JP2826785B2 - 投影露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光剤を塗布したウエ
ハ等の基板にマスク像を転写する露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１７は超高圧水銀灯からの紫外光を利
用して感光剤を塗布したウエハにマスク像を転写する反
射型投影露光装置の照明光学系と投影光学系の配置を示
している。同図において、超高圧水銀灯１からの光源光
は光学部品２，４〜８から作られる光路を通り、スリッ
ト９で有効光をスリット状光にして、ミラー１０で反射
し、ハーフミラー１１で光路を２分し、一方は照明照度
を一定に保つ目的で取り付けられた光量モニターセンサ
１２とシャッター１３にそれぞれ入射する。

【０００３】シャッター１３が開くことにより、露光に
使用する前記スリット状光は、ミラー１４，１５で反射
され、マスク１６に入射する。マスク１６の投影光はミ
ラー１７〜１９より構成される投影光学系で反射され、
ウエハ２２に転写可能となる。すなわちシャッター１３
の開閉により、投影光が投影光学系に入射するか否かを
制御できる機構となっている。

【０００４】実際の露光動作については以下の点が重要
となっている。本装置は露光方式として、平行度を保っ
たマスクとウエハに対しスリット状光を等速で走査露光
する方式を取っているため、露光動作中は露光量を一定
に保たねばならない。そのためには露光中は投影光のマ
スク像面での照度を一定に保つことが必要となってい
る。そして、ウエハ露光工程における露光条件を等速走
査露光するスピードで管理できるようにするためには、
繰り返しの毎回の露光時の照度を一定に保つことも必要
となっている。そのためには超高圧水銀灯は、安定した
状態で点灯していなければならない。

【０００５】超高圧水銀灯は、構造上の特性から点灯
（起動）後安定した照度を得るためには、内部の水銀の
蒸気圧が安定することが必要であり、上述した露光用と
しては起動後数十分時間をおかないと使用できない。ま
た、起動時には高電圧を印加する必要があり、露光装置
の電源が入っている状態では高電圧による放電ノイズに
より露光装置が誤動作するため、装置電源を落とした状
態でなければ起動動作はできない。すなわち反射型投影
露光装置は、装置が稼働している状態では超高圧水銀灯
は常に点灯していなければならないし、かつ繰り返しの
露光動作中は照度が一定であることが必要不可欠となっ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来例にあるように反
射型投影露光装置では、投影露光の光源である超高圧水
銀灯が常に点灯状態になっていることが多いために、光
路がシャッターより光源に近い光学部品は常に強烈な紫
外線に照射されている。光学部品であるミラーおよびレ
ンズには反射率や透過率をコントロールするための各種
の多層膜が表面にコーティングされており、長年紫外線
に照射されているうちに、これらの膜が劣化したり、強
い紫外線によって膜の表面に空気中に浮遊するある種の
ガスが析出し、透過率または反射率が下がるといった問
題がある。

【０００７】また、反射型投影露光装置では繰り返しの
露光動作中は照度を一定にするため、光量モニターセン
サ１２に入射する光量を一定に保つように超高圧水銀灯
１に供給する電力を制御するフィードバックループを、
光量モニターセンサ１２と超高圧水銀灯１と図示しない
点灯装置とにおいて構成している。超高圧水銀灯は、長
時間点灯すると、その発光効率が点灯時間につれて段々
と劣化するため、供給電力を増やすことでこれを補って
いる。フィードバックループを構成していると、長時間
のレンジで見れば電力は連続的に増加することになる。
この点灯方式は定照度点灯方式と呼ばれる。

【０００８】定照度点灯を超高圧水銀灯の寿命という観
点から捉えると、超高圧水銀灯に対する供給電力を上げ
れば上げる程、超高圧水銀灯は、電極の劣化および内部
温度の上昇に伴う水銀灯管面への異物の付着による透過
率劣化等で寿命が短くなってくる。

【０００９】 本発明は、上述の従来例における問題点
に鑑みてなされたもので、露光装置における照明系の寿
命の延長を図り、もって装置の稼働率の向上を図ること
を第の目的とする。具体的には、照明系を構成する照明
光学系および照明光源の寿命向上を図っている。

【００１０】

【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するため本発明の第１の局面では、照明光学系の光
源にできるだけ近い位置に、従来例にもある露光用に用
いる第１シャッターとは別に第２のシャッターを配置す
る。この第２シャッターは、装置が露光動作を行なうま
では閉じるようにすることで、強い紫外線が照明光学系
に配置された光学部品に常には照射しなくすることによ
り、光学部品の膜の劣化およびガスの析出による異物の
付着を抑えるようにした。

【００１１】 光源は、上述のように光量モニターセン
サで光源からの光の光量を検知する光量モニターセンサ
の出力に基づいて定照度（定輝度）点灯されることが多
い。この場合、光量モニターセンサが第２シャッターよ
り後ろ側にあると、第２シャッターが閉じた際、光量モ
ニターセンサに光が入射しなくなることで、超高圧水銀
灯は定照度制御されないばかりか、供給電力が上限状態
まで増加する動作となり、超高圧水銀灯を劣化させるこ
とになる。そこで本発明の第１の実施態様においては、
第２シャッターが開放状態の場合は定照度点灯を行なう
が、閉じているときは点灯方式を定電流方式または定電
力方式に切り換えることによって、照明光源に対して過
大電力を供給することを防止するようにした。

【００１２】また、定電流または定電力点灯時と定照度
点灯時とで照度の差が大きいと、定電流または定電力点
灯状態から定照度点灯状態に切り換わった際、照度が安
定するのに時間がかかり、すぐに露光すると露光むらが
発生し、また照度が安定するまで待って露光するとスル
ープットが下がることになる。そこで本発明の第２の実
施態様においては、第２シャッターが遮断状態である場
合の定電流または定電力点灯は第２シャッターが閉じる
直前の電力を保持するように制御している。

