JPH0369516A

JPH0369516A - 減圧脱泡装置の監視方法及びその装置

Info

Publication number: JPH0369516A
Application number: JP20443889A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Ito; 信雄伊藤
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1989-08-07
Filing date: 1989-08-07
Publication date: 1991-03-25
Anticipated expiration: 2013-12-24
Also published as: JP2841512B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、溶融ガラスや溶融金属等の導電性高温溶融
物の気泡を除去するために使用される減圧脱泡装置を対
象としたもので、この種の減圧脱泡装置内の高温溶融物
の状態レベルを所望のものに維持する上で有効な監視方
法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、減圧脱泡装置としては例えば特公昭４４−４２
０５号公報所載のものがある。

これは、溶解槽中の高温溶融物としての溶融ガラスを脱
泡処理して次の処理炉に連続的に供給するプロセスに用
いられるもので、真空吸引される真空ハウジング内に減
圧脱泡槽を収容配置し、この減圧脱泡槽には、脱泡処理
前の溶融ガラスを上昇管を介して導入すると共に、脱泡
処理後の溶融ガラスを下降管を介して次の処理炉に導出
するようにしたものである。

このような減圧脱泡装置においては、均質なガラスを得
ること及び製品の重量等に影響するガラス流出量を一定
にするため、導入された溶融ガラスの液面を常に一定に
しながら運転することが必要である。

このような要請下においては、液面レベルを監視するた
めの液面計を設置し、液面計からの信号に基づいて溶融
ガラスの導入量を制御するというような手法が通常考え
られる。

この場合、上記液面計としては、溶融ガラスが導体であ
ることを利用し、ガラス液面とレベルセンサ用導体とが
非接触のとき開放し、接触したときに閉じる検出用回路
を設け、この検出用回路の開閉によって液面レベルを検
出するようにしたものを採用することが可能である（特
公昭５７−５９２１６号公報参照）。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上述した減圧脱泡装置においては、脱泡処理
過程で気泡と共にイオンが生成され、このイオンが真空
ハウジング内に充満するという現象が起こる。

この場合において、上述したような液面計を採用すると
、上記ガラス液面にレベルセンサ用導体が接触しない状
態であっても、真空ノ＼ウジング内のイオンを媒介とし
てガラス液面とレベルセンサ用導体とが短絡して検出用
回路が閉じるという事態を生じ、液面レベルを誤検出し
てしまう。

　− − このため、液面レヘルを正確に検出することができず、
溶融ガラスの液面レベルを監視する上で不充分であった
。

また、減圧脱泡装置においては、脱泡処理過程で多くの
気泡か発生するか、真空ハウジング内に気泡が充満し過
ぎると、脱泡処理過程に悪影響を及ぼずので、所定量の
気泡が発生した時点でその気泡を消滅させるというよう
な手段を施すことが必要になる。

この要請下においては、溶融ガラスの発生気泡量に対応
する泡面レベルの検出精度を高め、泡面レベルをいかに
正確に監視するかが技術的課題になる。

尚、このような技術的課題は、溶融ガラスばかりでなく
、導電性の溶融金属等を減圧脱泡する際においても同様
に生ずるものである。

この発明は、以上の技術的課題に着目してなされたもの
であって、減圧脱泡装置内の高温溶融物の状態レベルを
正確に検出することができ、もって、状態レベルの監視
を確実なものにすることができる脱泡装置の監視方法及
びその装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

すなわち、この発明に係る減圧脱泡装置の監視方法は、
真空吸引される真空ハウジング内に減圧脱泡槽を配設し
、この減圧脱泡槽内に導電性の高温溶融物を連続的に導
入して脱泡処理を行った後に外部に導出するようにした
減圧脱泡装置において、上記高温溶融物の状態レベルを
監視するに際し、真空ハウジング内に充満する外乱要因
発生物の影響を取り除いた条件下にて、上記高温溶融物
の状態レベルを検出するようにしたものである。

このような方法発明において、上記外乱要因発生物とし
ては、検出対象状態レベルが高温溶融物の液面レベルで
あれば、真空ハウジング内に充満するイオン、気泡が対
象となり、一方、検出対象状態レベルが高温溶融物の泡
面レベルであれば、真空ハウジング内に充満するイオン
のみが対象となる。

