JP2805951B2 - 空冷アルゴンレーザ装置 - Google Patents

空冷アルゴンレーザ装置

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JP2805951B2
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芳男 中沢
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、空冷アルゴンレーザ装置に関し、特に、レ
ーザ光のビーム位置変動の抑制に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の空冷アルゴンレーザ装置は、放熱フィ
ンを有するレーザ管と、このレーザ管を空冷するための
冷却ファンを具備した空冷アルゴンレーザ発振器と、こ
の発振器を駆動するための電源とで構成され、冷却ファ
ンは、放電電流値に関係なく一定の冷却能力で動作する
ものとなっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の空冷アルゴンレーザ装置では冷却ファ
ンの冷却能力は放電電流値に関係なく一定であるため、
放電電流値が変化してレーザ管での電流消費量が変わ
り、レーザ管からの発熱量が変化した場合、レーザ管で
の熱分布が変わりミラーのアライメントがずれて最終的
にレーザ光のビーム位置が変化する欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、放熱フィンを有するレーザ管と、このレー
ザ管を空冷するための冷却ファンを具備した空冷アルゴ
ンレーザ発振器と、この発振器を駆動するたの電源とを
有する空冷アルゴンレーザ装置において、放電電流と連
動して前記冷却ファンへの供給電圧を可変させる回路を
前記電源内に具備していることを特徴とする。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の概略図である。１はレーザ管、２
はレーザ管に取り付けられた放熱フィン、３はレーザ管
１の放熱フィン２を空冷するための直流駆動の冷却ファ
ン、４はこれらを内蔵するケースで全体で空冷アルゴン
レーザ発振器を構成している。５はこの発振器を駆動す
るための電源で、一般に整流回路、定電流回路、光フィ
ードバック回路、入力制御、フィラメントトランス等に
より構成される。電源において、点線枠で示した部分が
本発明による放電電流値により冷却ファンへの供給電圧
を可変するための回路で、６は抵抗で放電電流をモニタ
ーし、７は冷却ファン３への供給電圧を制御するための
トランジスタ、8,9は分割抵抗で、抵抗６のモニター電
圧でトランジスタ７の動作点を制御するためのもの、10
はトランジスタ７のコレクタ電源であるとともに、冷却
ファン３の駆動電源である。
本実施例では、冷却ファンは直流電圧駆動のものにつ
いて説明したが交流駆動のものとしてもよい。この場合
放電電流値のモニター電圧はＶ−Ｆコンバータで周波数
変換され、この周波数でトランジスタをオン−オフし、
このオン−オフ信号で冷却ファンを回転させる等の回路
変更が必要である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、放電電流値に連動して
冷却ファンへの供給電圧を自動的に可変する回路を空冷
アルゴンレーザ装置に付加している。これにより放電電
流が低く発熱が少ない時は冷却ファンの回転を遅くし冷
却能力を下げ、放電電流が高く発熱が大きい場合には、
回転を早くし冷却能力を高められる。したがって、放電
電流が変化した場合でもレーザ管温度をより一定に保つ
ことができレーザ管の温度分布を常に均一化できるの
で、温度分布の変動が引き起こすミラーアライメントの
ずれを防止でき、結果的に放電電流が変化した場合でも
レーザ光のビーム位置の変化を小さく抑制できる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の概略構成図である。 １……レーザ管、２……放熱フィン、３……冷却ファ
ン、４……ケース、５……電源、6,8,9……抵抗、７…
…トランジスタ、10……コレクタ電源。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/041 H01S 3/134

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】放熱フィンを有するレーザ管と、このレー
    ザ管を空冷するための冷却ファンを具備した空冷アルゴ
    ンレーザ発振器と、この発振器を駆動するための電源と
    を有する空冷アルゴンレーザ装置において、放電電流値
    に連動させて前記空冷ファンの冷却能力を変化させるた
    めの回路を具備したことを特徴とする空冷アルゴンレー
    ザ装置。
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