【００１３】 また、第２シャッターが遮断状態から開
放状態に移行する際に光源の点灯方式が前記定電力また
は定電流方式から定照度方式に切り換わる。その際に定
電力状態では光源の発光効率が時間経過と供に劣化する
ことから、定照度に復帰した際、定電力または定電流保
持状態より電力または電流を増加することになり、電力
または電流差が大きい場合は照度が安定状態になるのに
時間を必要とする。装置のシーケンス動作中、露光動作
の前に前記定電力または定電流と定照度の切り換えを行
なう必要がある。その際に照度が安定しないと露光むら
になるために安定するまで待つ必要がある。余り待つ時
間が長いとスループットが下がることになる。そこで本
発明の第３の実施態様においては、自動メンテナンス機
能を設けて装置がアイドル状態の時に自動で定電力また
は定電流点灯と定照度点灯の切り換えを行ない保持する
電力値を更新する機能を設けることによりこの問題を解
決した。すなわち第２シャッターの遮断している時間を
モニターする機能を設けて設定時間に達したら装置シー
ケンスがアイドル時に自動で第２シャッターの開閉動作
を行ない、保持電力を更新することで定電力または定電
流点灯から定照度点灯に切り換わった際の電力または電
流差を減らし、前記切り換わり応答の安定時間を減少さ
せ、スループットの低下を防止した。

【００１４】 上記の第２シャッターを設けたことによ
る問題は、第２シャッターが閉じることによって光量モ
ニターセンサへの光が遮断され、点灯装置に光量ゼロの
信号が入力されることにより生じる。本発明の第３の実
施態様においては、第２シャッターよりも光源側に前記
光量モニターセンサを設けるか、第２シャッターよりも
光源側に第２の光量モニターセンサを設けて第２シャッ
ター遮断時にも、光量モニター出力を点灯装置に供給で
きるようにしている。

【００１５】 本発明の第２の局面では、上記の目的を
達成するため、光源を点灯する点灯装置を定照度点灯モ
ードと定電力または定電流点灯モードとに切り換え可能
に構成し、かつ定電力または定電流点灯モード時は前記
定照度点灯モードから定電力または定電流点灯モードに
切り換わった際の電力または電流を保持するようにして
いる。

【００１６】 反射型投影露光装置においては、前記従
来例について説明した理由から、露光中は照度を一定に
保つため定照度点灯を行なう必要がある。ところが、露
光および照度測定動作以外では照度がある程度変化して
も問題はない。そこで、その間は光源に対して露光また
は照度測定動作終了時の電力を保持した定電力、または
露光または照度測定動作終了時の電流を保持した定電流
を供給して点灯することで、定照度点灯を連続して行な
った場合、すなわち供給電力が時間の経過とともに常時
増加する場合より供給電力増加の時間間隔を長くして前
記従来例における光源の劣化を軽減し、光源の寿命の延
長を図ることができた。

【００１７】

【実施例】

【００１８】実施例１ 図１は本発明の一実施例に係る反射投影型の露光装置の
概略図である。同図において、５０は露光装置の光源お
よび照明光学系を有する照明系、２０はマスク像をウエ
ハに転写する機構と不図示のアライメント機構と投影光
学系を有する本体である。３０は露光装置全体のシーケ
ンス動作をコントロールするＣＰＵを含むコントロール
ボックス、４０は露光装置の光源である超高圧水銀灯１
を点灯し、かつ点灯時の電力を制御する点灯装置であ
る。これらの各ユニットはケーブルを通して信号伝達お
よび電力供給を行なっている。

【００１９】照明系５０において、１は光源であるとこ
ろの超高圧水銀灯、２は水銀灯１の光源光を光路（一点
鎖線で示す）方向に収束させる球面鏡である。３は光学
部品保護用の第２シャッターで、前記従来例（図１７）
にも用いられている露光用の第１シャッター１３とは別
に設けられている。

【００２０】本投影露光装置が露光動作中は前記第２シ
ャッター３が開放状態になっており、水銀灯１および球
面鏡２で反射された光は一点鎖線で示した光路を通過
し、ミラー４、ミラー５、ミラー６、コンデンサーレン
ズおよびミラー８を経てスリット９へ入射する。スリッ
ト９で投影露光に使用する有効光を切り出しスリット状
光にする。スリット状光は凹面ミラー１０で反射され、
ハーフミラー１１を通して、照明照度を一定に保つ定照
度制御をする際使用する光量モニターセンサ１２へ入射
する光と本装置の露光用シャッターであるところの第１
シャッター１３へ行く光に分けられる。露光用シャッタ
ー１３は装置動作シーケンスが露光になると開放し、ス
リット状光がミラー１４および面ミラー１５で反射さ
れ、マスク１６に入射する。マスク１６とウエハ２２は
キャリッジ２１により一体に担持されており、一体移動
することにより、マスク１６に入射するスリット状光の
マスクに対する位置が移動し、マスク１６の全体投影像
がウエハ２２全面に転写される。

【００２１】前記のコントロールボックス３０は、装置
全体の動作シーケンスプログラムを記憶しているＲＯＭ
３１、前記動作シーケンスプログラムを演算したりシー
ケンス処理する中央処理装置（ＣＰＵ）３６、演算処理
データを記憶するＲＡＭ３２、装置各部の不図示のアク
チェータ信号を入出力するインターフェイス回路３３、
前記のキャリッジ２１を不図示のアクチェータを駆動し
て移動動作をさせるところのキャリッジ駆動回路３４、
露光用シャッター１３と第２シャッター３を不図示のア
クチェータを駆動させることにより開閉させるところの
シャッター駆動回路３５を備えている。

【００２２】水銀灯１は、点灯装置４０を点灯操作させ
ると、高電圧を印加するスターター４３を通して点灯
（起動）する。点灯装置４０は点灯動作モードを２つ有
している。１つは水銀灯１を定電流で点灯するモードで
ある。もう１つは照度（または輝度）を一定に保つ定照
度（または定輝度）モードである。水銀灯１は点灯（起
動）直後は前記定電流モードになっている。

【００２３】従来例で説明したように等速走査露光型の
露光装置では露光動作時は水銀灯１を定照度モードで使
用しなければならない。その定照度モードにおける照明
照度の基準値を設定するためには一旦手動にて定照度モ
ードに切換える必要がある。その際、第２シャッター３
が閉じていると光量モニターセンサ１２へ光が入射しな
くなるため、第２シャッター３を開放にする必要があ
る。そのため定照度モードに切り換える前に本体２０に
取付けられている不図示のスイッチを操作して、インタ
ーフェイス回路３３を通して、ＲＯＭ３１のシーケンス
リストにある特殊シーケンスを用いて、シャッター駆動
回路３５から不図示のアクチェータを動作させて第２シ
ャッターを開放にする。その状態で前記点灯装置４０の
操作パネルを操作し、手動にて水銀灯１を定照度モード
に切換える。その状態で照度計を本装置にセットし、照
度の設定値を点灯装置４０の操作パネルについているダ
イヤルを操作して設定する。