また、外乱要因発生物の影響を取り除くための条件設定
としては、外乱要因発生物の抵抗に着目するもののほか
、その抵抗に付随する電流、電圧等のパラメータに着目
したり、整流作用による直流電位変化に着目するもの（
真空ハウジング内にはイオンが充満している関係上、例
えば、真空ハウジング内にレベル検出用電極を一対配置
しておけば、両電極間には等価的にタイオードが付加さ
れたものになる。この場合、高温溶融物の検出対象レベ
ル面に一対の電極が接触すれば、電極間が短絡されて直
流分が消弧するため、この直流分の変化でレベル検出が
可能になる。）が挙げられる。

また、上記方法発明を実現する装置発明は、第１図（ａ
）に示すように、真空吸引される真空ハウジング■内に
減圧脱泡槽２を配設し、この減圧脱泡槽２内に導電性の
高？Ｍｒ　ｍ融物Ｇを連続的に導入して脱泡処理を行っ
た後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置を前提と
し、上記真空ハウジングｌ内に配置されて高温溶融物Ｇ
の状態レベルを検出するレベルセンサ３と、このレベル
センサ３が高温溶融物Ｇの検出対象状態レベル面に接触
したことを判別し、状態レベル検出信号を出力するレベ
ル検出回路４とを備え、レベル検出回路４の出力に応じ
て上記高温溶融物Ｇの状態レベルを監視する監視装置で
あって、上記レベル検出回路４内には、真空ハウジング
ｌ内での外乱要因発生物に基づく抵抗性が付加された条
件下ではレベルセンサ３の接触状態の判別動作が禁止さ
れるセンサ感度調整手段５を設けたことを特徴とするも
のである。

このような装置発明において、上記レベルセンサ３とし
ては、真空ハウジング゛１内に充満するイオンによる誤
動作を極力防止するという観点から、真空ハウジングｌ
内に露呈するセンサ電極の検出部以外を絶縁被覆するこ
とが好ましく、絶縁性をより確実に保つには、絶縁性の
段付き二重管にて絶縁被覆することが特に好ましい。

また、レベルセンサ３及びレベル検出回路４としては、
目的に応じて高温溶融物Ｇの液面レベル検出系だけでも
よいし、あるいは、発生する気泡の泡面レベル検出系だ
けでもよいし、あるいは、　− ０両者を同時に備えたものでもよいが、減圧脱泡装置を確
実に監視するという観点からすれば、両者を同時に備え
たものが好ましい。尚、発生する気泡を常時破壊するよ
うな手段を付設すれば、液面レベル検出系だけで、減圧
脱泡装置を確実に監視することが可能である。

更に、センサ感度調整手段５としては、レベルセンサ３
の電極と検出対象状態レベル面との接触時の抵抗を考慮
し、これより大きい抵抗の場合には両者を非接触状態に
すべく感度調整されるものであれば、適宜設計変更する
ことができる。

更にまた、上記レベル検出回路４からの状態レベル検出
信号に応じて高温溶融物の状態レベルを監視する態様と
しては、液面レベルや泡面レベルを自動制御したり、状
態レベルを確認できるようにしたり適宜設計変更するこ
とができる。

更にまた、高温溶融物Ｇの液面レベルを検出対象とする
場合において最適化される装置発明は、第１図（ｂ）に
示すように、上記真空ハウジング１内に配置されて高温
溶融物Ｇの液面レベルを検出する液面レベルセンサ３ａ
と、センサ感度調整手段５にて、真空ハウジング１内で
の外乱要因発生イオン及び気泡に基づく抵抗分が付加さ
れた条件下では液面レベルセンサ３ａの接触状態の判別
動作を禁止設定する液面レベル検出回路４ａと、この液
面レベル検出回路４ａの出力に応じて真空ハウジング１
内に導入する高温溶融物Ｇの液面レベルが制御される液
面レベル制御手段６とを備えたことを特徴とするもので
ある。

このタイプにおいて、上記液面レベル制御手段６として
は、導入される高温溶融物Ｇの温度を制御したり、真空
ハウジング１内の圧力を制御したり、高温溶融物Ｇの導
入量を制御したり、これらを適宜組み合わせる等適宜設
計変更することができる。

また、高温溶融物Ｇの泡面レベルを検出対象とする場合
において最適化される装置発明は、第１図（ｃ）に示す
ように、真空ハウジング１内に配置されて高温溶融物Ｇ
の発生気泡面レベルを検出する泡面レベルセンサ３ｂと
、センサ感度調整手段５にて、真空ハウジング１内での
外乱要因発生イオンに基づく抵抗分が付加された条件下
では泡面レベルセンサ３ｂの接触状態の判別動作を禁止
設定する泡面レベル検出回路４ｂと、この泡面レベル検
出回路４ｂの出力に応じて真空ハウジング１内に導入す
る高温溶融物Ｇの発生気泡を破壊する破泡手段７とを備
えたことを特徴とするものである。

