＋ＲG） …（１）を満足する範囲で設定される。

例えば、ＲG＝140Ω,E＝24（Ｖ）,e＝５（Ｖ）とすれ
ば、Rf≒340Ω程度に設定されることになる。

一方、上記泡面レベル検出系52の感度調整抵抗58の抵
抗値Rfは、例えば第８図（ｂ）に示すように、レベルセ
ンサ31と溶融ガラスＧの泡面との接触抵抗をＲA（140〜
200Ω程度）とし、第二トランス55及び第三トランス56
の二次側電圧を夫々E/2,スイッチング素子57のベース端
子へ印加される検出出力をｅとすれば、ｅ＝E/2−（ＲA・Ｅ）／（Rf＋ＲA） …（２）を満足する範囲で設定される。

次に、基準液面レベル検出系51aを例に挙げて、その
作動を第９図及び第10図に示すタイミングチャートに従
って説明する。

今、上記液面レベルセンサ31の液面レベル検出用電極
である第二電極34bが溶融ガラスＧの液面に接触してい
ない場合には、上記（１）式において、ＲG→∽Ω側
（実際にはイオン充満大気であるため、ＲG≒600Ω程
度）にあるため、検出出力ｅはｅ＝−E/2になり、入力
電圧と位相が反転する。このため、第９図に示すよう
に、上記スイッチング素子57のベース電圧とコレクタ電
圧とは位相が180゜ずれた状態で入力される。この結
果、スイッチング素子57のエミッタ電圧はゼロになって
しまい、ボルテージセンサ66へは検出電圧が入力され
ず、ボルテージセンサ66からは液面レベル検出信号は出
力されない。

一方、上記液面レベルセンサ31の液面レベル検出用電
極である第二電極34bが溶融ガラスＧの液面に接触した
場合には、上記（１）式において、ＲG→０Ω側に近づ
くため、検出出力ｅ＝E/2となる。このため、第10図に
示すように、上記スイッチング素子57のベース電圧は整
流されると共に、コレクタ電圧はベース電圧と同位相で
入力される。この結果、スイッチング素子57は上記ベー
ス電圧とコレクタ電圧とが同位相で同時に入力されたと
きだけオン動作し、エミッタ電圧を出力する。このと
き、上記エミッタ電圧は電界コンデンサ65にて平滑化さ
れ、ボルテージセンサ66へ検出電圧として入力されるこ
とになり、ボルテージセンサ66からは液面レベル検出信
号が出力される。

尚、異常液面レベル検出系51bや泡面レベル検出系52
についても、上述したのと略同様に、対象となるレベル
センサ電極が溶融ガラスＧの液面若しくは泡面に接触し
たときのみ、ボルテージセンサ66から異常レベル検出信
号、泡面レベル検出信号が出力される。

◎液面レベルコントロール第11図は溶融ガラスＧの液面レベルをコントロールす
る温度コントロール系80及び圧力コントロール系100の
詳細を示す。

温度コントロール系80は、減圧脱泡装置13の上昇管2
3,下降管４の下端側に夫々挟みヒータ81,82を配設し、
各挟みヒータ81,82のパワーをヒータコントローラ83で
制御するものである。この場合において、上記ヒータコ
ントローラ83は、第12図に示すように、ベースパワー及
びコントロールパワーを予め設定しておき、基準液面レ
ベル検出系51aからの液面レベル検出信号に基づいてパ
ワーを増減し、溶融ガラスＧの粘度を変化させて溶融ガ
ラスＧの液面を一定に保つように動作する。

また、圧力コントロール系100は、真空ハウジング21
に配管101を介して連通接続される真空ポンプ102と、真
空圧を調整する真空圧調整弁103と、真空ハウジング21
の真空度を検出する差圧発振器104と、基準液面レベル
検出系51aからの液面レベル検出信号及び差圧発振器104
からの圧力信号に基づいて真空圧調整弁103を制御する
圧力コントローラ105とを備えている。この場合におい
て、上記圧力コントローラ105は、第12図に示すよう
に、ベース圧力およびコントロール圧力を夫々の設定器
105a,105bにて予め設定しておき、液面レベル検出信号
に基づいて真空ハウジング21内の真空圧を増減し、溶融
ガラスＧの液面を一定に保つように動作する。

尚、第11図において、符号106は差圧発振器104からの
圧力変動をモニタするためのペンレコーダ、107は緊急
時において真空ポンプ102との連通状態を遮断する緊急
遮断弁、108は配管101の各所に設けられる開閉弁であ
る。