【００２４】本実施例の主眼点は露光シーケンス動作時
は定照度モードで水銀灯１を点灯させ、通常の露光シー
ケンス動作および前記照度測定動作以外の動作シーケン
スでは、第２シャッター３を閉じて照明光学系の光学部
品を保護することである。その際、点灯装置４０が定照
度モードのままで第２シャッター３を閉じると、点灯装
置４０の内部回路が光量モニターセンサ１２の光量が低
下したことにより水銀灯１への電力をリミット値まで増
大させてしまうことになる（露光シーケンス動作時等、
定照度制御が行なわれている時は光量モニターセンサ出
力は一定になっている）。そこで本装置では点灯装置４
０の点灯制御方式を切換えることでこの問題を解決して
いる。

【００２５】図２は本装置の動作シーケンスのうち露光
シーケンス前後の露光用シャッター１３および第２シャ
ッター３の開閉動作、ならびにその動作に伴う定照度モ
ードと定電流モードの切換えタイミングを示した図であ
る。同図において、６０は露光シーケンスを表わし、６
１は走査露光のためキャリッジの移動を示し、６２は露
光用シャッターの開閉のタイミング、６３は第２シャッ
ター３の開閉タイミングを表わしている。６４は定照度
モードと定電流モードの切換えタイミングを示す信号で
あり、図１においてインターフェイス回路３３から点灯
装置４０に対して入力される制御方式切換信号４２を示
している。６５は定照度モードの動作タイミング、６６
は定電流モードの動作タイミングを示している。

【００２６】タイミングチャート６３で紙面左側の第２
シャッター３が閉じている状態では、水銀灯１の制御方
式はタイミングチャート６６の紙面左側に示すように定
電流モードがオンして、水銀灯の点灯制御は、光量モニ
ター信号１２の信号には無関係に行なわれる。露光シー
ケンスが始まる前にタイミングチャート６３で示すよう
に第２シャッター３が開放（ＯＰＥＮ）する。アクチェ
ータ動作により第２シャッター３が完全に開くｔ１秒後
にタイミングチャート６６に示す制御方式切換信号４２
が変化して、図１の点灯装置４０に第２シャッター３の
状態が変化したことを伝達する。点灯装置内部でこの信
号を受けて自動で定電流モードから定照度モードに制御
が変わる。

【００２７】定照度モードになると、定電流モードのと
きと照度が異なる場合があるため、定照度状態に安定す
るのに充分な時間ｔ２の余裕をおいてから露光動作に入
る。露光動作は、まず、図１に示すキャリッジ２１が紙
面右側方向のマスクおよびウエハ全面に光が入射しない
位置へ移動する。その後今度は紙面左側へ移動する前に
タイミングチャート６２で示すように露光用シャッター
１３が開放（ＯＰＥＮ）し、その後キャリッジ２１が紙
面右側から左側へ移動することによりマスクおよびウエ
ハが等速走査露光される。マスクおよびウエハが全面露
光された後、露光用シャッター１３が閉じる（ＣＬＯＳ
Ｅ）。そして露光シーケンスが終了してからｔ３秒後に
制御方式切換信号４２が変化して点灯制御方式を再び定
電流モードにし、さらにｔ４秒後に第２シャッター３が
閉じる。次に露光シーケンスが始まるまでは第２シャッ
ターによって照明光が遮蔽されるので照明系と投影光学
系の光学部品は保護される。後は繰り返し上述の動作シ
ーケンスが行なわれる。

【００２８】なお、上述において、第２シャッター遮蔽
時は、超高圧水銀灯１を定電力点灯するようにしてもよ
い。

【００２９】実施例２ 上述したように超高圧水銀灯１の点灯効率は点灯時間と
ともに低下する。すなわち、供給電流または電力を一定
にすると、照度（または輝度）は点灯時間とともに低下
する。したがって、電流または電力の設定値を固定した
ままで超高圧水銀灯１を定電流または定電力点灯した場
合、定電流または定電力点灯状態と定照度点灯状態とで
照度が大きく異なる事態が生じる。定電流または定電力
点灯時と定照度点灯時とで照度の差が大きいと、定電流
または定電力点灯状態から定照度点灯状態に切り換わっ
た際、照度が安定するのに時間がかかる。このため、す
ぐに露光すると露光むらが発生し、一方、照度が安定す
る間で待って露光するとスループットが下がることにな
る。

【００３０】実施例２はこのような露光むらの発生やス
ループットの低下を防止するものである。この実施例２
の装置は実施例１のものに対し、図１に示す点灯装置４
０の構成が異なる。すなわち、実施例２の点灯装置４０
は点灯動作モードを３つ有している。１つは水銀灯１を
定電流で点灯するモードである。もう１つは照度を一定
に保つ定照度モードである。さらにもう１つは第２シャ
ッター３が閉じる直前の電力を保持するモードである。

【００３１】水銀灯１は点灯装置４０を点灯操作させる
と、高電圧を印加するスターター４３を通して点灯（起
動）する。水銀灯１は点灯（起動）直後は前記定電流モ
ードになっている。従来例で記載したように本装置では
露光動作時は水銀灯１を定照度モードで使用しなければ
ならない。照明照度の基準値を設定するために、一旦手
動にて定照度モードに切換える必要がある。その際、第
２シャッター３が閉じていると光量モニターセンサ１２
へ光が入射しなくなるため、第２シャッターを開放にす
る必要がある。そのため定照度モードに切り換える前に
不図示の本体に取付けられているスイッチを操作して、
インターフェイス回路３３を通して、ＲＯＭ３１のシー
ケンスリストにある特殊シーケンスを用いて、シャッタ
ー駆動回路から不図示のアクチェータを動作させて第２
シャッターを開放にする。その状態で前記点灯装置４０
の操作パネルを操作し、手動にて水銀灯１を定照度モー
ドに切換える。その状態で照度計を本装置にセットし、
照度の設定値を点灯装置４０の操作パネルについている
ダイヤルを操作して設定する。

【００３２】本実施例の主眼点は露光シーケンス動作時
は定照度モードで水銀灯１を点灯させ、通常の露光シー
ケンス動作および照度測定動作以外の動作シーケンスで
は、第２シャッター３を閉じて照明光学系の光学部品を
保護することである。その際、点灯装置４０が定照度モ
ードのままで、第２シャッター３を閉じると、点灯装置
４０の内部回路が光量モニターセンサ１２の光量が低下
したことにより水銀灯１への電力をリミット値まで増大
させてしまうことになる（定照度制御が行なわれている
時は光量モニターセンサ出力は一定になっている）。そ
こで本装置では点灯装置４０の点灯制御方式を切換える
ことでこの問題を解決している。