このタイプにおいて、上記破泡手段７としては、発生気
泡に所定の気体を吹き付けて気泡を破壊する等適宜設計
変更して差し支えないが、少なくとも、脱泡処理動作を
損なうことなく、真空ハウジング１内の真空度を保持す
ることができるように設計することが必要である。

〔作用〕

この発明に係る減圧脱泡装置の監視方法においては、高
温溶融物の状態レベルは外乱要因発生物の影響のない条
件下で検出されるため、高温溶融物の状態レベルが外乱
要因発生物に基づき誤検出されることはない。

また、第１図（ａ）に示す減圧脱泡装置の監視装置の作
用について、検出対象を高温溶融物Ｇの液面レベルと仮
定して説明する。

今、第２図（ａ）に示すように、レベルセンサ３の電極
と高温溶融物Ｇの液面との間の抵抗（以下作用欄では接
触抵抗という）をＲとすれば、上記レベルセンサ３の電
極と高温溶融物Ｇの液面とが非接触であるが、両者が浮
遊イオンにて短絡した場合Ａ（第２図（ａ）実線の状態
）と、上記レベルセンサ３の電極と高温溶融物Ｇの液面
とが接触した場合Ｂ（第２図（ａ）仮想線の状態）とで
は、上記レベルセンサ３の接触抵抗Ｒは、第２図（ｂ）
に示すように、ＲＨ、ＲＧ　　（ＲＨ＞ＲＧ　）に変化
する。

このため、上記センサ感度調整手段５にて、上記レベル
センサ３の検出感度レベルＭを上記接触抵抗Ｒ）（とＲ
Ｇとの中間の抵抗レベルに予め設定し、レベルセンサ３
の接触抵抗か検出感度レベルＭ以下で上記レベル検出回
路４の検出動作を行わせるようにしておけば、上記レベ
ル検出回路４は、３４レベルセンサ３の電極が高温溶融物Ｇの液面に接触した
ときのみ状態レベル検出信号（液面レベル検出信号）を
出力する。

尚、泡面レベルを検出する際には、レベルセンサ３の電
極が検出対象レベル面である泡面に接触した場合と非接
触状態で短絡した場合とのレベルセンサ３の接触抵抗を
夫々求め、その中間の抵抗レベルをレベルセンサ３の検
出感度レベルとして設定するようにすればよい。

また、第１図（ｂ）に示す減圧脱泡装置の監視装置にお
いては、液面レベルセンサ３ａが高温溶融物Ｇの液面に
接触すると、センサ感度調整された液面レベル検出回路
４ａが液面レベル検出信号を出力し、この液面レベル検
出信号に基づいて液面レベル制御手段６が液面レベルを
制御する。

更にまた、第１図（ｃ）に示す減圧脱泡装置の監視装置
においては、泡面レベルセンサ３ｂが高温溶融物Ｇの泡
面に接触すると、センサ感度調整された泡面レベル検出
回路４ｂが泡面レベル検出信号を出力し、この泡面レベ
ル検出信号に基づいて破泡手段７が作動し、所定レベル
を越えた発生気泡を破壊する。

〔実施例〕

以下、添付図面に示す実施例に基づいてこの発明の詳細
な説明する。

◎全体プロセスの概要第３図は、溶融ガラスを脱泡処理して次の処理炉に連続
的に供給するプロセス例を示す。

同図において、符号１０は溶融ガラスＧを板状電極１０
ａにて加熱する溶解槽、１１は溶解槽１０の側壁下部に
連通接続されて溶解槽１０からの溶融ガラスＧを図示外
のヒータにて加熱しながら導く案内ダクト、１２は案内
ダクト１１に接続されて溶融ガラスＧを一時的に貯溜す
る貯溜タンク、１３は貯溜タンク１２に貯溜した溶融ガ
ラスＧを減圧条件下において脱泡処理する減圧脱泡装置
、１４は上記貯溜タンク１２に連通接続されて上記減圧
脱泡装置１３にて脱泡処理された溶融ガラスＧが導入さ
れる案内ダクト、１５は上記貯溜タンク１２と案内デク
ｌ−１４との連通状態を通常時において塞ぐ仕切板、１
６は上記案内ダクト１４の出口側に配設されて脱泡処理
後の溶融ガラスＧを成形処理する成形処理炉である。尚
、案内ダクト１４中にも溶融ガラスＧを加熱するヒータ
（図示せず）が配設されている。