◎破泡コントロール第13図は破泡コントロール系130の詳細を示す。

同図において、符号131は窒素等の破泡気体が貯溜さ
れる破泡用タンク、132は減圧脱泡槽22の第一槽22aの溶
融ガラスＧ液面近傍に向けて配設される噴射ノズル、13
3は破泡用タンク131と噴射ノズル132との間を連通接続
する配管、134は上記配管133の途中に介装される電磁開
閉弁である。

そして、上記泡面レベル検出系52から泡面レベル検出
信号が出力された段階で、上記電磁開閉弁134を所定時
間開放するようにすれば、破泡用タンク131からの破泡
気体が噴射ノズル132を介して第一槽22a上方の発生気泡
ARに吹き付けられ、発生気泡ARが破壊される。

それゆえ、真空ハウジング21内に発生気泡ARが不必要
に充満することはなく、減圧脱泡装置13内での脱泡処理
は常時安定して行われる。

◎応用例上記実施例において用いられたレベル検出装置は、減
圧脱泡装置で生ずる発生イオン等の外乱要因に対して有
効であるが、検出物が高電位であっても誤動作すること
がないため、通常の電気溶融炉の素地面レベル計として
も使用することができる。この場合、感度調整抵抗58を
適宜レベルに調整しておけば、レベルセンサが溶融ガラ
ス等の液面に完全に接触した状態と、糸引き状態でレベ
ルセンサが溶融ガラス等の液面に接触した状態とを区別
することが可能になり、糸引き現象によるレベルセンサ
の誤検出を有効に回避することができる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、請求項１記載の減圧脱泡装
置の監視方法によれば、減圧脱泡装置内の高温溶融物の
状態レベルを検出する上で、外乱要因発生物の影響を取
り除くようにしたので、高温溶融物の状態レベルを正確
に検出することができ、その分、高温溶融物の状態レベ
ルを確実に監視することができる。

また、請求項２記載の減圧脱泡装置の監視装置によれ
ば、外乱要因発生物の抵抗分を考慮してレベルセンサの
感度調整を検出回路側で行い、外乱要因発生物の影響を
取り除くようにしたので、装置構成を複雑にすることな
く、高温溶融物の状態レベルを正確に検出することがで
き、その分、装置の簡略化を図りながら、高温溶融物の
状態レベルを確実に監視することができる。

特に、請求項３記載の減圧脱泡装置の監視装置によれ
ば、真空ハウジング内に露呈するレベルセンサの電極の
うち検出部以外は絶縁性の段付き二重管にて被覆されて
いるので、レベルセンサの電極部分での不必要な短絡現
象を回避することができることは勿論、イオン等の外乱
抵抗の影響を極力少なくすることができ、しかも、検出
感度調整抵抗の調整範囲を少なくすることができる。

そしてまた、請求項４記載の減圧脱泡装置の監視装置
によれば、高温溶融物の液面レベル及び泡面レベルを正
確に検出することができるので、夫々の検出信号に基づ
いて高温溶融物の液面レベル及び泡面レベルを監視する
ことが可能になり、その分、減圧脱泡装置の運転状態を
極めて安定させることができる。

更に、請求項５記載の減圧脱泡装置の監視装置によれ
ば、高温溶融物の液面レベルを正確に検出し、この検出
信号に基づいて液面レベルを制御するようにしたので、
高温溶融物の液面レベルを極めて精度良く一定に保持す
ることができ、その分、高温溶融物の流出条件を極めて
均一にすることが可能になり、高温溶融物の液面レベル
の監視装置としての最適化を図ることができる。