【００３３】図３は前記問題の解決手段の説明のための
要部回路図である。電源４６と光源１とからなる被制御
部４１と、この被制御部４１の出力である光源１の光出
力を検出するフォトダイオードからなる検出部１２と、
この検出部１２の検出出力信号と基準電源５０の基準電
圧とを比較して誤差信号を出力する第１の誤差増幅部４
７と、ホールド回路４４と、第２の誤差増幅部４５とを
備えている。また４９は演算増幅器、５０は基準電源、
５１，５２はバッファアンプ、５３は演算増幅器、Ｒ１
〜Ｒ５は抵抗、Ｃ１，Ｃ２はコンデンサ、ＳＷ１，ＳＷ
３は切換スイッチ、ＳＷ２はサンプリングスイッチであ
る。

【００３４】第１の誤差増幅部４７は、演算増幅器４９
と基準電源５０と抵抗Ｒ１，Ｒ２とコンデンサＣ１とか
ら構成され、第２の誤差増幅部４５は、演算増幅器５３
と抵抗Ｒ３〜Ｒ５とにより構成され、ホールド回路４４
は、バッファアンプ５１，５２とコンデンサＣ２とサン
プリングスイッチＳＷ２とにより構成されている。この
サンプリングスイッチＳＷ２はホールド信号によって動
作するものである。また切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３
は、第２シャッター３の開閉操作と連動して制御される
ものであり、第２シャッター３を閉じて光源１の光出力
を遮蔽する場合は、ホールド信号がホールド回路４４に
加えられ、そして、切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３が図３
の実線矢印位置から点線矢印位置に切換えられた後に、
第２シャッター３により光源１の光出力を遮蔽するよう
に制御される。反対に、第２シャッター３を開いて光源
１の光出力を送出する場合は、第２シャッター３を開
き、次に切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３を点線矢印位置か
ら実線矢印位置に切換えるように制御される。このよう
な制御機能は、各種の論理回路やマイクロプロセッサ等
により容易に実現することができる。

【００３５】第２シャッター３を開き、切換スイッチＳ
Ｗ１，ＳＷ３を実線矢印位置に切換えている状態で、フ
ィードバックループによる光源１の定照度制御が行なわ
れるものであり、第２シャッター３を閉じて光源１の光
出力を遮蔽すると、フィードバックループを切断したこ
とに相当する。その時、切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３は
点線矢印位置に切換えられるから、第１の誤差増幅部の
出力信号は第２の誤差増幅部４５に入力され、ホールド
回路４４のホールド出力信号を基準値として比較され、
誤差出力信号が第１の誤差増幅部４７に入力される。従
って、第１の誤差増幅部４７の出力信号は、ホールド回
路４４のホールド出力信号により規定された値を維持す
ることになる。

【００３６】図４は本実施例の動作説明図で、（ａ）は
第２シャッター３の開閉、（ｂ）はホールド信号、
（ｃ）は切換スイッチＳＷ１の切換動作、（ｄ）は切換
スイッチＳＷ３の切換動作、（ｅ）は検出部１２の検出
出力信号、（ｆ）は第１の誤差増幅部４７の出力信号、
（ｇ）は電源４６の入力信号、（ｈ）は光源１に供給さ
れる電力のそれぞれ一例を示す。

【００３７】時刻ｔ１にホールド信号によってサンプリ
ングスイッチＳＷ２を動作させて、第１の誤差増幅部４
７の出力信号をコンデンサＣ１にホールドし、切換スイ
ッチＳＷ１を（ｃ）の（４７側）から（４４側）として
示すように、第１の誤差増幅部４７側からホールド回路
４４側へ切換え、また切換スイッチＳＷ３を（ｄ）の
（１２側）から（４５側）として示すように、検出部１
２側から第２の誤差増幅部４５側へ切換える。

【００３８】次の時刻ｔ２に第２シャッター３を閉じて
光源１の光出力を遮蔽する。それによって、（ｅ）に示
すように、検出出力信号は零となる。この時、第１の誤
差増幅部４７には第２の誤差増幅部４５の出力信号が入
力され、第２の誤差増幅部４５においては、ホールド回
路４４のホールド出力信号を抵抗Ｒ４を介して演算増幅
器５３の（−）端子に、また第１の誤差増幅部４７の出
力信号を抵抗Ｒ３を介して演算増幅器５３の（＋）端子
にそれぞれ入力されるから、第２の誤差増幅部４５の出
力信号は、ホールド回路４４のホールド出力信号に対応
した値として第１の誤差増幅部４７に入力され、第１の
誤差増幅部４７の出力信号は、第２シャッター３を閉じ
る直前の値を維持することになる。即ち、（ｆ）で示す
ように、例えば、（１／３）Ｖの出力信号を維持するこ
とになる。

【００３９】また時刻ｔ３に第２シャッター３を開く
と、検出部１２の検出出力信号は（ｅ）に示すように、
光源１の光出力に対応した値となる。この時点では切換
スイッチＳＷ１，ＳＷ３は点線矢印位置に切換えられて
いるから、第１の誤差増幅部４７の出力信号は前の状態
を維持している。そして、時刻ｔ４に切換スイッチＳＷ
１，ＳＷ３を点線矢印位置から実線矢印位置に切換える
と、第１の誤差増幅部４７の出力信号は、第２シャッタ
ー３を閉じる直前の値を維持し、かつ光源１の照度も変
化しない場合、（ｆ）で示すように変化しないことにな
る。それによって、電源の入力信号も（ｇ）で示すよう
に変化しないことになり、光源１への供給電力は例えば
（２／３）Ｗに一定に維持されることになる。

【００４０】図５は本装置の動作シーケンスのうち露光
シーケンス前後の露光用シャッター１３および第２シャ
ッター３の開閉動作、ならびにその動作に伴う定照度モ
ードと定電力保持モードの切換えタイミングを示した図
である。同図において、６０は露光シーケンスを表わ
し、６１は走査露光のためキャリッジの移動を示し、６
２は露光シャッターの開閉のタイミング、６３は第２シ
ャッター３の開閉タイミングを表している。６７は定照
度モードと定電力保持モードの切換えタイミングを示す
信号であり、図１のインターフェイス回路３３から点灯
装置４０に対して入力されるホールド信号４２を示して
いる。６８は定照度モードの動作タイミング、６９は定
電力保持モードの動作タイミングを示している。