この実施例において、上記減圧脱泡装置１３は、真空ポ
ンプ２０によって真空吸引されるステンレス製の真空ハ
ウジング゛２１を有し、この真空ハウジング２１内に減
圧脱泡槽２２を配設したものである。そして、上記減圧
脱泡槽２２の底部−側には白金からなる上昇管２３が連
通接続されており、減圧脱泡槽２２の底部他側には同じ
く白金からなる下降管２４か連通接続されており、上記
上昇管２３及び下降管２４の下端部は夫々貯溜タンク１
２、案内デク１−１４内の溶融ガラスＧに浸漬するよう
になっている。　　　　　　　　　　　　また、この実
施例においては、上記減圧脱泡槽２２は、発生した気泡
が追従移動しないように、順次連通接続された三つの槽
２２ａ、　２２ｂ、　２２ｃに分離配置されている。

◎監視装置の基本構成第４図は減圧脱泡装置の監視装置の基本構成を示す。

同図において、符号３１は上記減圧脱泡槽２２の第三槽
２２ｃに対応した箇所に配設される液面レベルセンサ、
符号３２は上記減圧脱泡槽２２の第一槽２２ａに対応し
た箇所に配設される泡面レベルセンサ、５１は上記液面
レベルセンサ３１と溶融ガラスＧの液面との接触状態を
検出する液面レベル検出系、５２は上記泡面レベルセン
サ３２と溶融ガラスＧの泡面との接触状態を検出する泡
面レベル検出系、８０は液面レベル検出系５１からの液
面レベル検出信号に基づいて溶融カラスＧの温度を制御
する温度コントロール系、］００は液面レベル検出系５
■からの液面レベル検出信号に基づいて真空ハウジング
２１内の圧力を制御する圧力コントロール系、１２０は
液面レベル検出系５１からの異常レベル検出信号に基づ
いて減圧脱泡装置１３の運転を即座に停止させる異常時
コントロール系、１３０は上記泡面レベル検出系５７− １　　只２からの泡面レベル検出信号に基づいて発生気泡を破壊
する破泡コントロール系である。

◎レベルセンサ第５図は液面レベルセンサ３１及び泡面レベルセンサ３
２の詳細を示す。

上記液面レベルセンサ３１は、真空ハウジング２１の外
に配置されるセンサ基板３３に白金線からなる三つの電
極３４（具体的には３４ａ、３４ｂ。

３４ｃ）を取り付け、夫々の電極の先端側を真空ハウジ
ング２１内に露呈配置したものであり、第一の電極３４
ａは先端が常時溶融ガラスＧ内に浸漬配置される共通電
極として機能し、第二の電極３４ｂは先端が溶融ガラス
Ｇの基準となる液面レベル位置Ｌ１に対応して配置され
る液面レベル検出用電極として機能し、第三の電極３４
ｃは先端が溶融ガラスＧの液面異常レベル位置Ｌ２に対
応して配置される異常検出用電極として機能するように
なっている。

また、上記泡面レベルセンサ３２は、真空ハウジング２
１の外に配置されるセンサ基板３５に白金線からなる二
つの電極３６（具体的には３６ａ。

３６ｂ）を取り付け、夫々の電極の先端側を真空／”ｔ
ウジフグ２１内に露呈配置したものであり、第一の電極
３６ａは先端が常時溶融ガラスＧ内に１ｍ配置される共
通電極として機能し、第二の電極３６ｂは先端が溶融ガ
ラスＧからの発生気泡ＡＲの規制すべき泡面レベル位置
Ｌ３に対応して配置される泡面レベル検出用電極として
機能するようになっている。

更に、この実施例において、各電極３４．３６は、第６
図に示すように、先端の検出部４０を残して絶縁管４１
で被覆されており、この絶縁管４１を介して真空ハウジ
ング２１の土壁の取付孔４６に嵌挿固定されている。そ
して、上記絶縁管４１は、ポーセレン製の内管４２及び
外管４３からなる二重管構造になっており、上記外管４
３の検出部４０側端は内管４２の検出部４０側端より上
方に位置し、内管４２と外管４３との間に段付き部４４
が形成されている。この段付き部４４は、外管４３の周
面に付着した気散イオンが電極３４゜３６部分へ回り込
んで短絡する事態を効果的に阻止する働きをするもので
あり、絶縁効果をより確実なものにしている。