更にまた、請求項６記載の減圧脱泡装置の監視装置に
よれば、高温溶融物の泡面レベルを正確に検出し、この
検出信号に基づいて発生気泡を効率的に破壊するように
したので、真空ハウジング内に発生気泡が不必要に充満
する事態を確実に回避することができ、その分、脱泡処
理能力を安定的に維持することが可能になり、高温溶融
物の泡面レベルの監視装置としての最適化を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）ないし（ｃ）はこの発明に係る減圧脱泡装
置の監視装置の概略構成を示す説明図、第２図（ａ）
（ｂ）は第１図（ａ）に係る装置の基本的作用を示す説
明図、第３図はこの発明が適用された減圧脱泡装置の一
実施例を組み込んだプロセス例を示す斜視図、第４図は
実施例に係る減圧脱泡装置の監視装置の概略構成を示す
説明図、第５図は実施例に係るレベルセンサの詳細を示
す説明図、第６図は実施例に係るレベルセンサの電極周
りの詳細を示す説明図、第７図は実施例で用いられるレ
ベル検出回路の詳細を示す回路図、第８図（ａ）（ｂ）
は実施例で用いられるレベル検出回路の感度調整抵抗値
の設定の仕方を示す説明図、第９図及び第10図は実施例
で用いられるレベルセンサの検出動作過程を示すタイミ
ングチャート、第11図は実施例で用いられる温度コント
ロール系及び圧力コントロール系の詳細を示す説明図、
第12図は第11図の温度コントロール系及び圧力コントロ
ール系の動作過程を示すタイミングチャート、第13図は
実施例で用いられる破泡コントロール系の詳細を示す説
明図である。〔符号の説明〕Ｇ……導電性高温溶融物１……真空ハウジング２……減圧脱泡槽３……レベルセンサ 3a……液面レベルセンサ 3b……泡面レベルセンサ４……レベル検出回路 4a……液面レベル検出回路 4b……泡面レベル検出回路５……センサ感度調整手段６……液面レベル制御手段７……破泡手段

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】真空吸引される真空ハウジング（１）内に
減圧脱泡槽（２）を配設し、この減圧脱泡槽（２）内に
導電性の高温溶融物（Ｇ）を連続的に導入して脱泡処理
を行った後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置に
おいて、上記高温溶融物（Ｇ）の状態レベルを監視するに際し、真空ハウジング（１）内に充満する外乱要因発生物の影
響を取り除いた条件下にて、上記高温溶融物（Ｇ）の状
態レベルを検出するようにしたことを特徴とする減圧脱
泡装置の監視方法。
【請求項２】真空吸引される真空ハウジング（１）内に
減圧脱泡槽（２）を配設し、この減圧脱泡槽（２）内に
導電性の高温溶融物（Ｇ）を連続的に導入して脱泡処理
を行った後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置に
おいて、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物
（Ｇ）の状態レベルを検出するレベルセンサ（３）と、
このレベルセンサ（３）が高温溶融物（Ｇ）の検出対象
状態レベル面に接触したことを判別し、状態レベル検出
信号を出力するレベル検出回路（４）とを備え、レベル
検出回路（４）の出力に応じて上記高温溶融物（Ｇ）の
状態レベルを監視する監視装置であって、上記レベル検出回路（４）内には、真空ハウジング
（１）内での外乱要因発生物に基づく抵抗分が付加され
た条件下ではレベルセンサ（３）の接触状態の判別動作
が禁止されるセンサ感度調整手段（５）を設けたことを
特徴とする減圧脱泡装置の監視装置。
【請求項３】請求項２記載のものにおいて、レベルセンサ（３）は、真空ハウジング（１）内に露呈
するセンサ電極の検出部以外を絶縁性の段付き二重管に
て被覆したものであることを特徴とする減圧脱泡装置の
監視装置。
【請求項４】請求項２又は３いずれかに記載のものにお
いて、上記レベルセンサ（３）及びレベル検出回路（４）は、
高温溶融物（Ｇ）の液面レベル検出系と、高温溶融物
（Ｇ）の発生泡レベル検出系とを備えていることを特徴
とする減圧脱泡装置の監視装置。
【請求項５】請求項２ないし４いずれかに記載のものに
おいて、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物
（Ｇ）の液面レベルを検出する液面レベルセンサ（3a）
と、センサ感度調整手段（５）にて、真空ハウジング（１）
内での外乱要因発生イオン及び気泡に基づく抵抗分が付
加された条件下では液面レベルセンサ（3a）の接触状態
の判別動作を禁止設定する液面レベル検出回路（4a）
と、この液面レベル検出回路（4a）の出力に応じて真空ハウ
ジング（１）内に導入する高温溶融物（Ｇ）の液面レベ
ルが制御される液面レベル制御手段（６）とを備えたこ
とを特徴とする減圧脱泡装置の監視装置。
【請求項６】請求項２ないし４いずれかに記載のものに
おいて、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物
（Ｇ）の発生気泡面レベルを検出する泡面レベルセンサ
（3b）と、センサ感度調整手段（５）にて、真空ハウジング（１）
内での外乱要因発生イオンに基づく抵抗分が付加された
条件下では泡面レベルセンサ（3b）の接触状態の判別動
作を禁止設定する泡面レベル検出回路（4b）と、この泡面レベル検出回路（4b）の出力に応じて真空ハウ
ジング（１）内に導入する高温溶融物（Ｇ）の発生気泡
を破壊する破泡手段（７）とを備えたことを特徴とする
減圧脱泡装置の監視装置。