【００４１】タイミングチャート６３で紙面左側の第２
シャッター３が閉じている状態では、水銀灯１の制御方
式はタイミングチャート６９の紙面左側に示すように定
電力保持モードがオンして、光量モニター信号１２の信
号には無関係な水銀灯の点灯制御になっている。露光シ
ーケンスが始まる前にタイミングチャート６３で示すよ
うに第２シャッター３が開放（ＯＰＥＮ）する。アクチ
ェータ動作により第２シャッター３が完全に開くｔ１秒
後にホールド信号が変化して、前記信号４２を通じて点
灯装置４０に第２シャッター３の状態が変化したことを
伝達する。点灯装置内部でこの信号を受けて自動で定電
力保持モードから定照度モードに制御が変わる。この際
に照明光源に供給する電力が変化する。

【００４２】図６は定照度点灯と定電力保持点灯との長
時間点灯時の照度変化を比較したものである。破線ａは
定電力時の電力を表す。それに対応した照度変化は破線
ｃで表される。電力が一定だとランプ効率が長時間点灯
時に段々劣化してくるため、照度が落ちてくることを示
している。一方、実線ｂは定照度時の電力、実線ｄは定
照度時の照度を示している。これはランプ効率の劣化を
電力を上げることにより補っていることを示している。

【００４３】図７は定電力保持状態から定照度状態に復
帰する際の照度変化を示したものである。ｅは定照度時
の照度、ｆは定照度復帰後の照度を表している。Ｗは照
度が安定状態にある範囲を示す。図７に示されるよう
に、定電力保持状態から定照度安定状態になるまでに時
間ｔｒが必要である。そのため、切り換わり時の応答安
定時間ｔｒを超える時間ｔ２の余裕をおいてから露光動
作に入るシーケンスになっている。

【００４４】露光動作は、まず、図１で示すキャリッジ
２１が紙面右側方向のマスクおよびウエハ全面に光が入
射しない位置へ移動する。その後今度は紙面左側へ移動
する前にタイミングチャート６２で示すように露光用シ
ャッター１３が開放（ＯＰＥＮ）し、その後キャリッジ
２１が紙面右側から左側へ移動することによりマスクお
よびウエハが等速走査露光される。マスクおよびウエハ
が全面露光された後、露光用シャッター１３が閉じる
（ＣＬＯＳＥ）。そして露光シーケンスが終了してから
時間ｔ３後にホールド信号４２が変化して点灯制御方式
を再び定電力保持モードにして、時間ｔ４後に第２シャ
ッター３が閉じる。次に露光シーケンスが始まるまでは
照明系と投影光学系の光学部品は保護される。後は繰り
返し動作シーケンスが行なわれる。

【００４５】なお、上述において、第２シャッター遮蔽
時は、超高圧水銀灯１を定電流保持点灯するようにして
もよい。

【００４６】実施例３ 前記説明の中で時間ｔ２はなるべく小さな値であること
が装置のスループットを下げないようにするため必要と
なる。それには前記ｔｒをなるべく小さくすることが必
要である。実際に問題なるのは長時間、定電力保持され
ている場合である。すなわち点灯モード間の電力差が大
きくなった場合が問題となる。そこで本実施例において
はこの電力差をメンテナンスして問題が生じる程度にな
ったら自動補正をするようにした。すなわち第２シャッ
ターの遮断している時間をモニターする機能を設けて設
定時間に達したら自動で装置シーケンスがアイドル時に
第２シャッターの開閉動作を行ない、保持電力を更新す
るようにした。

【００４７】図８〜１０はそのソフト処理を表わす。本
実施例は、これらのソフト処理を上記実施例２の露光シ
ーケンス処理に付加したものである。

【００４８】図８はタイマーのセットタイミングを示
す。第２シャッターが閉じた後にタイマーセットする。
セット方法はいろいろあるが、不図示のスイッチにより
設定時間を可変入力しても良いし、不図示のコンソール
により、設定時間を入力しても良い。

【００４９】図９はタイマー処理を示す。これは割り込
みシーケンスの中で一定時間毎にタイマー値を減算し、
タイマー値が０になったら、フラグをセットを行なう。

【００５０】図１０は装置が次の処理の操作待ちの所に
入れるルーチンである。前記タイマーフラグをチェック
して設定タイムオーバーの際、第２シャッター３をオー
プンし、ホールド信号４２を定電力モードから定照度モ
ードに切り換える。第２シャッター３および点灯装置４
０の切り換え動作が収束する時間に相当するタイムディ
レイをおいて再びホールド信号４２を定照度から定電力
に切り換える。ホールドに必要な時間だけタイムディレ
イを入れてから、第２シャッターを閉じる。これによ
り、自動で電力差を減らすことができ、応答の安定時間
が長くなるのを防止することができた。

【００５１】実施例１〜３の変形例 上述の実施例では第２シャッタが閉じることにより定照
度制御を定電流または定電力保持に切換えたが、光量モ
ニターセンサ１２とともに、または光量モニターセンサ
１２に代えて、図１１で示すように第２のシャッタ３の
前に光量モニターセンサ７０を配置してもよい。この場
合、点灯モードを切換える必要はない。また図１２で示
すように図１のミラー４をハーフミラー７２とし、光フ
ァイバー７３を通して光をモニターするように光量モニ
ターセンサ７４を配置してもよい。その際は第２のシャ
ッタは７１の位置に配置する必要がある。但しこの場
合、光学部品７２，７３の保護はできない。

【００５２】さらに、定電力保持を長時間行なった際の
メンテナンス機能をソフトタイマーで行なったが、実際
に電力指示値をＡ／Ｄコンバーターで読みとるようにす
れば、定期的に定照度に切換えて電力指示値の差を管理
することでタイマーを使用したのと同等の処理を行なう
ことができる。

【００５３】実施例４ 上述の実施例１〜３は、投影露光装置の照明系における
照明光学系の光学部品に膜を保護することによってこれ
らの光学部品の寿命を向上する例を示したが、本実施例
では、超高圧水銀灯の寿命を向上する例を示す。

【００５４】図１３は本発明の第４の実施例に係る反射
投影型の露光装置の概略図である。同図において、６０
は露光装置の光源および照明光学系を有する照明系、２
０はマスク像をウエハに転写する機構と不図示のアライ
メント機構と投影光学系を有する本体である。３０は露
光装置全体のシーケンス動作をコントロールするＣＰＵ
を含むコントロールボックス、４０は露光装置の光源で
ある超高圧水銀灯１を点灯し点灯時の電力を制御する点
灯装置である。これらの各ユニットはケーブルを通して
信号伝達および電力供給を行なっている。