◎レベル検出系第７図は液面レベル検出系５１及び泡面レベル検出系５
２の具体的な回路を示す。

上記液面レベル検出系５１は基準液面レベル検出系５１
ａ及び異常液面レベル検出系５１ｂからなり、夫々の液
面レベル検出系５１ａ、５１ｂ及び泡面レベル検出系５
２は略同様な回路構成になっている。

同図において、符号５３は外部の交流電源、５４は交流
電源５３の電圧を適宜レベルの交流電圧に降圧させる第
一トランスであり、この第一トランス５４の二次側コイ
ル５４ａ、５４ｂ、５４ｃのうち５４ａ、５４ｂから誘
起される電圧が第ニドランス５５．第三トランス５６の
一次側電圧として供給され、一方、５４ａ、５４ｃから
誘起される電圧が後述するトランジスタからなるスイッ
チング素子５７のコレクタ端子に供給されるようになっ
ている。

また、第ニドランス５５の二次側コイル５５ａは所定範
囲で可変する感度調整抵抗５８（抵抗値をＲｆで示す）
に接続されて閉回路を構成しており、第三トランス５６
の二次側コイル５６ａは電解泡発生防止のための直流成
分カット用コンデンサ５９と直列接続され、レベルセン
サ３１若しくは３２の対象電極端子Ｅ　ｌ　１１　Ｅ　
１□あるいはＥＥ　１３あるいはＥ２．、Ｅ２２に接続
されている。

更に、上記第ニドランス５５及び第三トランス５６の一
次側コイルの接続端から取り出される検出出力が抵抗６
０．６１の案分比率に基づき上記スイッチング素子５７
のベース端子に人力されるようになっている。また、符
号６２はスイッチング素子５７のコレクタ電流調整用抵
抗、６３．６４はスイッチング素子５７のエミッタ電圧
を所定レベルの検出電圧に変換するための抵抗、６５は
上記検出電圧を平滑化する電界コンデンサ、６６は上記
検出電圧が入力されたときに開閉する書間接点ａ（具体
的にはａ　１．　ａ　２．　ａ　３）、常閉接点ｂ１２（具体的にはｂ　ｌ＋　ｂ　２．　ｂ　３）及び共通接
点Ｃ（具体的にはＣ＋、　Ｃ２，Ｃ３）を有し、ａ接点
が閉じた際に所定のレベル検出信号（具体的にはａ１接
点が閉じた際には液面レベル検出信号、ａ２接点が閉じ
た際には異常レベル検出信号、ａ３接点が閉じた際には
泡面レベル検出信号）を出力するボルテージセンサであ
る。

また、上記液面レベル検出系５１の感度調整抵抗５８は
レベルセンサ３１と溶融ガラスＧの液面との接触抵抗の
大きさにより最適感度を得るための調整抵抗であり、こ
の感度調整抵抗５８の抵抗値Ｒｆは、例えば第８図（ａ
）に示すように、レベルセンサ３１と溶融ガラスＧの液
面との接触抵抗をＲＧ（ガラス素性により７〜１４０Ω
程度の範囲で変化）とし、第ニドランス５５及び第三ト
ランス５６の二次側電圧を夫々Ｅ／２．スイッチング素
子５７のベース端子へ印加される検出出力をｅとすれば
、ｅ　＝Ｅ／　２−　（ＲＧ　−Ｅ）　／　（Ｒｆ　＋Ｒ
Ｇ　）（１）を満足する範囲で設定される。

例えば、ＲＧ＝１４０Ω、　　Ｅ　＝　２４　ｍ、　ｅ
　＝　５（Ｖ）とすれば、Ｒｆ＃３４０Ω程度に設定さ
れることになる。

一方、上記泡面レベル検出系５２の感度調整抵抗５８の
抵抗値Ｒｆは、例えば第８図（ｂ）に示すように、レベ
ルセンサ３１と溶融ガラスＧの泡面との接触抵抗をＲＡ
（１４０〜２００Ω程度）とし、第ニドランス５５及び
第三トランス５６の二次側電圧を夫々Ｅ／２．スイッチ
ング素子５７のベース端子へ印加される検出出力をｅと
すれば、ｅ＝Ｅ／２−（ＲＡ　−Ｅ）／　（Ｒｆ　＋Ｒ
Ａ　）・・・（２）を満足する範囲で設定される。