【００５５】照明系６０において、１は光源であるとこ
ろの超高圧水銀灯、２は水銀灯１の光源光を光路（一点
鎖線で示す）方向に光を収束させる球面鏡である。水銀
灯１および球面鏡２で反射された光は一点鎖線で示した
光路を通過し、ミラー４、ミラー５、ミラー６、コンデ
ンサーレンズ７およびミラー８を経て、スリット９へ入
射する。スリット９で投影露光に使用する有効光を切り
出しスリット状光にする。スリット状光は球面ミラー１
０で反射され、ハーフミラー１１を通して、照明照度を
一定に保つ定照度制御をする際、使用する光量モニター
センサ１２へ入射する光と露光用シャッター１３へ行く
光に分けられる。露光用シャッター１３は装置動作シー
ケンスが露光になると開放し、スリット状光がミラー１
４および面ミラー１５で反射され、投影光学系２０に配
置されたマスク１６に入射する。

【００５６】投影光学系２０において、マスク１６とウ
エハ２２はキャリッジ２１により一体に担持されてお
り、一体移動することにより、マスク１６に入射するス
リット状光のマスクに対する位置が移動し、マスク１６
の全体投影像がウエハ２２全面に転写される。

【００５７】コントロールボックス３０は、装置全体の
動作シーケンスプログラムを記憶しているＲＯＭ３１、
前記動作シーケンスプログラムを演算したり、シーケン
ス処理する中央処理装置ＣＰＵ３６、演算処理データを
記憶するＲＡＭ３２、装置各部の不図示のアクチェータ
信号を入出力するインターフェイス回路３３、前記のキ
ャリッジ２１を不図示のアクチェータを駆動して移動動
作をさせるところのキャリッジ駆動回路３４、露光用シ
ャッター１３、およびシャッター駆動回路３５を備えて
いる。

【００５８】水銀灯１は点灯装置４０を点灯操作させる
と、高電圧を印加するスターター４３を通して点灯す
る。点灯装置４０は点灯動作モードを３つ有している。
１つは水銀灯１を定電流で点灯するモードである。もう
１つは照度を一定に保つ定照度モードである。さらにも
う１つは露光用シャッター１３が閉じる直前の電力を保
持するモードである。

【００５９】水銀灯１は点灯直後は前記定電流モードに
なっている。従来例で記載したように本装置では露光動
作時は水銀灯１を定照度モードで使用しなければならな
い。照明照度の基準値を設定するために、一旦手動にて
定照度モードに切換える必要がある。そこで前記点灯装
置４０の操作パネルを操作し、手動にて水銀灯１を定照
度モードに切換える。その状態で照度計を本装置にセッ
トし、照度の設定値を点灯装置４０の操作パネルについ
ているダイヤルを操作して設定する。

【００６０】本実施例の主眼点は露光および照度測定動
作時は定照度モードで水銀灯１を点灯させ、それ以外の
シーケンスでは露光および照度測定終了時の電力保持し
た一定電力で点灯することにより、定照度電力を連続し
て行なった場合より、電力増加の時間間隔を長くして超
高圧水銀灯の劣化を遅らせている。

【００６１】図１４は前記問題の解決手段の説明のため
の要部回路図である。電源４６と光源１とからなる被制
御部４１と、この被制御部４１の出力である光源１の光
出力を検出するフォトダイオードからなる検出部１２
と、この検出部１２の検出出力信号と基準電源５０の基
準電圧と比較して誤差信号を出力する第１の誤差増幅部
４７と、ホールド回路４４と、第２の誤差増幅部４５と
を備えている。４９は演算増幅器、５０は基準電源、５
１，５２はバッファアンプ、５３は演算増幅器、５４は
ホールド信号４２を遅延する遅延回路、Ｒ１〜Ｒ５は抵
抗、Ｃ１，Ｃ２はコンデンサ、ＳＷ１，ＳＷ３は切換え
スイッチ、ＳＷ２はサンプリングスイッチである。

【００６２】第１の誤差増幅部４７は、演算増幅器４９
と基準電源５０と抵抗Ｒ１，Ｒ２とコンデンサＣ１とか
ら構成され、第２の誤差増幅部４５は、演算増幅器５３
と抵抗Ｒ３〜Ｒ５とにより構成され、ホールド回路４４
は、バッファアンプ５１，５２とコンデンサＣ２とサン
プリングスイッチＳＷ２とにより構成されている。この
サンプリングスイッチＳＷ２はホールド信号によって動
作するものである。また切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３
は、遅延回路５４の出力信号であるホールド信号４２を
時間ｔｄ遅延した指令値切換信号と連動して制御される
ものである。

【００６３】ホールド回路４４に加えられるホールド信
号４２がオフすると、ホールドオフを表わす指令値切換
信号により、切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３が実線矢印位
置に切換えられる。切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３が実線
矢印位置に切換えられている状態では、フィードバック
ループによる光源１の定照度制御が行なわれる。ホール
ド信号がオンすると、切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３は実
線矢印位置から点線矢印位置に切換えられるから、第１
の誤差増幅部４７にはホールド回路４４の出力が入力さ
れる。従って、第１の誤差増幅部４７の出力信号は、ホ
ールド回路４４のホールド出力信号により規定された値
を維持することになる。

【００６４】図１５は本実施例における電力または電流
保持動作の説明図である。同図において、（ａ）はホー
ルド信号４２のオン／オフ、（ｂ）はホールド状態、
（ｃ）は切換スイッチＳＷ１の切換動作、（ｄ）は切換
スイッチＳＷ３の切換動作、（ｅ）は第１の誤差増幅部
４７の出力信号、（ｆ）は電源４６の入力信号、（ｇ）
は光源１に供給される電力のそれぞれ一例を示す。

【００６５】時刻ｔ１にホールド信号によってサンプリ
ングスイッチＳＷ２を動作させて、第１の誤差増幅部４
７の出力信号をコンデンサＣ１にホールドし、切換スイ
ッチＳＷ１を（ｃ）の（４７側）から（４４側）として
示すように、第１の誤差増幅部４７側からホールド回路
４４側へ切換え、また切換スイッチＳＷ３を（ｄ）の
（１２側）から（４５側）として示すように、検出部１
２側から第２の誤差増幅部４５側へ切換える。

【００６６】次の時刻ｔ２にホールド信号をオンする。
それによって、第１の誤差増幅部４７には第２の誤差増
幅部４５の出力信号が入力され、第２の誤差増幅部４５
においては、ホールド回路４４のホールド出力信号を抵
抗Ｒ４を介して演算増幅器５３の（−）端子に、また第
１の誤差増幅部４７の出力信号を抵抗Ｒ３を介して演算
増幅器５３の（＋）端子にそれぞれ入力されるから、第
２の誤差増幅部４５の出力信号は、ホールド回路４４の
ホールド出力信号に対応した値として第１の誤差増幅部
４７に入力され、第１の誤差増幅部４７の出力信号は、
ホールド信号をオンにする直前の値を維持することにな
る。すなわち、（ｅ）で示すように、例えば（１／３）
Ｖの出力信号を維持することになる。

【００６７】また時刻ｔ３にホールド信号をオフにする
と、それから時間ｔｄの間、切換スイッチＳＷ１，ＳＷ
３は点線矢印位置に切換えられたままであるから、第１
の誤差増幅部４７の出力信号は、前の状態を維持してい
る。そして、時刻ｔ４に切換スイッチＳＷ１，ＳＷ３を
点線矢印位置から実線矢印位置に切換えると、第１の誤
差増幅部４７の出力信号は、ホールド信号をオンする前
の値を維持し、かつ光源１の照度も変化しない場合、
（ｅ）の実線で示すように変化しないことになる。それ
によって、電源の入力信号も（ｆ）の実線で示すように
変化しないことになり、（ｇ）で示すように光源１への
供給電力は例えば（２／３）Ｗ一定に維持されることに
なる。図１６は本装置の動作シーケンスのうち露光シー
ケンス前後の露光用シャッター１３の開閉動作およびそ
の動作に伴う定照度モードと定電力保持モードの切換え
タイミングを示した図である。同図において、６０は露
光シーケンスを表わし、６１は走査露光のためキャリッ
ジの移動を示し、６２は露光シャッターの開閉のタイミ
ングを表わしている。６７は定照度モードと定電力保持
モードの切換タイミングを示す信号であり、前記インタ
ーフェイス回路３３から点灯装置４０に対して入力され
るホールド信号４２を示している。６８は定照度モード
の動作タイミング、６９は定電流保持モードの動作タイ
ミングを示している。

【００６８】水銀灯１の制御方式はタイミングチャート
６９の紙面左側に示すように定電力保持モードがオンし
て、光量モニター信号１２の信号には無関係な水銀灯の
点灯制御になっている。露光シーケンスが始まるｔ１秒
前にタイミングチャート６７のホールド信号を切換え
て、前記信号４２を通じて点灯装置４０に点灯方式が変
わったことを伝達する。点灯装置内部でこの信号を受け
て自動で定電力保持モードから定照度モードに制御が変
わる。定照度になると定電力保持モード時との照度の違
いがある場合があるため、切換わり時の応答時間を超え
る時間ｔ２の余裕をおいてからキャリッジ移動シーケン
スに移行する。

【００６９】露光動作は図１３に示すキャリッジ２１が
紙面右側方向のマスクおよびウエハの全面に光が入射し
ない位置へ移動する。その後今度は紙面左側へ移動する
前に６２のタイミングで露光用シャッター１３がオープ
ンし、その後マスクとウエハは等速走査露光される。マ
スクおよびウエハが全面露光された後、露光用シャッタ
ー１３が閉じる。そして露光シーケンスが終了してか
ら、ｔ３秒後にタイミングチャート６７に示すホールド
信号が変化して点灯制御方式を再び定電力保持モードに
する。後は繰り返し上記の動作シーケンスが行なわれ
る。

【００７０】本実施例によれば、ランプ電力が連続的に
増加することを防止でき、ランプの電極の劣化を抑える
ことができ、それにより、ランプの寿命を長くすること
ができる。

【００７１】本実施例においては、装置の露光シーケン
スおよび照度（または露光量）測定では定照度モードと
し、それ以外では定電力または定電流モードとしたが、
装置のアイドル状態を検知して、装置内またはカセット
内にウエハがある場合、すなわち装置の実働時を定照度
モード、ウエハが無い場合、すなわち装置のアイドル時
を定電力または定電流モードとするようにしてもよい。

【００７２】

【発明の効果】光学部品を交換すると光軸調整などが難
しいため、装置のダウンタイムが増える。本発明の第１
の局面によれば、光源の近くに第２のシャッタを設ける
ことで照明光学系の光学部品の膜を保護するようにした
ため、光学部品の耐久性が向上して部品交換が長時間不
要になり、装置の稼働率を上げることができる。

【００７３】また、膜の劣化でミラーの反射率が低下す
ると照明光源、例えば超高圧水銀灯への供給電力を上げ
て照明照度を上げることが必要になる。このことは超高
圧水銀灯の寿命を短くすることになる。上記第１の局面
によれば、膜の反射率の変化が抑えられることで超高圧
水銀灯を効率よく点灯でき、水銀灯の寿命も長くするこ
とでランプ交換のためのダウンタイムを少なくできる。

【００７４】ハーフミラーを通して光量モニタを検知す
る方式だと、実際のマスクに照射する照度と光量モニタ
する照度の比率が変化すると正しい照明照度が得られな
い。そのため上記第１の局面によればそのような違いを
少なくすることができる。

【００７５】 さらに、本発明の第２の局面によれば、
光源、例えば超高圧水銀灯を露光動作時など定照度で点
灯することが必要な時以外は直前の定照度点灯における
電流または電力を保持する定電流または定電力点灯を行
なっている。このため、ランプ電力が連続的に増加する
ことを防止でき、ランプの寿命劣化を抑えることがで
き、ランプ寿命が長くなる。その結果、ランプ交換の回
数を減らすことができ、ランニングコストを下げること
ができる。また、装置の稼働率の向上および消耗品とし
てのランプのストックコストの削減を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１〜第３実施例に係る反射型投影
露光装置の構成図である。