次に、基準液面レベル検出系５１ａを例に挙げて、その
作動を第９図及び第１０図に示すタイミングチャートに
従って説明する。

今、上記液面レベルセンサ３１の液面レベル検出用電極
である第二電極３４ｂが溶融ガラスＧの液面に接触して
いない場合には、上記（１）式において、ＲＧ→■Ω側
（実際にはイオン充満大気であるため、ＲＧ＃６００Ω
程度）にあるため、検出出力ｅはｅ＝−Ｅ／２になり、
入力電圧と位相が反転する。このため、第９図に示すよ
うに、上記スイッチング素子５７のベース電圧とコレク
タ電圧とは位相が１８０°ずれた状態で入力される。こ
の結果、スイッチング素子５７のエミッタ電圧はゼロに
なってしまい、ボルテージセンサ６６へは検出電圧が入
力されず、ボルテージセンサ６６からは液面レベル検出
信号は出力されない。

一方、上記液面レベルセンサ３１の液面レベル検出用電
極である第二電極３４ｂが溶融ガラスＧの液面に接触し
た場合には、上記（１）式において、ＲＧ→０Ω側に近
づくため、検出出力ｅ＝Ｅ／２となる。このため、第１
Ｏ図に示すように、上記スイッチング素子５７のベース
電圧は整流されると共に、コレクタ電圧はベース電圧と
同位相で入力される。この結果、スイッチング素子５７
は上記ベース電圧とコレクタ電圧とが同位相で同時に入
力されたときだけオン動作し、エミッタ電圧を出力する
。このとき、上記エミッタ電圧は電界コンデンサ６５に
て平滑化され、ボルテージセンサ６６へ検出電圧として
入力されることになり、ボルテージセンサ６６からは液
面レベル検出信号が出力される。

尚、異常液面レベル検出系５１ｂや泡面レベル検出系５
２についても、上述したのと略同様に、対象となるレベ
ルセンサ電極が溶融ガラスＧの液面若しくは泡面に接触
したときのみ、ボルテージセンサ６６から異常レベル検
出信号、泡面レベル検出信号が出力される。

◎液面レベルコントロール第１１図は溶融ガラスＧの液面レベルをコントロールす
る温度コントロール系８０及び圧力コントロール系１０
０の詳細を示す。

温度コントロール系８０は、減圧脱泡装置１３の上昇管
２３．下降管２４の下端側に夫々挾みヒータ８１，８２
を配設し、各挟みヒータ８１，８２のパワーをヒータコ
ントローラ８３で制御するものである。この場合におい
て、上記ヒータコン５６トローラ８３は、第１２図に示すように、ベースパワー
及びコントロールパワーを予め設定しておき、基準液面
レベル検出系５１ａからの液面レベル検出信号に基づい
てパワーを増減し、溶融ガラスＧの粘度を変化させて溶
融ガラスＧの液面を一定に保つように動作する。

また、圧力コントロール系１００は、真空ハウジング２
１に配管１０１を介して連通接続される真空ポンプ１０
２と、真空圧を調整する真空圧調整弁１０３と、真空ハ
ウジング２１の真空度を検出する差圧発振器１０４と、
基準液面レベル検出系５１ａからの液面レベル検出信号
及び差圧発振器１０４からの圧力信号に基づいて真空圧
調整弁１０３を制御する圧力コントローラ１０５とを備
えている。この場合において、上記圧ツノコントローラ
１０５は、第１２図に示すように、ベース圧力及びコン
トロール圧力を夫々の設定器１０５ａ。

１０５ｂにて予め設定しておき、液面レベル検出信号に
基づいて真空ハウジング２１内の真空圧を増減し、溶融
ガラスＧの液面を一定に保つように動作する。

尚、第１１図において、符号１０６は差圧発振器１０４
からの圧力変動をモニタするためのペンレコーダ、１０
７は緊急時において真空ポンプ１０２との連通状態を遮
断する緊急遮断弁、１０８は配管１０１の各所に設けら
れる開閉弁である。

◎破泡コントロール第１３図は破泡コントロール系１３０の詳細を示す。

同図において、符号１３１は窒素等の破泡気体が貯溜さ
れる破泡用タンク、１３２は減圧脱泡槽２２の第一槽２
２ａの溶融ガラスＧＭ面近傍に向けて配設される噴射ノ
ズル、１３３は破泡用タンク１３１と噴射ノズル１３２
との間を連通接続する配管、１３４は上記配管１３３の
途中に介装される電磁開閉弁である。