【図２】 本発明の第１実施例に係る露光装置の各部の
動作タイミングを示すタイミングチャートである。

【図３】 本発明の第２実施例に係る点灯装置の電力保
持の動作説明のための要部回路図である。

【図４】 上記第２実施例における第２シャッターの開
閉に伴う定照度／電力保持動作切換の際の電力保持動作
の説明図である。

【図５】 上記第２実施例における露光シーケンスと水
銀灯制御の切換方式のタイミングを表わすタイミングチ
ャートである。

【図６】 定照度点灯と定電力保持点灯との電力と照度
の経時特性を示す説明図である。

【図７】 定電力保持点灯から定照度点灯に切換わった
際の過渡応答を示す説明図である。

【図８〜１０】 本発明の第３実施例の動作説明のため
のフローチャートである。

【図１１，１２】 上記第１〜３実施例の変形例を示す
露光装置の概略構成図である。

【図１３】 本発明の第４実施例に係る反射型投影露光
装置の構成図である。

【図１４】 図１３の露光装置の点灯装置における電力
保持の動作説明のための要部回路図である。

【図１５】 図１３の露光装置における第２シャッター
の開閉に伴う定照度／電力保持動作切換の際の電力保持
動作の説明図である。

【図１６】 図１３の露光装置における露光シーケンス
と水銀灯制御の切換方式のタイミングを表わすタイミン
グチャートである。

【図１７】 従来の反射型投影露光装置の概略構成図で
ある。

【符号の説明】

１：超高圧水銀灯、２：球面鏡、３：第２シャッター、
４，５，６，８，１４：ミラー、７：コンデンサーレン
ズ、９：スリット、１０：球面ミラー、１１：ハーフミ
ラー、１２：光量モニターセンサ、１３：露光用シャッ
ター、１５，１８：凹面ミラー、１６：マスク、１７：
台形ミラー、１９：凸面ミラー、２０：本体、２１：キ
ャリッジ、２２：ウエハ、３０：コントロールボック
ス、３１：ＲＯＭ、３２：ＲＡＭ、３３：インターフェ
イス回路、３４：キャリッジ駆動回路、３５：シャッタ
ー駆動回路３５、３６：ＣＰＵ、４０：点灯装置、４
１：被制御部、４２：ホールド信号、４３：スタータ
ー、４４：ホールド回路、４５：第２誤差増幅器、４
６：電源、４７：第１誤差増幅器、４９，５３：演算増
幅器、５０：基準電源、５１，５２：バッファアンプ、
５４：遅延回路、６０：照明系。

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクを介して基板を露光する露光装置
   において、光源からの光をマスクに向ける照明光学系
   と、該照明光学系に配され非露光時に閉じて露光時に開
   く露光用の第１シャッターと、該第１シャッターより光
   源側にある光学部品の光源側に配され露光に先立って開
   き露光終了後に閉じる第２のシャッターとを有すること
   を特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記光源の点灯制御モードを当該露光装
   置の動作シーケンスに応じて自動選択する点灯制御手段
   をさらに備える請求項１記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記点灯制御手段は、前記第２シャッタ
   ーが開放状態の場合は定照度点灯制御を行ない、遮断状
   態の場合は定電流または定電力点灯制御を行なう請求項
   ２記載の露光装置。
4. 【請求項４】 前記点灯制御手段は、前記定電流または
   定電力点灯制御を、前記第２シャッターが閉じる直前の
   状態を保持すべく行なう請求項３記載の露光装置。
5. 【請求項５】 前記第２シャッターの遮断している時間
   をモニタする手段と、遮断継続時間を設定する手段と、
   該設定時間に達したら第２シャッターの開閉動作を行な
   って前記点灯制御手段が保持すべき状態を更新する手段
   とをさらに具備する請求項４記載の露光装置。
6. 【請求項６】 前記第２シャッターの遮断時間が前記設
   定時間に達した際、前記動作シーケンスがアイドル状態
   であることを条件に前記第２シャッターの開閉を行なう
   請求項５記載の露光装置。
7. 【請求項７】 前記第２シャッターより光源側における
   光源からの光の光量を検知する光量検知手段と、該光量
   検知手段の出力に基づいて前記光源を定照度点灯する点
   灯制御手段とをさらに備える請求項１記載の露光装置。
8. 【請求項８】 前記光量検知手段は、前記光源から前記
   光源からの光の光路外へ出射される直接光の光量を検知
   する請求項７記載の露光装置。
9. 【請求項９】 前記光量検知手段は、前記光源からの光
   の一部を透過するハーフミラーの透過光量を検知する請
   求項７記載の露光装置。
10. 【請求項１０】 前記第１シャッターより光源側におけ
    る光源からの光の光量を検知する第１の光量検知手段
    と、前記第２シャッターより光源側における光源からの
    光の光量を検知する第２の光量検知手段と、前記第２シ
    ャッターが開放状態の場合は第１の光量検知手段の出力
    に基づく定照度点灯制御を行ない、遮断状態の場合は第
    ２の光量検知手段の出力に基づく定照度点灯制御を行な
    う点灯制御手段をさらに具備する請求項１記載の露光装
    置。
11. 【請求項１１】 前記第２の光量検知手段は、前記光源
    から前記光源からの光の光路外へ出射される直接光の光
    量を検知する請求項１０記載の露光装置。
12. 【請求項１２】 前記第２の光量検知手段は、前記光源
    からの光の一部を透過するハーフミラーの透過光量を検
    知する請求項１０記載の露光装置。
13. 【請求項１３】 マスクを介して基板を露光する露光装
    置において、光源からの光をマスクに向ける照明光学系
    と、該照明光学系に配され非露光時に閉じて露光時に開
    く露光用の第１シャッターと、前記光源からの光の光量
    を検出する光量検出手段と、 該光量検出手段の出力を一定にすべく前記照明光源を点
    灯制御する定照度点灯モードと該照明光源に供給される
    電力または電流を一定にすべく該照明光源を点灯制御す
    る定電力または定電流点灯モードとを有し、かつ前記定
    電力または定電流点灯モードに切り換わった際、切り換
    わる直前の電力または電流を保持すべく前記定電力また
    は定電流点灯モードの点灯制御を行なう点灯制御手段と
    を具備することを特徴とする露光装置。
14. 【請求項１４】 前記点灯モードを前記点灯制御手段の
    外部より切り換える手段を有する請求項１３記載の露光
    装置。
15. 【請求項１５】 前記点灯制御手段は、当該露光装置の
    動作シーケンスが露光または光量測定時には前記定照度
    点灯を行ない、それ以外は定電力または定電流点灯する
    請求項１４記載の露光装置。
16. 【請求項１６】 前記光源は、超高圧水銀灯である、紫
    外光を利用してマスク像を感光剤を塗布した基板に転写
    する請求項１３、１４または１５記載の露光装置。