そして、上記泡面レベル検出系５２から泡面レベル検出
信号が出力された段階で、上記電磁開閉弁１３４を所定
時間開放するようにすれば、破泡用タンク１３１からの
破泡気体が噴射ノズル１３２を介して第一槽２２ａ上方
の発生気泡ＡＲに吹き付けられ、発生気泡ＡＲが破壊さ
れる。

それゆえ、真空ハウジング２１内に発生気泡ＡＲが不必
要に充満することはなく、減圧脱泡装置１３内での脱泡
処理は常時安定して行われる。

◎応用例上記実施例において用いられたレベル検出装置は、減圧
脱泡装置で生ずる発生イオン等の外乱要因に対して有効
であるか、検出物が高電位であっても誤動作することか
ないため、通常の電気溶融炉の素地面レベル計としても
使用することができる。この場合、感度調整抵抗５８を
適宜レベルに調整しておけば、レベルセンサが溶融ガラ
ス等の液面に完全に接触した状態と、糸引き状態でレベ
ルセンサが溶融ガラス等の液面に接触した状態とを区別
することが可能になり、糸引き現象によるレベルセンサ
の誤検出を有効に回避することができる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、請、水環１記載の減圧脱泡装
置の監視方法によれば、減圧脱泡装置内の高温溶融物の
状態レベルを検出する上で、外乱要因発生物の影響を取
り除くようにしたので、高温溶融物の状態レベルを正確
に検出することができ、その分、高温溶融物の状態レベ
ルを確実に監視することができる。

また、請求項２記載の減圧脱泡装置の監視装置によれば
、外乱要因発生物の抵抗分を考慮してレベルセンサの感
度調整を検出回路側で行い、外乱要因発生物の影響を取
り除くようにしたので、装置構成を複雑にすることなく
、高温溶融物の状態レベルを正確に検出することができ
、その分、装置の簡略化を図りながら、高温溶融物の状
態レベルを確実に監視することができる。

特に、請求項３記載の減圧脱泡装置の監視装置によれば
、真空ハウジング内に露呈するレベルセンサの電極のう
ち検出部以外は絶縁性の段付き二重管にて被覆されてい
るので、レベルセンサの電極部分での不必要な短絡現象
を回避することができることは勿論、イオン等の外乱抵
抗の影響を極　９− ０カ少なくすることかでき、しかも、検出感度調整抵抗の
調整範囲を少なくすることかできる。

そしてまた、請求項４記載の減圧脱泡装置の監視装置に
よれは、高温溶融物の液面レベル及び泡面レベルを正確
に検出することができるので、夫々の検出信号に基づい
て高温溶融物の液面レベル及び泡面レベルを監視するこ
とが可能になり、その分、減圧脱泡装置の運転状態を極
めて安定させることができる。

更に、請求項５記載の減圧脱泡装置の監視装置によれば
、高温溶融物の液面レベルを正確に検出し、この検出信
号に基づいて液面レベルを制御するようにしたので、高
温溶融物の液面レベルを極めて精度良く一定に保持する
ことができ、その分、高温溶融物の流出条件を極めて均
一にすることが可能になり、高温溶融物の液面レベルの
監視装置としての最適化を図ることができる。

更にまた、請求項６記載の減圧脱泡装置の監視装置によ
れば、高温溶融物の泡面レベルを正確に検出し、この検
出信号に基ついて発生気泡を効率的に破壊するようにし
たので、真空ハウジング内に発生気泡が不必要に充満す
る事態を確実に回避することができ、その分、脱泡処理
能力を安定的に維持することが可能になり、高温溶融物
の泡面レベルの監視装置としての最適化を図ることかで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）ないしくｃ）はこの発明に係る減圧脱泡装
置の監視装置の概略構成を示す説明図、第２図（ａ）（
ｂ）は第１図（ａ）に係る装置の基本的作用を示す説明
図、第３図はこの発明が適用された減圧脱泡装置の一実
施例を組み込んだプロセス例を示す斜視図、第４図は実
施例に係る減圧脱泡装置の監視装置の概略構成を示す説
明図、第５図は実施例に係るレベルセンサの詳細を示す
説明図、第６図は実施例に係るレベルセンサの電極周り
の詳細を示す説明図、第７図は実施例で用いられるレベ
ル検出回路の詳細を示す回路図、第８図（ａ）（ｂ）は
実施例で用いられるレベル検出回路の感度調整抵抗値の
設定の仕方を示す説明図、第９図及び第１Ｏ図は実施例
で用いられるレベルセンサの検出動作過程を示すタイミ
ングチャート、第１１図は実施例で用いられる温度コン
トロール系及び圧力コントロール系の詳細を示す説明図
、第１２図は第１１図の温度コントロール系及び圧力コ
ントロール系の動作過程を示すタイミングチャート、第
１３図は実施例で用いられる破泡コントロール系の詳細
を示す説明図である。〔符号の説明〕Ｇ・・・導電性高温溶融物１・・・真空ハウジング２・・・減圧脱泡槽３・・・レベルセンサ３ａ・・・液面レベルセンサ３ｂ・・・泡面レベルセンサ４・・・レベル検出回路４ａ・・・液面レベル検出回路４ｂ・・・泡面レベル検出回路５・・・センサ感度調整手段６・・・液面レベル制御手段７・・・破泡手段

Claims

【特許請求の範囲】１）真空吸引される真空ハウジング（１）内に減圧脱泡
槽（２）を配設し、この減圧脱泡槽（２）内に導電性の
高温溶融物（Ｇ）を連続的に導入して脱泡処理を行った
後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置において、上記高温溶融物（Ｇ）の状態レベルを監視するに際し、真空ハウジング（１）内に充満する外乱要因発生物の影
響を取り除いた条件下にて、上記高温溶融物（Ｇ）の状
態レベルを検出するようにしたことを特徴とする減圧脱
泡装置の監視方法。２）真空吸引される真空ハウジング（１）内に減圧脱泡
槽（２）を配設し、この減圧脱泡槽（２）内に導電性の
高温溶融物（Ｇ）を連続的に導入して脱泡処理を行った
後に外部に導出するようにした減圧脱泡装置において、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物（
Ｇ）の状態レベルを検出するレベルセンサ（３）と、こ
のレベルセンサ（３）が高温溶融物（Ｇ）の検出対象状
態レベル面に接触したことを判別し、状態レベル検出信
号を出力するレベル検出回路（４）とを備え、レベル検
出回路（４）の出力に応じて上記高温溶融物（Ｇ）の状
態レベルを監視する監視装置であって、上記レベル検出回路（４）内には、真空ハウジング（１
）内での外乱要因発生物に基づく抵抗分が付加された条
件下ではレベルセンサ（３）の接触状態の判別動作が禁
止されるセンサ感度調整手段（５）を設けたことを特徴
とする減圧脱泡装置の監視装置。３）請求項２記載のものにおいて、レベルセンサ（３）は、真空ハウジング（１）内に露呈
するセンサ電極の検出部以外を絶縁性の段付き二重管に
て被覆したものであることを特徴とする減圧脱泡装置の
監視装置。４）請求項２又は３いずれかに記載のものにおいて、上記レベルセンサ（３）及びレベル検出回路（４）は、
高温溶融物（Ｇ）の液面レベル検出系と、高温溶融物（
Ｇ）の発生泡レベル検出系とを備えていることを特徴と
する減圧脱泡装置の監視装置。５）請求項２ないし４いずれかに記載のものにおいて、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物（
Ｇ）の液面レベルを検出する液面レベルセンサ（３ａ）
と、センサ感度調整手段（５）にて、真空ハウジング（１）
内での外乱要因発生イオン及び気泡に基づく抵抗分が付
加された条件下では液面レベルセンサ（３ａ）の接触状
態の判別動作を禁止設定する液面レベル検出回路（４ａ
）と、この液面レベル検出回路（４ａ）の出力に応じて真空ハ
ウジング（１）内に導入する高温溶融物（Ｇ）の液面レ
ベルが制御される液面レベル制御手段（６）とを備えた
ことを特徴とする減圧脱泡装置の監視装置。６）請求項２ないし４いずれかに記載のものにおいて、上記真空ハウジング（１）内に配置されて高温溶融物（
Ｇ）の発生気泡面レベルを検出する泡面レベルセンサ（
３ｂ）と、センサ感度調整手段（５）にて、真空ハウジング（１）
内での外乱要因発生イオンに基づく抵抗分が付加された
条件下では泡面レベルセンサ（３ｂ）の接触状態の判別
動作を禁止設定する泡面レベル検出回路（４ｂ）と、この泡面レベル検出回路（４ｂ）の出力に応じて真空ハ
ウジング（１）内に導入する高温溶融物（Ｇ）の発生気
泡を破壊する破泡手段（７）とを備えたことを特徴とす
る減圧脱泡装置の監視装置。